JPH08208226A - 複合金属酸化物粉末の製造方法 - Google Patents

複合金属酸化物粉末の製造方法

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JPH08208226A
JPH08208226A JP32825695A JP32825695A JPH08208226A JP H08208226 A JPH08208226 A JP H08208226A JP 32825695 A JP32825695 A JP 32825695A JP 32825695 A JP32825695 A JP 32825695A JP H08208226 A JPH08208226 A JP H08208226A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】凝集粒子が少なく、粒度分布の狭い、多面体形
状を有する複合金属酸化物粉末を得る各種の複合金属酸
化物粉末の製造方法を提供すること。 【解決手段】一般式XMO3 (XはLi、Na、K、P
b、Ba、Mg、Ca、Sr、La、Y及びBiからな
る群から選ばれる少なくとも1種の原子であり、MはA
l、Mn、Ti、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、C
o、Ni、Nb、Ta及びWからなる群から選ばれる少
なくとも1種の原子である。)で表される複合金属酸化
物を製造する方法であって、X及びMのそれぞれの単純
金属酸化物の混合物、X及びMを含有する無定形の複合
金属酸化物粒子またはそれらの混合物、或いは該単純金
属酸化物及び該複合金属酸化物に転換し得る金属酸化物
前駆体を、ヨウ素またはヨウ化水素の存在下に焼成する
ことを特徴とする一般式XMO3 で表される複合金属酸
化物粉末の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、機能材料や構造材
料としての金属酸化物系セラミックスの原料粉末、或い
はフィラーや顔料等分散状態で使用される金属酸化物粉
末、或いは単結晶製造用の原料粉末や溶射用の原料粉末
等に使用される金属酸化物粉末、例えば、ペロブスカイ
ト形結晶構造を有する金属酸化物粉末の製造方法に関す
るものである。本発明により得られる複合金属酸化物粉
末の応用例としては、圧電コンポジットとして、アクチ
ュエータ、感圧センサ等の圧電部品へ、また希土類イオ
ンのドーピングによって蛍光体原料への応用等が挙げら
れる。
【0002】
【従来の技術】従来より、チタン酸バリウム、チタン酸
ジルコン酸鉛、タンタル酸リチウム等のABO3 型金属
酸化物粉末は、その誘電特性、圧電特性により磁器コン
デンサーやフィルター等の材料として利用されてきた。
これらの金属酸化物粉末は一般に金属酸化物、炭酸塩等
の粉末を高温で焼成することによる固相反応や、水溶液
中での反応による共沈法等で粒径0.5〜5μmの誘電
体粉末として製造されている。このとき、原料として用
いられる金属酸化物粉末の特性は、製造工程及び製品セ
ラミックスの機能や物性に大きな影響を与える。従っ
て、利用目的に適するように精密に制御された粉体特性
を有する金属酸化物粉末を製造する方法の開発が強く望
まれている。
【0003】また、圧電コンポジットやフィラー、顔料
等のように、金属酸化物粉末を分散状態で利用する場
合、個々の粒子の特性が直接反映されるため、粉末の特
性制御はさらに重要である。
【0004】金属酸化物の種類や利用形態によって、金
属酸化物粉末に要求される特性は種々であるが、共通し
ていることは、金属酸化物粒子の粒径が揃っているこ
と、すなわち粒度分布が狭いこと、及び一次粒子どおし
の結合が弱いこと、すなわち凝集が少なく、分散性がよ
いことである。
【0005】従来、2種以上の金属元素を含む金属酸化
物粉末を製造する方法としては、例えば、生成物の組成
に対応した金属酸化物の混合粉末を、空気中或いは不活
性ガス中等で焼成する方法が知られているが、この方法
では、目的とする2種以上の金属元素と酸素の化合物で
ある金属酸化物の単相を得ることは困難であり、通常、
単相を得るためには高温での焼成を必要とするか、また
は数回の焼成と粉砕を繰り返す必要があった。
【0006】また、沈澱法、共沈法、加水分解法等の液
相法による2種以上の金属元素を含む金属酸化物粉末の
製造方法も知られている。この方法は、金属塩の水溶液
或いは有機溶媒溶液を出発原料として、水和物等の金属
酸化物前駆体粉末を製造し、ついで、該前駆体粉末を、
空気中または不活性ガス中等で焼成して2種以上の金属
元素を含む金属酸化物粉末が製造するものである( Gal
lagher et.al., J. Res. Nat. Bur. of Stand. 56, 28
9, (1956)) 。
【0007】これらの方法は、いずれも酸素を含む雰囲
気、窒素雰囲気、不活性ガス雰囲気または水素を含む雰
囲気等での焼成過程を必要とするが、このような条件下
で製造される金属酸化物粉末は、一次粒子の結合が強
く、凝集性の強いものとなる。そのため、焼成処理後の
粉砕工程が必須となるが、粉砕工程では、一次粒子の結
合を切ることは困難であるため得られる粉末の粒度分布
が広くなるといった問題があった。さらに、粉砕媒体か
らの汚染も避けられないという問題もあった。
【0008】また、金属酸化物の混合粉末にフラックス
成分を添加して焼成する方法も一般に知られているが、
この方法では焼成後にフラックス成分の固着等が起こる
ため、粉砕工程及びフラックス成分の除去工程が必要と
なること、フラックス成分が生成物である金属酸化物中
に残存する可能性があるなどの問題があった。
【0009】さらに、水熱合成法により2種以上の金属
元素を含む金属酸化物粉末を製造する方法も知られてい
るが、この方法では高温、高圧を必要とする上に、工業
的に有利な速度で製造することが困難であった( K.Abe
et.al., Ceramic PowderScience VI, American Cerami
c Soc. 15-25 (1991)) 。
【0010】一方、従来より金属酸化物粉末の製造方法
として、金属蒸気或いは金属化合物の気相での化学反応
により粒径分布が狭く、凝集が少ない金属酸化物の微粉
末を製造する気相反応法が知られている。しかし、気相
反応法は、粒子生成過程が複雑で制御が難しく装置因子
の影響が大きい等の問題点があり、さらに、原料及び装
置のコストが高く、工業的には必ずしも効率的なものと
は言えなかった。また、気相反応法で得られるのは単純
金属酸化物であり、複合金属酸化物に適応した例は知ら
れていない。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、セラ
ミックスの原料用、フィラーや顔料、或いは単結晶製造
用や溶射用の原料用の金属酸化物粉末として好適に使用
できる、凝集粒子が少なく、粒度分布の狭い、一般式X
MO3 で表される複合金属酸化物粉末を製造するための
工業的に優れた製造方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、一般式XMO
3 (XはLi、Na、K、Pb、Ba、Mg、Ca、S
r、La、Y及びBiからなる群から選ばれる少なくと
も1種の原子であり、MはAl、Mn、Ti、Zr、S
n、Mg、Zn、Fe、Co、Ni、Nb、Ta及びW
からなる群から選ばれる少なくとも1種の原子であ
る。)で表される複合金属酸化物の製造方法であって、
X及びMのそれぞれの単純金属酸化物の混合物、X及び
Mを含有する無定形の複合金属酸化物粒子またはそれら
の混合物、或いは該単純金属酸化物及び該複合金属酸化
物に転換し得る金属酸化物前駆体を、ヨウ素またはヨウ
化水素の存在下に焼成することを特徴とする一般式XM
3 で表される複合金属酸化物粉末の製造方法に係るも
のである。。以下に本発明について詳しく説明する。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の方法により製造される複
合金属酸化物とは、X原子及びM原子からなる一般式X
MO3 を満足する2種以上の金属元素と酸素の化合物で
ある。ここで、XはLi、Na、K、Pb、Ba、M
g、Ca、Sr、La、Y及びBiからなる群から選ば
れる少なくとも1種の原子であり、MはAl、Mn、T
i、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、Co、Ni、N
b、Ta及びWからなる群から選ばれる少なくとも1種
の原子であり、具体的には、例えば、ペロブスカイト型
金属酸化物が挙げられる。
【0014】X原子、M原子ともに複数の金属原子で構
成され得るが、電気的中性条件を満たすため、金属元素
の総電荷は6である。また、X原子及びM原子のそれぞ
れの電荷は1以上5以下の整数である。総電荷は、各金
属の価数とモル分率の積の総和である。
【0015】例えば、PbTiO3 の場合は、次式で計
算される。 Pbの電荷(2)×Pbのモル分率+Tiの電荷(4)
×Tiのモル分率=2×1+4×1=6
【0016】また、Ba(Mg1/3 Ta2/3 )O3 の場
合は、同様に次式で計算される。 Baの電荷(2)×Baのモル分率+Mgの電荷(2)
×Mgのモル分率+Taの電荷(5)×Taのモル分率
=2×1+2×1/3+5×2/3=6
【0017】本発明の方法で製造される一般式XMO3
で表される複合金属酸化物としては、例えば、アルミン
酸塩、チタン酸塩、ジルコン酸塩、ニオブ酸塩、タンタ
ル酸塩、タングステン酸塩、スズ酸塩等が挙げられ、具
体的には次に記す化合物を例示することができる。
【0018】LiNbO3 ,LiTaO3, LiWO3, NaNbO3, NaTaO
3, NaWO3, KNbO3, KTaO3, KWO3,PbTiO3, PbZrO3, PbSnO
3, Pb(Mg1/3Nb2/3)O3, Pb(Mg1/3Ta2/3)O3,Pb(Mg1/3W2/
3)O3,Pb(Zn1/3Nb2/3)O3, Pb(Zn1/3Nb2/3)O3, Pb(Zn1/3N
b2/3)O3, Pb(Fe1/3Nb2/3)O3,Pb(Fe1/3Ta2/3)O3, Pb(Fe1
/3W2/3)O3, Pb(Ni1/3Nb2/3)O3, Pb(Ni1/3Ta2/3)O3,Pb(N
i1/3W2/3)O3, Pb(Co1/3Nb2/3)O3, Pb(Co1/3Ta2/3)O3, P
b(Co1/3W2/3)O3,
【0019】MgTiO3, MgZrO3, MgSnO3, Mg(Mg1/3Nb2/3)
O3, Mg(Mg1/3Ta2/3)O3,Mg(Mg1/3W2/3)O3,Mg(Zn1/3Nb2/
3)O3, Mg(Zn1/3Nb2/3)O3, Mg(Zn1/3Nb2/3)O3, Mg(Fe1/3
Nb2/3)O3,Mg(Fe1/3Ta2/3)O3, Mg(Fe1/3W2/3)O3, Mg(Ni1
/3Nb2/3)O3, Mg(Ni1/3Ta2/3)O3, Mg(Ni1/3W2/3)O3, Mg
(Co1/3Nb2/3)O3, Mg(Co1/3Ta2/3)O3, Mg(Co1/3W2/3)O3,
【0020】CaTiO3, CaZrO3, CaSnO3, Ca(Mg1/3Nb2/3)
O3, Ca(Mg1/3Ta2/3)O3,Ca(Mg1/3W2/3)O3,Ca(Zn1/3Nb2/
3)O3, Ca(Zn1/3Nb2/3)O3, Ca(Zn1/3Nb2/3)O3, Ca(Fe1/3
Nb2/3)O3,Ca(Fe1/3Ta2/3)O3, Ca(Fe1/3W2/3)O3, Ca(Ni1
/3Nb2/3)O3, Ca(Ni1/3Ta2/3)O3,Ca(Ni1/3W2/3)O3, Ca(C
o1/3Nb2/3)O3, Ca(Co1/3Ta2/3)O3, Ca(Co1/3W2/3)O3,
【0021】SrTiO3, SrZrO3, SrSnO3, Sr(Mg1/3Nb2/3)
O3, Sr(Mg1/3Ta2/3)O3,Sr(Mg1/3W2/3)O3,Sr(Zn1/3Nb2/
3)O3, Sr(Zn1/3Nb2/3)O3, Sr(Zn1/3Nb2/3)O3, Sr(Fe1/3
Nb2/3)O3,Sr(Fe1/3Ta2/3)O3, Sr(Fe1/3W2/3)O3, Sr(Ni1
/3Nb2/3)O3, Sr(Ni1/3Ta2/3)O3,Sr(Ni1/3W2/3)O3, Sr(C
o1/3Nb2/3)O3, Sr(Co1/3Ta2/3)O3, Sr(Co1/3W2/3)O3,
【0022】BaTiO3, BaZrO3, BaSnO3, Ba(Mg1/3Nb2/3)
O3, Ba(Mg1/3Ta2/3)O3,Ba(Mg1/3W2/3)O3,Ba(Zn1/3Nb2/
3)O3, Ba(Zn1/3Nb2/3)O3, Ba(Zn1/3Nb2/3)O3, Ba(Fe1/3
Nb2/3)O3,Ba(Fe1/3Ta2/3)O3, Ba(Fe1/3W2/3)O3, Ba(Ni1
/3Nb2/3)O3, Ba(Ni1/3Ta2/3)O3,Ba(Ni1/3W2/3)O3, Ba(C
o1/3Nb2/3)O3, Ba(Co1/3Ta2/3)O3, Ba(Co1/3W2/3)O3,
【0023】LaAlO3, LaMnO3, LaFeO3, LaCoO3, LaNiO
3, YAlO3, YMnO3, YFeO3, YCoO3,YNiO3 およびこれらの固溶体が挙げられる。
【0024】本発明の方法においては、X及びMのそれ
ぞれの単純金属酸化物の混合物、X及びMを含有する無
定形の複合金属酸化物粒子またはそれらの混合物、或い
は該単純金属酸化物及び該複合金属酸化物に転換し得る
金属酸化物前駆体を、ヨウ素またはヨウ化水素の存在下
に焼成する。
【0025】ここで、X及びMのそれぞれの単純金属酸
化物の混合物、X及びMを含有する無定形の複合金属酸
化物粒子またはそれらの混合物、或いは該単純金属酸化
物及び該複合金属酸化物に転換し得る金属酸化物前駆体
を、前記の一般式XMO3 (XはLi、Na、K、P
b、Ba、Mg、Ca、Sr、La、Y及びBiからな
る群から選ばれる少なくとも1種の原子であり、MはA
l、Mn、Ti、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、C
o、Ni、Nb、Ta及びWよりなる群から選ばれる少
なくとも1種の原子である。)を満足するような割合で
使用することが生成効率の点から好ましい。
【0026】金属酸化物前駆体とは、焼成による分解反
応や酸化反応等によって、1種あるいは2種以上の金属
元素と酸素から成る金属酸化物を生成するものをいい、
具体的には、金属水酸化物、金属炭酸塩、金属シュウ酸
塩、金属硝酸塩、金属硫酸塩、金属酢酸塩、金属クエン
酸塩等が挙げられる。
【0027】本発明において原料として用いられる金属
元素Xの単純金属酸化物または金属酸化物前駆体として
は、例えば、酸化鉛、水酸化鉛、炭酸鉛、シュウ酸鉛、
硝酸鉛、硫酸鉛、酢酸鉛等の鉛化合物、酸化リチウム、
水酸化リチウム、炭酸リチウム、シュウ酸リチウム、硝
酸リチウム、硫酸リチウム、酢酸リチウム等のリチウム
化合物、
【0028】酸化ナトリウム、水酸化ナトリウム、炭酸
ナトリウム、シュウ酸ナトリウム、硝酸ナトリウム、硫
酸ナトリウム、酢酸ナトリウム等のナトリウム化合物、
酸化カリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、シュウ
酸カリウム、硝酸カリウム、硫酸カリウム、酢酸カリウ
ム等のカリウム化合物、
【0029】酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム、
炭酸マグネシウム、シュウ酸マグネシウム、硝酸マグネ
シウム、硫酸マグネシウム、酢酸マグネシウム等のマグ
ネシウム化合物、酸化カルシウム、水酸化カルシウム、
炭酸カルシウム、シュウ酸カルシウム、硝酸カルシウ
ム、硫酸カルシウム、酢酸カルシウム等のカルシウム化
合物、
【0030】酸化ストロンチウム、水酸化ストロンチウ
ム、炭酸ストロンチウム、シュウ酸ストロンチウム、硝
酸ストロンチウム、硫酸ストロンチウム、酢酸ストロン
チウム等のストロンチウム化合物、酸化バリウム、水酸
化バリウム、炭酸バリウム、シュウ酸バリウム、硝酸バ
リウム、硫酸バリウム、酢酸バリウム等のバリウム化合
物、
【0031】酸化ランタン、水酸化ランタン、炭酸ラン
タン、シュウ酸ランタン、硝酸ランタン、硫酸ランタ
ン、酢酸ランタン等のランタン化合物、酸化イットリウ
ム、水酸化イットリウム、炭酸イットリウム、シュウ酸
イットリウム、硝酸イットリウム、硫酸イットリウム、
酢酸イットリウム等のイットリウム化合物、等が挙げら
れる。
【0032】本発明において原料として用いられる金属
元素Mの単純金属酸化物または金属酸化物前駆体として
は、例えば、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、
シュウ酸アルミニウム、硝酸アルミニウム、硫酸アルミ
ニウム、酢酸アルミニウム等のアルミニウム化合物、酸
化マンガン、水酸化マンガン、炭酸マンガン、シュウ酸
マンガン、硝酸マンガン、硫酸マンガン、酢酸マンガン
等のマンガン化合物、
【0033】酸化チタン、水酸化チタニル、シュウ酸チ
タニル、硝酸チタニル、硫酸チタニル、酢酸チタニル等
のチタニウム化合物、酸化スズ、メタスズ酸、シュウ酸
スズ、硝酸スズ、硫酸スズ、酢酸スズ等のスズ化合物、
【0034】酸化ジルコニウム、水酸化ジルコニウム、
シュウ酸ジルコニウム、硝酸ジルコニウム、硫酸ジルコ
ニウム、酢酸ジルコニウム等のジルコニウム化合物、酸
化鉄、水酸化鉄、炭酸鉄、シュウ酸鉄、硝酸鉄、硫酸
鉄、酢酸鉄等の鉄化合物、酸化コバルト、水酸化コバル
ト、炭酸コバルト、シュウ酸コバルト、硝酸コバルト、
硫酸コバルト、酢酸コバルト等のコバルト化合物、
【0035】酸化ニッケル、水酸化ニッケル、炭酸ニッ
ケル、シュウ酸ニッケル、硝酸ニッケル、硫酸ニッケ
ル、酢酸ニッケル等のニッケル化合物、酸化マグネシウ
ム、水酸化マグネシウム、炭酸マグネシウム、シュウ酸
マグネシウム、硝酸マグネシウム、硫酸マグネシウム、
酢酸マグネシウム等のマグネシウム化合物、
【0036】酸化亜鉛、水酸化亜鉛、炭酸亜鉛、シュウ
酸亜鉛、硝酸亜鉛、硫酸亜鉛、酢酸亜鉛等の亜鉛化合
物、酸化ニオビウム、水酸化ニオビウム、シュウ酸ニオ
ビウム、硝酸ニオビウム、硫酸ニオビウム、酢酸ニオビ
ウム等のニオビウム化合物、
【0037】酸化タンタル、水酸化タンタル、シュウ酸
タンタル、硝酸タンタル、硫酸タンタル、酢酸タンタル
等のタンタル化合物、酸化タングステン、水酸化タング
ステン、シュウ酸タングステン、硝酸タングステン、硫
酸タングステン、酢酸タングステン等のタングステン化
合物、等が挙げられる。
【0038】また、金属原子XとMを含む複合金属酸化
物前駆体としては、例えば、複シュウ酸塩、複クエン酸
塩等が挙げられる。具体的には、シュウ酸バリウムチタ
ニル、シュウ酸鉛チタニル、シュウ酸ストロンチウムチ
タニル、シュウ酸カルシウムチタニル、シュウ酸マグネ
シウムチタニル、等のシュウ酸チタニル化合物、
【0039】シュウ酸バリウムジルコニル、シュウ酸鉛
ジルコニル、シュウ酸ストロンチウムジルコニル、シュ
ウ酸カルシウムジルコニル、シュウ酸マグネシウムジル
コニル、等のシュウ酸ジルコニル化合物、
【0040】クエン酸バリウムチタニル、クエン酸鉛チ
タニル、クエン酸ストロンチウムチタニル、クエン酸カ
ルシウムチタニル、クエン酸マグネシウムチタニル、等
のクエン酸チタニル化合物、
【0041】クエン酸バリウムジルコニル、クエン酸鉛
ジルコニル、クエン酸ストロンチウムジルコニル、クエ
ン酸カルシウムジルコニル、クエン酸マグネシウムジル
コニル、等のクエン酸ジルコニル化合物、及びこれらの
混合物を挙げることができる。
【0042】また、金属元素Xを含む酸化物と金属元素
Mを含む無定形の及び/または結晶性の酸化物の混合
物、或いは一般式XMO3 で表される無定形の複合酸化
物を原料として用いることもできる。また、目的とする
金属酸化物粉末の粒径制御、および粒度分布制御の目的
で、原料の粉末に種晶を添加したものを原料として用い
ることもできる。
【0043】本発明において用いる上記の各種の原料粉
末(以下、総称して原料粉末ということがある)は、い
わゆる粉末であればよく、理論密度に対する嵩密度は4
0%以下であることが好ましい。理論密度に対する嵩密
度が40%を越えるような成形体等を焼成すると、焼成
の過程で焼結反応が進行し、粉砕が必要となる場合があ
る。
【0044】本発明の方法の最大の特徴は、原料粉末を
焼成する雰囲気ガスとして、ヨウ化水素ガスおよび/ま
たは沃素ガスを含有する雰囲気ガスを選択して使用した
ことにある。
【0045】ヨウ化水素ガスおよび/または沃素ガスを
使用すると、原料粉末と目的物である複合金属化合物粉
末との自由エネルギーの差が負で大きな値となり、目的
物が極めて安定的に生成することが分かる。これに対し
て、塩化水素ガスおよび/または塩素ガスを使用する
と、原料粉末と目的物である複合金属化合物粉末との自
由エネルギーの差は、原料粉末によっては正の値とな
り、目的物の製造が非常に難しいことが分かる。
【0046】具体例を示すと以下のようである。 1)雰囲気ガス(Z2 またはHZ)が、塩素、塩化水素
の場合、塩化水素が平衡的に安定であり、Mは酸化物が
塩化物よりも安定であるので、 XZm +MOn/2 +(m+n)/2・H2 O → XMO3 +(m+n)HZ (1) のように反応が進行する。
【0047】2)雰囲気ガス(Z2 またはHZ)が、ヨ
ウ素、ヨウ化水素の場合、500℃以上では、ヨウ素が
安定であり、Mは該温度範囲で酸化物が安定であるの
で、 XZm +MOn/2 +(m+n)/4・O2 → XMO3 +(m+n)/2・Z2 (2) のように反応が進行する。
【0048】(ここで、M、Xは原料として用いられる
金属元素を表し、Zは雰囲気ガスとして用いられるハロ
ゲンガスまたはハロゲン化水素のハロゲン原子の種類を
表わす。m、nは該金属元素を表わす。)
【0049】雰囲気ガスが、塩素および/または塩化水
素の場合、金属酸化物と塩化物の安定性の差を表わす式
(1)における自由エネルギーの差は、900℃で、Pb
TiO3 (+40.4 KJ/mole) 、 MgTiO3 (−63 KJ/mole)
、 SrTiO3 (+10.6KJ/mole) 、 BaTiO3 (+58.4 KJ/
mole) 、 BaZrO3 (+84.5 KJ/mole) 、LiNbO3 (−27
KJ/mole) 、 LiTaO3 (−12.5 KJ/mole) 、 LaCrO3
(+64.9KJ/mole) などと計算される。
【0050】これに対して、雰囲気ガスが、ヨウ素およ
び/またはヨウ化水素の場合、金属酸化物とヨウ化物の
安定性の差を表わす式(2)における自由エネルギーの
差は、900℃で、PbTiO3 (−47 KJ/mole) 、 MgTiO
3 (−244KJ/mole) 、 SrTiO3 (−148 KJ/mole) 、 Ba
TiO3 (−102KJ/mole) 、 BaZrO3 (−76 KJ/mole) 、L
iNbO3 (−109KJ/mole) 、 LiTaO3 (−94 KJ/mole) 、
LaCrO3 (−300KJ/mole) などと計算される。
【0051】前述のように自由エネルギー差が負で大き
いほど生成物にとって好ましいので、雰囲気ガスがヨウ
素および/またはヨウ化水素の場合には、酸化物が圧倒
的に有利に生成する。
【0052】本発明においては、雰囲気ガスの全体積に
対してヨウ化水素ガスおよび/またはヨウ素ガスを1体
積%以上、好ましくは5体積%以上、さらに好ましくは
5体積%以上50体積%以下含有する雰囲気ガス中にて
原料粉末を焼成する。
【0053】雰囲気ガス中のヨウ化水素ガスおよび/ま
たはヨウ素ガスの希釈ガスとしては、窒素、アルゴン等
の不活性ガス、酸素、水蒸気、水素あるいは空気を用い
ることができる。ヨウ化水素ガスおよび/またはヨウ素
ガスを含有する雰囲気ガスの圧力は特に限定されず、工
業的に用いられる範囲において任意に選ぶことができ
る。
【0054】本発明における、雰囲気ガスの供給源や供
給方法は特に限定されない。原料粉末が存在する反応系
に雰囲気ガスを導入することができればよい。例えば、
雰囲気ガスの供給源としては、通常、ボンベガスを用い
ることができるが、ヨウ化アンモニウム等のヨウ素化合
物或いはヨウ素含有高分子化合物等からヨウ化水素やヨ
ウ素を含む雰囲気ガスを調製することもできる。原料粉
末とヨウ素化合物或いはヨウ素含有高分子化合物等を混
合したものを焼成炉内で焼成することによって雰囲気ガ
スを調製して用いてもよい。
【0055】ヨウ化アンモニウム等の分解ガスを用いる
場合は、焼成炉内に固体物質が析出することによる操業
上の問題を生じることがあるので、ヨウ化水素ガス等
は、ボンベ等から直接焼成炉内に供給することが好まし
い。雰囲気ガスの供給方法としては、連続方式または回
分方式のいずれでも用いることができる。
【0056】本発明の方法によれば、上記の雰囲気ガス
中で原料粉末を焼成することにより、この原料粉末と雰
囲気ガスとの作用によって、金属酸化物が成長し、凝集
粒子でなく、粒度分布の狭い、多面体形状を有する粒子
からなる目的の複合金属酸化物粉末が生成する。したが
って、例えば、原料粉末を容器等に充填して、雰囲気ガ
ス中で焼成を行うだけで、目的とする複合金属酸化物粉
末を得ることができる。
【0057】焼成温度は、目的とする複合金属酸化物の
種類、雰囲気ガス中のヨウ化水素あるいはヨウ素ガスの
濃度あるいは焼成時間にも依存するので、必ずしも限定
されないが、好ましくは500℃以上1500℃以下、
より好ましくは600℃以上1400℃以下、さらに好
ましくは800℃以上1200℃以下である。焼成温度
が500℃未満の場合は、目的とする2種以上の金属元
素と酸素の化合物である複合金属酸化物またはその固溶
体を得ることが困難となる、あるいは焼成に時間を要す
る場合があり、焼成温度が1500℃を越えると生成す
る複合金属酸化物粉末中に凝集粒子が多くなる場合があ
る。
【0058】焼成時間は、目的とする複合金属酸化物の
種類、雰囲気ガス中のヨウ化水素あるいはヨウ素ガスの
濃度および焼成温度にも依存するので、必ずしも限定さ
れないが、好ましくは1分以上、より好ましくは10分
以上で、目的とする複合金属酸化物が得られる時間の範
囲で適宜選択することができる。焼成時間は、焼成温度
が高いほど短くすることができる。
【0059】焼成装置は必ずしも限定されず、いわゆる
焼成炉を用いることができる。焼成炉はヨウ化水素ガ
ス、沃素ガスに腐食されない材質で構成されていること
が望ましく、さらには雰囲気を調整できる機構を備えて
いることが望ましい。また、ヨウ化水素ガスや沃素ガス
等の酸性ガスを用いるので、焼成炉には気密性があるこ
とが好ましい。工業的には連続方式で焼成することが好
ましく、例えば、トンネル炉、ロータリーキルンあるい
はプッシャー炉等を用いることができる。
【0060】焼成工程の中で用いられる原料粉末を充填
する容器の材質としては、酸性の雰囲気中で反応が進行
するので、アルミナ製、石英製、耐酸レンガ、グラファ
イトあるいは白金等の貴金属製のルツボやボート等の容
器を用いることが望ましい。
【0061】上記の製造方法によって、図面に示される
ように、凝集粒子でない、粒度分布の狭い、粒径の揃っ
た、2種以上の金属元素と酸素の化合物である金属酸化
物粉末を得ることができる。また、添加する種晶の数に
よって粒径を制御することもできる。さらに、用いる原
料粉末によっては、粒径及び形状の揃った多面体を有す
る単結晶粒子を得ることもできる。
【0062】用いる原料あるいは製造条件によっては軽
く凝集している場合もあるが、ジェットミル程度の簡単
な解砕を行うことによって容易に凝集粒子でない目的と
する複合金属酸化物粉末を製造することができる。
【0063】また、用いる原料あるいは製造条件によっ
ては、目的とする2種以上の金属元素と酸素の化合物で
ある複合金属酸化物粉末以外の副生成物、あるいは未反
応の原料金属酸化物等が残存することがあるが、その場
合においても残存量はわずかなものであり、簡単な洗浄
等の分離を行うことによって目的とする金属酸化物粉末
を容易に得ることができる。
【0064】本発明の方法によって得られる複合金属酸
化物粉末は、その数平均粒径は必ずしも限定されるもの
ではないが、好ましくは0.1μm〜300μm程度、
また、後述するD90/D10値は、好ましくは10以
下、より好ましくは5以下のものである。
【0065】本発明によれば、上記した優れた特性を有
する複合金属酸化物粉末を容易に製造することが可能で
あり、特に、LiNbO3 、LiTaO3 、BaTiO
3 、PbTiO3 、PbZrO3 、SrTiO3 または
それらの固溶体の製造に有効である。
【0066】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。な
お、本発明における、各種の測定はつぎのようにして行
った。
【0067】1.金属酸化物粉末の数平均粒径 金属酸化物粉末の走査型電子顕微鏡(日本電子(株)
製、T−300型)写真を写し、その写真から80ない
し100個の粒子を選び出して画像解析を行い、円相当
径の平均値とその分布を求めた。円相当径とは、面積が
等しい真円の直径に換算した値をいう。
【0068】2.金属酸化物粉末の粒度分布測定 粒度分布は、レーザー散乱法を測定原理とするマスター
サイザー(マルバルーン社製)あるいは、レーザー回折
式粒度分布測定装置(島津製作所製、SALD−110
0)を用いて測定した。金属酸化物粉末を0.5%ヘキ
サメタリン酸ソーダ水溶液に分散させて測定し、累積粒
度分布の微粒側から累積10%、累積50%、累積90
%の粒径を、それぞれD10、D50、D90とし、D
50の値を凝集粒径とし、粒度分布の尺度として、D9
0/D10の値を求めた。
【0069】3.金属酸化物粉末の結晶相 金属酸化物粉末の結晶相をX線回折法((株)リガク
製、RAD−C)によって求めた。
【0070】4.金属酸化物粉末のBET比表面積 金属酸化物粉末のBET比表面積をフローソーブII
(マイクロメリティックス社製)によって測定した。
【0071】ヨウ素/ヨウ化水素ガスはヨウ化アンモニ
ウム(和光純薬、試薬特級)をその昇華温度以上に加熱
して得られたヨウ化アンモニウム昇華ガスを利用するこ
とにより調製した。300mlの内容積の炉芯管中のヨ
ウ化アンモニウムは800℃では完全に気体になって分
解し、ヨウ化アンモニウム0.3g使用時に、窒素ガス
75体積%、酸素ガス15体積%、水蒸気8体積%、さ
らにヨウ化水素の分解によって生じるヨウ素(I、
2 )2体積%の雰囲気となる。
【0072】ヨウ化アンモニウム3g使用時には、窒素
ガス47体積%、ヨウ化水素ガス20体積%、水蒸気1
9体積%、水素13体積%、さらにヨウ化水素の分解に
よって生じるヨウ素(I、I2 )1体積%の雰囲気とな
る。
【0073】原料粉末を、アルミナ製あるいは白金製の
容器に充填した。充填深さは5mmとした。焼成は通
常、石英製炉芯管あるいはアルミナ製炉芯管を用いた管
状炉((株)モトヤマ製)で行った。空気あるいは窒素
ガスを流通させつつ、昇温速度を300℃/時間〜50
0℃/時間の範囲で昇温し、雰囲気導入温度になったと
き雰囲気ガスを導入した。
【0074】雰囲気ガス濃度の調整は、流量計によりガ
ス流量の調整によって行った。雰囲気ガスの全圧はすべ
て1気圧であった。所定の温度に到った後はその温度に
て所定の時間保持した。これをそれぞれ保持温度(焼成
温度)および保持時間(焼成時間)と称する。所定の保
持時間の経過後、自然放冷して目的とする複合金属酸化
物粉末を得た。
【0075】実施例1 炭酸バリウム(和光純薬)0.5モル、メタチタン酸粉
末(チタン工業)0.5モルをエタノール中でボールミ
ル混合した後、ロータリーエバポレータで乾燥して粉末
を得た。この粉末1gを白金製容器に充填した。つい
で、石英製炉芯管に別のボートに入れたヨウ化アンモニ
ウム3gと共にセットし、空気を室温から20ml/分
で流通させながら、600℃/時間で昇温し、1100
℃で60分間焼成した後自然放冷して、チタン酸バリウ
ム粉末を得た。得られたチタン酸バリウム粉末のX線回
折パターンを図1に示す。この分析の結果、本実施例で
得られた粉末の結晶形はBaTiO3 で示されるペロブ
スカイトであり、それ以外のピークは殆ど見られなかっ
た。走査型電子顕微鏡による観察の結果、数平均粒径は
0.8μm、D50は1.2μmであり、凝集の少ない
結晶性の高い粒子からなる粉末が得られた。D90/D
10の値は5以下である。電子顕微鏡写真(図2)に示
すように、極めて結晶性の高い、多面体形状を有する粒
子であった。
【0076】実施例2 酸化鉛粉末(和光純薬)0.5モル、メタチタン酸粉末
(チタン工業)0.5モルをエタノール中でボールミル
混合した後、ロータリーエバポレータで乾燥して粉末を
得た。この粉末1gを白金製容器に充填した。ついで、
石英製炉芯管に別のボートに入れたヨウ化アンモニウム
0.5gと共にセットし、空気を室温から20ml/分で
流通させながら、600℃/時間で昇温し、900℃で
60分間焼成した後自然放冷して、チタン酸鉛粉末を得
た。得られたチタン酸鉛粉末は、X線回折による分析の
結果、PbTiO3 で示されるペロブスカイトであり、
それ以外のピークは見られなかった。走査型電子顕微鏡
による観察の結果、数平均粒径は0.5μm、D50は
0.9μmで、結晶性の高い、凝集の少ない粒子からな
る粉末が得られた。粒子は結晶性が高く、多面体形状を
有していた。
【0077】実施例3 酸化鉛(和光純薬)0.5モル、メタチタン酸粉末(チ
タン工業)0.25モル、ジルコニア粉末(第一稀元素
化学)0.25モルをエタノール中でボールミル混合し
た後、ロータリーエバポレータで乾燥して粉末を得た。
この粉末1gを白金製容器に充填した。ついで、石英製
炉芯管に別のボートに入れたヨウ化アンモニウム1gと
共にセットし、空気を室温から20ml/分で流通させ
ながら、600℃/時間で昇温し、1000℃で60分
間焼成した後自然放冷して、Pb(Zr、Ti)O
3 (以下、PZTということがある)粉末を得た。得ら
れたPZT粉末は、X線回折による分析の結果、Pb
(Zr、Ti)O3で示されるペロブスカイトであり、
それ以外のピークは見られなかった。走査型電子顕微鏡
による観察の結果、数平均粒径は0.3μm、D50は
0.6μmであり、凝集が少なく、結晶性の高い粒子か
らなる粉末が得られた。粒子は結晶性が高く、多面体形
状を有していた。X線分析の結果は図3に示す。
【0078】実施例4 硝酸リチウム(和光純薬)0.5モル、酸化タンタル粉
末(和光純薬)0.5モルをイソプロパノール中でボー
ルミル混合した後、ロータリーエバポレータで乾燥して
粉末を得た。この粉末1gを白金製容器に充填した。つ
いで、石英製炉芯管に別のボートに入れたヨウ化アンモ
ニウム1gと共にセットし、空気を20ml/分で、ヨ
ウ化水素ガスボンベからヨウ化水素10ml/分を流通
させながら、室温から600℃/時間で昇温し、100
0℃で60分間焼成した後自然放冷して、LiTaO3
粉末を得た。得られたLiTaO3 粉末は、X線回折に
よる分析の結果、LiTaO3 で示されるペロブスカイ
トであり、それ以外のピークは見られなかった。走査型
電子顕微鏡による観察の結果、数平均粒径は0.3μ
m、D50は0.7μmで、凝集の少ない粉末が得られ
た。粒子は結晶性が高く、多面体形状を有していた。
【0079】比較例1 実施例1で用いた炭酸バリウムとメタチタン酸の混合粉
末粉末1gを白金製容器に充填した。ついで、石英製炉
芯管にセットし、空気を室温から20ml/分で流通さ
せながら、600℃/時間で昇温し、1100℃で60
分間焼成した後自然放冷して、チタン酸バリウム粉末を
得た。得られたチタン酸バリウム粉末のX線回折パター
ンを調べた結果、本比較例で得られた粉末の結晶形はB
aTiO3 で示されるペロブスカイトであった。走査型
電子顕微鏡による観察の結果、数平均粒径は0.3μ
m、D50は2.5μmであり、凝集粉末であった。で
あった。得られた粉末の電子顕微鏡写真を図4に示す。
X線回折では結晶化していたが、走査電子顕微鏡では単
結晶粒子は認められなかった。
【0080】比較例2 実施例2と全く同じ酸化鉛とメタチタン酸の混合粉末1
gを白金製容器に充填した。ついで、石英製炉芯管にヨ
ウ化アンモニウムなしで、空気を20ml/分で流通さ
せながら、室温から600℃/時間で昇温し、900℃
で60分間焼成した後自然放冷して、チタン酸鉛粉末を
得た。得られたチタン酸鉛粉末は、X線回折による分析
の結果、PbTiO3 で示されるペロブスカイト及びP
2 Ti2 6 で示されるパイロクロア相の混合であっ
た。走査型電子顕微鏡による観察の結果、数平均粒径は
0.5μm、D50は1.8μmであり、凝集粉末であ
った。また、X線回折のピーク高さも低く、結晶性は実
施例2で得られたものよりも低かった。
【0081】比較例3 実施例2と全く同じ酸化鉛とメタチタン酸の混合粉末1
gを白金製容器に充填した。ついで、石英製炉芯管にセ
ットし、空気を20ml/分で、塩化水素ボンベから塩
化水素ガスを20ml/分で流通させながら、室温から
600℃/時間で昇温し、900℃で60分間焼成した
後、自然放冷して粉末を得た。得られた粉末は、X線回
折による分析の結果、TiO2 で示されるルチル型及び
アナターゼ型酸化チタンの混合物であった。PbTiO
3 で示されるペロブスカイトに相当するピークは見出せ
なかった。また、粉末を水洗、濾過したところ、濾液中
にPb及びClが検出され、PbはPbCl2 となり、
一部は揮散、一は粉末中に残存したものと推定された。
【0082】実施例5 炭酸バリウム(和光純薬)0.5モル、メタチタン酸粉
末(チタン工業)0.5モルをエタノール中でボールミ
ル混合した後、ロータリーエバポレータで乾燥して粉末
を得た。この粉末1gを白金製容器に充填した。つい
で、石英製炉芯管に別のボートに入れたヨウ化アンモニ
ウム0.3gと共にセットし、空気を室温から20ml
/分で流通させながら、600℃/時間で昇温し、10
00℃で60分間焼成した後自然放冷して、チタン酸バ
リウム粉末を得た。得られたチタン酸バリウム粉末のX
線回折パターン分析の結果、本実施例で得られた粉末の
結晶形はBaTiO3 で示されるペロブスカイトであ
り、それ以外のピークは見られなかった。走査型電子顕
微鏡による観察の結果、数平均粒径は0.2μm、D5
0は0.6μmであり、凝集の少ない、結晶性の高い粒
子からなる粉末が得られた。D90/D10の値は10
以下である。電子顕微鏡写真(図5)に示すように、極
めて結晶性の高い、多面体形状を有する粒子であった。
【0083】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、凝集粒子が
少なく、粒度分布の狭い、結晶面を有する均質な多面体
粒子の集合体であるので、機能材料や構造材料としての
金属酸化物系セラミックスの原料粉末、フィラーや顔料
等の分散状態で使用される金属酸化物粉末、または単結
晶製造用の原料粉末や溶射用の原料粉末等として好適に
使用できる。
【0084】また、得られた複合金属酸化物粉末は、例
えば、ゴム、樹脂等と複合することにより圧電コンポジ
ットにして、アクチュエータ、感圧センサ、超音波検出
器等の圧電部品に、その分散性を生かしてコンデンサ
ー、圧電素子等のセラミックス焼結体原料に、また稀土
類イオンのドーピングによって蛍光体原料などに利用さ
れ得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1で得られた複合金属酸化物粉末のX線
回折図を示す。
【図2】実施例1で得られた複合金属酸化物粉末の粒子
構造を示す。図面に代わる写真(倍率30000倍の走
査電子顕微鏡写真)。
【図3】実施例3で得られた複合金属酸化物粉末のX線
回折図を示す。
【図4】比較例1で得られた複合金属酸化物粉末の粒子
構造を示す。図面に代わる写真(倍率30000倍の走
査電子顕微鏡写真)。
【図5】実施例5で得られた複合金属酸化物粉末の粒子
構造を示す。図面に代わる写真(倍率25000倍の走
査電子顕微鏡写真)。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式XMO3 (XはLi、Na、K、P
    b、Ba、Mg、Ca、Sr、La、Y及びBiからな
    る群から選ばれる少なくとも1種の原子であり、MはA
    l、Mn、Ti、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、C
    o、Ni、Nb、Ta及びWからなる群から選ばれる少
    なくとも1種の原子である。)で表される複合金属酸化
    物の製造方法であって、X及びMのそれぞれの単純金属
    酸化物の混合物、X及びMを含有する無定形の複合金属
    酸化物粒子またはそれらの混合物、或いは該単純金属酸
    化物及び該複合金属酸化物に転換し得る金属酸化物前駆
    体を、ヨウ素またはヨウ化水素の存在下に焼成すること
    を特徴とする一般式XMO3 で表される複合金属酸化物
    粉末の製造方法。
  2. 【請求項2】生成物である複合金属酸化物が、LiNb
    3 、LiTaO3、BaTiO3 、PbTiO3 、P
    bZrO3 、SrTiO3 またはそれらの固溶体である
    請求項1記載の複合金属酸化物粉末の製造方法。
  3. 【請求項3】ヨウ素またはヨウ化水素の濃度が1体積%
    以上である雰囲気ガス中で焼成する請求項1記載の複合
    金属酸化物粉末の製造方法。
  4. 【請求項4】焼成温度が500℃〜1500℃の範囲で
    ある請求項1記載の複合金属酸化物粉末の製造方法。
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