JP2000318170A - 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オリフィスプレートの液流路部材の接合面へ
の貼り合わせ工程を簡便にし、接着剤が吐出口や液流路
などに入り込むことを防止するとともに、接合の信頼性
が高く、生産性の高い液体噴射記録ヘッドとその製造方
法を提供する。 【解決手段】 吐出口８が形成されたオリフィスプレー
ト７の接着面に液流路部材１０の接合面１３に相応する
接着剤シート１５を貼付した後に接着剤シート１５の吐
出口８近傍の接着剤をレーザ光Ｌの照射により除去し、
このオリフィスプレート７を、吐出口８が液流路１１に
対応するように位置合わせして、液流路部材１０の接合
面１３に接着する。これにより、オリフィスプレート７
を貼り合わせる際に伴なう加圧や溶融により接着剤の流
れが生じても、接着剤が除去部分１６で形成される間隙
部へ流れ込むようになし、余剰な接着剤が吐出口８や液
流路１１に入り込むことを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細な吐出口から
記録液を液滴として吐出させて記録媒体に文字や画像等
の記録を行なう液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液体噴射記録装置は、近年、小型化、低
価格化のみならず、カラー記録化、高階調化、高画質化
への要求が高まってきている。そのため、液体噴射記録
装置に適用される液体噴射記録ヘッドも、小型化、低価
格化、さらに、カラー記録化、高階調化、高画質化への
要求に対応する必要がある。

【０００３】このような要求に対応する液体噴射記録ヘ
ッドとして、例えば、図９に示すように構成された液体
噴射記録ヘッドが知られている。図９において、液体噴
射記録ヘッドは、記録液に吐出エネルギーを付与して吐
出するための複数の吐出エネルギー発生素子１０２が設
けられた素子基板１０１と、素子基板１０１の吐出エネ
ルギー発生素子１０２の配設部位に対応して液流路を形
成するための複数の液流路溝（液流路形成部）１０４お
よび液流路に記録液を供給するための共通液室１０５が
設けられた天板１０３と、液流路にそれぞれ対応するよ
うに複数の吐出口１０８が形成されているオリフィスプ
レート１０７とから構成されている。素子基板１０１と
天板１０３は、吐出エネルギー発生素子１０２と液流路
溝１０４がそれぞれ対応するように位置合わせして接合
され、液流路部材１１０を形成するとともに、複数の液
流路溝１０４と素子基板１０１の表面により複数の液流
路を形成し、この液流路内には吐出エネルギー発生素子
１０２が位置付けられている。

【０００４】接着面側に接着剤が塗布されたオリフィス
プレート１０７は、素子基板１０１と天板１０３で構成
される液流路部材１１０のオリフィスプレート接合面１
１３（図９において斜線を施した部分）に接着され固定
される。

【０００５】このように構成される液体噴射記録ヘッド
において、液流路部材に対するオリフィスプレートの接
着貼り合わせについて、図８を参照してさらに説明す
る。

【０００６】図８の（ａ）に図示するように、オリフィ
スプレート１０７の貼り合わせに先だって、先ず、素子
基板１０１と天板１０３の接合が行なわれ、この接合に
より液流路部材１１０が形成される。そして、オリフィ
スプレート１０７の接着面側には、液流路部材１１０の
端面のオリフィスプレート接合面１１３（以下、単に接
合面ともいう。）に対応して接着剤１１５がコーティン
グなどによって塗布される。なお、接着剤１１５の塗布
に際しては、吐出口１０８を避けて塗布されている。そ
の後、オリフィスプレート１０７は、その各吐出口１０
８が液流路１１１にそれぞれ対応するように位置決めさ
れ、素子基板１０１と天板１０３から形成される液流路
部材１１０の接合面１１３に接着剤１１５を介して貼り
合わされている。

【０００７】また、液体噴射記録ヘッドにおいては、小
型化、低価格化および高精細なカラー記録化に伴ない、
異なる複数の色の記録液を吐出できるように、吐出口は
複数組で構成され、異なる色の記録液をそれぞれの対応
する吐出口から吐出する液体噴射記録ヘッドも提案され
ており、吐出口は、より均一にかつ微細化され、また、
複数の吐出口列の配列密度も高いものが要求されてい
る。

【０００８】液流路を含めた吐出口近傍が不均一である
と、記録液吐出時の吐出方向や吐出量にばらつきが生
じ、記録品質の低下を招き、高精細な画像を得ることは
できない。したがって、吐出口は、その形状の安定性や
均一性が重要となる。そのために、吐出口や液流路など
は高精度に加工作製されている。

【０００９】しかしながら、高精度に加工作製された吐
出口や液流路を組み込んで作製した液体噴射記録ヘッド
においても、液流路を含む吐出口近傍において、形状の
不均一が生じ、液吐出方向および液吐出量にばらつきが
生じる場合があった。

【００１０】このような吐出口近傍を不均一にする原因
の一つとしては、吐出口内ないしは液流路内に接着剤な
どの汚染物が流れ込み、吐出口や液流路の所定形状を変
化させてしまうことがあげられる。さらに、接着剤など
の汚染物の流れ込みが多い場合には、吐出口が塞がって
しまい、記録液吐出が不可能となる。特に、オリフィス
プレートの貼り合わせに用いる接着剤の塗布に際し、接
着剤の塗布量や塗布位置のばらつき等が生じると、次工
程となる貼り合わせの際に、オリフィスプレートの位置
ずれあるいはこの位置ずれに伴なう接着剤の流動が生
じ、余剰な接着剤が、図８の（ｂ）に破線で示すよう
に、吐出口や液流路等に入り込む可能性がある。

【００１１】そのため、前述した接着剤の塗布やオリフ
ィスプレートの貼り合わせの際に、接着剤が吐出口や液
流路等に入り込むことを防止することが重要であり、接
着剤の塗布に際しては、接着剤の塗布量や塗布位置のば
らつき等をなくするために高精度な接着剤塗布装置が用
いられている。

【００１２】また、オリフィスプレートの貼り合わせ時
には、オリフィスプレートの位置ずれあるいはこの位置
ずれに伴なう接着剤の流動が生じないように、高精度の
位置決めを行なっている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来技術においては、接着剤の塗布に際して、接着剤
の塗布量や塗布位置のばらつきを減少させるために、高
精度な塗布装置を用いて接着剤を塗布しているけれど
も、接着剤の粘度管理や塗布装置の条件設定等で工数が
増加し、生産効率が低下し、コストアップにつながって
いた。

【００１４】さらに、その後の工程としてのオリフィス
プレート貼り合わせ時の位置ずれあるいはこの位置ずれ
に伴なって生じる接着剤流動を防ぐため、高精度な位置
決めが必要であり、加圧力の制御、位置決め（装置制
御）のための工数が増加し、同様に生産効率が悪く、コ
ストアップにつながっていた。

【００１５】一方、接着剤が吐出口や液流路等に入り込
んだ場合に、オリフィスプレートの吐出口側からレーザ
光を照射して接着剤を除去することも提案されている。
しかしながら、粘度の低い接着剤を用いたときなどは、
液流路の奥にまで流れ込み、除去を確実に行なうことは
困難である。このため、この方法においても、接着剤の
粘度管理や貼り合わせ時の位置ずれ等の管理をする必要
が生じ、管理コストや製造工数が増加する。

【００１６】そこで、本発明は、前述の従来技術の有す
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、オリフ
ィスプレートへの接着剤の塗布工程および接合面への貼
り合わせ工程を簡便にし、さらに、接着剤が吐出口や液
流路などに入り込むことを防止するとともに、接合時の
信頼性が高く、生産性の高い、安価な液体噴射記録ヘッ
ドおよびその製造方法を提供することを目的とするもの
である。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、記録液
を吐出するための複数の吐出エネルギー発生素子が設け
られた素子基板と、前記吐出エネルギー発生素子の配設
部位に対応して液流路を形成するための複数の液流路溝
および各液流路に連通して該液流路に記録液を供給する
ための共通液室が設けられた天板と、前記液流路にそれ
ぞれ対応するように複数の吐出口が形成されているオリ
フィスプレートとを備え、前記素子基板と前記天板を接
合して形成する液流路部材のオリフィスプレート接合面
に前記吐出口が前記液流路に各々対応するように前記オ
リフィスプレートを接合して作製する液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法において、前記オリフィスプレートの前記
液流路部材に対向する接着面と前記液流路部材のオリフ
ィスプレート接合面の少なくともいずれか一方に接着剤
シートを貼付した後に、該接着剤シートの接着剤部分に
おける吐出口または液流路に対応する部分やその近傍の
接着剤を除去し、その後に、前記オリフィスプレートを
前記接着剤シートを介して前記液流路部材のオリフィス
プレート接合面に接着固定することを特徴とする。

【００１８】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいては、前記接着剤の除去が、レーザ光の照射による
レーザ加工によって行なわれることが好ましく、特に、
前記レーザ光としてエキシマレーザ光を用いることが好
適である。

【００１９】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいては、接着剤として、熱硬化性接着剤あるいは熱可
塑性接着剤を用いることが好適である。

【００２０】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいては、前記熱可塑性接着剤にレーザ加工性を有する
薄膜を重ね、該薄膜側からレーザ光を照射して接着剤の
除去を行なうことが好ましい。

【００２１】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいては、前記吐出エネルギー発生素子は電気熱変換素
子であることが好ましい。

【００２２】また、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法は、記録液を吐出するための複数の吐出エネルギー
発生素子が設けられた素子基板と、前記吐出エネルギー
発生素子の配設部位に対応して液流路を形成するための
複数の液流路溝および各液流路に連通して該液流路に記
録液を供給するための共通液室が設けられた天板と、前
記液流路にそれぞれ対応するように複数の吐出口が形成
されているオリフィスプレートとを備え、前記素子基板
と前記天板を接合して形成する液流路部材のオリフィス
プレート接合面に前記吐出口が前記液流路に各々対応す
るように前記オリフィスプレートを接合して作製する液
体噴射記録ヘッドの製造方法において、レーザ加工性の
ない接着剤シートにレーザ加工性を有する薄膜を重ね、
該薄膜側からレーザ光を照射して前記接着剤シートにお
ける吐出口または液流路に対応する部分やその近傍の接
着剤を除去し、前記接着剤シートの前記接着剤を除去し
た部分を前記吐出口または前記液流路に位置合わせして
前記接着剤シートを前記オリフィスプレートまたは前記
液流路部材に貼付した後に、前記オリフィスプレートを
前記接着剤シートを介して前記液流路部材のオリフィス
プレート接合面に接着固定することを特徴とする。

【００２３】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいては、前記接着剤を熱可塑性接着剤とし、前記レー
ザ光をエキシマレーザ光とすることが好ましい。

【００２４】さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドは、
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の液体噴射記録
ヘッドの製造方法により製造されることを特徴とする。

【００２５】

【作用】本発明によれば、オリフィスプレートの液流路
部材に対向する接着面と液流路部材のオリフィスプレー
ト接合面の少なくともいずれか一方に貼付する接着剤シ
ートの接着剤部分における吐出口または液流路に対応す
る部分やその近傍の接着剤を除去することにより、該接
着剤シートを介してオリフィスプレートを液流路部材の
接合面へ貼り合わせる際に伴なう加圧や溶融（接着剤の
流動）によって接着剤の流れが生じても、接着剤は除去
部分で形成される接着剤の少ない間隙部へ流れ込み、余
剰な接着剤が吐出口や液流路などに入り込むことを防止
することができる。

【００２６】したがって、接着剤の塗布や接合面の貼り
合わせにおいて、高い精度を必要とせず、工程数を増加
させることなく、簡便に行なうことができ、さらに、接
着剤が吐出口や液流路などに入り込むことを防止し、接
合時の信頼性が高く、かつ、生産性の高い、安価な液体
噴射記録ヘッドの製造が可能となる。

【００２７】また、オリフィスプレートと液流路部材を
接着固定する接着剤として、熱硬化性接着剤や熱可塑性
接着剤を用いることができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００２９】図１は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法に基づいて作製される液体噴射記録ヘッドの概略
的な斜視図であり、図２は、本発明の液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法に基づくオリフィスプレートの貼り合わせ
工程を説明するための概略的な工程図である。

【００３０】図１および図２において、液体噴射記録ヘ
ッドは、記録液に吐出エネルギーを付与して吐出するた
めの複数の吐出エネルギー発生素子２（図２の（ａ）に
破線で一部のみ図示する。）が設けられている素子基板
１と、素子基板１の吐出エネルギー発生素子２の配設部
位に対応して液流路（１１）を形成するための複数の液
流路溝（液流路形成部）４および液流路（１１）に記録
液を供給するための共通液室５が設けられている天板３
と、液流路にそれぞれ対応するように複数の吐出口８が
形成されているオリフィスプレート７とから構成され、
支持部材９に保持された素子基板１と天板３は、吐出エ
ネルギー発生素子２と液流路溝４がそれぞれ対応するよ
うに位置合わせして接合されて、液流路部材１０を形成
するとともに、複数の液流路溝４と素子基板１の表面に
より複数の液流路１１を形成し、各液流路１１内には電
気熱変換素子等の吐出エネルギー発生素子２が位置付け
られている。

【００３１】複数の吐出口８が形成されているオリフィ
スプレート７は、その接着面側に接着剤シート１５（図
２参照）が貼付され、そして、後述するように吐出口８
の近傍の接着剤を除去する加工が施され、その後に、オ
リフィスプレート７は、各吐出口８が液流路部材１０の
各液流路１１にそれぞれ対応するように位置決めされ、
液流路部材１０のオリフィスプレート接合面１３（以
下、単に接合面ともいう。）に接着剤シート１５を介し
て貼り合わされ固定される。なお、天板３の共通液室５
には液供給路（不図示）を介して記録液タンク（不図
示）に連通されており、記録液タンクから記録液が供給
される。

【００３２】オリフィスプレート７は、ニッケル系の金
属あるいはポリイミドなどの軟化点の高い熱硬化樹脂等
を材料とし、電鋳、エッチング、プレス、あるいはエキ
シマレーザ加工等によって、吐出口８が形成されてい
る。本実施例では、板厚１５μｍのニッケルに、電鋳製
法によって３１０個穴開けし、吐出口８を形成した。

【００３３】次に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法におけるオリフィスプレートの貼り合わせ工程につ
いて、図２を参照して説明する。

【００３４】図２の（ａ）および（ｂ）において、複数
の電気熱変換素子等からなる吐出エネルギー発生素子２
（破線で一部のみ図示）が設けられている素子基板１
と、吐出エネルギー発生素子２の配設部位に対応して液
流路（１１）を形成するための複数の液流路溝４および
液流路（１１）に記録液を供給するための共通液室５が
設けられている天板３は、接合されて液流路部材１０を
形成し、複数の吐出口８が形成されているオリフィスプ
レート７の接着面側に液流路部材１０のオリフィスプレ
ート接合面１３に相応して接着剤シート１５が貼付され
る。なお、図２においては、接着剤シート１５は、吐出
口８を避けて形成されているが、吐出口８を考慮するこ
となく、吐出口に対応する穴を有しない接着剤シートで
あっても良い。

【００３５】その後、図２の（ｃ）に図示するように、
オリフィスプレート７に貼付された接着剤シート１５に
対して接着剤側からのレーザ光Ｌの照射等により、オリ
フィスプレート７の吐出口８近傍の接着剤を除去する。
図２の（ｃ）において、接着剤の除去された部分を符号
１６で示す。また、このとき前述したように接着剤シー
ト１５が吐出口８に対応する穴を有していない場合に
は、レーザ光Ｌの照射等により、吐出口８の近傍の接着
剤除去とともにそれぞれ吐出口８に対応する穴を加工す
れば、図２の（ｃ）と同等の形状が形成されることとな
る。

【００３６】そして、オリフィスプレート７の吐出口８
近傍の接着剤が除去された接着剤シート１５を、図２の
（ｄ）に図示するように、液流路部材１０の接合面１３
に対向させて、各吐出口８が各液流路１１にそれぞれ対
応するように位置決めした後に、図２の（ｅ）に図示す
るように、オリフィスプレート７を接着剤シート１５を
介して液流路部材１０の接合面１３に貼り付け固定す
る。

【００３７】このとき、オリフィスプレート７の吐出口
８近傍の接着剤部分は、各吐出口８に対応する液流路１
１の部分に貼り合わされるとき、接着剤除去部分１６に
より接着剤の少ない間隙部が形成される。したがって、
オリフィスプレート７を液流路部材１０の接合面１３へ
貼り合わせる際に、加圧や溶融（接着剤の流動）によっ
て、接着剤の流れが生じても、これらの接着剤は、接着
剤の少ない間隙部（１６）へ流れ込み、吐出口８や液流
路１１などに入り込むことを防止することができる。

【００３８】このように、接着剤シート１５が貼付され
た後の接着剤部分における吐出口８近傍に、接着剤の除
去加工を施すことにより、オリフィスプレート７を液流
路部材１０の接合面１３へ貼り合わせる際に伴なう加圧
や溶融によって、接着剤の流動が生じても、接着剤は所
定の除去部分（すなわち、接着剤の少ない間隙部）１６
へ流れ込み、余剰な接着剤が吐出口８や液流路１１など
に入り込むことを防止することができ、さらに、オリフ
ィスプレート７の位置ずれあるいはこの位置ずれに伴な
う接着剤の流動が生じても、余剰な接着剤は、接着剤の
除去部分１６へ流れて、接着剤が吐出口８や液流路１１
などに入り込むことを防止する。

【００３９】また、接着剤の塗布に際しても高精度な塗
布装置を用いる必要がなく、接着剤の塗布やオリフィス
プレートの貼り合わせは、高い精度を必要とせず、簡便
に行なうことができ、工程数を増加させることなく、安
価に、しかも接合の信頼性も高い液体噴射記録ヘッドの
製造が可能となる。

【００４０】次に、接着剤の除去加工の一形態につい
て、図３を参照して説明する。

【００４１】図３は、オリフィスプレートに接着剤シー
トを貼付した後に吐出口周辺の接着剤をレーザ光の照射
により除去加工する態様を図示する概略図であり、図４
の（ａ）および（ｂ）は、レーザ光の照射により吐出口
周辺の接着剤を除去加工した状態を例示する概略的な断
面図である。

【００４２】図３において、２１はＫｒＦエキシマレー
ザ光Ｌを発振するレーザ発振器であり、レーザ発振器２
１から発振されるレーザ光Ｌは、波長２４８ｎｍ、パル
ス幅約１５ｎｓｅｃのパルスレーザ光である。２２はレ
ーザ光Ｌを集光するための合成石英レンズからなる光学
系、２３はレーザ光Ｌに対して遮蔽可能なアルミニウム
を蒸着した投影マスクであり、複数のパターン穴が配列
され、接着剤シート１５に対する除去加工のレーザ光パ
ターンとなる。また、２５は接着剤シート１５が貼付さ
れたオリフィスプレート７をレーザ光Ｌに対して位置付
け固定するための保持部材である。

【００４３】オリフィスプレート７に接着剤シート１５
を貼り合わせた後に、これをレーザ加工機の保持部材２
５に取り付けて、照射エネルギーが適宜調整されている
レーザ光Ｌの照射を行なう。レーザ光Ｌは、投影マスク
２３のパターン形状にならい、接着剤シート１５を照射
し、吐出口８近傍の接着剤を除去加工し、オリフィスプ
レート７の吐出口８へと貫通する。

【００４４】図４の（ａ）および（ｂ）には、前述した
レーザ加工により得られたオリフィスプレート７ならび
に接着剤シート１５の加工後の板厚方向の断面を示し、
１６および１６ａは、それぞれ、除去加工された接着剤
の除去部分（加工形成部）を示す。図４の（ａ）におけ
る除去部分（加工形成部）１６は、吐出口８の径よりも
大きい径で厚み方向に略同一の径をもって貫通されてい
る。一方、図４の（ｂ）における除去部分（加工形成
部）１６ａは、接着剤シート１５の厚み方向に完全に除
去しない状態の加工形状、すなわち、接着剤に段差をつ
けた形状に形成されている。いずれの場合であっても、
吐出口８の近傍の接着剤部分が、各吐出口８に対応する
液流路１１部分に貼り合わされるとき、除去部分１６、
１６ａが接着剤の少ない間隙を形成し、この接着剤の少
ない間隙により、余剰な接着剤が吐出口８や液流路１１
等に入り込むことを防止することができる。

【００４５】また、本実施例では、液流路部材１０とオ
リフィスプレート７の接着に使用する接着剤シート１５
として、８μｍ〜２０μｍの厚みの熱硬化性エポキシ剤
を用いた。接着剤の除去加工量は、接着剤シート厚の１
／２以上が望ましく、例えば、８μｍ厚の接着剤シート
であれば、４μｍ以上の除去（段差）加工が望ましい。

【００４６】さらに、除去の加工形状（面方向）は、オ
リフィスプレートの吐出口の形状ならびに液流路接合面
形状に比例して、数倍拡張された形状が望ましい。例え
ば、オリフィスプレート７の吐出口８の直径がφ４０μ
ｍの場合には、除去部分の加工形状の直径を吐出口と同
心円の形状でφ６０μｍ〜φ１００μｍとすることで、
貼り合わせ時に吐出口や液流路への接着剤の流れ込みの
ない良好な結果が得られた。また、オリフィスプレート
の吐出口の形状が矩形で長辺と短辺がそれぞれ４５μ
ｍ、３０μｍの場合には、除去部分の加工形状は、吐出
口と等比で拡大し、長辺と短辺をそれぞれ９０μｍ、６
０μｍとすることで、貼り合わせ時に吐出口や液流路へ
の接着剤の流れ込みのない良好な結果が得られた。

【００４７】また、本実施例では、接着剤シート１５を
オリフィスプレート７の接着面側に貼り付け、この接着
剤側からレーザ光を照射し接着剤の除去加工を施してい
るが、液流路部材１０の接合面１３に接着剤シートを貼
り付けて、この接着剤シートに対して液流路１１の周辺
の接着剤を除去するように除去加工を施しても、前述し
たと同様の作用効果を得ることができる。

【００４８】次に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法の他の実施例について、図５を用いて説明する。図
５は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の他の実
施例に基づくオリフィスプレートの貼り合わせ工程を説
明するための概略的な断面図である。なお、本実施例に
おいて、前述した実施例と同様の部材には同一符号を付
して説明する。

【００４９】図５において、オリフィスプレート７と液
流路部材１０を接着剤を介して貼り合わせる前の工程
で、接着剤シート１７ａをオリフィスプレート７の接着
面側に貼付し、前述したレーザ光の照射等によって接着
剤に対する除去加工を施し、さらに、液流路部材１０の
接合面１３に接着剤シート１７ｂを貼付し、同様に、前
述したレーザ光の照射等によって接着剤の除去加工を施
す。このときのレーザ光の照射は図３と同様に行なう。
なお、１８ａは除去加工によってオリフィスプレート７
側に形成された接着剤の除去部分（加工形成部）を示
し、１８ｂは除去加工によって液流路部材１０の接合面
１３側に形成された接着剤の除去部分（加工形成部）を
示す。それぞれの除去深さならびに加工形状は、各貼り
合わせ面の形状（吐出口８や液流路１１の外径など）、
接着剤の流動特性等に応じて、適宜、最適化することが
できる。

【００５０】本実施例は、オリフィスプレート７の接着
面側と液流路部材１０の接合面１３側で接着剤シート１
７ａ、１７ｂの接着剤部分をそれぞれ異なった形状に除
去加工することができるために、接着剤を介して接着固
定されるオリフィスプレート７の吐出口８の形状と液流
路部材１０の液流路１１の形状が異なる場合に、特に有
効である。

【００５１】なお、本実施例での加工形状の詳細は、前
述した実施例と同様であり、そして、本実施例において
も、前述した実施例と同様に、オリフィスプレート７を
液流路部材１０の接合面１３へ貼り合わせる際に、加圧
や溶融によって、接着剤の流動が生じても、これらの接
着剤が、除去部分１８ａ、１８ｂで形成される接着剤の
少ない間隙部へ流れて行き、吐出口８や液流路１１など
に入り込むことを防止することができる。

【００５２】次に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法のさらに他の実施例について、図６を用いて説明す
る。

【００５３】前述した各実施例においては、接着剤の除
去加工にレーザ光の照射による加工、特にエキシマレー
ザ光の照射によるレーザ加工を用いている。ところで、
接着剤として用いる熱硬化性エポキシ剤等は、エキシマ
レーザ光の吸収性が良く、効率良くレーザ加工を行なう
ことができるが、接着剤として、ＥＶＡ（エチレンビニ
ルアルコール）等の熱可塑性接着剤を用いる場合には、
ＥＶＡ等にはエキシマレーザ光の吸収性がないために、
エキシマレーザ光の照射によるレーザ加工を行なうこと
ができない場合がある。なお、ＥＶＡ等においては、Ｃ
Ｏ₂ レーザ光で加工することはできるけれども、ＣＯ₂
レーザ光は波長が長く、マスク等を用いてパターニング
を行なう際には、微細パターンを加工することはできな
かった。

【００５４】そこで、本実施例においては、接着剤とし
てＥＶＡ等の熱可塑性接着剤シートを用い、この接着剤
シートに対してエキシマレーザ光Ｌを照射して前述の実
施例と同様に吐出口やその近傍の接着剤を除去すること
を可能にするものである。すなわち、エキシマレーザ光
Ｌの照射によるレーザ加工性のないＥＶＡ等の熱可塑性
接着剤であっても、ポリサルフォン等のレーザ加工性を
有する薄膜をＥＶＡ等の熱可塑性接着剤に密着するよう
に重ね合わせて、薄膜側からエキシマレーザ光Ｌを照射
することにより、熱可塑性接着剤に対してレーザ加工を
行なうことが可能となる。

【００５５】図６に図示するように、複数の吐出口（不
図示）が形成されているオリフィスプレート７に接着剤
としてＥＶＡ等の熱可塑性接着剤シート１５Ａを貼付す
る。ＥＶＡ等の熱可塑性接着剤シート１５Ａは、単独で
は、エキシマレーザ光Ｌの照射による穴開け加工をする
ことができないけれども、熱可塑性接着剤シート１５Ａ
の表面にポリサルフォンシート３０Ａ（厚み２５μｍ）
を密着するように重ね、図３に図示すると同様のレーザ
加工機によって、エキシマレーザ光Ｌをポリサルフォン
シート３０Ａ側から投影マスクを介して照射し、熱可塑
性接着剤シート１５Ａに対して穴開け加工を行なう。

【００５６】このように、オリフィスプレート７に貼付
されたＥＶＡ等の熱可塑性接着剤シート１５Ａに対して
ポリサルフォンシート３０Ａ側からエキシマレーザ光Ｌ
を投影マスクを介して照射して、吐出口やその近傍に対
応する部位の接着剤を除去する。その後に、オリフィス
プレート７をポリサルフォンシート３０Ａを取り去った
熱可塑性接着剤シート１５Ａを介して、前述した実施例
と同様に、液流路部材の接合面に貼り合わせる。本実施
例においても、前述した実施例と同様に、接着剤が吐出
口や液流路等に流れ込むことを防止することができる。

【００５７】さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法の他の実施例について、図７を用いて説明する。

【００５８】図７の（ａ）に図示するように、ＥＶＡ等
の熱可塑性接着剤シート１５Ｂを２５μｍ厚のポリサル
フォンシート３０Ｂを重ねて、これにポリサルフォンシ
ート３０Ｂ側からエキシマレーザ光Ｌを照射して、穴開
け加工する（図７の（ｂ））。ＥＶＡ等の熱可塑性接着
剤単体では、前述したように、エキシマレーザ光Ｌの照
射による穴開け加工をすることができないけれども、レ
ーザ加工性を有するポリサルフォンシート３０Ｂを重ね
合わせることにより穴開け加工が可能となる。この穴開
け加工により、オリフィスプレート７の吐出口８やその
近傍に対応する部位の接着剤を除去する。このように加
工された熱可塑性接着剤シート１５Ｂを、接着剤が除去
された部位を吐出口８に位置合わせして、ニッケル等で
作製されたオリフィスプレート７に貼り付け（図７の
（ｃ））、その後、オリフィスプレート７を前述した実
施例と同様に液流路部材１０に熱可塑性接着剤シート１
５Ｂを介して接着固定する（図７の（ｄ））。

【００５９】以上のように構成される本実施例において
も、前述した各実施例と同様に、接着剤が吐出口や液流
路等に流れ込むことを防止することができる。また、液
流路やその近傍に対応する接着剤を除去加工した熱可塑
性接着剤シートを液流路部材に貼り付けた後に、オリフ
ィスプレートを接着固定するようにしても同様の作用効
果を得ることができる。

【００６０】なお、レーザ加工性のない薄膜にレーザ加
工性を有する薄膜を重ねて加工する際の重ねるとは、基
本的には積層することをいい、密着していることを指す
が、ミクロンオーダーの距離が離れていても加工は可能
であり、単に重ねて少しの空気層を介して加工すること
もできる。

【００６１】以上のように、本発明においては、接着剤
としてエポキシ系の熱硬化タイプのみならず、熱可塑
（ホットメルト）タイプ等の接着剤を用いることもでき
る。そして、前述の除去加工形状（接着剤の段差形状を
含む）は、種々の接着剤のそれぞれの流動特性などに応
じて、適宜、最適化を行なうことができる。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オリフィスプレートの液流路部材に対向する接着面と液
流路部材のオリフィスプレート接合面の少なくともいず
れか一方に貼付する接着剤シートの接着剤部分における
吐出口または液流路に対応する部分やその近傍の接着剤
を除去することにより、該接着剤シートを介してオリフ
ィスプレートを液流路部材の接合面へ貼り合わせる際に
伴なう加圧や溶融によって接着剤の流動が生じても、接
着剤は所定の除去部分で形成される接着剤の少ない間隙
部へ流れ込み、余剰な接着剤が吐出口や液流路などに入
り込むことを防止することができる。

【００６３】したがって、接着剤の塗布工程や接合面へ
の貼り合わせ工程において、高い精度を必要とせず、工
程数を増加させることなく、簡便に行なうことができ、
さらに、接着剤が吐出口や液流路などに入り込むことを
防止し、接合時の信頼性が高く、かつ、生産性の高い、
安価な液体噴射記録ヘッドの製造が可能となる。

【００６４】また、オリフィスプレートと液流路部材を
接着固定する接着剤として、熱硬化性接着剤や熱可塑性
接着剤を用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に基づ
いて作製される液体噴射記録ヘッドの概略的な斜視図で
ある。

【図２】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に基づ
くオリフィスプレートの貼り合わせ工程を説明するため
の概略的な工程図である。

【図３】オリフィスプレートに接着剤シートを貼付した
後に吐出口近傍の接着剤をレーザ光の照射により除去加
工する態様を図示する概略図である。

【図４】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、レーザ光の
照射により吐出口近傍の接着剤を除去加工した状態を例
示する概略的な断面図である。

【図５】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の他の
実施例に基づくオリフィスプレートの貼り合わせ工程を
説明するための概略的な断面図である。

【図６】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法のさら
に他の実施例に基づく接着剤除去工程を説明するための
概略的な斜視図である。

【図７】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法のさら
に他の実施例に基づく接着剤除去およびオリフィスプレ
ートの貼り合わせ工程を説明するための概略的な工程図
である。

【図８】従来の液体噴射記録ヘッドの製造方法における
オリフィスプレートの貼り合わせ工程を説明するための
概略的な工程図である。

【図９】従来の液体噴射記録ヘッドの各構成部分を分解
して示す概略的な分解斜視図である。

【符号の説明】

１ 素子基板 ２ 吐出エネルギー発生素子（電気熱変換素子） ３ 天板 ４ 液流路溝 ５ 共通液室 ７ オリフィスプレート ８ 吐出口 ９ 支持部材 １０ 液流路部材 １１ 液流路 １３ （オリフィスプレート）接合面 １５ 接着剤シート １６、１６ａ 除去部分（加工形成部） １７ａ、１７ｂ 接着剤シート １８ａ、１８ｂ 除去部分（加工形成部） ２１ レーザ発振器 ２２ 光学系 ２３ 投影マスク ２５ 保持部材 １５Ａ、１５Ｂ 熱可塑性接着剤シート ３０Ａ、３０Ｂ ポリサルフォンシート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池亀 健 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF24 AF93 AG12 AP02 AP23 AP25 AP57 AP77 BA03 BA13

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録液を吐出するための複数の吐出エネ
   ルギー発生素子が設けられた素子基板と、前記吐出エネ
   ルギー発生素子の配設部位に対応して液流路を形成する
   ための複数の液流路溝および各液流路に連通して該液流
   路に記録液を供給するための共通液室が設けられた天板
   と、前記液流路にそれぞれ対応するように複数の吐出口
   が形成されているオリフィスプレートとを備え、前記素
   子基板と前記天板を接合して形成する液流路部材のオリ
   フィスプレート接合面に前記吐出口が前記液流路に各々
   対応するように前記オリフィスプレートを接合して作製
   する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、 前記オリフィスプレートの前記液流路部材に対向する接
   着面と前記液流路部材のオリフィスプレート接合面の少
   なくともいずれか一方に接着剤シートを貼付した後に、
   該接着剤シートの接着剤部分における吐出口または液流
   路に対応する部分やその近傍の接着剤を除去し、その後
   に、前記オリフィスプレートを前記接着剤シートを介し
   て前記液流路部材のオリフィスプレート接合面に接着固
   定することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。
2. 【請求項２】 前記接着剤の除去が、レーザ光の照射に
   よるレーザ加工によって行なわれることを特徴とする請
   求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 前記レーザ光はエキシマレーザ光である
   ことを特徴とする請求項２記載の液体噴射記録ヘッドの
   製造方法。
4. 【請求項４】 前記接着剤が熱硬化性接着剤であること
   を特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の
   液体噴射記録ヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】 前記接着剤が熱可塑性接着剤であること
   を特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の
   液体噴射記録ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 前記熱可塑性接着剤にレーザ加工性を有
   する薄膜を重ね、該薄膜側からレーザ光を照射して接着
   剤の除去を行なうことを特徴とする請求項５記載の液体
   噴射記録ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 記録液を吐出するための複数の吐出エネ
   ルギー発生素子が設けられた素子基板と、前記吐出エネ
   ルギー発生素子の配設部位に対応して液流路を形成する
   ための複数の液流路溝および各液流路に連通して該液流
   路に記録液を供給するための共通液室が設けられた天板
   と、前記液流路にそれぞれ対応するように複数の吐出口
   が形成されているオリフィスプレートとを備え、前記素
   子基板と前記天板を接合して形成する液流路部材のオリ
   フィスプレート接合面に前記吐出口が前記液流路に各々
   対応するように前記オリフィスプレートを接合して作製
   する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、 レーザ加工性のない接着剤シートにレーザ加工性を有す
   る薄膜を重ね、該薄膜側からレーザ光を照射して前記接
   着剤シートにおける吐出口または液流路に対応する部分
   やその近傍の接着剤を除去し、前記接着剤シートの前記
   接着剤を除去した部分を前記吐出口または前記液流路に
   位置合わせして前記接着剤シートを前記オリフィスプレ
   ートまたは前記液流路部材に貼付した後に、前記オリフ
   ィスプレートを前記接着剤シートを介して前記液流路部
   材のオリフィスプレート接合面に接着固定することを特
   徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
8. 【請求項８】 前記接着剤が熱可塑性接着剤であり、前
   記レーザ光はエキシマレーザ光であることを特徴とする
   請求項７記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
9. 【請求項９】 前記吐出エネルギー発生素子が電気熱変
   換素子であることを特徴とする請求項１ないし８のいず
   れか１項に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
10. 【請求項１０】 請求項１ないし９のいずれか１項に記
    載の液体噴射記録ヘッドの製造方法により製造されるこ
    とを特徴とする液体噴射記録ヘッド。