JP5398485B2 - 液体供給部材、液体供給部材の製造方法、及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

液体供給部材、液体供給部材の製造方法、及び液体吐出ヘッドの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、液体を吐出する吐出口に液体を供給する液体供給部材、液体供給部材の製造方法、及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
液体供給部材は、液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路を有しており、例えば、吐出口を有する液体吐出ヘッドとして代表的なインクジェット記録ヘッドに用いられる。
図９を参照して、インクジェット記録ヘッドの構成について簡単に説明する。インクジェット記録ヘッドＨ１００１は、タンクホルダユニットＨ１００３と、インクを吐出するための記録素子ユニットＨ１００２で構成されている。タンクホルダユニットＨ１００３は、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とで構成されている。
インクはインクタンク（不図示）からタンクホルダユニットＨ１００３が有する液体供給部材（インク供給部材）に形成されたインク供給路を経由して、記録素子ユニットＨ１００２に導かれて吐出口に供給される。
図９（ｂ）はタンクホルダＨ１５００の下面図、図９（ｃ）は供給路プレートＨ１５１０の上面図である。タンクホルダＨ１５００及び供給路プレートＨ１５１０はインク供給路となる溝Ｈ１６００を有している。溝Ｈ１６００が重なり合うようにタンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とが接合されることにより、インク供給部材にインク供給路が形成される。
タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを接合する方法としては、レーザー溶着による方法（特許文献１）が知られている。
このレーザー溶着を用いて、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを接合する方法について説明する。まず、レーザー光に対して吸収性を有するようにしたタンクホルダＨ１５００と、レーザー光に対して透過性を有するようにした供給路プレートＨ１５１０とを、押さえ治具を用いて当接させる。タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とが当接する当接部６００が、溝Ｈ１６００に隣接して設けられている。その後、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とが当接した状態で当接部６００に対してレーザー光を照射し二つの部材を接合することで、インク供給路を形成する。
ところで、レーザー照射の方式には特許文献１に記載のスキャン方式と一括照射方式とがある。
スキャン方式とは、レーザー照射機からのレーザー光のスポット径を絞り込んで、所望する接合面の軌跡に沿って走査させ、レーザー光を照射する方式である。この方式を用いた場合、レーザー光を微細な接合面の軌跡に沿って走査させて溶着させるには、非常に多くの時間を要する。
一方、一括照射方式とは、所望する接合面に対して一斉にレーザー光を照射する方式であり、溶着に要する時間を短縮することが可能である。
特開２００５−０９６４２２号公報
しかし、一括照射方式を用いてインク供給部材を形成した場合、溝の長手の長さ方向に関する溝の端部においては、その端部の近傍に位置する当接部６００から周囲へ逃げる熱は、端部以外の部分の近傍に位置する当接部から周囲へ逃げる熱と比較して大きい。そのため、端部の近傍に位置する当接部においては、溶着されない部分が生じる可能性がある。未溶着の部分（未溶着部）があると、その部分からインクの漏れが発生する恐れがある。
そこで、本発明の目的は、上記問題点を解決するのものであり、レーザー光を一括で照射して部材同士を溶着することにより液体供給部材を形成する場合に、未溶着部が生じる可能性を低減することができる液体供給部材の製造方法を提供することである。
本発明の液体供給部材の製造方法は、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられた液体供給部材の製造方法であって、前記溝の近傍に設けられており、前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、前記透過性部材と前記吸収性部材との、前記当接がなされた当接部、に向けて、前記溝に沿って複数配置されたレーザー光源から前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着し、前記供給路を形成する形成工程と、を有し、前記形成工程において、前記当接部のうちの、前記溝の長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する部分には、前記透過性部材に設けられたレーザー光を集光するための集光部を介してレーザー光を照射し、前記当接部のうちの、前記溝の端部の近傍に位置する部分とは別の部分には、前記集光部が設けられていない前記透過性部材の部分を介してレーザー光を照射することを特徴とする。
本発明によれば、供給路となる溝の長手の長さ方向に関する溝の端部の近傍に位置する当接部に、集光部を用いてレーザー光を集光する。これにより、溝の端部に位置する当接部におけるレーザー放射照度を大きくさせることで、レーザー光を一括で照射して部材同士を溶着することにより液体供給部材を形成する場合において、未溶着部が発生する可能性を低減することができる。
本発明の第一の実施形態を説明するための図である。 本発明の一実施形態のインクジェット記録ヘッドをレーザー溶着する際の工程を示す斜視図である。 本発明の第一の実施形態を説明するための図であり、集光部が設けられていない部分を説明するための図である。 本発明の第一の実施形態における他の形態を説明するための図である。 本発明の第一の実施形態を説明するための図であり、図２に示す領域Ｓを拡大した平面図である。 本発明の第二の実施形態を説明するための図である。 本発明を適用可能な一般的なインクジェット記録ヘッドを示す図である。 一般的なインクジェット記録ヘッドを構成する記録素子基板を示す斜視図である。 従来の一般的なインクジェット記録ヘッドの説明するための図である。
（液体吐出ヘッド）
本実施形態で用いられる液体供給部材によって液体を供給される液体吐出ヘッドとして、インクジェット記録ヘッドを例として説明する。
インクジェット記録ヘッドは、インクを吐出するための吐出口と、その吐出口に連通してインクを供給するためのインク供給路とを少なくとも有する。
一例として、記録ヘッドカートリッジを構成する一構成要素となっているインクジェット記録ヘッドについて、図７を参照して説明する。
図７（ａ）に示すように、記録ヘッドカートリッジ１０は、インクジェット記録ヘッド２０と、インクジェット記録ヘッド２０に着脱自在に設けられたインクタンク４０とから構成されている。
この記録ヘッドカートリッジ１０は、インクジェット記録装置（不図示、以下、記録装置とする）に設置されているキャリッジ（不図示）の位置決め手段によって固定支持されるとともに、キャリッジに対して着脱可能となっている。
インクジェット記録ヘッド２０は、記録装置から送られる電気信号に応じて記録素子を駆動させることにより、インクを収容するインクタンク４０から供給されるインクを記録素子基板Ｈ１１０１に設けられた吐出口から吐出する。記録素子としては例えば、発熱抵抗素子やピエゾ素子などが挙げられるが、ここでは発熱抵抗素子を用いたものについて説明する。
図７（ｂ）は、図７（ａ）に示したインクジェット記録ヘッド２０の分解斜視図である。インクジェット記録ヘッド２０は、電気配線基板３４０と記録素子基板Ｈ１１０１とからなる記録素子ユニット３００とタンクホルダユニット２００で構成されている。
（記録素子ユニット）
次に、記録素子ユニット３００について説明する。
電気配線基板３４０は、記録装置との電気的接続を行う接続端子３４１と、記録素子基板Ｈ１１０１との電気的接続を行う電極端子と、接続端子３４１と電極端子とを接続する配線と、記録素子基板Ｈ１１０１を組み込むための開口部とを有している。
電気配線基板３４０と記録素子基板Ｈ１１０１との接続は、例えば次のように行われる。記録素子基板Ｈ１１０１の電極部と電気配線基板３４０の電極端子に、導電性を有する熱硬化接着樹脂を塗布後、電極部と電極端子をヒートツールにて一括で加熱とともに加圧して、電気的に一括接続する。なお、電極部と電極端子との電気接続部分は、封止剤により封止されることによりインクによる腐食や外的衝撃から保護されている。
図８は、記録素子基板Ｈ１１０１の構成を説明するために一部を切断した斜視図である。
記録素子基板Ｈ１１０１は、インクを吐出するための吐出口Ｈ１１０７、吐出口と連通して吐出口にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１１０２とを有し、吐出口は吐出口部材Ｈ１１０６に形成され、インク供給口はシリコン基板Ｈ１１１０に形成される。
シリコン基板Ｈ１１１０は、その厚さが０．５ｍｍ〜１．０ｍｍであり、異方性エッチングによりインク供給口Ｈ１１０２が形成される。また、シリコン基板Ｈ１１１０上には、発熱抵抗素子Ｈ１１０３が形成され、その発熱抵抗素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７とが対応するように、シリコン基板Ｈ１１１０上にフォトリソグラフィー技術を用いて、吐出口Ｈ１１０７が形成される。さらにシリコン基板Ｈ１１１０上には発熱抵抗素子Ｈ１１０３を駆動するための電気信号や電力を供給するための電極部としてＡｕ等のバンプＨ１１０５が設けられている。
（タンクホルダユニット）
次に本発明の特徴部分を有するインク供給部材２１（液体供給部材）が形成されるタンクホルダユニット２００について、図７（ｂ）を参照して詳しく説明する。
タンクホルダユニット２００は、液体収容部としてのインクタンク４０を保持し、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材２１１を備えたタンクホルダ２１０と、板状で、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材２２０とで構成される。透過性部材２２０が吸収性部材２１１に対して接合されることで、記録素子基板Ｈ１１０１のインク供給口Ｈ１１０２にインクを供給する供給路を有するインク供給部材２１が形成される。
インク供給部材２１は、インクタンク４０と記録素子基板Ｈ１１０１との間に配置されており、インクタンク４０に収容されているインクを供給路を介して記録素子基板Ｈ１１０１の有する吐出口Ｈ１１０７に供給する。
本発明の実施形態においては、吸収性部材２１１がタンクホルダ２１０と一体となって形成されているが、それぞれを別体として形成後、タンクホルダ２１０に対して吸収性部材２１１を取り付けるようにしても良い。
図７（ｂ）に示す実施形態では、インク供給路２２４となる溝２２２が吸収性部材２１１に形成されている。本発明では、吸収性部材２１１と透過性部材２２０とが接合されてインク供給路２２４が形成されるため、両部材のどちらか一方又は両方に、適宜、インク供給路を形成するための溝を設ければ良い。
本発明の実施形態においては、レーザー光を容易に照射できるという点から、タンクホルダ２１０と一体に形成される部材を吸収性部材２１１とし、板状の部材を透過性部材２２０とした。どちらの部材に透過性、吸収性を持たせるかについては、適宜変更が可能である。
なお、本発明においてレーザー光に対して透過性を有する透過性部材とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の透過率が３０％以上の部材を意味する。また、本発明においてレーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の吸収率が９０％以上の部材を意味する。上述のような透過率及び吸収率の部材を用いることで、透過性部材と吸収性部材とのレーザー溶着が可能となる。
なお、本実施形態においては、透過性部材の材料として、透明ノリル「型番ＴＰＮ９２２１」（ＳＡＢＩＣ Ｉｎｎｏｖａｔｉｖｅ Ｐｌａｓｔｉｃｓ社＜旧ＧＥ Ｐｌａｓｔｉｃｓ社＞製）を採用した。この透明ノリルは、レーザー光を透過する性質を有しつつ、耐インク性にも優れた透明材料である。他に、透過性部材の材料として、色材を含まない透明ノリルである「型番ＴＮ３００」（同社製）を使用することも可能である。
ここでノリルとは、変性ポリフェニレンエーテル（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ ｅｔｈｅｒ）または変性ポリフェニルオキサイド（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ ｏｘｉｄｅ）の商標である。ノリルは耐熱性及び強度を上げるためにポリフェニレンエーテル（ポリフェニレンオキサイド）を変性させたものであり、熱可塑性樹脂に属し、酸・アルカリに強い耐性を持つ特徴を有する。
吸収性部材の材料としては、レーザー光を吸収する染料または顔料を含有した黒色ノリルである「型番ＳＥ１Ｘ」（同社製）を採用した。
以下、本発明の具体的な実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
（第一の実施形態）
本発明の実施形態について図１〜図４を参照して説明する。
図２は吸収性部材２１１が形成されているタンクホルダ２１０に透過性部材２２０を取り付ける工程を示す斜視図である。
図２（ａ）は透過性部材２２０と、タンクホルダ２１０と一体成形されている吸収性部材２１１とを用意して、溝２２２が設けられた面を内側にして両者を当接させる工程を示す。
図２（ｂ）は、図２（ａ）の工程の後、押さえ治具５３で透過性部材２２０を押さえて二つの部材同士を密着させ、レーザー照射機５１からレーザー光を照射する工程を示す。レーザー照射機５１はレーザー光の強度が略同じである複数の光源を有しており、供給路となる溝２２２に沿って略等間隔に光源は複数配置される。このとき、吸収性部材２１１と透過性部材２２０とが当接する部分に対してレーザー光の入射角度が略垂直になるようにして、複数の光源から一斉にレーザー光を照射する。
図２（ｃ）は、透過性部材２２０と吸収性部材２１１とが接合された状態（タンクホルダユニット２００）を示す。
本実施形態では、インク供給路となる溝２２２が密に配置される領域と疎らに配置される領域とがある。溝２２２が密に配置される領域とは、複数の溝が近接して配置される領域や、一続きの溝であってもその溝が折れ曲がっており、溝同士が近接して設けられる領域を意味する。一方、溝２２２が疎らに配置される領域とは、近接する溝は無く、溝が単独で設けられる領域を意味する。
次に、図３を用いて、透過性部材２２０と吸収性部材２１１との当接部の構成について説明する。
図３は図２のＢ−Ｂ断面図であり、溝２２２が疎らに配置される領域における溝であり、溝の長手の長さ方向（長手方向）に関する（本実施形態ではレーザーを照射する方向に対して垂直な方向）溝の途中の部分におけるレーザー溶着の工程を示す図である。図３の（ａ）〜（ｃ）のそれぞれが図２の（ａ）〜（ｃ）に対応している。
以下、透過性部材２２０において、レーザー光５２が直接照射される側の面を第一の面２２０ａとし、第一の面２２０ａの裏側の面であり、吸収性部材２１１と当接する側の面を第二の面２２０ｂとする。なお、第一の面２２０ａの主面と第二の面２２０ｂの主面とは略平行となっている。また、吸収性部材２１１において、透過性部材２２０と当接する側の面を第三の面２１１ａとする。
図３に示すように、本実施形態では透過性部材２２０の第二の面２２０ｂ及び吸収性部材２１１の第三の面２１１ａに溝２２２が設けられている。また、透過性部材２２０の第二の面２２０ｂに対して凸形状である部分が、溝２２２の周囲を囲って溝に沿うように設けられており、これが吸収性部材２１１と当接する。吸収性部材２１１と透過性部材２２０とを当接した際に、吸収性部材２１１と透過性部材２２０とが互いに当接する部分が当接部２２３である（図３（ｂ））。
このように、凸形状の部分を設けて部材同士を当接させることで、当接する部分と当接しない部分（非当接部）を設けることができる。これにより、当接部２２３のみに圧力が集中し、当接部における密着性を向上させることができる。なお、本実施形態では透過性部材２２０側に凸形状部を設けているが、吸収性部材２１１及び透過性部材２２０の少なくともいずれか一方に設ければよい。
レーザー光が当接部２２３に照射されると、吸収性部材２１１が含有している染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのとき発生した熱が透過性部材２２０に伝達される。その伝達された熱により透過性部材２２０も溶融し、接合部２３０が形成される（図３（ｃ））。
次に、図１を用いて、本発明の特徴である集光部を設けた部分の構成について説明する。
図１は図２のＡ−Ａ断面図であり、溝２２２が疎らに配置される領域における溝であり、溝の長手の長さ方向に関する溝の端部におけるレーザー溶着の工程を示す図である。図１の（ａ）〜（ｃ）のそれぞれが図２の（ａ）〜（ｃ）に対応している。
図１（ａ）は、透過性部材２２０と、タンクホルダ２１０と一体成形されている吸収性部材２１１とを用意して、両者を当接させる工程を示す。
図１（ｂ）に示す当接部２２６は、溝２２２が疎らに配置される領域における溝の、溝の長手の長さ方向に関する端部の近傍に位置するように設けられ、透過性部材２２０と吸収性部材２１１とが当接する部分である。
透過性部材２２０のレーザー光が直接照射される第一の面２２０ａに、この溝の端部に隣接する当接部２２６にレーザー光を集光するための凸形状の集光部２１３を設けている。本実施形態では、集光部２１３はレーザー光の照射方向に関する断面が曲線で形成される凸形状であり、第一の面２２０ａの当接部２２６に対応する部分（図１（ｂ）で示す当接部２２６の上部にあたる第一の面２２０ａ）に設けられている。
図１（ｂ）に示すように、この集光部２１３にレーザー光が入射すると、レーザー光５２は溝の端部の近傍に位置する当接部２２６に向かう方向に曲げられ、当接部２２６に集光される。
これにより、複数の光源からレーザー光を一括で照射して透過性部材と吸収性部材とを溶着することによりインク供給部材を形成する際に、溝の端部の近傍に位置する当接部２２６のレーザー放射照度を大きくし、未溶着部が発生する可能性を低減することができる。そのため、未溶着部からインクが漏れる恐れを低減することができる。
一方で、図３に示すように、透過性部材２２０のレーザー光５２が照射される側の面（第一の面２２０ａ）のうち、集光部２１３を設けた部分以外は平面で構成されるため、その平面に対してレーザー光は略直角に入射する。第一の面２２０ａの主面と第二の面２２０ｂの主面とは略平行であるため、レーザー光５２は溝の端部の近傍に位置する当接部２２６以外の当接部に対して略直角に入射する。なお、当接部２２６以外の当接部とは、溝が密に配置される領域における当接部や、溝が疎らに配置される領域であっても、溝の長手の長さ方向に関する溝の途中となる部分における当接部である。
本実施形態では、インク供給路となる溝２２２が複数設けられており、密に配置される領域と疎らに配置される領域とがあった。しかし、一続きの溝が一つのみ設けられた構成であっても、同様に集光部を設けて溝の端部の近傍に位置する当接部にレーザー光を集光することで同様の効果を得ることができる。
本実施形態では、レーザー光の強度が略同じである複数のレーザー光源を、溝２２２に沿って略等間隔に配置させて、当接部に対して一括でレーザー光を照射している。光源から発されるレーザー光は照射方向に所定の角度をもって広がって進む。そのため、溝が密に配置される領域における溝や、溝が疎らに配置される領域であっても、溝の長手の長さ方向に関する溝の途中となる部分、の近傍に位置する当接部を照射する照射機の数よりも、溝の端部近傍に位置する当接部２２６を照射する照射機の数は少ない。したがって、当接部２２６に対するレーザー光の照射量は、他の部分と比較して少なくなる。そのため、当接部２２６以外の部分のうち、レーザー光の照射量が最も少ない部分で適切に溶着されるように、レーザー光の強度を設定すると、当接部２２６が未溶着となる可能性が高くなる。よって、特に本実施形態のようにレーザー光の強度が略同じである複数のレーザー光源を溝に沿って略等間隔に配置した場合においては、集光部を設けて未溶着となる可能性の高い部分にレーザー光を集光させることが望ましい。
また、上記のようにレーザー光源を配置しているため、溝が密に配置される領域においては、溝の長手の長さ方向に関する溝の端部近傍に位置する当接部であっても、集光部を設けずにレーザー溶着に必要な照射量を確保できる。
なお、溝の端部における熱の逃げの問題はレーザー光源の配置に関係なく起こり得るため、レーザー光源の強度やレーザー光源の配置については本実施の形態に限定されるものではない。
図５は図２（ａ）における領域Ｓの部分を拡大した図であり、レーザーの照射方向から見た平面図である。図５（ａ）は透過性部材、（ｂ）は吸収性部材を示す。本実施形態においては、レーザーの照射方向から見て円形状である供給路の端部（図５（ｂ））に対応するように、レーザーの照射方向から見て、集光部２１３は凸形状が繋がって形成される円環形状となっている（図５（ａ））。なお、溝の端部の近傍に位置する当接部２２６であっても、より供給路の終端となる部分においては溶着されない部分が生じやすいため、この部分にレーザー光を集光できる集光部であればよい。そのため、レーザーの照射方向から見た集光部２１３の形状は、上記の円環形状に限定されない。
なお、集光部２１３は、溝の端部の近傍に位置する当接部２２６にレーザー光を集光し、当接部２２６における照射強度を大きくさせればよいので、例えば図４（ａ）のようにレーザー照射方向に関する断面が三角形状でもよく、その形状は限定されない。また、集光部２１３を設ける位置に関しても透過性部材に設けられていればよいので、本実施形態に限定されるものではない。
また、集光部２１３を設けて当接部２２６にレーザー光を集光させた場合、レーザー光を集光させすぎると、当接部が溶融し、これが固化することで生じる溶融部がインク供給路２２４内へ大きく突出してしまう可能性がある。溶融部が大きく突出するとインクの流れを阻害し、インクの供給特性が低下する恐れがある。
そこで、図４（ｂ）に示した他の実施形態は、溝の端部の近傍に位置する当接部２２６において、溝から離れる方向に向かってレーザー光の放射照度が大きくなるように集光部２１３を設ける構成である。当接部２２６のうち、溝から離れた部分においてはレーザー光が集光されすぎても、インク供給路２２４内へ溶融部が突出する恐れがない。そのため、図４（ｂ）に示す実施形態では、溝の端部の近傍に位置する当接部２２６において未溶着部が生じる可能性を低減させるとともに、溶融部がインク供給路２２４内へ大きく突出してしまう可能性を低減させることができる。
（第二の実施形態）
次に本発明の第二の実施形態について図面を参照して説明する。
レーザー溶着の方法、インク供給部材に用いられる材料については、第一の実施形態と同様である。また、本発明の特徴部分である溝の端部の近傍に位置する当接部２２６にレーザー光を集光する集光部２１３も図１に示した通りで、第一の実施形態と同様の構成である。
これにより、複数の光源からレーザー光を一括で照射して透過性部材と吸収性部材とを溶着することによりインク供給部材を形成する場合に、溝の端部の近傍に位置する当接部におけるレーザー放射照度を大きくし、未溶着部の発生の可能性を低減することができる。そのため、未溶着部からインクが漏れる恐れを低減することができる。
上記したように、インク供給部材２１においては、供給路となる溝が密に配置される領域がある。図６は、この溝が密に配置される領域を含む部分の、レーザーの入射方向に関する断面図である。図６（ａ）〜（ｃ）のそれぞれが、図２（ａ）〜（ｃ）に対応している。
溝に沿うように複数の光源を配置してレーザー光を照射するため、このような溝が密に配置される領域における溝の近傍に位置する当接部には、複数の光源からレーザー光が照射される。特に、近接する溝同士の間に挟まれる位置に設けられる当接部には、レーザー光が過剰に照射される恐れがある。レーザーが過剰に照射されると、当接部が溶融し固化することで生じる溶融部がインク供給路２２４内へ大きく突出してしまう可能性がある。これにより、供給路２２４内に突出した溶融部がインクの流れを阻害し、インクの供給特性が低下する恐れがある。
そこで、レーザーが過剰に照射される可能性がある、溝２２２の間に設けられた当接部２２７（図６（ｂ））におけるレーザー光の放射照度を小さくするために、透過性部材２２０の第一の面２２０ａにレーザー光の放射照度を小さくする減衰部２２５を設けた。本実施形態では、減衰部２２５はレーザー光を反射する反射膜である。
図６（ｂ）に示すように、２つの溝２２２の間に設けられた当接部２２７に照射されるレーザー光は減衰部２２５を通って減衰されるため、当接部２２７におけるレーザー光の放射照度を小さくすることができる。これにより、溶融部が大きく突出する可能性を低減するとができる。
本実施形態において、減衰部２２５は反射膜としたが、レーザー光の放射照度を低減できればこの限りではなく、表面粗さを粗くする、または厚肉部を設けるなどの構成も可能である。
以上、説明したように、溝の端部の近傍に位置する当接部２２６のようにレーザー光の放射照度が小さくなる当接部には集光部２１３によってレーザー光を集光する。一方で、供給路となる溝が近接する部分のようにレーザー光の放射照度が大きくなる当接部には減衰部２２５によってレーザー光の放射照度を小さくする。これにより、溝に沿うように複数の光源を配置して複数の部材同士をレーザー光で溶着することでインク供給部材を製造する場合に、複数の供給路全体における溶着の程度を均一にすることができる。
２１ インク供給部材（液体供給部材）
５１ レーザー照射機
５２ レーザー光
２２４ インク供給路
２１１ 吸収性部材
２２０ 透過性部材
２２０ａ 第一の面
２１３ 集光部

Claims (8)

  1. レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられた液体供給部材の製造方法であって、
    前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、
    前記溝の近傍に設けられており、前記透過性部材と前記吸収性部材との、前記当接がなされた当接部、に向けて、前記溝に沿って複数配置されたレーザー光源から前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着し、前記供給路を形成する形成工程と、
    を有し、
    前記形成工程において、前記当接部のうちの、前記溝の長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する部分には、前記透過性部材に設けられたレーザー光を集光するための集光部を介してレーザー光を照射し、前記当接部のうちの、前記溝の端部の近傍に位置する部分とは別の部分には、前記集光部が設けられていない前記透過性部材の部分を介してレーザー光を照射することを特徴とする液体供給部材の製造方法。
  2. 前記集光部は、前記溝の端部の近傍に位置する部分における前記レーザー光の放射照度が前記溝から離れる方向に向かって大きくなるように、前記レーザー光を集光することを特徴とする請求項１に記載の液体供給部材の製造方法。
  3. 前記集光部は、前記透過性部材のレーザー光が直接照射される面の、前記溝の端部の近傍に位置する部分に対応する位置に設けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体供給部材の製造方法。
  4. 前記集光部は凸形状であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の液体供給部材の製造方法。
  5. 前記集光部は前記透過性部材に一体に成形されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体供給部材の製造方法。
  6. 前記液体供給部材は、複数の前記溝を有しており、
    前記形成工程において、前記透過性部材に設けられた減衰部によって、前記溝の端部の近傍に位置する部分を除く前記当接部のうち、複数の前記溝が近接して配置される領域における前記溝の近傍に位置する部分に照射されるレーザー光の放射照度を小さくすることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の液体供給部材の製造方法。
  7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の液体供給部材の製造方法を用いて製造された液体供給部材であって、
    前記供給路を介して前記吐出口と該吐出口に供給する液体を収容する液体収容部とが連通しており、前記液体収容部を保持するホルダを有し、該ホルダの一部が前記吸収性部材を構成していることを特徴とする液体供給部材。
  8. 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に液体を供給する液体供給部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記液体供給部材は、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材のいずれか少なくとも一方には前記吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられており、
    前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、
    前記溝の近傍に設けられており、前記透過性部材と前記吸収性部材との、前記当接がなされた当接部、に向けて、前記溝に沿って複数配置されたレーザー光源から前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着し、前記供給路を形成する形成工程と、
    を有し、
    前記形成工程において、前記当接部のうちの、前記溝の長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する部分には、前記透過性部材に設けられたレーザー光を集光するための集光部を介してレーザー光を照射し、前記当接部のうちの、前記溝の端部の近傍に位置する部分とは別の部分には、前記集光部が設けられていない前記透過性部材の部分を介してレーザー光を照射することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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