JP2010162874A - インクジェット記録ヘッド、記録素子基板、インクジェット記録ヘッドの製造方法、および記録素子基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インクジェット記録ヘッド1は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板3を複数備えている。各記録素子基板3は、各流路が開口する複数のインク吐出口7が配された第1の面13と、第1の面13と交差して記録素子基板3の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第2の面15と、を有する。
【選択図】図1
Description
続いて、図4(c)に示すように、記録素子基板3の両面にレジスト31を塗布する。その後、裏面のレジスト31はインク供給口9および突き当て部であるエッチング形成面15を形成する位置に開口部33を形成することで、ドライエッチング用のマスクとした。そして、図4(d)に示すように、ドライエッチングにてインク供給口9とエッチング形成面15である第2の面15とを同時に形成する。エッチングにはICP(Inductively-coupled Plasma) 型RIE(Reactive Ion Etching)装置を用い、エッチングガスにはSF6とC2F8を用いることが好適である。
3 記録素子基板
5 支持部材
7 インク吐出口
9 インク供給口
13 第1の面
15 第2の面
35 インク流路
43 位置決め用の治具
Claims (14)
- インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板を複数備えたインクジェット記録ヘッドであって、
各記録素子基板は、
各流路が開口する複数のインク吐出口が配された第1の面と、
前記第1の面と交差して前記記録素子基板の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第2の面と、を有する、
インクジェット記録ヘッド。 - 各記録素子基板は、前記第2の面同士が互いに当接するように配置されている、請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記第2の面は、各記録素子基板間の位置決め基準面として機能する、請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記記録素子基板を支持する支持部材を有し、
各記録素子基板は、前記第2の面同士が当接するように前記支持部材上に配置されている、請求項1から3のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 前記支持部材は位置決め部を有し、
各記録素子基板は、前記位置決め部に前記第2の面が当接するように配置されている、請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 前記第2の面はドライエッチングにより形成されている、請求項1から5のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板であって、
各流路が開口する複数のインク吐出口が配された第1の面と、
前記第1の面と交差して前記記録素子基板の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第2の面と、を有する、
記録素子基板。 - 支持部材上に記録素子基板が形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
主面にインクを吐出するための圧力を発生する吐出圧力発生素子を備え、前記主面と交差する側面の少なくとも一部がエッチング処理された前記記録素子基板を用意するステップと、
前記記録素子基板の前記エッチング処理された側面を前記記録素子基板の位置決めのための位置決め部に当接させるステップと、
前記記録素子基板の前記側面と前記位置決め部との当接状態を維持した状態で前記記録素子基板と前記支持部材とを固定するステップと、を有する、
インクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記主面と交差する前記側面の少なくとも一部をエッチングするとともに、前記吐出圧力発生素子にインクを供給するためのインク供給口を前記記録素子基板をエッチングにより形成する、請求項8に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記位置決め部は前記支持部材に形成され、該位置決め部に前記記録素子基板の前記エッチング処理された側面を突き当てる、請求項8または9に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記記録素子基板の前記エッチング処理された側面を位置決め用の治具の位置決め基準に突き当て、該記録素子基板を位置決めするステップと、
位置決めされた前記記録素子基板を前記支持部材側へ移動するステップと、
前記記録素子基板を前記支持部材上に配置するステップと、を有する、
請求項10に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記エッチング処理された側面は、ドライエッチングにより形成される、請求項8から11のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板であって、該記録素子基板は、各流路が開口する複数のインク吐出口が配された第1の面と、該第1の面と交差して該記録素子基板の側面を形成する第2の面と、を有する、記録素子基板の製造方法であって、
前記第2の面の少なくとも一部をエッチング処理するステップを有する、記録素子基板の製造方法。 - 前記第2の面は、各記録素子基板間の位置決め基準面として機能する、請求項13に記載の記録素子基板の製造方法。
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