JP4743481B2 - チタン含有ペロブスカイト型化合物およびその製造方法 - Google Patents
チタン含有ペロブスカイト型化合物およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4743481B2 JP4743481B2 JP2005085088A JP2005085088A JP4743481B2 JP 4743481 B2 JP4743481 B2 JP 4743481B2 JP 2005085088 A JP2005085088 A JP 2005085088A JP 2005085088 A JP2005085088 A JP 2005085088A JP 4743481 B2 JP4743481 B2 JP 4743481B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- titanium
- titanium oxide
- producing
- containing perovskite
- perovskite compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
2. 次式(1)
3. BET比表面積3〜200m2/gを有する超微粒子酸化チタンを使用する前記1または2に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
4. 四塩化チタンを酸化性ガスで高温酸化して製造された酸化チタンを使用する前記1乃至3のいずれか1項に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
5. 500℃以上に予熱された四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスをそれぞれ流速10m/秒以上の導入速度で反応管に導入することにより製造された酸化チタンを使用する前記4に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
6. 前記反応管内において600℃を超える高温条件下に1秒以下の時間、四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスを滞留させ反応させて製造された酸化チタンを使用する前記5に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
7. 前記反応管内におけるガスの平均流速を5m/秒以上として製造された酸化チタンを使用する前記6に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
8. 予熱した四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスを、反応管内で乱気流を生じるように反応管内に導入することにより製造された酸化チタンを使用する前記4乃至7のいずれかに記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
9. 四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスを、内管の内径が50mm以下である同軸平行流ノズルにより反応管内に供給して製造された酸化チタンを使用する前記4乃至8のいずれかに記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
10. 前記四塩化チタン含有ガスが、四塩化チタンを10〜100%含有する前記4乃至9のいずれかに記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
11. 前記四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスを予熱する温度が800℃以上である前記4乃至10のいずれかに記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
12. 90%累積重量粒度分布径D90が2.2μm以下である酸化チタンを使用する前記1乃至11のいずれかに記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
13. 下記(2)のロジン・ラムラー式
14. アナターゼ型酸化チタンを含む酸化チタンを使用する前記1乃至13のいずれかに記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
15. 塩基性化合物の存在するアルカリ性溶液を使用する請求項1に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
16. 塩基性化合物が、アンモニア、有機アミン、及びアンモニウム塩の水酸化物から選択される前記15に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
17. 前記1乃至16のいずれかの方法により製造されたチタン含有ペロブスカイト型化合物。
18. 強誘電性である前記17記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物。
19. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を含む誘電材料。
20. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を含むペースト。
21. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を含むスラリー。
22. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を含む薄膜状形成物。
23. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を含む誘電体磁器。
24. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を含む焦電体磁器。
25. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を含む圧電体磁器。
26. 前記23に記載の誘電体磁器を含むコンデンサ。
27. 前記22乃至26のいずれか1項に記載の薄膜状形成物、磁器およびコンデンサからなる群から選ばれる少なくとも一種を含む電子機器。
28. 前記22乃至26のいずれか1項に記載の薄膜状形成物または磁器を一種または二種以上含むセンサー。
29. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を用いた誘電体フィルム。
30. 前記28に記載の誘電体フィルムを用いたコンデンサ。
31. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を用いた強誘電体メモリ。
32. 前記18に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物を用いた基板内コンデンサ。
本発明の実施態様の一つであるチタン含有ペロブスカイト型化合物から得られる誘電体磁器等の誘電材料を用いることにより積層セラミックコンデンサ、基板内コンデンサ、フィルムコンデンサ、圧電材料等の小型の電子部品が得られ、さらにこれらを電子機器に用いることにより、電子機器の小型化、軽量化が可能となる。
本発明のチタン含有ペロブスカイト型化合物は、一般式ABO3で表されるペロブスカイト型化合物であり、Aサイトを主としてアルカリ土類金属またはPbが占めると共に、BサイトをTiが占めた化合物をいう。例えば、AサイトをBa、BサイトをTiが占めた純粋なチタン酸バリウムでは130℃付近で正方晶から立方晶に相転移するが、本発明のチタン含有ペロブスカイト型化合物は、同様な相転移による強誘電性が確認される限りにおいて、Aサイトの一部が、他の金属元素で置換されていてもよい。
本発明の実施態様の一つである製造方法は、塩基性化合物の存在するアルカリ性溶液中で、気相法酸化チタンとアルカリ土類金属化合物を反応させる工程を含み、強誘電性を示すチタン含有ペロブスカイト型化合物を得ることを特徴とする、強誘電性を示すチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法である。本発明の方法によれば、焼成工程を含まない場合においても、強誘電性を示すチタン含有ペロブスカイト型化合物を製造することが可能である。
以下、本発明における原料となる酸化チタンの製造方法について、さらに具体的に説明する。
予熱温度が500℃より低いと、均一核の発生が少なく、かつ反応性が低いため粒度分布のブロードな粒子となってしまう。
例えば、同軸平行流ノズルの場合は、内管に四塩化チタンを含有するガスを導入する。ただし、ガスの混合の観点から内管径は50mm以下であることが好ましい。
ロジン・ラムラー式は下記式(2)で表される。
ここで、b=1/Denとおくと、(2)式は
式(2)または式(3)から下記式(4)が得られる。
また、本発明に用いる原料となる微粒子酸化チタンは、アナターゼ型結晶やブルッカイト型結晶を主相とするものが好ましい。
また、本発明に用いる原料となる微粒子酸化チタンは、一次粒子が3次元的に結合したネッキング構造を有するものでもよい。
このようにして製造されるチタン含有ペロブスカイト型化合物は、誘電体磁器、焦電体磁器、圧電体磁器、薄膜状形成物に成形される。
これらの磁器、薄膜状形成物は、コンデンサの材料、センサーなどに用いられる。
このような磁器、薄膜状形成物を用いた物品としては、特に制限されないが、発電機、自動車・電車などの車両、工作機械、テレビ・パソコン・冷蔵庫などの家電製品、大型コンピュータ・携帯電話などの電子機器などを例示することができる。
この積層セラミックコンデンサ(1)は、誘電体層(2)と内部電極(3,4)が順次積層されてなる積層体(5)と、この積層体(5)の側面に取り付けられた外部電極(6,7)とから構成されている。内部電極(3,4)はその側端部がそれぞれ積層体(5)の側面に露出しており、両端部の一方が外部電極(6,7)にそれぞれ接続されている。
誘電体層(2)は、ペロブスカイト型チタン含有複合酸化物の粉末がバインダー等により固化成形されてなるものである。また、内部電極(3,4)は例えばNi、Pd、Ag等から構成される。また外部電極(6,7)は例えば、Ag,Cu,Ni等の焼結体にNiメッキを施したもので構成される。
図1に示すコンデンサ(1)は、例えば、図2に示すように、携帯電話機(10)の回路基板(11)に実装されて用いられる。
まず、ペロブスカイト型チタン含有複合酸化物粉末と、バインダーと、分散剤と、水とを混合してスラリーを製造する。スラリーは予め真空脱気しておくことが好ましい。
次にこのスラリーをドクターブレード法などで基板に薄く塗布した後、加熱して水を蒸発させることにより、ペロブスカイト型チタン含有複合酸化物粉末を主成分とする誘電体層を形成する。
次に、積層体をコンデンサのサイズにカットしてから1000〜1350℃で焼成する。次に焼成後の積層体の側面に外部電極ペーストを塗布し、このペーストを600〜850℃で焼成する。最後に、外部電極の表面にNiメッキを施す。
上記の積層セラミックコンデンサ(1)は、本発明の好ましい実施態様であるペロブスカイト型チタン含有複合酸化物を誘電体として用いているので、コンデンサの静電容量を高めることができる。また上記のコンデンサ(1)は、本発明の好ましい実施態様であるペロブスカイト型チタン含有複合酸化物を誘電体として用いているので、誘電体層を薄くすることができ、これによりコンデンサ自体を小型にできる。また誘電体層が薄くなることで、コンデンサの静電容量をより高めることができる。
このような小型の積層セラミックコンデンサは、電子機器類、特に携帯電話機をはじめとする携帯型機器の部品として好適に用いることができる。
充填材を溶剤または上記樹脂組成物と溶剤の混合物に分散させスラリーを得るには、湿式解砕法を採用することが望ましい。
強誘電性は以下のいずれかの方法により評価可能であり、必ずしも両方の判定基準を満たす必要はない。例えば示差走査熱量計を使用する場合、示差走査熱量計の試料容器に300℃の温度で1時間以上乾燥させた試料を約20mg量りとり、−30〜200℃まで1〜20℃/分の一定速度で昇温する。強誘電性があれば昇温過程で立方晶に転移することに要する熱量に相当する吸熱ピークが現れる。このピークの有無を強誘電性の有無の判定基準とする。
強誘電性は、チタン酸バリウムが正方晶化されている割合をXRD測定することでも評価できる。立方晶と正方晶の区別は、正方晶の一重線(111)面と二重線(200,002)面の位置(それぞれ2θ=39°,46°近傍)にある2つのピークの半値幅を比較し、二重線の半値幅と一重線の半値幅の比を求める。比が1であれば立方晶、二重線の半値幅が一重線より大きくなると強誘電性は大きくなる。二重線と一重線の半値幅の比が2であれば、チタン酸バリウムは最大の強誘電性を有する。
なお、示差走査熱量計を使用する方法の場合、熱量計の感度が低いと、吸熱ピークが検出しづらい。そのような場合にはXRD法で判断することが好ましい。
ガス状四塩化チタン4.7Nm3/時間(Nは標準状態を意味する。以下同じ。)と窒素16Nm3/時間とを混合してなる四塩化チタンを含有するガスを1100℃に、空気20Nm3/時間と水蒸気25Nm3/時間とを混合してなる酸化性ガスを1000℃にそれぞれ予熱し、同軸平行流ノズルを用いて、それぞれ流速92m/秒、97m/秒で反応管に導入した。同軸平行流ノズルの内管径は20mmとし、内管に四塩化チタンを含有するガスを導入した。
XRDで二重線と一重線の半値幅の比を測定したところ、1.2であった。該粒子は強誘電性であることがわかった。
このように測定した粒度分布から10%累積重量分布径D10、50%累積重量分布D50、90%累積重量分布D90を求めた。該粒子のD10は0.03μm、D50は0.09μm、D90は0.50μmであった。
ガス状四塩化チタン9.4Nm3/時間と窒素6Nm3/時間とを混合してなる四塩化チタンを含有するガスを1000℃に、酸素10Nm3/時間と水蒸気30Nm3/時間とを混合してなる酸化性ガスを1000℃にそれぞれ予熱し、同軸平行流ノズルを用いて、それぞれ流速63m/秒、73m/秒で反応管に導入した。同軸平行流ノズルの内管径は20mmとし、内管に四塩化チタンを含有するガスを導入した。
反応管の内径は100mmであり、反応温度1310℃における管内流速は計算値で13m/秒であった。反応管内における高温滞留時間が0.2秒となるように、反応後冷却空気を反応管に導入し、その後、テフロン(登録商標)製バグフィルターを用いて微粒子粉末を捕集した。
得られた超微粒子酸化チタンは、BET比表面積が26m2/g、一次粒径60nmであった。また、アナターゼ型結晶を80%、ルチル型結晶を20%含有していた。また、得られた微粒子酸化チタンについてレーザー回折式粒度分布測定法により測定した粒度分布における90%累積重量粒度分布径D90は、0.8μmであり、ロジン・ラムラー式におけるn値は2.6であった。
理論収量に対する実収量の割合は99%であった。
得られた粉体は、一次粒径61nmのぺロブスカイト型のBaTiO3であることがわかった。粒子のSEM写真を図3に示す。
示差走査熱量計で強誘電性を確認したところ約130℃にピーク面積47mJ/mgの吸熱ピークが確認され、この粒子は強誘電性であることがわかった。
XRDで二重線と一重線の半値幅の比を測定したところ、1.4であった。該粒子は強誘電性であることがわかった。
実施例1と同様の操作で作成した見かけ比重3.2の錠剤の室温から1100℃における熱収縮率は1%であった。
実施例1と同様の操作により1020℃まで昇温し2時間保持した焼成粉末の一次粒径は0.28μm、c/a比は、1.0089であった。
実施例1と同様の操作によりペイントシェーカーで湿式解砕した。該粒子のD10は0.06μm、D50は0.24μm、D90は0.52μmであった。
上記で得られたチタン酸バリウムを用いて製造した誘電体磁器、誘電体フィルム、誘電体塗膜などの薄膜形状物、ならびにコンデンサ、圧電材料は優れた特性を有するものであった。
濃度100%のガス状四塩化チタン11.8Nm3/時間を含有するガスを1000℃に、8Nm3/時間の酸素および20Nm3/時間の水蒸気の混合ガスを1000℃にそれぞれ予熱して、同軸平行流ノズルを用いて、それぞれ流速49m/秒、60m/秒で反応管に導入した。同軸平行流ノズルの内管径は20mmとし、内管に四塩化チタンを含有するガスを導入した。
反応管の内径は100mmであり、反応温度1320℃における管内流速は計算値で10m/秒であった。反応管内の高温滞留時間が0.3秒以下となるように、反応後冷却空気を反応管に導入し、その後、テフロン(登録商標)製バグフィルターを用いて生成した微粒子粉末を捕集した。
得られた微粒子酸化チタンは、BET比表面積が16m2/g、一次粒径は90nmであった。また、アナターゼ型結晶を80%、ルチル型結晶を20%含有していた。また、得られた微粒子酸化チタンについてレーザー回折式粒度分布測定法により測定した粒度分布における90%累積重量粒度分布径D90は、0.8μmであり、ロジン・ラムラー式におけるn値は2.8であった。
得られた粉体は、一次粒径75nmのぺロブスカイト型のBaTiO3であることがわかった。
示差走査熱量計で強誘電性を確認したところ約130℃にピーク面積69mJ/mgの吸熱ピークが確認され、この粒子は強誘電性であることがわかった。
XRDで二重線と一重線の半値幅の比を測定したところ、1.9であった。該粒子は強誘電性であることがわかった。
実施例1と同様の操作で作成した見かけ比重3.3の錠剤の室温から1100℃における熱収縮率は、0.5%であった。
実施例1と同様の操作により室温から1100℃まで昇温し2時間保持した焼成粉末の一次粒径は0.25μm、c/a比は、1.0089であった。
実施例1と同様の操作によりペイントシェーカーで湿式解砕した。該粒子のD10は0.08μm、D50は0.33μm、D90は0.54μmであった。
上記で得られたチタン酸バリウムより製造した誘電体磁器、誘電体フィルム、誘電体塗膜などの薄膜形状物、ならびにコンデンサ、圧電材料は優れた特性を有するものであった。
濃度100%のガス状四塩化チタン11.8Nm3/時間を含有するガスを900℃に、5Nm3/時間の酸素および25Nm3/時間の水蒸気の混合ガスを900℃にそれぞれ予熱して、同軸平行流ノズルを用いて、それぞれ流速45m/秒、52m/秒で反応管に導入した。同軸平行流ノズルの内管径は20mmとし、内管に四塩化チタンを含有するガスを導入した。
反応管の内径は100mmであり、反応温度1050℃における管内流速は計算値で9m/秒であった。反応管内の高温滞留時間が2.5秒なるように、反応後冷却空気を反応管に導入し、その後、テフロン(登録商標)製バグフィルターを用いて製造された微粒子粉末を捕集した。
得られた微粒子酸化チタンは、BET比表面積が10m2/g、一次粒径は150nmであった。また、アナターゼ型結晶を90%、ルチル型結晶を10%含有していた。また、得られた微粒子酸化チタンについてレーザー回折式粒度分布測定法により測定した粒度分布における90%累積重量粒度分布径D90は、0.9μmであり、ロジン・ラムラー式におけるn値は2.6であった。
得られた粉体は、一次粒径170nmのぺロブスカイト型のBaTiO3であることがわかった。
示差走査熱量計で強誘電性を確認したところ約130℃にピーク面積144mJ/mgの吸熱ピークが確認され、該粒子は強誘電性であることがわかった。
XRDで二重線と一重線の半値幅の比を測定したところ、2.0であった。該粒子は強誘電性であることがわかった。
実施例1と同様の操作で作成した見かけ比重3.2の錠剤の室温から1100℃における熱収縮率は、0.2%であった。
実施例1と同様の操作により1200℃まで昇温し2時間保持した焼成粉末の一次粒径は0.23μm、c/a比は、1.0087であった。
実施例1と同様の操作によりペイントシェーカーで湿式解砕した。該粒子のD10は0.17μm、D50は0.40μm、D90は0.58μmであった。
上記で得られたチタン酸バリウムより製造した誘電体磁器、誘電体フィルム、誘電体塗膜などの薄膜形状物、ならびにコンデンサ、圧電材料は優れた特性を有するものであった。
気相法酸化チタンとして上記一次粒径60nmの酸化チタンを用い、水酸化バリウム8水和物126gの代わりに水酸化バリウム8水和物120gと水酸化カルシウム1.5gを用いた以外は、実施例1と同様の操作でチタン酸バリウムカルシウムを合成した。
理論収量に対する実収量の割合は99%であった。
得られた粉体は、一次粒径60nmのぺロブスカイト型のBa0.95Ca0.05TiO3であることがわかった。
示差走査熱量計で強誘電性を確認したところ約130℃にピーク面積50mJ/mgの吸熱ピークが確認された。該粒子は強誘電性であることがわかった。
XRDで二重線と一重線の半値幅の比を測定したところ、1.4であった。該粒子は強誘電性であることがわかった。
実施例1と同様の操作で作成した見かけ比重3.2の錠剤の室温から1100℃における熱収縮率は、1%であった。
実施例1と同様の操作により1050℃まで昇温し2時間保持した焼成粉末の一次粒径は0.21μm、c/a比は、1.0099であった。
実施例1と同様の操作によりペイントシェーカーで湿式解砕した。該粒子のD10は0.07μm、D50は0.21μm、D90は0.54μmであった。
当該チタン酸バリウムより得られた誘電体磁器、誘電体フィルム、誘電体塗膜などの薄膜形状物、ならびにコンデンサ、圧電材料は優れた特性を有するものであった。
四塩化チタン(純度99.9%)に水を加え、四塩化チタン濃度が0.25モル/リットル(酸化チタン換算2質量%)となるように溶液を調整した。この時、水溶液の液温が50℃以上に上昇しないように氷冷など適当な冷却装置を設けた。次に、この水溶液1リットルを還流冷却器付きの反応槽に装入し、沸点付近(104℃)まで加熱し、60分間保持して加水分解した。得られたゾルを冷却後、反応で生成した残留塩素を電気透析により取り除いた。得られた微粒子酸化チタンは、BET比表面積が120m2/g、一次粒径は12nmであった。また、ブルッカイト型結晶を80%、アナターゼ型結晶を20%含有していた。
得られた粉体は、一次粒径24nmのぺロブスカイト型のBaTiO3であることがわかった。
示差走査熱量計で強誘電性を確認したところ相転移に伴う吸熱ピークは検知されず、該粒子が強誘電性であることは確認されなかった。
XRDで二重線と一重線の半値幅の比を測定したところ、1.0であった。
実施例1と同様の操作で作成した見かけ比重3.2の錠剤の室温から1100℃における熱収縮率は18%であった。
実施例1と同様の操作により900℃まで昇温し2時間保持した焼成粉末の一次粒径は0.16μm、c/a比は、1.0088であった。
実施例1と同様の操作によりペイントシェーカーで湿式解砕した。該粒子のD10は0.40μm、D50は1.60μm、D90は3.3μmであった。
原料として、酸化チタンゾルを用いたものは強誘電性を示さず、耐熱性が悪く分散性が悪かった。
ガス状四塩化チタン10Nm3/時間と窒素8Nm3/時間とを混合してなる四塩化チタンを含有するガスを1100℃に、5Nm3/時間の酸素および24Nm3/時間の水蒸気の混合ガスを1100℃にそれぞれ予熱して、同軸平行流ノズルを用いて、それぞれ流速80m/秒、56m/秒で反応管に導入した。同軸平行流ノズルの内管径は20mmとし、内管に四塩化チタンを含有するガスを導入した。
反応管の内径は100mmであり、反応温度1280℃における管内流速は計算値で12m/秒であった。反応管内の高温滞留時間が1.5秒となるように、反応後冷却空気を反応管に導入し、その後、テフロン(登録商標)製バグフィルターを用いて製造された微粒子粉末を捕集した。
得られた微粒子酸化チタンは、BET比表面積が16m2/g、一次粒径は90nmであった。また、アナターゼ型結晶を10%、ルチル型結晶を90%含有していた。また、得られた微粒子酸化チタンについてレーザー回折式粒度分布測定法により測定した粒度分布における90%累積重量粒度分布径D90は、0.8μmであり、ロジン・ラムラー式におけるn値は2.8であった。
得られた粉体は、一次粒径80nmのぺロブスカイト型のBaTiO3であることがわかった。
示差走査熱量計で強誘電性を確認したところ相転移に伴う吸熱ピークは検知されず、該粒子が強誘電性であることは確認されなかった。
XRDで二重線と一重線の半値幅の比を測定したところ、1.0であった。
実施例1と同様の操作で作成した見かけ比重3.3の錠剤の室温から1100℃における熱収縮率は、0.5%であった。
実施例1と同様の操作により室温から1100℃まで昇温し2時間保持した焼成粉末の一次粒径は0.23μm、c/a比は、1.0065であった。
実施例1と同様の操作によりペイントシェーカーで湿式解砕した。該粒子のD10は0.09μm、D50は0.35μm、D90は0.55μmであった。
ルチル化率が90%の気相法酸化チタンを用いると、反応率が悪く、強誘電性を示さなかった。
2 誘電体層
3,4 内部電極
5 積層体
6,7 外部電極
10 携帯電話機
11 回路基板
Claims (16)
- 気相法で製造され、アナターゼ型結晶またはブルッカイト型結晶を含有する酸化チタンと、水溶性アルカリ土類金属化合物とを、アルカリ性溶液中で、40℃〜溶液の沸点温度または100℃〜溶液の臨界温度、pH11以上の条件で反応させることにより強誘電性を示すチタン含有ペロブスカイト型化合物を製造する方法。
- 次式(1)
- BET比表面積3〜200m2/gを有する超微粒子酸化チタンを使用する請求項1に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 四塩化チタンを酸化性ガスで高温酸化して製造された酸化チタンを使用する請求項1に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 500℃以上に予熱された四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスをそれぞれ流速10m/秒以上の導入速度で反応管に導入することにより製造された酸化チタンを使用する請求項4に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 前記反応管内において600℃を超える高温条件下に1秒以下の時間、四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスを滞留させ反応させて製造された酸化チタンを使用する請求項5に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 前記反応管内におけるガスの平均流速を5m/秒以上として製造された酸化チタンを使用する請求項6に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 予熱した四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスを、反応管内で乱気流を生じるように反応管内に導入することにより製造された酸化チタンを使用する請求項1に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスを、内管の内径が50mm以下である同軸平行流ノズルにより反応管内に供給して製造された酸化チタンを使用する請求項8に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 前記四塩化チタン含有ガスが、四塩化チタンを10〜100%含有する請求項4乃至9のいずれかに記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 前記四塩化チタン含有ガス及び酸化性ガスを予熱する温度が800℃以上である請求項5に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 90%累積重量粒度分布径D90が2.2μm以下である酸化チタンを使用する請求項1に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 下記(2)のロジン・ラムラー式
- アナターゼ型酸化チタンを含む酸化チタンを使用する請求項1に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 塩基性化合物の存在するアルカリ性溶液を使用する請求項1に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
- 塩基性化合物が、アンモニア、有機アミン、及びアンモニウム塩の水酸化物から選択される請求項15に記載のチタン含有ペロブスカイト型化合物の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005085088A JP4743481B2 (ja) | 2004-03-25 | 2005-03-24 | チタン含有ペロブスカイト型化合物およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004089328 | 2004-03-25 | ||
JP2004089328 | 2004-03-25 | ||
JP2005085088A JP4743481B2 (ja) | 2004-03-25 | 2005-03-24 | チタン含有ペロブスカイト型化合物およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005306728A JP2005306728A (ja) | 2005-11-04 |
JP4743481B2 true JP4743481B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=35435896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005085088A Expired - Fee Related JP4743481B2 (ja) | 2004-03-25 | 2005-03-24 | チタン含有ペロブスカイト型化合物およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4743481B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080031267A (ko) | 2005-07-29 | 2008-04-08 | 쇼와 덴코 가부시키가이샤 | 복합 산화물 막, 그 제조 방법, 복합 산화물 막을 포함하는유전 재료, 압전 재료, 콘덴서, 압전 소자 및 전자기기 |
CN101351407B (zh) | 2005-12-28 | 2012-07-04 | 昭和电工株式会社 | 复合氧化物膜及其制造方法、复合体及其制造方法、介电材料、压电材料、电容器、压电元件和电子设备 |
JP5094415B2 (ja) | 2005-12-28 | 2012-12-12 | 昭和電工株式会社 | 複合酸化物膜及びその製造方法、複合体及びその製造方法、誘電材料、圧電材料、コンデンサ並びに電子機器 |
JP5294201B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2013-09-18 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 誘電体素子とその製造方法 |
KR101153654B1 (ko) * | 2008-08-29 | 2012-06-18 | 국립대학법인 홋가이도 다이가쿠 | 산화티탄 입자의 제조 방법 |
JP5375838B2 (ja) * | 2011-01-05 | 2013-12-25 | 株式会社村田製作所 | ペロブスカイト型複合酸化物粉末の製造方法 |
JP5573729B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2014-08-20 | 株式会社村田製作所 | ペロブスカイト型複合酸化物の製造方法 |
CN105453201B (zh) * | 2013-07-30 | 2018-10-02 | 京瓷株式会社 | 电介质膜、膜电容器以及电子设备 |
JP6236562B1 (ja) * | 2017-04-27 | 2017-11-22 | テイカ株式会社 | チタン酸化合物を主成分とする複合酸化物材料 |
JP7343074B1 (ja) * | 2021-10-15 | 2023-09-12 | 戸田工業株式会社 | チタン酸ストロンチウム微粒子粉末及び分散体、樹脂組成物 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000035811A1 (fr) * | 1998-12-11 | 2000-06-22 | Showa Denko K.K. | Oxyde composite de type perovskite renfermant du titane |
WO2001016027A1 (fr) * | 1999-08-30 | 2001-03-08 | Showa Denko K.K. | Particules d'oxyde de titane et leur procede de production |
JP2002053320A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-19 | Samsung Electro Mech Co Ltd | シュウ酸塩工程によるチタン酸バリウム系粉末の製造方法 |
JP2002234771A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-23 | Murata Mfg Co Ltd | 正方晶ペロブスカイト構造を有する酸化物粉末およびその製造方法、誘電体セラミックならびに積層セラミックコンデンサ |
JP2002265278A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Murata Mfg Co Ltd | 酸化チタン粉末およびその製造方法、チタン酸バリウム粉末の製造方法、誘電体セラミック、ならびに積層セラミックコンデンサ |
WO2003004416A1 (fr) * | 2001-07-04 | 2003-01-16 | Showa Denko K. K. | Titanate de baryum et procede de production associe |
JP2003252623A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-09-10 | Murata Mfg Co Ltd | 複合酸化物粉末の製造方法、及び複合酸化物粉末 |
JP2003277057A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-02 | Showa Denko Kk | 高純度酸化チタンおよびその製造方法 |
JP2005008445A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Tdk Corp | チタン酸バリウム粉末の製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0375594A1 (en) * | 1988-12-23 | 1990-06-27 | United Technologies Corporation | Preparation of thin films of ferroelectric materials |
JPH06227816A (ja) * | 1993-02-02 | 1994-08-16 | Chichibu Cement Co Ltd | ペロブスカイト型前駆体粉末及びその製造方法 |
JP3224905B2 (ja) * | 1993-05-10 | 2001-11-05 | 株式会社村田製作所 | 複合酸化物薄膜及びその製造方法 |
JPH07291607A (ja) * | 1994-04-21 | 1995-11-07 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックス粉体の製造方法 |
JPH08119633A (ja) * | 1994-10-25 | 1996-05-14 | Sony Corp | チタン酸バリウム微粒子の製造方法 |
JPH08169715A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-02 | Nikon Corp | 複合酸化物微粒子の合成方法及び複合酸化物微粒子 |
JPH08239215A (ja) * | 1995-03-02 | 1996-09-17 | Chichibu Onoda Cement Corp | チタン酸バリウム系半導体磁器組成物原料の製造方法 |
JP3656355B2 (ja) * | 1997-03-10 | 2005-06-08 | 昭和電工株式会社 | 塩素含有量の少ない微粒子酸化チタン粉末及びその製造法 |
-
2005
- 2005-03-24 JP JP2005085088A patent/JP4743481B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000035811A1 (fr) * | 1998-12-11 | 2000-06-22 | Showa Denko K.K. | Oxyde composite de type perovskite renfermant du titane |
WO2001016027A1 (fr) * | 1999-08-30 | 2001-03-08 | Showa Denko K.K. | Particules d'oxyde de titane et leur procede de production |
JP2002053320A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-19 | Samsung Electro Mech Co Ltd | シュウ酸塩工程によるチタン酸バリウム系粉末の製造方法 |
JP2002234771A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-23 | Murata Mfg Co Ltd | 正方晶ペロブスカイト構造を有する酸化物粉末およびその製造方法、誘電体セラミックならびに積層セラミックコンデンサ |
JP2002265278A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Murata Mfg Co Ltd | 酸化チタン粉末およびその製造方法、チタン酸バリウム粉末の製造方法、誘電体セラミック、ならびに積層セラミックコンデンサ |
WO2003004416A1 (fr) * | 2001-07-04 | 2003-01-16 | Showa Denko K. K. | Titanate de baryum et procede de production associe |
JP2003252623A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-09-10 | Murata Mfg Co Ltd | 複合酸化物粉末の製造方法、及び複合酸化物粉末 |
JP2003277057A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-02 | Showa Denko Kk | 高純度酸化チタンおよびその製造方法 |
JP2005008445A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Tdk Corp | チタン酸バリウム粉末の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005306728A (ja) | 2005-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI290539B (en) | Barium titanate and capacitor | |
JP4743481B2 (ja) | チタン含有ペロブスカイト型化合物およびその製造方法 | |
US20070205389A1 (en) | Titanium-Containing Perovskite Compound and Production Method Thereof | |
JP5089870B2 (ja) | チタン酸バリウムカルシウムおよびその製造方法ならびにコンデンサ | |
KR100837025B1 (ko) | 바륨 칼슘 티타네이트, 이의 제조 방법 및 캐패시터 | |
RU2373154C2 (ru) | Высокодисперсные щелочноземельные титанаты и способы их получения с использованием частиц окиси титана | |
JP3980272B2 (ja) | ペロブスカイト型チタン含有複合酸化物粒子、そのゾルと製造方法、および薄膜 | |
TWI228493B (en) | Barium titanate and electronic parts using the same | |
KR20090023180A (ko) | 복합 산화물 분말 및 그 제조 방법, 복합 산화물 분말을 사용한 세라믹 조성물 그리고 그것을 사용한 세라믹 전자 부품 | |
JP2006265003A (ja) | 誘電体セラミック形成用組成物および誘電体セラミック材料 | |
JP3800651B2 (ja) | 複合金属酸化物粉末の製造方法 | |
KR101904579B1 (ko) | 옥살산바륨티타닐의 제조 방법 및 티탄산바륨의 제조 방법 | |
US7001585B2 (en) | Method of making barium titanate | |
JP3751304B2 (ja) | チタン酸バリウムおよびそれを用いた電子部品 | |
US8715614B2 (en) | High-gravity reactive precipitation process for the preparation of barium titanate powders | |
US8431109B2 (en) | Process for production of composition | |
EP1777198A1 (en) | Fine barium titanate particles | |
JP2011116645A (ja) | チタン酸カルシウムおよびその製造方法 | |
JP2006199578A (ja) | ペロブスカイト型チタン含有複合酸化物およびその製造方法並びにコンデンサ | |
JP4657621B2 (ja) | ペロブスカイト型チタン含有複合酸化物粒子、その製造方法及び用途 | |
JP2007091549A (ja) | シェル成分含有ペロブスカイト型複合酸化物粉末およびその製造方法 | |
Hwu et al. | Characterization of dielectric barium titanate powders prepared by homogeneous precipitation chemical reaction for embedded capacitor applications | |
CN101014539A (zh) | 钛酸钙钡、其制造方法及电容器 | |
JP4671618B2 (ja) | チタン酸カルシウムおよびその製造方法 | |
TWI396661B (zh) | 含鈦之鈣鈦礦型化合物及其製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070705 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110408 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110427 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110427 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4743481 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |