JPH08183182A - 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法ならびに前記液体噴射記録ヘッドを搭載する液体噴射記録装置 - Google Patents

液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法ならびに前記液体噴射記録ヘッドを搭載する液体噴射記録装置

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JPH08183182A
JPH08183182A JP33927794A JP33927794A JPH08183182A JP H08183182 A JPH08183182 A JP H08183182A JP 33927794 A JP33927794 A JP 33927794A JP 33927794 A JP33927794 A JP 33927794A JP H08183182 A JPH08183182 A JP H08183182A
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昌士 宮川
Shin Ishimatsu
伸 石松
Tadaki Inamoto
忠喜 稲本
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 オリフィスや液流路を有する樹脂製天板をレ
ーザ光によって基板に溶着する。 【構成】 ポリサルフォン等で作られた樹脂製天板２
は、記録液を吐出するオリフィス２ａ等を有し、射出成
形によって一体成形される。電気熱変換素子１ｂを有す
る基板１上に樹脂製天板２を位置決めしてフィンガＦに
よって軽く押圧し、樹脂製天板２の外側からＹＡＧレー
ザ等のレーザ光Ｌを照射する。レーザ光Ｌは樹脂製天板
２を透過して基板１との接触面に到達し、これらを溶着
して基板１と樹脂製天板２を一体化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微細な吐出口（オリフ
ィス）から飛翔液滴を吐出して被記録媒体（記録紙等）
に記録（印刷）を行なう液体噴射記録ヘッドおよびその
製造方法ならびに前記液体噴射記録ヘッドを搭載する液
体噴射記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】記録液（インク）を、微細な吐出口（オ
リフィス）から飛翔液滴として吐出して被記録媒体（記
録紙等）に記録（印刷）を行なう液体噴射記録ヘッド
は、複数の電気熱変換素子とそのリード電極を有する基
板（ヒーターボード）を有し、該基板上に液流路（ノズ
ル）や共通液室を形成する樹脂製のノズル層を積層した
うえで、記録液の供給口を備えたガラス製の天板を重ね
たものが一般的であるが、最近では、ガラス製の天板を
省略し、液流路および共通液室に加えて記録液の供給口
等を一体的に設けた樹脂製の天板部材（以下、「樹脂製
天板」という。）を射出成形等によって一体成形し、こ
れを、弾性部材によって基板に押圧しこれと一体化した
液体噴射記録ヘッドが開発されている。このような液体
噴射記録ヘッドは、組立部品点数が大幅に削減され、か
つ組立工程も極めて簡略化されるため、液体噴射記録装
置の低コストに大きく貢献するものとして期待されてい
る。
【０００３】図１４は樹脂製天板を用いた液体噴射記録
ヘッドＥ0 の主要部を、樹脂製天板の一部分を破断した
状態で示すもので、これは、複数の電気熱変換素子１０
０１ａを有する基板１００１と、各電気熱変換素子１０
０１ａ上に位置する液流路１００２ａとこれに連通する
共通液室１００２ｂを備えた樹脂製天板１００２を有
し、樹脂製天板１００２には、各液流路１００２ａに連
通する吐出口（オリフィス）１００２ｃを有するオリフ
ィスプレート部１００２ｄと、共通液室１００２ｂに開
口する記録液供給口１００２ｅを有する筒状突出部１０
０２ｆが一体的に設けられている。
【０００４】このように液流路１００２ａや共通液室１
００２ｂに加えてオリフィスプレート部１００２ｄと筒
状突出部１００２ｆを有する樹脂製天板１００２を射出
成形等によって一体的に形成し、各液流路１００２ａが
基板１００１の電気熱変換素子１００１ａ上に位置する
ように位置決めしたうえで（図１５参照）、図示しない
弾性部材によって樹脂製天板１００２を基板１００１に
押圧し、これと一体的に結合させる。基板１００１は、
各電気熱変換素子１００１ａに電気信号を発生する駆動
回路を搭載した配線基板１００３とともに、ベースプレ
ート１００４上にビス止め等公知の方法で固着される。
【０００５】このようにして組み立てられた液体噴射記
録ヘッドＥ0 は、図１６に示すように記録液供給部材等
を内蔵する外枠部材１００５によってカートリッジ１０
０６に組み付けられる。なお、カートリッジ１００６内
には、記録液をしみ込ませて貯蔵するスポンジが収容さ
れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、樹脂製天板を弾性部材
によって基板に押圧して一体化すると、弾性部材の押圧
力によっては樹脂製天板に歪が発生して液流路や吐出口
が変形し、このために液滴吐出性能が著しく損われる場
合がある。
【０００７】特に、フルラインタイプ等長尺の液体噴射
記録ヘッドを製作する際に、樹脂製天板を複数の天板ブ
ロックに分割し、これらをそれぞれ個別に弾性部材によ
って基板に一体化するような場合は、各弾性部材の押圧
力やその作用位置を同じにするのは極めて困難であるか
ら、各天板ブロック毎に液滴吐出性能が大きく異るなど
のトラブルを発生する。
【０００８】加えて、樹脂製天板を弾性部材によって基
板に押圧するだけでは記録液の漏出を防ぐのに不充分な
ことがあるため、液体噴射記録ヘッドＥ0 を組み立てた
うえで所定の部位に液状の封止剤が注入される。しかし
ながら、このように封止剤を用いた場合には封止剤の硬
化に要する時間のためにタクトが長くなり、液体噴射記
録ヘッドの生産性が大きく損われる。特に前述のフルラ
インタイプ等長尺の液体噴射記録ヘッドの場合は封止剤
を所定の部位に過不足なく供給することが困難であるた
め、生産性が著しく低下する。
【０００９】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、液流路や共通液室を有す
る樹脂製天板と基板の組立工程が簡単で、両者を一体化
するための弾性部材や、樹脂製天板と基板の間から記録
液が漏出するのを防ぐための封止剤等を必要としない液
体噴射記録ヘッドおよびその製造方法ならびに前記液体
噴射記録ヘッドを搭載する液体噴射記録装置を提供する
ことを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の液体噴射記録ヘッドは、記録液を流動させる液
流路を有する樹脂製天板と、前記記録液を吐出するため
の吐出エネルギー発生手段を有する基板を備えており、
前記樹脂製天板と前記基板が、両者の接触面をレーザ光
によって溶着することで一体化されていることを特徴と
する。
【００１１】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法
は、液流路を有する樹脂製天板を吐出エネルギー発生手
段を有する基板上に位置決めしたうえで、前記樹脂製天
板の外側から該樹脂製天板と前記基板の接触面にレーザ
光を照射してこれらを溶着させる工程を有することを特
徴とする。
【００１２】予め基板の表面に樹脂製天板と密着性のよ
い樹脂膜を設けておくとよい。
【００１３】また、基板の表面に予め、レーザ光に対す
る反射率が６０％以下の無機質膜を設けておくとよい。
【００１４】また、予め基板および樹脂製天板の接触面
の少なくとも一方にレーザ光を吸収しやすい物質を被着
させておくとよい。
【００１５】また、樹脂製天板に突出部を設けておき、
基板上に前記樹脂製天板を位置決めするときに前記突出
部の先端を基板に接触させるとよい。
【００１６】
【作用】吐出エネルギー発生手段を有する基板と液流路
を有する樹脂製天板の接触面がＹＡＧレーザ等のレーザ
光によって溶着されているため、基板と樹脂製天板を一
体化するための弾性部材等を必要とせず、従って、液体
噴射記録ヘッドの組立工程が簡単で組立部品点数も大幅
に削減できるうえに、弾性部材等の押圧力によって樹脂
製天板が変形して液流路等の形状精度が損なわれるおそ
れもない。
【００１７】また、基板と樹脂製天板の間から記録液が
漏出するのを防ぐための封止剤等を注入する必要もな
い。
【００１８】ポリサルフォンやポリエーテルサルフォン
等の樹脂材料は、ＹＡＧレーザ等のレーザ光の吸収率が
低いため、前記樹脂材料で作られた樹脂製天板の外側か
らレーザ光を照射しても樹脂製天板を著しく加熱するこ
となく樹脂製天板と基板の接触面のみを加熱、溶融して
溶着させることができる。
【００１９】予め基板の表面に樹脂製天板と密着性のよ
い樹脂膜を設けておけば、レーザ光のエネルギーが小さ
くても基板と樹脂製天板を強固に溶着できる。
【００２０】また、予め基板の表面にレーザ光に対する
反射率が６０％以下の無機質膜を設けておけば、レーザ
光のエネルギー損失が少ない。
【００２１】従って、基板と樹脂製天板を速やかに溶着
できる。
【００２２】また、予め基板および樹脂製天板の接触面
の少なくとも一方にレーザ光を吸収しやすい物質を被着
させておけば、レーザ光のエネルギー損失が少ない。
【００２３】また、樹脂製天板に突出部を設けておき、
基板上に前記樹脂製天板を位置決めするときに前記突出
部の先端を基板に接触させれば、樹脂製天板の突出部に
レーザ光のエネルギーが集中するため、少ないエネルギ
ーで基板と樹脂製天板を強固に溶着できる。
【００２４】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００２５】図１は第１実施例による液体噴射記録ヘッ
ドＥ1 の主要部の組立方法を説明する模式斜視図であっ
て、液体噴射記録ヘッドＥ1 の主要部の組み立ては、基
板（ヒーターボード）１と樹脂製天板２を位置決めして
重ねたものをＸＹステージＳ上に載置し、ガラス製のフ
ィンガＦによって樹脂製天板２を基板１に押圧した状態
で、ＹＡＧレーザから、樹脂製天板２と基板１の接触面
に焦点を合わせたレーザ光Ｌを照射し、樹脂製天板２と
基板１を溶着させることによって行なわれる。
【００２６】図２および図３に示すように、基板１は、
シリコン基板を基材とする基体１ａとその表面に形成さ
れた吐出エネルギー発生手段である複数の電気熱変換素
子１ｂとこれを保護する保護層１ｃからなり、基体１ａ
は、シリコン基板の表面に酸化層を設け、これに蓄熱層
を被着させたものであり、各電気熱変換素子１ｂは基体
１ａの表面を覆う図示しない発熱抵抗層がこれに被着さ
れた配線パターンの中断部から露出する部分によって構
成される。また、保護層１ｃは、電気熱変換素子１ｂや
そのリード電極として機能する配線パターンを覆う絶縁
層と、これを記録液（インク）のキャビテーションから
防ぐためのタンタル膜等を有する。
【００２７】樹脂製天板２は、その一端面（前面）に開
口する複数のオリフィス２ａと、各オリフィス２ａに連
通する液流路（ノズル）２ｂと、その後方に設けられた
共通液室２ｃを有し、樹脂製天板２の頂部には共通液室
２ｃに記録液（インク）を供給する記録液供給管２ｄが
突出しており、各液流路２ｂの間の隔壁２ｅの表面と、
樹脂製天板２全体の外周壁２ｆの端面が基板１の表面に
押圧され、前述のようにＹＡＧレーザのレーザ光Ｌによ
って加熱、溶融されて基板１に溶着される。
【００２８】樹脂製天板２は、ポリサルフォンやポリエ
ーテルサルフォン等を材料とし、射出成形によって一体
成形される。
【００２９】ポリサルフォンやポリエーテルサルフォン
は分子構造中に水素結合を持たず、従って、多くの樹脂
のなかでも特にＹＡＧレーザのレーザ光の吸収率が低い
ため、樹脂製天板２を通して基板１との接触面に集光さ
せても樹脂製天板２全体が溶融するおそれはない。
【００３０】なお、ＸＹステージＳはＮＣ制御等によっ
て所定のプログラムに従って移動し、基板１と樹脂製天
板２の接触面すべてを逐次あるいは連続的にＹＡＧレー
ザの焦点位置に移動させる。
【００３１】樹脂製天板２は前述のようにＹＡＧレーザ
のレーザ光Ｌに対して高い透過率を有するが、わずかな
吸収であっても、レーザ光Ｌを集光させる光学系のｆナ
ンバー（焦点距離をレンズ径で除した値）が大きいとレ
ーザ光Ｌの強度が高い場合には局部的に樹脂製天板２が
コゲるおそれがある。そこでレーザ光Ｌを集光させる光
学系にはｆナンバーの小さいものを用いるのが望まし
い。
【００３２】また、ＹＡＧレーザの光学系のｆナンバー
が大きくても樹脂製天板２の厚さを小さくしたり、レー
ザ光Ｌの強度を弱めることで樹脂製天板２がコゲるのを
防ぐことも可能であるため、これらの条件を組み合わせ
て最適化し、できるだけタクトを縮小して生産性を向上
させるとよい。
【００３３】図４は第１変形例を示す。これは基板１と
樹脂製天板２の間の溶着力を強化するために基板１の表
面に予め樹脂製天板２と密着性のよい樹脂膜１１を被着
させておくものである。
【００３４】基板１の表面には前述のようにタンタル膜
等が被着され、タンタル膜は一般的にレーザ光に対する
反射率が高いため、これを直接樹脂製天板２に溶着させ
るには高出力のレーザ光を用いなければならず、樹脂製
天板２の熱変形によってオリフィス２ａ、液流路２ｂ等
の寸法が変化するおそれがあるが、基板１の表面に予め
樹脂膜１１を被着させておけば比較的低い温度で基板１
と樹脂製天板２を充分に溶着させることができる。基板
１の表面の樹脂膜１１は各電気熱変換素子１ｂに面した
部分は不要であるから後述する方法でパターニングする
のが望ましい。
【００３５】樹脂膜１１の材料は耐インク特性が高く、
また液体噴射記録ヘッドの使用環境に耐え得る耐熱性を
有している樹脂材料であれば、何れの樹脂を使用しても
構わないが、樹脂製天板２を構成する樹脂材料と同一の
ものであればより高い接着力を得ることができる。これ
ら樹脂は溶剤に溶解せしめ、スピンコートやバーコート
等のソルベントコート法にて基板上に塗布、乾燥して形
成することができる。また樹脂を熱等にて溶融し、その
まま基板にホットメルト方式にて塗布することも可能で
ある。樹脂膜１１のパターニングは、樹脂溶液をスクリ
ーン印刷等のパターニングできる手段にて塗布する方法
や、樹脂被膜を形成した後にパターニングする方法を採
用してもよいし、あるいは、光や電離放射線照射にてパ
ターニングできる樹脂を使用してもよい。
【００３６】樹脂被膜に感光性がない場合は、エキシマ
レーザ光にてパターニングしたり、あるいは該被膜上に
感光性樹脂のパターンを形成した後に酸素プラズマにて
該樹脂膜をエッチングする手段を用いることができる。
特にシリコン系レジストを該被膜上にてパターニングせ
しめて酸素プラズマにてエッチングする手段は、工程数
が少なく、ウエハ一括の処理が可能であり、また樹脂膜
とのエッチング選択比が大きい等の利点を有しているた
め、最も好ましい。シリコン系レジストとしては、富士
ハントテクノロジー社製ＦＨ−ＳＰや東ソー社製ＳＮＲ
等を使用することが可能である。酸素プラズマによるエ
ッチングは通常のＲＩＥ装置を使用することができる。
【００３７】樹脂被膜として感光性の材料を使用するこ
とも可能であるが、感光性材料のベース樹脂として使用
されるノボラック樹脂やアクリル樹脂および添加される
感光剤は耐インク性が十分高くないため、使用には注意
が必要である。該感光性樹脂としてはノボラック樹脂と
ナフトキノンジアジド誘導体との混合系から構成される
ポジ型フォトレジストや、不飽和二重結合を有するアク
リル樹脂と感光剤との混合系から構成されるネガ型のフ
ォトレジスト、ゴム系高分子材料とアジド化合物との混
合系から構成されるゴム系フォトレジスト等何れの材料
も使用できる。
【００３８】露光手段として電離放射線であるＤｅｅｐ
−ＵＶ光や、電子線、Ｘ線等を使用する場合には、感光
剤を基本的には必要とせず、上記ノボラックやアクリル
等の樹脂以外の高分子材料も使用できるため樹脂の選択
の範囲は広い。該樹脂としては、クロロメチル化ポリス
チレン、クロロメチル化ポリαメチルスチレン、ポリ−
４−ビニルフェノール等の樹脂を使用することが可能で
ある。
【００３９】図５は第２変形例を示し、これは、基板１
の保護層１ｃの表面のタンタル膜を陽極酸化あるいは気
相酸化し、無機質膜である５酸化タンタル膜２１を形成
させたうえで、第１変形例と同様の樹脂膜３１を被着さ
せたものである。
【００４０】５酸化タンタル膜２１は、タンタル膜と同
様に耐キャビテーション性に優れており、しかも各種の
樹脂に対する接着性がすぐれており、かつ、ＹＡＧレー
ザのレーザ光Ｌに対して６０％以下の低い反射率を有す
る。
【００４１】従って、樹脂製天板２を透過したレーザ光
Ｌのエネルギーの大部分が基板１の５酸化タンタル膜２
１と樹脂膜３１に吸収され、基板１と樹脂製天板２の接
触面を瞬時に加熱、溶融し、溶着させることができる。
なお、５酸化タンタル膜２１のみでレーザ光Ｌの吸収が
充分であれば、樹脂膜３１を省略してもよい。
【００４２】このように、基板１の表面に５酸化タンタ
ル膜２１が形成されていれば、レーザ光Ｌを基板１と樹
脂製天板２の接触面に集光させることなく、基板１の全
面あるいはこれを数個に分割した部分を例えば金属性の
マスク等を介在させて一括露光することで、基板１と樹
脂製天板２を充分に溶着させることができる。
【００４３】一括露光を採用すれば、基板１と樹脂製天
板２の組み立てに要する時間が大幅に短縮され、加え
て、ＸＹステージＳを細かく走行させる必要がないた
め、制御装置等も大幅に簡略化されて液体噴射記録ヘッ
ドの低価格化に大きく役立つ。
【００４４】図６は本実施例の液体噴射記録ヘッドＥ1
の外観を示す斜視図である。基板１と樹脂製天板２はレ
ーザ光Ｌによる溶着によって一体化されたものであるた
め、従来例のように弾性部材等を必要とせず、従って樹
脂製天板２が押圧力のために変形するおそれがない。
【００４５】加えて、基板１と樹脂製天板２の間は溶着
によって充分に封止されており、従来例のように改めて
封止剤等を用いて密封処理を施す必要がないため、製造
工程も大幅に簡略化できる。
【００４６】その結果、オリフィスや液流路の形状精度
が高く、しかも製造コストの低い液体噴射記録ヘッドを
実現できる。
【００４７】図７に示すようなフルラインタイプの液体
噴射記録ヘッドを製作する場合には、本実施例による液
体噴射記録ヘッドＥ1 と同様に組み立てられた多数の液
体噴射記録ヘッドユニット４０を長尺の放熱板４３に固
定するだけでよい。各液体噴射記録ヘッドユニット４０
の基板４１と樹脂製天板４２を従来例のように弾性部材
によって一体化する場合に比べて組立工程が簡単であ
り、かつ、封止剤を必要としないために多くのトラブル
を回避できる。すなわち、封止剤が不均一に分散して基
板４１と樹脂製天板４２の間から記録液が漏出するおそ
れがないうえに、封止剤の注入による樹脂製天板４２の
位置ずれ等の心配もない。従って、本実施例による液体
噴射記録ヘッドの製造方法は、特に長尺の液体噴射記録
ヘッドを製造する際にきわだって有利である。
【００４８】次に、本実施例の具体例を説明する。
【００４９】（第１具体例）基板上に５酸化タンタル膜
および樹脂膜を形成せしめ、一括露光によって樹脂製天
板と基板を溶着する。
【００５０】まず、真空成膜法と汎用的フォトリソグラ
フィ技術にて電気熱変換素子、アルミ製の配線パター
ン、保護膜および耐キャビテーション層としてタンタル
膜を形成した基板上に、５酸化タンタル膜を形成し、そ
の上に樹脂膜を以下の方法で形成した。
【００５１】アモコ社製ポリサルフォンを１０倍量のジ
クロルエタンに溶解した後、シクロヘキサノンにて２倍
に希釈した溶液を作製し、これをスピンコート法にて塗
布し、９０℃で３０分間プリベークを行なった後、３５
０℃で１０分間キュアを行なって樹脂膜と５酸化タンタ
ル膜の密着力を高め、次いで富士ハントテクノロジー社
製シリコン含有ポジ型フォトレジストをスピンコート法
にて塗布しホットプレートにて１２０℃で１２０秒間プ
リベークを行なった。これら被膜の膜厚は、５酸化タン
タル膜０．２μｍ、樹脂膜１．０μｍ、ポジ型レジスト
層０．５μｍであった。
【００５２】次いでキヤノン製マスクアライナーＰＬＡ
−６０１にてレジストに対して２５カウントのパターン
露光を行なった。該パターンは基板と樹脂製天板の接触
面に全て樹脂膜が残存するようにパターン形成した。現
像は専用現像液ＦＰＨ−５にてディップ９０秒を要して
現像した。基板を日電アネルバ社製ＲＩＥ装置に投入
し、酸素プラズマにて樹脂膜のドライエッチングを行な
った。ガス圧力は８Ｐａ，投入電力０．３３Ｗ／ｃｍ2
で行ない、エッチング時間は１８０秒であった。そのま
ま基板をアセトンにて洗浄し、レジスト層の溶解除去を
行なった。この後、基板をダイシングソーにて切断し、
アルミ製ベースプレートにダイボンディングした。アル
ミ製ベースプレートには予め、印字装置との電気接続を
行なうためのコンタクトパッドを形成した回路基板が貼
り付けてあり、該回路基板と電気熱変換素子を形成した
基板をワイヤーボンディングにて接続した。
【００５３】次いで射出成形によって記録液供給管、共
通液室、液流路を有する樹脂製天板を形成し、エキシマ
レーザを用いてオリフィスを開けたのち、樹脂製天板を
基板上に乗せ、ガラスフィンガに樹脂製天板を吸着し、
基板上の電気熱変換素子と、樹脂製天板の液流路を位置
合わせした。該位置合わせは、基板に形成したアライメ
ントマーク位置を予め画像処理にて確認し、該マーク位
置に対してオリフィスを画像処理しつつガラスフィンガ
を移動せしめて行なった。
【００５４】次いでガラスフィンガによって樹脂製天板
を基板に押し付けながら、ＹＡＧレーザからレーザ光を
照射し、レーザ照射装置は日立建機社製ＬＵ１００を使
用し、パルスエネルギー１５Ｊ、パルス幅１ｍｓにて３
００Ｈｚで１秒間照射した。尚フォーカス位置に対して
基板表面が６０ｍｍ高くなるようにＸＹステージを制御
した。該デフォーカス位置にてビーム直径はφ２０とな
り、基板（５×１２ｍｍ）全域に亘ってレーザ照射が可
能となる。また、ガラスフィンガ上面３ｍｍの位置に照
射面積に対応した（ニッケル製）穴開きマスク（７×１
４ｍｍ）を設置し、レーザの照射領域を限定した。
【００５５】このようにして基板と樹脂製天板を強固に
溶着することができた。
【００５６】（第２具体例）光学系によってＹＡＧレー
ザのレーザ光を集光せしめ、基板をＮＣ制御にて動かす
ことによって溶着箇所のみに照射する方法を採用した。
【００５７】まず、第１具体例と同様にして、基板表面
にポリサルフォン樹脂膜を形成し、パターニングした。
次いで第１具体例と同様にして作製した樹脂製天板を基
板上に乗せ、両者を位置合わせし、ガラスフィンガによ
って樹脂製天板を基板面に圧着しつつレーザ照射を行な
った。レーザ照射は第１具体例と同様の装置にて行な
い、基板表面が焦点位置となるようにＸＹステージの高
さを調整した。レーザパルスエネルギーは５Ｊ、パルス
幅０．５ｍｓ、繰返し周波数は３００Ｈｚとした。また
光学系は、出射光部φ２０、焦点距離４０ｍｍとした。
【００５８】該照射条件にてＸＹステージを０．５ｍ／
ｓｅｃの速度で移動させ、樹脂製天板の外周壁および液
流路の間のリブにレーザ光を照射した。
【００５９】このようにして基板と樹脂製天板を強固に
溶着できた。
【００６０】（第３具体例）基板表面に５酸化タンタル
膜を形成したのみで基板と樹脂製天板を溶着した。ま
ず、第１具体例と同様に真空成膜にて５酸化タンタル膜
を形成した基板を、ダイシングソーにて切断した後、ア
ルミ製ベースプレートにダイボンディングを行なった。
次いで樹脂製天板を基板上に乗せ、両者を位置合わせ
し、ガラスフィンガによって樹脂製天板を基板に圧着し
つつ、ＹＡＧレーザのレーザ光を照射し、本具体例にお
いては、基板表面に樹脂膜を形成してないため、レーザ
の照射時間を５秒と長くした。その結果、樹脂製天板を
強固に接着することができた。
【００６１】（第４具体例）基板表面に５酸化タンタル
膜や樹脂膜を設けることなくＹＡＧレーザのレーザ光を
基板と樹脂製天板の接触面に焦点を絞って照射した。
【００６２】まず、第１具体例と同様に製作した基板を
ダイシングソーにて切断し、アルミ製ベースプレートに
ダイボンディングした。次いで樹脂製天板を基板上に乗
せて、位置合わせし、ガラスフィンガによって基板に樹
脂製天板を押圧しつつ第２具体例と同様の方法でレーザ
光を照射した。ＸＹステージの移動速度は０．２ｍ／ｓ
ｅｃと遅くした。その結果、樹脂製天板と基板を強固に
溶着することができた。図８は第２実施例による液体噴
射記録ヘッドＥ2 を示すもので、これは第１実施例の基
板１および樹脂製天板２とそれぞれ同様の基板５１およ
び樹脂製天板５２のそれぞれの接触面に、ＹＡＧレーザ
のレーザ光の吸収剤を含有する樹脂膜５３，５４を被着
させることで、基板５１と樹脂製天板５２をより少ない
エネルギーで確実に溶着させたものである。図９は、樹
脂膜５３，５４を被着させた基板５１と樹脂製天板５２
のそれぞれの接触面を示す斜視図である。
【００６３】すなわち、照射するレーザ光に低エネルギ
ーのものを用いることで、樹脂製天板５２に吸収される
レーザエルネギーを低減して樹脂製天板５２の熱変形を
防ぎ、オリフィス５２ａや液流路５２ｂの寸法精度の低
下を回避することができる。なお、基板５１に被着させ
る樹脂膜５３は第１実施例の第１変形例の樹脂膜１１と
同様の方法で成膜、パターニングされたものであり、ま
た、樹脂製天板５２の樹脂膜５４は、液状の樹脂をフレ
キソ印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷等によって
各リブ５２ｅおよび外周壁５２ｆの端面に塗布したもの
である。
【００６４】各樹脂膜５３，５４の母材となる樹脂材料
は、樹脂製天板５２の溶融温度と同程度の溶融温度を有
するもので、樹脂製天板５２との密着強度の高いものが
好ましい。また、耐インク性が高く、液体噴射記録ヘッ
ドＥ2 の使用環境に耐え得る耐熱性を有している樹脂材
料であれば、いずれの樹脂を使用しても良いが、樹脂性
天板５２と同種のものが最適である。具体的には、ポリ
アセタール、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエ
ーテルケトン、ポリアリレート、ポリサルフォン、ポリ
フェニレンサルファイドなどを用いることができる。ま
た、各樹脂膜５３，５４に含有するレーザ光の吸収剤と
しては、カーボン粒子、あるいは近赤外線を吸収する染
料が挙げられる。近赤外線を吸収する材料の具体例とし
ては、三井東圧染料（株）社製の以下のものを挙げるこ
とができる。
【００６５】ＳＩＲ−１１４（アントラキノン系染
料）、ＳＩＲ−１２８、ＳＩＲ−１３０、ＳＩＲ−１３
２、ＳＩＲ−１５９、ＳＩＲ−１５２、ＳＩＲ−１６
２、ＰＡ−１００１、ＰＡ−１００６（金属錯体系染
料）、ＳＩＲ−１０３、ＫＩＲ−１０３（フタロシアニ
ン系染料）。これらの吸収剤は、いずれもＹＡＧレーザ
のレーザ光の波長１０６４ｎｍ付近に吸収が有り、予め
上記の樹脂材料中に含有された状態で用いることもでき
るし、樹脂材料のみを基板５１と樹脂性天板５２に塗布
したのちに吸収剤を拡散させてもよい。
【００６６】なお、レーザ光の吸収が充分であれば、基
板と樹脂製天板のいずれか一方のみに吸収剤を含有する
樹脂膜を設けてもよい。
【００６７】次に本実施例の具体例を説明する。
【００６８】（第５具体例）まず、ポリサルフォンをジ
クロロメタンに溶解し、２％溶液を調整した。これにＳ
ＩＲ−１２８８三井東圧染料（株）社製品面：近紫外線
吸収剤）を０．５％溶解させた。この溶液を電気熱変換
素子（材質ＨｆＢ2 ）を１２８個有する基板上に、３０
００ｒｐｍの回転数でスピンコートした。
【００６９】これを８０℃で３０分間乾燥し塗布層を得
た。厚さは２μｍであった。次にこの基板をＸＹステー
ジにセットし、ＫｒＦエキシマレーザ発振装置をＸＹス
テージの動きと連動させて、その発振を制御し、樹脂製
天板と接触するところ以外の塗布層を除去し樹脂膜を形
成した。次に射出成形によって製作したポリサルフォン
製の樹脂製天板を基板に対して位置合わせし、ガラス製
のフィンガで軽く押圧し、ＹＡＧレーザ発振装置にセッ
トし、フィンガと樹脂製天板越しに０．５ｍＪ／ｐｕｌ
ｓ ｃｍ2 のパルスを１パルス照射した。これによっ
て、基板と樹脂製天板は充分に溶着した。オリフィスや
液流路の変形は全く認められず、製品としての液体噴射
記録ヘッドの印字品位は良好で長期にわたって使用して
も劣化は認められなかった。
【００７０】（第６具体例）第５具体例と同様の方法で
製作した液体噴射記録ヘッド５５個を１１個ずつ１組に
して放熱板に固定し、５個のフルラインタイプの液体噴
射記録ヘッドを製作した。それぞれについて印字品位を
調べたところいずれも良好で長期にわたって使用しても
劣化せず、また、製品ごとのバラつきもほとんど認めら
れなかった。
【００７１】（第７具体例）第５具体例の染料の替わり
にカーボンを０．３％含有するポリサルフォン溶液を用
いた以外は第５具体例と同様の方法で液体噴射記録ヘッ
ドを製作したところ、印字品位は良好で、長期の使用に
おいても樹脂製天板が剥がれる等のトラブルはなく、印
字品位の劣化も認められなかった。 （第８具体例）第７具体例と同様の液体噴射記録ヘッド
を５５個製作し、１１個ずつ１組にして放熱板に固定し
て５個のフルラインタイプの液体噴射記録ヘッドを製作
した。それぞれについて印字品位を調べたところいずれ
も良好で長期にわたって使用しても劣化せず、また、製
品ごとのバラつきもほとんど認められなかった。
【００７２】図１０は第３実施例による液体噴射記録ヘ
ッドＥ3 を示すもので、これは、第１実施例の樹脂製天
板２と同様の樹脂製天板６２の各リブ６２ｅと外周壁６
２ｆの端面にテーパー状の突出部である微小な柱状突起
６３を設け、各柱状突起６３にＹＡＧレーザのレーザ光
のエネルギーを集中させて基板６１に溶着させる。樹脂
製天板６２の残りの部分はほとんど加熱されず、低エネ
ルギーのレーザ光を用いて堅固に溶着できる。従って、
オリフィス６２ａや液流路６２ｂの寸法精度が損なわれ
るおそれがない。
【００７３】樹脂製天板６２の端面に柱状突起６３を設
けるには、樹脂製天板６２を射出成形するときの成形型
に柱状突起６３の逆形状の凹所を形成しておけばよい。
これは、硬度の高い微小粒子を成形型に衝突させるか、
前記微小粒子を接着した工具を成形型に押しつけるか、
あるいは、超硬バイトを用いて毛がく方法を採用すれば
よい。
【００７４】なお、図１１は柱状突起６３を有する樹脂
製天板６２を裏返えした状態で示すものであるが、柱状
突起６３に替えて、図１２に示すように、テーパー状の
断面を有し、各端面に沿ってのびるリブ状突起６４を用
いてもよい。
【００７５】また、第１実施例および第２実施例の樹脂
膜１１，３１，５３と同様の樹脂膜を基板６１の表面に
成膜、パターニングしておけば、より一層確実に基板６
１と樹脂製天板６２を溶着することができる。
【００７６】次に本実施例の具体例を説明する。
【００７７】（第９具体例）まず、ポリサルフォンをジ
クロロメタンに溶解し、２％溶液を調整した。これを電
気熱変換素子（材質ＨｆＢ2 ）が１２８個形成された基
板上に、３０００ｒｐｍの回転数でスピンコートした。
【００７８】これを８０℃で３０分間乾燥し塗布層を得
た。厚さは２μｍであった。次にこの基板をＸＹステー
ジにセットし、ＫｒＦエキシマレーザ発振装置をＸＹス
テージの動きと連動させて、その発振を制御し、樹脂性
天板と接触するところ以外の塗布層を除去し樹脂膜を形
成した。次に超硬バイトの先端で凹部を形成した成形型
を用いて成形したポリサルフォン製の樹脂製天板を基板
に対して位置合わせをし、ガラス製のフィンガで軽く圧
接させた。このようにして位置合わせした基板と樹脂製
天板をＹＡＧレーザ発振装置にセットし、ガラス製のフ
ィンガと樹脂製天板越しに１．５ｍＪ／ｐｕｌｓ ｃｍ
2 のパルスを１パルス照射した。これによって基板と樹
脂製天板は充分に溶着した。オリフィスや液流路の変形
は全く認められず、製品としての液体噴射記録ヘッドの
印字品位は良好で長期にわたって使用しても劣化は認め
られなかった。
【００７９】（第１０具体例）第９具体例と同様の方法
で製作した液体噴射記録ヘッド５５個を１１個ずつ１組
にして放熱板に固定し、５個のフルラインタイプの液体
噴射記録ヘッドを製作した。それぞれについて印字品位
を調べたところ、いずれも良好で長期にわたって使用し
ても劣化せず、また、製造ごとのバラつきもほとんど認
められなかった。
【００８０】（第１１具体例）第９具体例の超硬バイト
の先端で凹部を形成した成形型の替わりに超硬バイトを
用いた毛がきによって筋状の凹部を形成した成形型を用
いてポリサルフォン製の樹脂製天板を射出成形した以外
は第９具体例と同様の方法で液体噴射記録ヘッドを製作
した。基板と樹脂製天板は充分に溶着しており、オリフ
ィスや液流路の変形も認められず、印字品位も良好で、
長期の使用においても樹脂製天板の剥がれや印字品位の
劣化は認められなかった。
【００８１】（第１２具体例）第１１具体例と同様の方
法で製作した液体噴射記録ヘッド５５個を１１個ずつ１
組にして放熱板に固定し、５個のフルラインタイプの液
体噴射記録ヘッドを製作した。それぞれについて印字品
位を調べたところ、いずれも良好で長期にわたって使用
しても劣化せず、また、製造ごとのバラつきもほとんど
認められなかった。
【００８２】次に、本発明の液体噴射記録ヘッドを搭載
した液体噴射記装置について説明する。
【００８３】図１３において、１０１ａ〜１０１ｄはそ
れぞれ、フルライン型の液体噴射記録ヘッド（以下、
「ヘッド」という。）であり、これらはホルダ１０２に
より矢印Ｘ方向に所定の間隔を持って互いに平行に固定
支持されている。各ヘッド１０１ａ〜１０１ｄの下面に
は矢印Ｙ方向に沿って、１列に１６吐出口／ｍｍの間隔
で３４５６個の吐出口が下向きに設けられており、これ
により２１６ｍｍ幅の記録が可能となっている。
【００８４】これらのヘッド１０１ａ〜１０１ｄは熱エ
ネルギーを用いて記録液を吐出する方式のものであり、
ヘッドドライバー１２０によって吐出制御されている。
【００８５】なお、前記ヘッド１０１ａ〜１０１ｄおよ
びホルダ１０２を含めてヘッドユニットが構成され、該
ヘッドユニットはヘッド移動手段１２４により、上下方
向に移動されるようになっている。
【００８６】また、前記ヘッド１０１ａ〜１０１ｄに対
応してその下部に隣接して配置されたキャップ１０３ａ
〜１０３ｄはそれぞれ内部にスポンジ等のインク吸収部
材を有する。
【００８７】前記キャップ１０３ａ〜１０３ｄは不図示
のホルダにより固定支持されており、該ホルダおよびキ
ャップ１０３ａ〜１０３ｄを含んでキャップユニットが
構成され、該キャップユニットはキャップ移動手段１２
５により矢印Ｘ方向に移動されるようになっている。
【００８８】各ヘッド１０１ａ〜１０１ｄにはそれぞ
れ、インクタンク１０４ａ〜１０４ｄからインク供給チ
ューブ１０５ａ〜１０５ｄを通じてシアン、マゼンタ、
イエロー、ブラックの各色のインクが供給され、カラー
記録を可能としている。
【００８９】また、このインク供給はヘッド吐出口の毛
細管現象を利用しており、各インクタンク１０４ａ〜１
０４ｄの液面は吐出口位置より一定距離だけ低く設定さ
れている。
【００９０】次に、液体噴射記録ヘッドに対向するよう
に被記録媒体を搬送するための搬送装置について説明す
る。
【００９１】ベルト１０６は被記録材である記録紙１２
７を搬送するためのものであって帯電可能なシームレス
ベルトからなる。
【００９２】ベルト１０６は駆動ローラ１０７、アイド
ルローラ１０９，１０９ａおよびテンションローラ１１
０により所定の経路に引きまわされており、前記駆動ロ
ーラ１０７に接続され、モータードライバー１２１によ
り駆動されるベルト駆動モーター１０８により、走行さ
れる。
【００９３】また、ベルト１０６はヘッド１０１ａ〜１
０１ｄの吐出口の直下において矢印Ｘ方向に走行し、こ
こでは固定支持部材１２６により、下側のブレを抑制さ
れている。
【００９４】ベルト１０６の図示下方には、ベルト１０
６の表面に付着している紙粉等を除去するクリーニング
ユニット１１７が配設されている。
【００９５】前記ベルト１０６を帯電させる帯電器１１
２は、帯電器ドライバー１２２により、ＯＮ、ＯＦＦさ
れ、この帯電による静電的吸着力により、記録紙１２７
をベルト１０６に吸着する。
【００９６】帯電器１１２の前後には前記アイドルロー
ラ１０９，１０９ａと共同して搬送記録紙１２７をベル
ト１０６に押し付けるためのピンチローラ１１１，１１
１ａが配置されている。
【００９７】給紙カセット１１３内の記録紙１２７は給
紙ローラ１１６の回転により１枚ずつ送り出され、モー
タードライバー１２３により駆動される搬送ローラ１１
４およびピンチローラ１１５により矢印Ｘ方向に山形ガ
イド１１３へと搬送される。該山形ガイド１１３は記録
紙１２７のたわみを許容する山形のスペースを有する。
【００９８】記録の終了した記録紙１２７は排紙トレイ
１１８に排出される。
【００９９】前記ヘッドドライバー１２０、ヘッド移動
手段１２４、キャップ移動手段１２５、モータードライ
バー１２１，２２３および帯電器ドライバー１２２はす
べて制御回路１１９により制御される。
【０１００】本発明は、特に液体噴射記録方式の中で熱
エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行なう
インクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装置に於い
て、優れた効果をもたらすものである。
【０１０１】その代表的な構成す原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。
【０１０２】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている吐出エネルギー発生手段である電気熱変換
素子に、記録情報に対応して記録液（インク）に核沸騰
現象を越え、膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇
を与えるためのエネルギーである少なくとも一つの駆動
信号を駆動手段を介して印加することによって、熱エネ
ルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を
生じさせる。このように記録液（インク）から電気熱変
換素子に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡を形
成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有効で
ある。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して記録
液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成
する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に
気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた
記録液（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。こ
のパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６３
３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載さ
れているようなものが適している。なお、上記熱作用面
の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４
号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優
れた記録を行なうことができる。
【０１０３】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
素子を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流
路）の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国
特許第４４５９６００号明細書に開示されているよう
に、熱作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つも
のにも本発明は有効である。
【０１０４】加えて、複数の電気熱変換素子に対して、
共通するスリットを電気熱変換素子の吐出口とする構成
を開示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネ
ルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構
成を開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づ
いた構成を有するものにおいても本発明は有効である。
【０１０５】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、キャリッジに搭載されて走行するシリア
ルタイプの記録ヘッドがある。
【０１０６】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
【０１０７】また、本発明の液体噴射記録装置に、記録
ヘッドに対する回復手段や予備的な補助手段を付加する
ことは、記録装置を一層安定にすることができるので好
ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘ
ッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング手
段、加圧或は吸引手段、電気熱変換素子或はこれとは別
の加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。
【０１０８】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。
【０１０９】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。
【０１１０】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
み合わせた複写装置、さらには送受信機能を有するファ
クシミリ装置の形態を採るものであってもよい。
【０１１１】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
【０１１２】液流路や共通液室を有する樹脂製天板と基
板の組立工程が簡単で組立部品点数も大幅に削減できる
うえに、弾性部材を用いて基板と樹脂製天板を一体化す
る場合のように樹脂製天板が変形するおそれもない。そ
の結果、安価で高性能な液体噴射記録ヘッドを得ること
ができる。このような、液体噴射記録ヘッドを用いるこ
とで、液体噴射記録装置の低コスト化と高性能化に大き
く貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例による液体噴射記録ヘッドの組立工
程を示す模式斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿ってとった断面を示す模式
断面図である。
【図３】図１の液体噴射記録ヘッドの基板と樹脂製天板
のそれぞれの接触面を示すもので、（ａ）は基板を示す
模式斜視図、（ｂ）は樹脂製天板を示す模式斜視図であ
る。
【図４】第１実施例の第１変形例を示す模式断面図であ
る。
【図５】第１実施例の第２変形例を示す模式断面図であ
る。
【図６】第１実施例による液体噴射記録ヘッドを示す模
式斜視図である。
【図７】フルラインタイプの液体噴射記録ヘッドを示す
模式斜視図である。
【図８】第２実施例による液体噴射記録ヘッドを示す模
式断面図である。
【図９】図８の液体噴射記録ヘッドの基板と樹脂製天板
のそれぞれの接触面を示すもので、（ａ）は基板を示す
模式斜視図、（ｂ）は樹脂製天板を示す模式斜視図であ
る。
【図１０】第３実施例による液体噴射記録ヘッドの断面
を示す模式断面図である。
【図１１】図１０の液体噴射記録ヘッドの樹脂製天板を
裏返えして示す模式斜視図である。
【図１２】第３実施例の一変形例による液体噴射記録ヘ
ッドの樹脂製天板を裏返えして示す模式斜視図である。
【図１３】液体噴射記録装置を説明する模式斜視図であ
る。
【図１４】ノズル層と天板を一体化した樹脂製天板と基
板を有する液体噴射記録ヘッドを説明する模式斜視図で
ある。
【図１５】図１４の樹脂製天板と基板を断面で示す模式
断面図である。
【図１６】図１４の液体噴射記録ヘッドをカートリッジ
に組み付けた状態を示す模式斜視図である。
【符号の説明】
Ｌ ＹＡＧレーザ Ｆ フィンガ Ｓ ＸＹステージ １，５１，６１ 基板 １ｂ 電気熱変換素子 ２，５２，６２ 樹脂製天板 ２ａ，５２ａ，６２ａ オリフィス ２ｂ，５２ｂ，６２ｂ 液流路 ２ｃ 共通液室 １１，３１，５３，５４ 樹脂膜 ２１ ５酸化タンタル膜 ６３ 柱状突起 ６４ リブ状突起

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 記録液を流動させる液流路を有する樹脂
    製天板と、前記記録液を吐出するための吐出エネルギー
    発生手段を有する基板を備えており、前記樹脂製天板と
    前記基板が、両者の接触面をレーザ光によって溶着する
    ことで一体化されていることを特徴とする液体噴射記録
    ヘッド。
  2. 【請求項２】 液流路を有する樹脂製天板を吐出エネル
    ギー発生手段を有する基板上に位置決めしたうえで、前
    記樹脂製天板の外側から該樹脂製天板と前記基板の接触
    面にレーザ光を照射してこれらを溶着させる工程を有す
    る液体噴射記録ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項３】 レーザ光がＹＡＧレーザから発生された
    ものであることを特徴とする請求項２記載の液体噴射記
    録ヘッドの製造方法。
  4. 【請求項４】 予め基板の表面に樹脂製天板と密着性の
    よい樹脂膜を設けておくことを特徴とする請求項２また
    は３記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
  5. 【請求項５】 予め基板の表面にレーザ光に対する反射
    率が６０％以下の無機質膜を設けておくことを特徴とす
    る請求項２ないし４いずれか１項記載の液体噴射記録ヘ
    ッドの製造方法。
  6. 【請求項６】 予め基板および樹脂製天板の接触面の少
    なくとも一方にレーザ光を吸収しやすい物質を被着させ
    ておくことを特徴とする請求項２ないし５いずれか１項
    記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
  7. 【請求項７】 レーザ光を吸収しやすい物質が、樹脂に
    カーボン粒子または近赤外線を吸収する染料を混入した
    ものであることを特徴とする請求項６記載の液体噴射記
    録ヘッドの製造方法。
  8. 【請求項８】 樹脂が、樹脂製天板と同様の樹脂である
    ことを特徴とする請求項７記載の液体噴射記録ヘッドの
    製造方法。
  9. 【請求項９】 樹脂製天板に突出部を設けておき、基板
    上に前記樹脂製天板を位置決めするときに前記突出部の
    先端を基板に接触させることを特徴とする請求項２ない
    し８いずれか１項記載の液体噴射記録ヘッドの製造方
    法。
  10. 【請求項１０】 突出部が、テーパー状の柱状突起であ
    ることを特徴とする請求項９記載の液体噴射記録ヘッド
    の製造方法。
  11. 【請求項１１】 突出部が、テーパー状の断面を有する
    リブ状突起であることを特徴とする請求項９記載の液体
    噴射記録ヘッドの製造方法。
  12. 【請求項１２】 請求項１記載の液体噴射記録ヘッド
    と、該液体噴射記録ヘッドの吐出エネルギー発生手段に
    エネルギーを供給する駆動手段と、前記液体噴射記録ヘ
    ッドに対向するように被記録媒体を搬送するための搬送
    装置を備えた液体噴射記録装置。
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