JP5398486B2 - 液体供給部材、液体供給部材の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出する吐出口に液体を供給する液体供給部材、液体供給部材の製造方法、及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

液体供給部材は、液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路を有しており、例えば、吐出口を有する液体吐出ヘッドとして代表的なインクジェット記録ヘッドに用いられる。

図１０を参照して、インクジェット記録ヘッドの構成について簡単に説明する。インクジェット記録ヘッドＨ１００１は、タンクホルダユニットＨ１００３と、インクを吐出するための記録素子ユニットＨ１００２で構成されている。タンクホルダユニットＨ１００３は、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とで構成されている。

インクはインクタンク（不図示）からタンクホルダユニットＨ１００３が有する液体供給部材（インク供給部材）に形成されたインク供給路を経由して、記録素子ユニットＨ１００２に導かれて吐出口に供給される。

図１０（ｂ）はタンクホルダＨ１５００の下面図、図１０（ｃ）は供給路プレートＨ１５１０の上面図である。タンクホルダＨ１５００及び供給路プレートＨ１５１０はインク供給路となる溝Ｈ１６００を有している。溝Ｈ１６００が重なり合うようにタンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とが接合されることにより、インク供給部材にインク供給路が形成される。

タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを接合する方法としては、レーザー溶着による方法（特許文献１）が知られている。

このレーザー溶着を用いて、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とを接合する方法について説明する。まず、レーザー光に対して吸収性を有するようにしたタンクホルダＨ１５００と、レーザー光に対して透過性を有するようにした供給路プレートＨ１５１０とを、押さえ治具を用いて当接させる。タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とが当接する当接部６００が、溝Ｈ１６００に隣接して設けられている。その後、タンクホルダＨ１５００と供給路プレートＨ１５１０とが当接した状態で当接部６００に対してレーザー光を照射し二つの部材を接合することで、インク供給路を形成する。

ところで、レーザー照射の方式にはスキャン方式と、一括照射方式とがある。

スキャン方式とは、レーザー照射機からのレーザー光のスポット径を絞り込んで、所望する接合面の軌跡に沿って走査させ、レーザー光を照射する方式である。この方式を用いた場合、レーザー光を微細な接合面の軌跡に沿って走査させて溶着させるには、非常に多くの時間を要する。

一方、一括照射方式とは、所望する接合面に対して一斉にレーザー光を照射する方式であり、溶着に要する時間を短縮することが可能である。

特開２００５−０９６４２２号公報

しかし、特に一括照射方式を用いた場合、溝の長手の長さ方向に関する溝の端部においては、その端部の近傍に位置する当接部６００から周囲へ逃げる熱は、端部以外の部分の近傍に位置する当接部から周囲へ逃げる熱と比較して大きい。そのため、端部の近傍に位置する当接部においては、溶着されない部分が生じる可能性がある。未溶着の部分（未溶着部）があると、その部分からインクの漏れが発生する恐れがある。

そこで、本発明の目的は、上記問題点を解決するのものであり、レーザー光を一括で照射して部材同士を溶着することにより液体供給部材を形成する場合に、未溶着部が生じる可能性を低減することができる液体供給部材の製造方法を提供することである。

本発明の液体供給部材の製造方法は、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられた液体供給部材の製造方法であって、前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、前記溝の長手方向に沿って複数設けられた第一のレーザー光源から、前記透過性部材と前記吸収性部材との前記当接がなされた、前記溝の周囲にある当接部、に向けて前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着し、前記供給路を形成する形成工程と、を有し、前記形成工程では、複数の前記第一のレーザー光源からのレーザー光の照射と並行して、複数の前記第一のレーザー光源のうちの、前記長手方向に関する端部のレーザー光源、の近傍に設けられた第二のレーザー光源から、前記吸収性部材の、前記当接部の外側の、前記長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する部分、に向けて前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、前記部分には、前記透過性部材と前記吸収性部材との当接がなされた、前記当接部とは別の当接部が複数設けられており、前記溝から離れた位置に設けられた前記別の当接部ほど、該別の当接部の面積が小さいことを特徴とする。

本発明によれば、溝の長手方向に沿って複数設けられた第一のレーザー光源から、部材同士の当接がなされた当接部に向けてレーザー光を照射する。これと並行して、第一のレーザー光源のうちの、長手方向に関する端部のレーザー光源、の近傍に設けられた第二のレーザー光源から、当接部の外側の、長手方向に関する溝の端部の近傍に位置する部分に向けて、レーザー光を照射する。これにより、当接部のうちの、溝の端部の近傍に位置する部分から周囲への熱の拡散を抑制することができ、未溶着部が発生する可能性を低減することができる。

本発明の第１の実施形態の説明するための図である。 本発明の一実施形態の液体供給部材の製造方法を示す斜視図であり、レーザー溶着する際の工程を示す図である。 本発明の一実施形態の液体供給部材に用いられる透過性部材の平面図である。 本発明の第１の実施形態の説明するための図である。 本発明の第１の実施形態の説明するための図である。 本発明の第２の実施形態の説明するための図である。 本発明の第３の実施形態の説明するための図である。 本発明を適用可能なインクジェット記録ヘッドを示す図である。 インクジェット記録ヘッドを構成する記録素子基板を示す図である。 従来の一般的なインクジェット記録ヘッドの説明図である。

（液体吐出ヘッド）
本実施形態で用いられる液体供給部材によって液体を供給される液体吐出ヘッドとして、インクジェット記録ヘッドを例として説明する。

インクジェット記録ヘッドは、インクを吐出するための吐出口と、その吐出口に連通してインクを供給するためのインク供給路（供給路）とを少なくとも有する。

一例として、記録ヘッドカートリッジを構成する一構成要素であるインクジェット記録ヘッドについて、図８を参照して説明する。

図８（ａ）に示すように、記録ヘッドカートリッジ１０は、インクジェット記録ヘッド２０と、インクジェット記録ヘッド２０に着脱自在に設けられたインクタンク４０とから構成されている。

この記録ヘッドカートリッジ１０は、インクジェット記録装置（不図示、以下、記録装置とする）に設置されているキャリッジ（不図示）の位置決め手段によって固定支持されるとともに、キャリッジに対して着脱可能となっている。

インクジェット記録ヘッド２０は、記録装置から送られる電気信号に応じて記録素子を駆動させることにより、インクを収容するインクタンク４０から供給されるインクを記録素子基板Ｈ１１０１に設けられた吐出口から吐出する。記録素子としては例えば、発熱抵抗素子やピエゾ素子などが挙げられるが、ここでは発熱抵抗素子を用いたものについて説明する。

図８（ｂ）は、図８（ａ）に示したインクジェット記録ヘッド２０の分解斜視図である。インクジェット記録ヘッド２０は、電気配線基板３４０と記録素子基板Ｈ１１０１とからなる記録素子ユニット３００とタンクホルダユニット２００で構成されている。

（記録素子ユニット）
次に、記録素子ユニット３００について説明する。

電気配線基板３４０は、記録装置との電気的接続を行う接続端子３４１と、記録素子基板Ｈ１１０１との電気的接続を行う電極端子（不図示）と、接続端子３４１と電極端子とを接続する配線と、記録素子基板Ｈ１１０１を組み込むための開口部とを有している。

電気配線基板３４０と記録素子基板Ｈ１１０１との接続は、例えば次のように行われる。記録素子基板Ｈ１１０１の電極部と電気配線基板３４０の電極端子に、導電性を有する熱硬化接着樹脂を塗布後、電極部と電極端子をヒートツールにて一括で加熱とともに加圧して、電気的に一括接続する。なお、電極部と電極端子との電気接続部分は、封止剤により封止されることによりインクによる腐食や外的衝撃から保護されている。

図９は、記録素子基板Ｈ１１０１の構成を説明するために一部を切断した斜視図である。

記録素子基板Ｈ１１０１は、インクを吐出するための吐出口Ｈ１１０７、吐出口と連通して吐出口にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１１０２とを有し、吐出口は吐出口形成部材Ｈ１１０６に形成され、インク供給口はシリコン基板Ｈ１１１０に形成される。

シリコン基板Ｈ１１１０は、厚さ０．５ｍｍ〜１．０ｍｍを有しており、異方性エッチングによりインク供給口Ｈ１１０２が形成される。また、シリコン基板Ｈ１１１０上には、発熱抵抗素子Ｈ１１０３が形成され、その発熱抵抗素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７とが対応するように、シリコン基板Ｈ１１１０上にフォトリソグラフィー技術を用いて、吐出口Ｈ１１０７が形成される。さらにシリコン基板Ｈ１１１０上には発熱抵抗素子Ｈ１１０３を駆動するための電気信号や電力を供給するための電極部としてＡｕ等のバンプＨ１１０５が設けられている。

（タンクホルダユニット）
次に本発明の特徴部分を有するインク供給部材２１（液体供給部材）の一部を構成するタンクホルダユニット２００について、図８（ｂ）を参照して説明する。

タンクホルダユニット２００は、液体収容部としてのインクタンク４０を保持し、レーザー光に対して吸収性を有する部材で形成されたタンクホルダ２１０（吸収性部材）と、板状で、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材２２０とで構成される。レーザー溶着によって透過性部材２２０とタンクホルダ２１０とが接合されることで、記録素子基板Ｈ１１０１のインク供給口Ｈ１１０２にインクを供給する供給路を有するインク供給部材２１が形成される。

インク供給部材２１はインクタンク４０と記録素子基板Ｈ１１０１との間に配置されており、インクタンク４０に収容されているインクを供給路２２４を介して記録素子基板Ｈ１１０１に供給する。

本発明の実施形態においては、溝２２２を有する供給路部材がタンクホルダ２１０と一体となって形成されているが、それぞれを別体として形成後、タンクホルダ２１０に対して吸収性を有する部材で形成された供給路部材を取り付けるようにしても良い。

図８（ｂ）に示す実施形態では、タンクホルダ２１０及び透過性部材２２０の両方に供給路２２４を構成する溝２２２が形成されている。本発明では、タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とが接合されて供給路２２４が形成されるため、タンクホルダ、透過性部材のどちらか一方又は両方に、適宜、供給路を形成するための溝を設ければ良い。

レーザー光によりタンクホルダ２１０と透過性部材２２０とを溶着して接合させるためには、どちらか一方の部材がレーザー光に対して透過性を有し、他方の部材がレーザー光に対して吸収性を有する必要がある。

本発明の実施形態においては、レーザー光を容易に照射できるという点から、タンクホルダ２１０を吸収性部材で形成し、板状の部材を透過性部材２２０とした。どちらの部材に透過性、吸収性を持たせるかについては、適宜変更が可能である。

なお、本発明の実施形態において、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の透過率が３０％以上の部材を意味する。また、本発明においてレーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の吸収率が９０％以上の部材を意味する。上述のような透過率及び吸収率の部材を用いることで、透過性部材と吸収性部材とのレーザー溶着が可能となる。

なお、後で説明する本発明の実施形態においては、透過性部材の材料として、透明ノリル「型番ＴＰＮ９２２１」（ＳＡＢＩＣ Ｉｎｎｏｖａｔｉｖｅ Ｐｌａｓｔｉｃｓ社＜旧ＧＥ Ｐｌａｓｔｉｃｓ社＞製）を採用した。この透明ノリルは、レーザー光を透過する性質を有しつつ、耐インク性にも優れた透明材料である。他に、透過性部材の材料として、色材を含まない透明ノリルである「型番ＴＮ３００」（同社製）を使用することも可能である。

ここでノリルとは、変性ポリフェニレンエーテル（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ ｅｔｈｅｒ）または変性ポリフェニルオキサイド（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ ｏｘｉｄｅ）の商標である。ノリルは耐熱性及び強度を上げるためにポリフェニレンエーテル（ポリフェニレンオキサイド）を変性させたものであり、熱可塑性樹脂に属し、酸・アルカリに強い耐性を持つ特徴を有する。

吸収性部材の材料としては、レーザー光を吸収する染料または顔料を含有した黒色ノリルである「型番ＳＥ１Ｘ」（同社製）を採用した。

以下、本発明の具体的な実施形態について図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について図１〜図５を参照して詳細に説明する。

レーザー溶着によってインク供給部材２１を製造する工程について、図２を用いて説明する。図２は、レーザー光に対して吸収性を有する部材で形成されたタンクホルダ２１０（吸収性部材）に透過性部材２２０を取り付けて供給路を形成する工程を示す斜視図である。

まず、図２（ａ）に示すように、透過性部材２２０と、タンクホルダ２１０とを用意して、両部材の、溝２２２が設けられた面を内側にして両部材を当接させる。

次に、図２（ｂ）に示すように、図２（ａ）の工程の後、押さえ治具５３で透過性部材２２０を押さえて、透過性部材２２０とタンクホルダ２１０とを密着させて、レーザー照射装置５１から一斉にレーザー光を照射する。

図２（ｃ）は、透過性部材２２０とタンクホルダ２１０とが接合された状態（タンクホルダユニット２００）を示す。

次に、インク供給部材２１の供給路２２４となる溝２２２の配置に関して、図３を用いて説明する。図３は、透過性部材２２０を、タンクホルダ２１０と溶着される面の側から見た図である。

本実施形態では、図３に示すように、インク供給路２２４となる溝２２２が密に配置される領域と疎らに配置される領域とがある。溝２２２が密に配置される領域とは、複数の溝２２２が近接して配置される領域や、一続きの溝２２２であってもその溝２２２が折れ曲がっており、溝２２２同士が近接して設けられる領域を意味する。一方、溝２２２が疎らに配置される領域とは、近接する溝２２２は無く、溝２２２が単独で設けられる領域を意味する。なお、溝２２２が疎らに配置される領域のみが存在する場合でも、本発明は適用される。

次に、図１、図４、図５を用いて、レーザー溶着による供給路２２４の形成について具体的に説明する。

図１は、図２（ｂ）に示すレーザー光の照射時における、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）、図３中の領域Ｓ）における溝２２２の長手方向に関する溝２２２の端部の近傍を説明するための図である。図１（ａ）は、図２（ｂ）の状態における溝２２２の端部の近傍を、レーザー光７０を照射する方向から見た図である。

図４は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図で、レーザー溶着によるインク供給部材２１の形成を説明するための図であり、図４の（ａ）〜（ｃ）のそれぞれは図２の（ａ）〜（ｃ）に対応する図である。

図５は、図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図で、レーザー溶着によるインク供給部材２１の形成を説明するための図であり、図５の（ａ）〜（ｃ）のそれぞれは図２の（ａ）〜（ｃ）に対応する図である。

なお、図４、図５に示すように、本実施形態ではタンクホルダ２１０及び透過性部材２２０の両部材に、供給路２２４となる溝２２２が形成されている。

タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とを溝２２２を内側にして当接すると、両部材は、タンクホルダ２１０及び透過性部材２２０に設けられた溝２２２の周囲の部分で当接される。図３で斜線で示す２２３が、透過性部材２２０におけるタンクホルダ２１０との当接部である。このように溝２２２の近傍に、溝２２２の周囲を囲うように当接部２２３が設けられている。

また、両部材が当接する当接部２２３の外周部は、両部材が当接しない非当接部となっている。

このように当接部と非当接部とを設けることで、タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とを当接させた際に、当接部２２３のみに圧力が集中し、両部材の密着性を向上させることができる。

図４と図５に示すように、レーザー光７０が当接部２２３に照射されると、タンクホルダ２１０が含有している染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのとき発生した熱が透過性部材２２０に伝達される。その伝達された熱により透過性部材２２０も溶融し、当接部２２３は接合部２３０となる。タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とが溶着されることにより溝２２２が供給路２２４として形成される。

次に、図１を用いて、レーザー照射装置５１に関して説明する。図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図であり、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。

レーザー照射装置５１は、複数のレーザー照射機（レーザー光源）６１〜６６、そのレーザー照射機を固定する固定板５２、タンクホルダ２１０に対して透過性部材２２０を押さえつける押さえ治具５３を有している。

図２（ｂ）に示すようにレーザー照射機は溝２２２の上部に、溝２２２に沿って複数配置されており、本実施形態では、各レーザー照射機の中心から隣接する照射機の中心までの間隔は３ｍｍと、略等間隔でレーザー照射機を配置している。また、各レーザー照射機の出力は、略同出力のものを用いている。なお、インクジェット記録ヘッド２０に用いられるインク供給部材２１のように供給路２２４となる溝２２２の構造が微細な場合には、このレーザー照射機の照射口の直径は、供給路２２４の幅よりも大きいレーザー照射機を使用することになる。そのため、レーザー溶着の際は、溝２２２と当接部２２３の全域にレーザー光７０が照射される。

なお、レーザー光としては半導体レーザー（波長９８０ｎｍ）を用いているが、特にレーザー光の種類は限定されず、透過性部材２２０を透過する波長を有するものであればよい。

また、押さえ治具５３は、複数のレーザー照射機から照射されたレーザー光が外部に漏れることを抑えつつ、タンクホルダ２１０及び透過性部材２２０との当接部２２３までレーザー光７０を導くための装置である。そのため、図１（ａ）の点線で示される押さえ治具５３の内部壁５３ａは、当接部２２３の形状に即した形状となっている。また、金メッキ加工をするなどして内部壁５３ａをレーザー光を反射しやすい材質とすることで、この内部壁５３ａに反射するレーザー光７０を当接部２２３に対して効率的に照射することができる。

次に、本発明の特徴となる、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）、図３で示す領域Ｓ）における、溝２２２の長手方向に関する溝２２２の端部の近傍に対するレーザー光７０の照射について説明する。

図４（ｂ）に示すように、本実施形態では、溝２２２の長手方向に沿って設けられた複数のレーザー照射機６２〜６６（第一のレーザー光源）から、当接部２２３に向けてレーザー光を照射する。これと並行し、溝２２２の長手方向に関する端部のレーザー照射機６２の近傍に設けられたレーザー照射機６１（第二のレーザー光源）から、タンクホルダ２１０の、当接部２２３の外側の、溝の長手方向に関する溝の端部の近傍に向けてレーザー光を照射する。図１（ａ）等に示すように、このレーザー照射機６１は、溝２２２の上部の溝２２２に対応する位置以外の部分に配置されている。

このようにレーザー照射機６１を配置してレーザー光を照射することで、タンクホルダ２１０における、溝の長手方向に関する端部近傍に位置する当接部２２３ａ（以下、端部当接部）の周囲においても熱が発生する。ここでいう端部当接部２２３ａとは、例えば図３の領域Ｓ’内の当接部である。これにより、熱が周囲へ拡散しやすいために未溶着となる可能性が高かった端部当接部２２３ａにおける熱の拡散を抑制することができる。したがって、端部当接部２２３ａにおいて溶着が不十分となる可能性を低減することができ、外部にインクが漏れる恐れを低減したインク供給部材２１を提供することが可能となる。

本実施形態では、レーザー光の強度が略同じである複数のレーザー光源を、溝２２２に沿って略等間隔に配置させて、当接部２２３に対して一括でレーザー光を照射している。レーザー照射機から発されるレーザー光は照射方向に所定の角度をもって広がって進む。そのため、溝が密に配置される領域における溝や、溝が疎らに配置される領域であっても、溝の長手の長さ方向に関する溝の途中となる部分、の近傍に位置する当接部を照射する照射機の数よりも、端部当接部２２３ａを照射する照射機の数は少ない。したがって、当接部２２３ａに対するレーザー光の照射量は、他の部分と比較して少なくなり、この点についても、端部当接部２２３ａにおける熱の拡散が他の部分と比較して大きくなる原因と想定される。

なお、図１（ａ）に示すように、レーザー照射機６１を溝２２２の長手方向に関する端部の延長上に配置すると、熱の逃げの影響が大きい端部当接部２２３ａに対して効率的に熱を与えるため、より効果的である。しかし、端部当接部２２３ａからの熱の逃げを抑制できればよいので、レーザー照射機６１を配置する位置は図１に示す位置に限定されない。

また、上で説明したレーザー照射機６１（第二のレーザー光源）は一つであったが、溝２２２の上部の溝２２２に対応する位置以外に配置する第二のレーザー光源を複数配置する構成であってもよい。

なお、図２に示した本実施形態は、レーザー照射機６２〜６６（第一のレーザー光源）を溝２２２の長手の長さ方向に沿って一列配置した構成であった。しかし、この構成に限定されず、溝の短手方向に関して溝に対応する位置にレーザー照射機を複数設け、これらを溝の長手の長さ方向に沿って配置する構成であってもよい。

（第２の実施形態）
次に本発明の第２の実施形態について、図６を用いて説明する。

図６は、本実施形態における、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）中の領域Ｓ）内の溝の、長手方向に関する溝の端部を含む部分に関して説明するための図である。図６（ａ）は、タンクホルダ２１０における、透過性部材２２０との当接部を説明するための図で、図の斜線部が当接部を示している。また、図６（ｂ）は、タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とを当接した際の、図６（ａ）におけるＡ−Ａ線での断面図である。

レーザー溶着の方法、インク供給部材２１に用いられる材料については、第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。また、本実施形態においても、第１の実施形態のように、溝２２２に対応する溝の上部に設けられたレーザー照射機６２〜６６に加え、溝２２２に対応する溝の上部以外の部分にレーザー照射機６１（第二のレーザー光源）を配置している。このレーザー照射機６１からタンクホルダ２１０の、当接部２２３の外側の、溝２２２の長手方向に関する溝２２２の端部の近傍に向けてレーザー光を照射する。

これに加えて本実施形態では、レーザー照射機６１（図１）によって照射される部分に、溝２２２の近傍で溝２２２の周囲に設けられた当接部２２３とは別に、タンクホルダ２１０と透過性部材２２０との当接がなされる当接部２１２を設けている（図６参照）。

これにより、レーザー照射機６１によって照射されることでタンクホルダ２１０において発生した熱が、当接部２１２を介して透過性部材２２０にも伝えられる。そのため、タンクホルダ２１０の側のみならず、透過性部材２２０の側における端部当接部２２３ａから周囲への熱の拡散も抑制することができる。これにより、端部当接部における未溶着部の発生を低減することが可能となる。

なお、上記ではレーザー照射機６１によって照射される部分に当接部２１２を設けた構成としたが、当接部２１２を介して熱が透過性部材２２０側に伝わることで熱の拡散を抑えられればよい。そのため、レーザー照射機６１によって照射される部分でなく、その部分の近傍に当接部２１２を設けた構成であってもよい。ただし、レーザー照射機６１によって照射される部分に当接部２１２を設けた構成であると、タンクホルダで発生した熱が透過性部材２２０に効率的に伝わるため、より好ましい。

円弧形状の当接部２１２を図６に示す位置に設けた構成とすることで、端部当接部２２３ａの熱の拡散をより効果的に低減することが可能である。なお、レーザー照射機６１（第二のレーザー光源）に照射されることでタンクホルダ２１０において発生した熱を当接部２１２を介して透過性部材２２０に伝達することで、未溶着部の発生を低減できればよい。そのため、当接部２１２は複数設けてもよく、またその形状も図６に示した円弧形状に限定されない。

（第３の実施形態）
次に本発明の第３の実施形態について、図７を用いて説明する。

図７は、本実施形態における、溝２２２が疎らに配置される領域（例えば図２（ａ）中の領域Ｓ）内の溝２２２の、長手方向に関する溝２２２の端部を含む部分に関して説明するための図である。図７（ａ）は、タンクホルダ２１０における、透過性部材２２０との当接部を説明するための図で、図の斜線部が当接部を示している。また、図７（ｂ）は、タンクホルダ２１０と透過性部材２２０とを当接した際の、図７（ａ）におけるＡ−Ａ線での断面図である。

レーザー溶着の方法、インク供給部材２１に用いられる材料については、上述の実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても、第２の実施形態と同様に、溝２２２の近傍で溝２２２の周囲に設けられた当接部２２３とは別に、当接部２１２を設けた構成である。また、当接部２１２は、当接部２２３の外側の、溝２２２の長手方向に関する溝２２２の端部の近傍に向けてレーザー光を照射するレーザー照射機６１（第二のレーザー光源）によって照射される部分に設けられている。

ここで、本実施形態の特徴は、当接部２１２を、当接部２１２ａと当接部２１２ｂと複数に分けて設けており、これらの複数の当接部２１２ａ及び２１２ｂを溝の長手方向に設けている点である。

透過性部材２２０側の端部当接部２２３ａにおける熱の逃げを小さくするために、当接部２１２によって透過性部材２２０の側により多くの熱を伝えるためには、当接部２１２の面積を大きくすればよい。しかし、当接部２１２の面積を大きくすると以下の問題が発生する可能性がある。

レーザー照射を行うと、当接部２１２が溶融されてが溶着ばりが発生し、このばりは当接部２１２の近傍の非当接部へ流れ込む。しかし、当接部２１２の面積が大きいとばりの発生量が多くなり、非当接部からばりがはみ出して、溝２２２の近傍の周囲に設けられた当接部２２３における溶着が適切に行われない可能性がある。

そこで、本実施形態のように当接部２１２を複数に分けて設けることで、当接部２１２の面積を稼ぎつつ、ばりの、当接部２２３における溶着への影響を低減することが可能である。

また、当接部２１２の面積が大きいと溶着に必要な熱量が多くなるため、当接部２１２において溶着に必要な熱量に達さずに、十分に溶着が行われない可能性がある。レーザー溶着をした場合は、当接部が沈み込み、溶着前の当接部の非当接部からの高さｈ（図７（ｂ）参照）と比較して、溶着後のその高さｈは低くなる。溝２２２の周囲の当接部２２３及び未溶着部の発生を抑制するための当接部２２３の、高さｈを略等しくして、レーザー溶着を行った場合を想定する。このとき、当接部２１２での溶着が不十分であると透過性部材２２０が当接部２１２で突っかかり、当接部２２３における溶着も適切に行われない可能性がある。すると、形成されたインク供給部材２１では、供給路２２４からインクが漏れる恐れが生じてしまう。

そこで、溝から遠い位置に配置された当接部２１２ｂの面積を、当接部２１２ａよりも小さくする構成とするとよい。より溝から離れるほど熱が周囲へ逃げやすく、適切に溶着させるためにはより多くの熱を必要とする。そのため、当接部２１２ｂの面積を小さくすると、当接部２１２において未溶着となる可能性を低減することができる。

なお、ここでは当接部２１２を二つに分けて設けた構成を説明したが、上記の効果が得られればよく、当接部２１２を三つ以上の複数に分けて配置した構成でもよい。また、第２の実施形態と同様で当接部２１２の形状は図７に示した形状に限定されない。

２０ インクジェット記録ヘッド
５１ レーザー照射装置
５３ 押さえ治具
６１ レーザー照射機（第二のレーザー光源）
６２〜６６ レーザー照射機（第一のレーザー光源）
７０ レーザー光
２１０ タンクホルダ（吸収性部材）
２２０ 透過性部材
２２２ 溝
２２３ 当接部
２２４ インク供給路

Claims (7)

1. レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられた液体供給部材の製造方法であって、
   前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、
   前記溝の長手方向に沿って複数設けられた第一のレーザー光源から、前記透過性部材と前記吸収性部材との前記当接がなされた、前記溝の周囲にある当接部、に向けて前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着し、前記供給路を形成する形成工程と、
   を有し、
   前記形成工程では、複数の前記第一のレーザー光源からのレーザー光の照射と並行して、複数の前記第一のレーザー光源のうちの、前記長手方向に関する端部のレーザー光源、の近傍に設けられた第二のレーザー光源から、前記吸収性部材の、前記当接部の外側の、前記長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する部分、に向けて前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、
   前記部分には、前記透過性部材と前記吸収性部材との当接がなされた、前記当接部とは別の当接部が複数設けられており、前記溝から離れた位置に設けられた前記別の当接部ほど、該別の当接部の面積が小さいことを特徴とする液体供給部材の製造方法。
2. 前記部分は、前記長手方向に関する前記溝の延長上に位置することを特徴とする請求項１に記載の液体供給部材の製造方法。
3. 前記複数の別の当接部は、前記長手方向に関する前記溝の延長上に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体供給部材の製造方法。
4. レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられており、
   前記溝を内側にして当接された前記透過性部材と前記吸収性部材との、前記当接がなされた、前記溝の近傍の、該溝の周囲にある当接部、に対して前記透過性部材を介してレーザー光が照射されることで、前記透過性部材と前記吸収性部材とが前記当接部で溶着されて前記供給路が形成された液体供給部材であって、
   前記当接部の外側の、前記溝の長手方向に関する前記溝の端部の近傍に、前記透過性部材と前記吸収性部材との当接がなされた、前記当接部とは別の当接部が複数設けられており、前記溝から離れた位置に設けられた前記別の当接部ほど、該別の当接部の面積が小さいことを特徴とする液体供給部材。
5. 前記複数の別の当接部は、前記長手方向に関する前記溝の延長上に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の液体供給部材。
6. 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に液体を供給する液体供給部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記液体供給部材は、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材と、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを備え、前記透過性部材及び前記吸収性部材の少なくともいずれか一方には前記吐出口に液体を供給する供給路となる溝が設けられており、
   前記溝を内側にして前記透過性部材と前記吸収性部材とを当接する当接工程と、
   前記溝の長手方向に沿って複数設けられた第一のレーザー光源から、前記透過性部材と、
   前記吸収性部材との前記当接がなされた、前記溝の周囲にある当接部、に向けて前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、前記透過性部材と前記吸収性部材とを前記当接部で溶着し、前記供給路を形成する形成工程と、
   を有し、
   前記形成工程では、複数の前記第一のレーザー光源からのレーザー光の照射と並行して、複数の前記第一のレーザー光源のうちの、前記長手方向に関する端部のレーザー光源、の近傍に設けられた第二のレーザー光源から、前記吸収性部材の、前記当接部の外側の、前記長手方向に関する前記溝の端部の近傍に位置する部分、に向けて前記透過性部材を介してレーザー光を照射し、
   前記部分には、前記透過性部材と前記吸収性部材との当接がなされた、前記当接部とは別の当接部が複数設けられており、前記溝から離れた位置に設けられた前記別の当接部ほど、該別の当接部の面積が小さいことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
7. 前記複数の別の当接部は、前記長手方向に関する前記溝の延長上に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

Images