JP5208092B2 - 液体供給部材の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、液体を吐出する吐出口に液体を供給する液体供給部材の製造方法、及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
液体供給部材は、液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路を有しており、例えば、吐出口を有する液体吐出ヘッドとして代表的なインクジェット記録ヘッドに用いられる。
図１４（ａ）を参照して、インクジェット記録ヘッドの構成について簡単に説明する。インクジェット記録ヘッドＨ１００１は、タンクホルダユニットＨ１００３と、インクを吐出するための記録素子ユニットＨ１００２で構成されている。タンクホルダユニットＨ１００３は、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とで構成されている。
インクはインクタンク（不図示）からタンクホルダユニットＨ１００３が有する液体供給部材（インク供給部材）に形成されたインク供給路を経由して、記録素子ユニットＨ１００２に導かれて吐出口に供給される。
図１４（ｂ）はタンクホルダＨ１５００の下面図、図１４（ｃ）は供給路プレートＨ１５１０の上面図である。タンクホルダＨ１５００及び供給路プレートＨ１５１０はインク供給路となる溝Ｈ１６００を有している。溝Ｈ１６００が重なり合うようにタンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを接合することにより、インク供給部材にインク供給路が形成される。
タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを接合する方法としては、レーザー溶着による方法（特許文献１）が知られている。
このレーザー溶着を用いて、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを接合する方法について説明する。まず、レーザー光に対して吸収性を有するようにしたタンクホルダＨ１５００と、レーザー光に対して透過性を有するようにした供給路プレートＨ１５１０とを、押さえ治具５１０を用いて当接させる。図１４（ｂ）、（ｃ）に示すように、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とが当接する当接部６００は、溝Ｈ１６００の近傍に、溝の周囲を囲うように設けられている。その後、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とが当接した状態で当接部６００に対してレーザー光を照射し二つの部材を接合することで、インク供給路を形成する。インクジェット記録ヘッドに用いられるインク供給路は微細な構造であるため、この当接部６００も微細な構造となる。
ところで、レーザー照射の方式にはスキャン方式と一括照射方式とがある。
スキャン方式とは、レーザー照射機からのレーザー光のスポット径を絞り込んで、所望する接合面の軌跡に沿って走査させ、レーザー光を照射する方式である。この方式を用いた場合、レーザー光を微細な当接部６００に沿って一定のビーム径でほぼ一定速度で走査させて溶着させるので、当接部６００には均一なレーザー光が照射され、部材同士を均一に溶着することが可能である。しかしながら、レーザー光を微細な当接部６００に沿って走査させて溶着させるには、多くの時間を要する。
一方、一括照射方式とは、所望する接合面に対して一斉にレーザー光を照射する方式であり、溶着に要する時間を短縮することが可能である。
特開２００５−０９６４２２号公報
この一括照射方式を用いて、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを接合することを想定すると、溝Ｈ１６００の近傍に設けられた当接部６００に対して一括照射するために、複数のレーザー照射機を溝Ｈ１６００に沿って配置することになる。
また、インクジェット記録ヘッドにインクを供給するインク供給部材においては、図１４（ｂ）に示すように、溝Ｈ１６００が密に配置される領域（例えば領域Ａ）と、溝Ｈ１６００が疎らに配置される領域（例えば領域Ｂ）とが存在する。
図１５は、一括照射方式を用いて、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを溶着する際のレーザー照射時の図であり、図１４の領域Ｂ内の、溝の長手方向に関する溝の端部を含む部分を示す図である。
しかしながら、この一括照射方式を用いてレーザー溶着を行うと、溝が疎らに配置される領域（図１４（ｂ）中の領域Ｂ）の、溝の端部の近傍に位置する端部当接部の溶着が不十分となる可能性がある。この原因としては、以下の二点が考えられる。
一括照射では、図１５に示すように、レーザー光の強度が略同じである複数のレーザー照射機５０１〜５０７（レーザー光源）を略均等な間隔で配置させる。各レーザー照射機から発されるレーザー光はレーザー照射口から所定の角度をもって広がって進む。このため、端部当接部を照射するレーザー照射機の数が、端部当接部以外を照射するレーザー照射機の数より少なくなる。したがって、図１４（ｂ）で示す領域Ｂにおいては、溝の長手方向に関する溝の端部の近傍に位置する端部当接部に照射される単位面積あたりのレーザー光の総照射量は、端部当接部以外の当接部のレーザー光の総照射量と比較して少なくなる。これが端部の溶着が不十分となる原因の一点目として考えられる。すなわち、端部当接部以外の当接部で適切に溶着される照射量となるようにレーザー光の強度を設定すると、端部当接部では、溶着に必要なレーザー光の照射量に達さない可能性がある。
また、想定される原因の二点目としては、領域Ｂにおける端部当接部においては、他の当接部と比較して、周囲に逃げる熱が大きいことが挙げられる。
溶着によって形成された供給路内に溶着が不十分な部分がある場合には、インクが外部に漏れ出し、その結果、インクジェット記録ヘッドＨ１００１の信頼性を低下させる恐れがある。
そこで、本発明の目的は、上記問題点を解決するものであり、レーザー光を一括照射してレーザー溶着することで液体供給部材を形成する場合に、溶着が不十分である未溶着部が生じる可能性を低減することができる液体供給部材の製造方法を提供することである。
本発明の液体供給部材の製造方法は、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられた液体供給部材の製造方法であって、前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、前記溝の近傍に設けられており、前記透過性部材と前記吸収性部材との、前記当接がなされた当接部、に向けて、前記溝に沿って複数配置されたレーザー光源から前記透過性部材を介してレーザー光を一斉に照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着することで前記供給路を形成する形成工程と、を有し、前記形成工程において、前記当接部のうちの、前記溝の長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する第一の部分、に対する単位面積あたりのレーザー光の総照射量が、前記当接部のうちの、前記第一の部分以外の第二の部分のうちの、単位面積あたりのレーザー光の総照射量が最も少ない部分、に対する該総照射量より多くなるようにレーザー光を照射することを特徴とする。
本発明では、レーザー光を一斉に照射して複数の部材同士を溶着することで液体供給部材を製造する際に、端部当接部に対するレーザー光の総照射量が、端部当接部以外で、レーザー光の総照射量が最も少ない部分よりも多くなるようにしてレーザー光を照射する。これにより、溶着が不十分である未溶着部が生じる可能性を低減することができ、外部にインクが漏れる恐れのない液体供給部材を提供することが可能となる。
本発明の第１の実施形態を説明するための図である。 本発明の一実施形態の液体供給部材の製造方法を示す斜視図であり、レーザー溶着する際の工程を示す図である。 本発明の一実施形態の液体供給部材に用いられる透過性部材の平面図である。 本発明の第１の実施形態を説明するための図である。 本発明の第１の実施形態を説明するための図である。 本発明の第２の実施形態を説明するための図である。 本発明の第２の実施形態を説明するためのフローチャートである。 本発明の第３の実施形態を説明するための図である。 本発明の第４の実施形態を説明するための図である。 本発明の第５の実施形態を説明するための図である。 本発明の第５の実施形態の、その他の実施形態を説明するための図である。 本発明を適用可能な一般的なインクジェット記録ヘッドを示す図である。 一般的なインクジェット記録ヘッドを構成する記録素子基板を示す斜視図である。 従来の一般的なインクジェット記録ヘッドの説明図である。 本発明の課題を説明するための図である。
（液体吐出ヘッド）
本実施形態で用いられる液体供給部材によって液体を供給される液体吐出ヘッドとして、インクジェット記録ヘッドを例として説明する。
インクジェット記録ヘッドは、インクを吐出するための吐出口と、その吐出口に連通してインクを供給するためのインク供給路（供給路）とを少なくとも有する。
一例として、記録ヘッドカートリッジを構成する一構成要素であるインクジェット記録ヘッドについて、図１２を参照して説明する。
図１２（ａ）に示すように、記録ヘッドカートリッジ１０は、インクジェット記録ヘッド２０と、インクジェット記録ヘッド２０に着脱自在に設けられたインクタンク４０とから構成されている。
この記録ヘッドカートリッジ１０は、インクジェット記録装置（不図示、以下、記録装置とする）に設置されているキャリッジ（不図示）の位置決め手段によって固定支持されるとともに、キャリッジに対して着脱可能となっている。
インクジェット記録ヘッド２０は、記録装置から送られる電気信号に応じて記録素子を駆動させることにより、インクを収容するインクタンク４０から供給されるインクを記録素子基板Ｈ１１０１に設けられた吐出口から吐出する。記録素子としては例えば、発熱抵抗素子やピエゾ素子などが挙げられるが、ここでは発熱抵抗素子を用いたものについて説明する。
図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示したインクジェット記録ヘッド２０の分解斜視図である。インクジェット記録ヘッド２０は、電気配線基板３４０と記録素子基板Ｈ１１０１とからなる記録素子ユニット３００とタンクホルダユニット２００で構成されている。
（記録素子ユニット）
次に、記録素子ユニット３００について説明する。
電気配線基板３４０は、記録装置との電気的接続を行う接続端子３４１と、記録素子基板Ｈ１１０１との電気的接続を行う電極端子（不図示）と、接続端子３４１と電極端子とを接続する配線と、記録素子基板Ｈ１１０１を組み込むための開口部とを有している。
電気配線基板３４０と記録素子基板Ｈ１１０１との接続は、例えば次のように行われる。記録素子基板Ｈ１１０１の電極部と電気配線基板３４０の電極端子に、導電性を有する熱硬化接着樹脂を塗布後、電極部と電極端子をヒートツールにて一括で加熱とともに加圧して、電気的に一括接続する。なお、電極部と電極端子との電気接続部分は、封止剤により封止されることによりインクによる腐食や外的衝撃から保護されている。
図１３は、記録素子基板Ｈ１１０１の構成を説明するために一部を切断した斜視図である。
記録素子基板Ｈ１１０１は、インクを吐出するための吐出口Ｈ１１０７、吐出口と連通して吐出口にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１１０２とを有し、吐出口は吐出口形成部材Ｈ１１０６に形成され、インク供給口はシリコン基板Ｈ１１１０に形成される。
シリコン基板Ｈ１１１０は、厚さ０．５ｍｍ〜１．０ｍｍを有しており、異方性エッチングによりインク供給口Ｈ１１０２が形成される。また、シリコン基板Ｈ１１１０上には、発熱抵抗素子Ｈ１１０３が形成され、その発熱抵抗素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７とが対応するように、シリコン基板Ｈ１１１０上にフォトリソグラフィー技術を用いて、吐出口Ｈ１１０７が形成される。さらにシリコン基板Ｈ１１１０上には発熱抵抗素子Ｈ１１０３を駆動するための電気信号や電力を供給するための電極部としてＡｕ等のバンプＨ１１０５が設けられている。
（タンクホルダユニット）
次に本発明の特徴部分を有するインク供給部材２１（液体供給部材）の一部を構成するタンクホルダユニット２００について、図１２（ｂ）を参照して説明する。
タンクホルダユニット２００は、液体収容部としてのインクタンク４０を保持し、レーザー光に対して吸収性を有する部材で形成されたタンクホルダ２１０（吸収性部材）と、板状で、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材２２０とで構成される。レーザー溶着によって透過性部材２２０とタンクホルダ２１０とが接合されることで、記録素子基板Ｈ１１０１のインク供給口Ｈ１１０２にインクを供給する供給路を有するインク供給部材２１が形成される。
インク供給部材２１はインクタンク４０と記録素子基板Ｈ１１０１との間に配置されており、インクタンク４０に収容されているインクを供給路２２４を介して記録素子基板Ｈ１１０１に供給する。
本発明の実施形態においては、溝２２２を有する供給路部材がタンクホルダ２１０と一体となって形成されているが、それぞれを別体として形成後、タンクホルダ２１０に対して吸収性を有する部材で形成された供給路部材を取り付けるようにしても良い。
図１２（ｂ）に示す実施形態では、タンクホルダ２１０及び透過性部材２２０の両方に供給路２２４を構成する溝２２２が形成されている。本発明では、タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とが接合されて供給路２２４が形成されるため、タンクホルダ、透過性部材のどちらか一方又は両方に、適宜、供給路を形成するための溝を設ければ良い。
レーザー光によりタンクホルダ２１０と透過性部材２２０とを溶着して接合させるためには、どちらか一方の部材がレーザー光に対して透過性を有し、他方の部材がレーザー光に対して吸収性を有する必要がある。
本発明の実施形態においては、レーザー光を容易に照射できるという点から、タンクホルダ２１０を吸収性部材で形成し、板状の部材を透過性部材２２０とした。どちらの部材に透過性、吸収性を持たせるかについては、適宜変更が可能である。
なお、本発明の実施形態において、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の透過率が３０％以上の部材を意味する。また、本発明においてレーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の吸収率が９０％以上の部材を意味する。上述のような透過率及び吸収率の部材を用いることで、透過性部材と吸収性部材とのレーザー溶着が可能となる。
なお、後で説明する本発明の実施形態においては、透過性部材の材料として、透明ノリル「型番ＴＰＮ９２２１」（ＳＡＢＩＣ Ｉｎｎｏｖａｔｉｖｅ Ｐｌａｓｔｉｃｓ社＜旧ＧＥ Ｐｌａｓｔｉｃｓ社＞製）を採用した。この透明ノリルは、レーザー光を透過する性質を有しつつ、耐インク性にも優れた透明材料である。他に、透過性部材の材料として、色材を含まない透明ノリルである「型番ＴＮ３００」（同社製）を使用することも可能である。
ここでノリルとは、変性ポリフェニレンエーテル（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ ｅｔｈｅｒ）または変性ポリフェニルオキサイド（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ ｏｘｉｄｅ）の商標である。ノリルは耐熱性及び強度を上げるためにポリフェニレンエーテル（ポリフェニレンオキサイド）を変性させたものであり、熱可塑性樹脂に属し、酸・アルカリに強い耐性を持つ特徴を有する。
吸収性部材の材料としては、レーザー光を吸収する染料または顔料を含有した黒色ノリルである「型番ＳＥ１Ｘ」（同社製）を採用した。
以下、本発明の具体的な実施形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について図１〜図５を参照して詳細に説明する。
まず、レーザー溶着の工程について、図２を用いて説明する。図２は、レーザー光に対して吸収性を有する部材で形成されたタンクホルダ２１０（吸収性部材）に透過性部材２２０を取り付けて供給路を形成する工程を示す斜視図である。
まず、図２（ａ）に示すように、透過性部材２２０と、タンクホルダ２１０とを用意して、両部材の、溝２２２が設けられた面を内側にして両部材を当接させる。
次に、図２（ｂ）に示すように、図２（ａ）の工程の後、押さえ治具５３で透過性部材２２０を押さえて、タンクホルダ及び透過性部材とを密着させて、レーザー照射装置５１から一斉にレーザー光を照射する。
図２（ｃ）は、透過性部材２２０とタンクホルダ２１０とが接合された状態（タンクホルダユニット２００）を示す。
次に、インク供給部材２１の供給路２２４となる溝の配置に関して、図３を用いて説明する。図３は、透過性部材２２０を、タンクホルダ２１０と溶着される面の側から見た図である。
本実施形態では、図３に示すように、インク供給路となる溝２２２が密に配置される領域と疎らに配置される領域とがある。溝２２２が密に配置される領域とは、複数の溝が近接して配置される領域や、一続きの溝であってもその溝が折れ曲がっており、溝同士が近接して設けられる領域を意味する。一方、溝２２２が疎らに配置される領域とは、近接する溝は無く、溝が単独で設けられる領域を意味する。なお、溝２２２が疎らに配置される領域のみが存在する場合でも、本発明は適用される。
次に、図１、図４、図５を用いて、レーザー溶着による供給路２２４の形成について具体的に説明する。
図４は、図２（ｂ）に示すレーザー光照射時における、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）中の領域Ｓ）における溝の、長手方向に関する溝の端部の近傍を説明するための図である。図４（ａ）は、図２（ｂ）の状態におけるその端部の近傍を、レーザー光を照射する方向から見た図である。
図１は、図４（ａ）のＡ−Ａ断面図で、レーザー溶着によるインク供給部材の形成を説明するための図であり、図２の（ａ）〜（ｃ）のそれぞれが図１の（ａ）〜（ｃ）に対応している。
図５は、図４（ａ）のＢ−Ｂ断面図で、レーザー溶着によるインク供給部材の形成を説明するための図であり、図２の（ａ）〜（ｃ）のそれぞれが図５の（ａ）〜（ｃ）に対応している。
なお、図１、図５に示すように、本実施形態ではタンクホルダ２１０及び透過性部材２２０の両部材に、インク流路２２４となる溝２２２が形成されている。
タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とを溝２２２を内側にして当接すると、両部材は、タンクホルダ２１０及び透過性部材２２０に設けられた溝２２２の周囲の部分で当接される。図３で斜線で示す２２３が、透過性部材２２０におけるタンクホルダ２１０との当接部である。このように溝２２２の近傍に、溝２２２の周囲を囲うように当接部２２３が設けられている。
また、両部材が当接する当接部２２３の外周部は、両部材が当接しない非当接部となっている。
このように当接部と非当接部とを設けることで、タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とを当接させた際に、当接部２２３のみに圧力が集中し、両部材の密着性を向上させることができる。
図１（ｂ）と図５（ｂ）に示すように、レーザー光が当接部２２３に照射されると、タンクホルダ２１０が含有している染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのとき発生した熱が透過性部材２２０に伝達される。その伝達された熱により透過性部材２２０も溶融し、当接部２２３は接合部２３０となる。タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とが溶着されることにより溝２２２が供給路２２４として形成される。
次に、図４を用いて、レーザー照射装置５１に関して説明する。図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ断面図であり、図４（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
レーザー照射装置５１は、複数のレーザー照射機（レーザー光源）６１〜６６、そのレーザー照射機を固定する固定板５２、タンクホルダ２１０に対して透過性部材２２０を押さえつける押さえ治具５３を有している。
図２（ｂ）に示すようにレーザー照射機は溝２２２の上部に、溝に沿って複数配置されており、本実施形態では、レーザー照射機の中心から隣接する照射機の中心までの間隔はほぼ３ｍｍであり、複数のレーザー照射機を等間隔で配置している。また、インクジェット記録ヘッド２０に用いられるインク供給部材２１のように供給路となる溝の構造が微細な場合には、このレーザー照射機の照射口の直径は、供給路の幅よりも大きいレーザー照射機を使用することになる。そのため、レーザー溶着の際は、溝２２２と当接部２２３の全域にレーザー光が照射される。
なお、レーザー光としては半導体レーザー（波長９８０ｎｍ）を用いているが、特にレーザー光の種類は限定されず、透過性部材２２０を透過する波長を有するものであればよい。
押さえ治具５３は、複数のレーザー照射機から一斉に照射されたレーザー光が外部に漏れることを抑えつつ、タンクホルダ２１０及び透過性部材２２０との当接部２２３までレーザー光を導くための装置である。そのため、図４（ａ）の点線で示される押さえ治具５３の内部壁５３ａは、当接部２２３の形状に即した形状となっている。また、金メッキ加工をするなどして内部壁５３ａをレーザー光を反射しやすい材質とすることで、この内部壁５３ａに反射するレーザー光を当接部２２３に対して効率的に照射することができる。
次に、本発明の特徴となる、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）、図３で示す領域Ｓ）における、溝２２２の長手方向に関する溝の端部の近傍に位置する端部当接部２２３ａ（第一の部分）、に対するレーザー光の照射量について説明する。端部当接部２２３ａは、例えば図３に示す領域Ｓ’内の、タンクホルダ２１０と透過性部材２２０との当接部である。
第１の実施形態では、溝２２２の長手方向に関する溝の端部上に配置されたレーザー照射機６１は高出力タイプ（４．０Ｗ）のものを、これ以外のレーザー照射機は、通常出力タイプ（２．５Ｗ）のものを用いる。これにより、端部当接部２２３ａに対する単位面積あたりのレーザー光の総照射量を、端部当接部２２３ａ以外（第一の部分以外）の当接部（第二の部分）のうちの、単位面積あたりの総照射量が最も少ない部分に対する照射量より多くすることが可能となる。本実施形態では、この単位面積あたりの総照射量が最も少ない部分においても適切に溶着が行われるようにレーザー光を照射している。そのため、この部分よりも端部当接部２２３ａに対する照射量を多くすることで、端部当接部２２３ａに対するレーザー光の照射量を十分に確保することができる。また、他の部分と比較して大きかった端部における熱の逃げの影響を小さくすることができる。
したがって、溝２２２の長手方向に関する端部の近傍に位置する端部当接部２２３ａにおいても、レーザー溶着に必要な熱量が確保できる。これにより、溶着が不十分である未溶着部が生じる可能性を低減することができ、外部にインクが漏れる恐れのないインク供給部材を提供することが可能となる。
本実施形態では、溝２２２の長手方向に関する溝の端部上に位置するレーザー照射機６１のみを高出力タイプにしたが、レーザー照射機６１、６２の両方を高出力タイプにしても、他にも６２のみを高出力タイプにしてもよい。つまり、端部当接部２２３ａを照射可能な位置に配置されたレーザー照射機（第一のレーザー光源）のいずれかを、第一のレーザー光源以外のレーザー照射機（第二のレーザー光源）の出力よりも大きい出力のものとすればよい。
また、出力の異なるレーザー照射機を用いるのではなく、レーザー光の出力を調整可能であるレーザー照射機を用いて、端部当接部を照射可能な位置に配置されたレーザー照射機のみ出力を大きくする構成であっても良い。
なお、図２に示した本実施形態は、溝２２２の長手の長さ方向に沿ってレーザー照射機を一列配置した構成であるが、溝の短手方向に関して溝に対応する位置にレーザー照射機を複数配置し、これらを溝の長手の長さ方向に沿って配置する構成であってもよい。
本実施形態のように未溶着となりやすい部分を照射するレーザー光照射機のみ高出力のものを用いると、全領域における溶着時間を一定にすることが可能であるため、製造時の生産性にも優れている。
上記のように、レーザー光の強度が略同じである複数のレーザー照射機を均等な間隔で配置させて一斉にレーザー光を照射し、部材同士をレーザー溶着させると、溝が疎らに配置される領域では、未溶着になる部分が生じる恐れがあった。一方で、溝が密に配置される領域においては、過剰にレーザー光が照射されることで、部材が発泡して供給路の形状が変形し、インクの流れ性が低下する可能性があった。そこで、溝が密に配置される領域を照射するレーザー照射機の出力を、他の領域に配置されるレーザー照射機の出力よりも小さくすることにより、供給路の形状の変形を抑制し、均一な溶着状態を得ることができる。
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について、図６および図７を用いて説明する。
レーザー溶着の方法、インク供給部材２１の構成については、第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
また、第１の実施形態と同様に、溝の短手方向に関して溝に対応する位置にレーザー照射機を複数配置し、これらを溝の長手の長さ方向に沿って配置する構成であってもよい。
第２の実施形態では、第１の実施形態で示した図２と同様のレーザー溶着の工程を用いてインク供給部材２１を形成する。しかし、第１の実施形態のように、一部のレーザー照射機を高価な高出力タイプにすることはなく、通常出力のレーザー照射機を用いており、各レーザー光照射機の出力が略同じである形態である。この点については、以降説明する実施形態においても同様である。
図６は、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）中の領域Ｓ）における溝の、長手方向に関する溝の端部の近傍における、本実施形態のレーザー照射の仕方について説明するための図である。図７は、本実施形態のレーザー照射の仕方を示すフローチャートである。図６（ｂ−１）、（ｂ−２）、（ｂ−３）は、図７に示すフローチャートの（ｂ−１）、（ｂ−２）、（ｂ−３）に対応している。
図６（ｂ−１）に示すように、全てのレーザー照射機から、レーザー光を当接部２２３に一斉に照射し、溝２２２の長手方向に関する溝の端部の近傍に位置する当接部である端部当接部２２３ａを除く、ほぼ全域の当接部が溶着されるまでレーザー光を照射する。次に、図６（ｂ−２）に示すように、溝２２２の長手方向に関する端部上の近傍に配置されたレーザー照射機６１、６２のみからレーザー光を照射し、他のレーザー照射機からは照射を終了する。さらには、図６（ｂ−３）に示すように、レーザー照射機６２からの照射を終了した後も、レーザー照射機６１のみレーザー光を照射する。
このように、溝２２２の長手方向に関する溝の端部の近傍に位置する当接部である端部当接部２２３ａを照射可能な位置に設けられたレーザー照射機の照射時間を、他のレーザー照射機と比べて長くする。その際、端部当接部２２３ａに対する単位面積あたりのレーザー光の総照射量を、端部当接部２２３ａ以外の当接部のうちの、単位面積あたりの総照射量が最も少ない部分に対する照射量より多くなるようにする。これにより、第１の実施形態と同様に、溶着が不十分である未溶着部が生じる可能性を低減することができ、外部にインクが漏れる恐れのないインク供給部材を提供することが可能となる。
本実施形態では、レーザー照射機６１と６２の照射時間を、他のレーザー照射機の照射時間よりも長くしたが、端部当接部２２３ａを照射可能な位置に設けられたレーザー照射機のいずれかの照射時間を他のレーザー照射機の照射時間より長くすればよい。
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について、図８を用いて説明する。
第３の実施形態においても、前述の実施形態と同様に図２（ａ）〜（ｃ）に示すレーザー溶着の工程を用いてインク供給部材２１を形成するが、本実施形態はレーザー照射機の配置に特徴がある。
なお、前述の実施形態と同様に、溝の短手方向に関して溝に対応する位置にレーザー照射機を複数配置し、これらを溝の長手の長さ方向に沿って配置する構成であってもよい。図８は、本実施形態における、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）中の領域Ｓ）内の溝の、長手方向に関する溝の端部の近傍における、レーザー照射機の配置を示す図である。図８（ａ）は、図２（ｂ）の状態におけるその端部の近傍を、レーザー光を照射する方向から見た図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
本実施形態では、図８に示すように、レーザー照射機間の間隔は３ｍｍで、全体的にレーザー照射機の位置を、溝２２２の長手方向に関する溝の端部の方向へ詰めて配置した。つまり、レーザー照射機６１とレーザー光を反射する反射部材としての押さえ治具５３の内部壁５３ａとの隙間をレーザー照射機間の溝の長手方向に関する間隔より短くなるようにした。図１０ではレーザー照射機６１と押さえ治具５３の内部壁５３ａとの隙間を１．２ｍｍとしたが、このようにレーザー照射機間の間隔（本実施形態では３ｍｍ）の半分以下とすることがより望ましい。
レーザー光を反射しやすい材質である押さえ治具の内部壁５３ａに、レーザー照射機６１を詰めて配置させることで、内部壁５３ａにレーザー光を反射させ、この反射光が端部当接部２２３ａに照射されるようにする。その際、この反射光によって、端部当接部２２３ａに対する単位面積あたりのレーザー光の総照射量を、端部当接部２２３ａ以外の当接部のうちの、単位面積あたりの総照射量が最も少ない部分に対する照射量より多くなるようにする。これにより、前述の実施形態と同様に、溶着が不十分である未溶着部が生じる可能性を低減することができ、外部にインクが漏れる恐れのないインク供給部材を提供することが可能となる。
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態について、図９を用いて説明する。
第４の実施形態においても、前述の実施形態と同様に図２（ａ）〜（ｃ）に示すレーザー溶着の工程を用いてインク供給部材２１を形成する。
なお、前述の実施形態と同様に、溝の短手方向に関して溝に対応する位置にレーザー照射機を複数配置し、これらを溝の長手の長さ方向に沿って配置する構成であってもよい。
図９は、本実施形態における、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）中の領域Ｓ）内の溝の、長手方向に関する溝の端部の近傍における、レーザー照射機の配置を示す図である。図９（ａ）は、図２（ｂ）の状態におけるその端部の近傍を、レーザー光を照射する方向から見た図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
本実施形態は、溝２２２の長手方向に関する端部上の近傍に配置されたレーザー照射機６１、６２、６３の各レーザー照射機同士の間隔を、他の隣接するレーザー照射機間の間隔より短くした構成である。図９に示すように、溝の端部の方向へ向かうに従い、レーザー照射機間の間隔を３ｍｍ→２．６ｍｍ→２．３ｍｍと詰めて配置した。これにより、端部当接部２２３ａに対するレーザー光の照射量を、端部当接部２２３ａ以外の当接部のうちの、単位面積あたりの総照射量が最も少ない部分に対する照射量より多くすることができる。したがって、溶着が不十分である未溶着部が生じる可能性を低減することができ、外部にインクが漏れる恐れのないインク供給部材を提供することが可能となる。
なお、端部当接部２２３ａを照射可能な位置に設けられ、溝の長手方向に関して互いに隣接するレーザー照射機同士（第一のレーザー光源同士）の間隔を、他の隣接するレーザー照射機同士（第二のレーザー光源同士）の間隔よりも短くすればよい。したがって、一部のレーザー照射機がこのように配置されていればよく、その配置の仕方は上記に限定されるものではない。
（第５の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態について図１０、図１１を用いて説明する。
第５の実施形態においても、前述の実施形態と同様に図２（ａ）〜（ｃ）に示すレーザー溶着の工程を用いてインク供給部材２１を形成する。
なお、前述の実施形態と同様に、溝の短手方向に関して溝に対応する位置にレーザー照射機を複数配置し、これらを溝の長手の長さ方向に沿って配置する構成であってもよい。
図１０は、本実施形態における、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）中の領域Ｓ）内の溝の、長手方向に関する溝の端部の近傍における、レーザー照射機の配置を示す図である。図１０（ａ）は、図２（ｂ）の状態におけるその端部の近傍を、レーザー光を照射する方向から見た図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＡ−Ａ断面図である。また、図１１は、本実施形態におけるその他の形態を説明するための図で、図１０（ａ）と同様に、端部の近傍におけるレーザー照射機の配置を示す図である。
第５の実施形態では、レーザー照射機の配置に特徴があり、図１０に示すように溝の長手方向に関する延長上に、レーザー照射機６１に隣接してレーザー照射機６７を追加して配置する構成である。
これにより、端部当接部２２３ａに対するレーザー光の照射量を端部当接部２２３ａ以外の当接部のうちの、単位面積あたりの総照射量が最も少ない部分に対する照射量より多くすることができる。したがって、溶着が不十分である未溶着部が生じる可能性を低減することができ、外部にインクが漏れる恐れのないインク供給部材を提供することが可能となる。
なお、端部当接部２２３ａを照射するレーザー照射機を追加して配置することで、端部当接部２２３ａにおける照射量を多くすればよい。よって、追加する照射機の配置の仕方は特に限定されず、例えば、図１１（ａ）のように溝２２２の端部に対応する上部に、溝の長手方向に交差するように、レーザー照射機６１、６７を並置してもよい。また、図１１（ｂ）のように、図１１（ａ）に示すレーザー照射機の配置に、更に溝２２２の延長上にレーザー照射機６８を追加して配置してもよい。
以上、説明した第１〜第５の実施形態においては、おのおの単独でも、溝の長手方向に関する溝の端部の近傍に設けられた端部当接部２２３ａに対するレーザー照射量を増やす効果があるが、第１〜第５の実施形態のいずれかを組み合わせた構成でも良い。
２１ インク供給部材（液体供給部材）
５１ レーザー照射装置
７０ レーザー光
２１０ タンクホルダ（吸収性部材）
２２０ 透過性部材
２２２ 溝
２２３ 当接部
２２３ａ 端部当接部（第一の部分）
２２４ インク供給路（供給路）

Claims (7)

  1. レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられた液体供給部材の製造方法であって、
    前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、
    前記溝の近傍に設けられており、前記透過性部材と前記吸収性部材との、前記当接がなされた当接部、に向けて、前記溝に沿って複数配置されたレーザー光源から前記透過性部材を介してレーザー光を一斉に照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着することで前記供給路を形成する形成工程と、
    を有し、
    前記形成工程において、前記当接部のうちの、前記溝の長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する第一の部分、に対する単位面積あたりのレーザー光の総照射量が、前記当接部のうちの、前記第一の部分以外の第二の部分のうちの、単位面積あたりのレーザー光の総照射量が最も少ない部分、に対する該総照射量より多くなるようにレーザー光を照射することを特徴とする液体供給部材の製造方法。
  2. 複数の前記レーザー光源のうちの、前記第一の部分を照射可能な位置に設けられる少なくとも一つの第一のレーザー光源、から発せられるレーザー光の出力が、複数の前記レーザー光源のうちの、前記第一のレーザー光源以外の第二のレーザー光源、から発せられるレーザー光の出力よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液体供給部材の製造方法。
  3. 複数の前記レーザー光源のうちの、前記第一の部分を照射可能な位置に設けられる少なくとも一つの第一のレーザー光源、の照射の時間が、複数の前記レーザー光源のうちの、前記第一のレーザー光源以外の第二のレーザー光源、の照射の時間より長いことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体供給部材の製造方法。
  4. 複数の前記レーザー光源のうちの、前記第一の部分を照射可能な位置に設けられる複数の第一のレーザー光源のうちの、前記方向に関して互いに隣接する二つの前記第一のレーザー光源同士の間隔が、複数の前記レーザー光源のうちの、前記方向に関して互いに隣接する、前記第一のレーザー光源以外の第二のレーザー光源同士の間隔よりも、短いことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の液体供給部材の製造方法。
  5. 複数の前記レーザー光源のうちの、前記第一の部分を照射可能な位置に設けられる少なくとも一つの第一のレーザー光源と、前記端部の、前記方向に関する延長上に設けられ、前記第一の部分を照射するようにレーザー光を反射する反射部材、との間隔が、複数の前記レーザー光源のうちの、前記第一のレーザー光源以外の第二のレーザー光源と、該第二のレーザー光源に前記方向に関して隣接する前記レーザー光源との間隔よりも短いことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体供給部材の製造方法。
  6. 複数の前記レーザー光源のうちの、前記第一の部分を照射可能な位置に設けられる少なくとも一つの第一のレーザー光源の周囲に、前記第一の部分を照射するレーザー光源を配置することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体供給部材の製造方法。
  7. 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に液体を供給する液体供給部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記液体供給部材は、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には前記吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられており、
    前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、
    前記溝の近傍に設けられており、前記透過性部材と前記吸収性部材との、前記当接がなされた当接部、に向けて、前記溝に沿って複数配置されたレーザー光源から前記透過性部材を介してレーザー光を一斉に照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着することで前記供給路を形成する形成工程と、
    を有し、
    前記形成工程において、前記当接部のうちの、前記溝の長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する第一の部分、に対する単位面積あたりのレーザー光の総照射量が、前記当接部のうちの、前記第一の部分以外の第二の部分のうちの、単位面積あたりのレーザー光の総照射量が最も少ない部分、に対する該総照射量より多くなるようにレーザー光を照射することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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