JP2020082663A - レーザー溶着方法及び流路部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製品の機能を達成する上で必要な樹脂溶融量を達成することによって、溶着部での隙間の発生を防ぎ、接合の強度をより高めることができるレーザー溶着方法を提供する。【解決手段】レーザー光を透過する第１の樹脂部材とレーザー光を吸収する第２の樹脂部材とを溶着させる際に、第１の樹脂部材の表面と第２の樹脂部材の表面とを当接させる工程と、第１の樹脂部材と第２の樹脂部材との当接面に対して第１の樹脂部材の側から第１のスポット径でレーザー光を照射する第１の照射工程と、第１の照射工程を実施した後、第１のスポット径よりも大きい第２のスポット径で当接面にレーザー光を照射する第２の照射工程と、を実施する。【選択図】図４

Description

本発明は、レーザー光を透過する樹脂部材とレーザー光を吸収する樹脂部材とを溶着させるレーザー溶着方法と、このレーザー溶着方法を用いた流路部材の製造方法とに関する。

レーザー光を用いて樹脂部材を相互に溶着する技術は、各種の製品の製造工程において使用されており、例えば、インクジェット記録ヘッドなどの液体吐出ヘッドの製造工程においても使用されている。液体吐出ヘッドにはその吐出口にインクなどの液体を供給するための流路部材が設けられるが、流路部材の製造過程では、耐液体性を有する樹脂部材の相互間をレーザー光を利用して溶着することが行われている。レーザー光を利用した樹脂部材間の溶着では、レーザー光を透過する透過性樹脂部材とレーザー光を吸収して加熱される非透過性樹脂部材とが相互に接した状態で、透過性樹脂部材を介して両方の樹脂部材の当接面に向けてレーザー光を照射する。照射されたレーザー光は非透過性樹脂部材によって吸収され、両方の樹脂部材の当接面において非透過性樹脂部材が加熱されて溶融し、これにより当接面において透過性樹脂部材と非透過性樹脂部材とが溶着される。

溶着対象の樹脂部材に反りなどがあると溶着すべき２つの樹脂部材の間に隙間が生じ、その結果、レーザー溶着を行っても隙間が残った状態となり、接合強度が低下することがある。液体吐出ヘッドの流路部材の製造にレーザー溶着を用いた場合に隙間が残ることは、流路部材を流れる液体の漏出につながるので特に好ましくない。このような隙間の発生を解消する方法として特許文献１は、樹脂部材の反り変形が生じていても気密性を確保した溶着を行うために、樹脂部材相互を嵌合させた状態で、溶着部に沿うような照射のスポット径でレーザー光を照射することを開示している。

特開２００５−７７５９号公報

特許文献１に記載の方法では、透過性樹脂部材の凹部に対して非透過性樹脂部材の凸部を嵌合させ、嵌合した状態でレーザー光の照射によって凸部を溶融させて流動させ、凹部と凸部との間に形成される隙間に流動樹脂が充填させるようにしたものである。このとき、先に溶融した非透過性樹脂部材が広がることにより、レーザー光が照射されるべきであるのに未照射のままである部分が非透過性樹脂部材に生じてしまう。この未照射部分の非透過性樹脂部材が溶融しないので、レーザー溶着に必要な溶融量が得られなくなり、溶着後の２つの樹脂部材間の接合強度が不足するおそれがある。このような課題に対し、実際に溶着が行われる部位すなわち溶着部の幅よりもレーザー光の照射のスポット径を大きくすることも考えられる。しかしながら溶着部の幅よりもスポット径を大きくした場合には、溶着部以外の位置にもレーザー光が照射されてその位置の樹脂も溶融してガスを発生する。このガスは樹脂部材におけるクラックの発生原因となり得るものであって好ましくない。溶着部での隙間の発生を防ぎ、レーザー溶着された位置における接合強度を高めるためには、レーザー溶着によって製造される製品の機能を達成する上で必要な樹脂溶融量をレーザー光の照射によって達成することが必要である。

本発明の目的は、製品の機能を達成する上で必要な樹脂溶融量を達成することによって、溶着部での隙間の発生を防ぎ、接合の強度をより高めることができるレーザー溶着方法と、このレーザー溶着方法を用いた流路部材の製造方法とを提供することにある。

本発明のレーザー溶着方法は、レーザー光を透過する第１の樹脂部材と、レーザー光を吸収する第２の樹脂部材とを溶着するレーザー溶着方法において、第１の樹脂部材の表面と第２の樹脂部材の表面とを当接させる当接工程と、第１の樹脂部材と第２の樹脂部材との当接面に対して第１の樹脂部材の側から第１のスポット径でレーザー光を照射する第１の照射工程と、第１の照射工程の実施後、第１のスポット径よりも大きい第２のスポット径で当接面にレーザー光を照射する第２の照射工程と、を有することを特徴とする。

本発明の流路部材の製造方法は、吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドに設けられて液体を流通するための流路を備える流路部材の製造方法において、本発明に基づくレーザー溶着方法を使用し、第１の樹脂部材と第２の樹脂部材とによって流路の内壁面を形成するように、第１の樹脂部材と第２の樹脂部材とをレーザー溶着させることにより流路を形成することを特徴とする。

本発明によれば、レーザー溶着を行う際に、レーザー溶着を経て製造される製品の機能を達成する上で必要な樹脂溶融量を達成することによって、溶着部での隙間の発生を防ぎ、接合の強度をより高めることができるようになる。

レーザー溶着によって製造される流路部材を示す斜視図である。 第１の樹脂部材と第２の樹脂部材との溶着部を説明する断面図である。 第１の実施形態における流路部材を説明する図である。 第１の実施形態におけるレーザー溶着を説明する断面図である。 凹部の形状の例を示す断面図である。 凸部の形状の例を示す断面図である。

次に、本発明の好ましい実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図において同一の機能を有するものには同一の符号を付与することとし、重複する説明を省略する場合がある。

本発明に基づくレーザー溶着方法を説明する前に、また、レーザー溶着によって製造される製品の例として、液体吐出ヘッドに設けられる流路部材を説明する。図１は流路部材１００を示している。流路部材１００は、液体を吐出する吐出口が設けられている液体吐出ヘッドにおいて、吐出口や液体を吐出するためのエネルギーを発生する記録素子が設けられている部分にインクなどの液体を供給する流路を構成するための部材である。インクなどの液体は、流路部材１００に形成される流路の内部を流通する。流路部材１００には、流路などの詰まりによる液体吐出ヘッドの不吐を防止するためのフィルター（不図示）が設けられている。

図２は、図１のＡ−Ａ線での断面を模式的に示す断面図である。流路部材１００は、樹脂加熱用のレーザー光に対する透過性を有する第１の樹脂部材１と、このレーザー光に対して非透過性であってレーザー光を吸収して加熱される第２の樹脂部材２とをレーザー溶着することによって形成される。図では、第１の樹脂部材１及び第２の樹脂部材２はいずれも板状の部材として表されている。ここに示す例では、第１の樹脂部材１の第２の樹脂部材２に対向する表面は平坦に形成されている。一方、第２の樹脂部材２の第１の樹脂部材１に対向する表面では、その一部が凸部として形成されており、凸部４の頂面が第１の樹脂部材１の前述した平坦な面に当接している。凸部４は、第２の樹脂部材２の表面が当該表面に対して垂直な方向に突出するように形成された部分であり、突出の最先端部が頂面となっている。頂面はその全体で第１の樹脂部材１の表面と当接して当接面を構成し、この当接面が、第１の樹脂部材１と第２の樹脂部材２とが溶着する溶着部となっている。凸部４は、図３を用いて説明するように、第２の樹脂部材２の表面において例えばリブ状に長く延びて形成されるものであり、図２は、凸部４が延びる方向に垂直な面での断面として描かれている。凸部４が延びる方向に垂直な面での凸部４の断面形状は、図２に示すように矩形であるか、あるいは頂面側の幅が狭い台形である。以下の説明において、凸部４の断面とは、第２の樹脂部材２の表面に垂直な面で凸部４を切ったときの断面であるものとし、特に、凸部４がリブ状のものであるときは、凸部４が延びる方向に垂直な面で凸部４を切ったときの断面であるものとする。

流路部材１００には液体の流路５が設けられ、流路５の断面は略矩形である。凸部４は、流路部材１００に設けられる流路５の側壁を構成する。すなわち、流路５の内壁面のうち、底面と側面とは第２の樹脂部材２によって形成され、天井面は第１の樹脂部材１によって形成される。図２に示した例では、概ね同じ方向に延びる凸部４が４本形成されており、図示左端から１番目と２番目の凸部４が１番目の流路５の両方の側壁を構成し、３番目と４番目の凸部４が２番目の流路５の両方の側壁を構成している。

レーザー溶着は、第１の樹脂部材１を第２の樹脂部材２に相対的に押し付けるようにしながら、第１の樹脂部材１の第２の樹脂部材２とは反対側の面からこの面に対して垂直に凸部４の頂面すなわち当接面にレーザー光を照射することによって行われる。レーザー光は透過性の第１の樹脂部材１を透過し、非透過性の第２の樹脂部材２で構成された凸部４に入射し、この凸部４に吸収される。その結果、凸部４はその頂面が発熱して溶融する。このとき、凸部４の頂面は第１の樹脂部材１の表面に接しているので、第１の樹脂部材１にもレーザー光の吸収による熱が伝わる。第１の樹脂部材１が第２の樹脂部材２の凸部４に対して押圧された状態であるので、第１の樹脂部材１と第２の樹脂部材２とが溶着されることになる。

液体吐出ヘッドの流路部材１００では、吐出対象の液体が流れる流路５を形成するものであるので、液体漏れが生じることは好ましくない。したがって、流路５を構成する第１の樹脂部材１と第２の樹脂部材２との間の気密性や接合強度が重要である。レーザー光を利用した樹脂部材間の溶着では、反りやうねりのために樹脂部材間に隙間が存在する場合には未溶着部が発生する。未溶着部をなくすために繰り返しレーザー光を走査して未溶着部を再溶融させることも考えられるが、既にレーザー光が照射された樹脂が溶融して広がってレーザー光のスポット径よりも大きくなるため、結局は樹脂部材にレーザー光の未照射部が生じる。そのためレーザー光の未照射部での樹脂部材の加熱が不十分になり、再溶融が行われず、そのため気密の確保が難しくなるとともに、十分な接合強度を得るために必要な溶かし量の得られなくなって接合強度不足となるおそれがある。そこで本発明では、溶着部における気密性の確保と接合強度との向上を目的として、溶着を行うべき当接面に対して第１のスポット径でレーザー光を照射し、その後、第１のスポット径よりも大きい第２のスポット径で当接面に対して再び照射を行う。

［第１の実施形態］
以下、第１の実施形態として、本発明に基づくレーザー溶着について、上述した流路部材１００を形成する場合を例に挙げつつさらに詳しく説明する。図３は、レーザー溶着による流路部材１００の製造を具体的に説明する図であり、（ａ）は第１の樹脂部材１の側面図、（ｂ）は第２の樹脂部材２の上面図、（ｃ）は完成した流路部材１００の側面図である。図３（ｃ）には、レーザー溶着を行うときに用いられるガラス板２０も描かれている。第１の樹脂部材１は、レーザー光に対する透過性を有する板状の部材からなり、第２の樹脂部材２との位置決めを行うための穴１０が貫通孔として形成されている。第１の樹脂部材１の厚さは例えば２．０ｍｍであり、使用するレーザー光の波長などにもよるが、第１の樹脂部材１には、レーザー光を透過する例えば白色かつ耐液性のあるポリプロピレンを用いることができる。

第２の流路部材２の上面には、図示左右方向に延びるリブ状の凸部４が形成されており、これらの凸部４は相互に平行に２本ずつ近接して配置している。近接する２本の凸部４に囲まれる領域が流路５となるべき領域である。図に示す例では近接する２本の凸部４が２組設けられているので、２本の流路５が形成されることになる。流路５の図示左右方向の両端では、その流路５を構成する２本の凸部４が相互に接続するとともに、液体を流路５に導入しまた排出するための貫通孔６が形成されている。これらとは別に、第２の流路部材２の上面の図示右端には、円環状に形成された凸部４が設けられている。さらに第２の流路部材２の上面には、第１の流路部材１を位置決めするために、第１の流路部材１に形成された穴１０と嵌合可能な位置決めピン１１が設けられている。レーザー光に対して非透過性である第２の流路部材２には、例えば、顔料を混入することによって黒色とされ、かつ耐液性を有するポリプロピレンが用いられる。完成した流路部材１００では、第２の樹脂部材２の上面に形成された凸部４の頂面が第１の樹脂部材１の下面にレーザー溶着され、第１の樹脂部材１と第２の樹脂部材２に囲まれる空間として流路５が形成されている。

次に、第１の樹脂部材１と第２の樹脂部材２とを溶着させる工程について、図４を用いて説明する。図４（ａ），（ｂ）は、いずれも図３（ｃ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。まず、図４（ａ）に示すように、第１の樹脂部材１を第２の樹脂部材２に対して位置決めし、第２の樹脂部材２の凸部４の頂面が第１の樹脂部材１の図示下面と当接するように、第２の樹脂部材２の上に第１の樹脂部材１を配置する。そしてこの状態で、第１の樹脂部材１が載置されている第２の樹脂部材２をレーザー溶着装置（不図示）に固定し、第１の樹脂部材１の上にガラス板２０を固定し、ガラス板２０を介して第１の樹脂部材１側からレーザー光Ｐを照射する。樹脂部材１，２は、いずれも射出成形などによる成形品であり、成形時の反りやヒケを有するため、ガラス板２０により押圧することによって反りやヒケを矯正しつつレーザー光を照射する。本実施形態では、２段階の照射工程によって、レーザー溶着を実行する。以下、第１の照射工程と第２の照射工程とからなる２段階の照射工程によるレーザー溶着を説明する。

凸部４は、第２の樹脂部材２の表面においてリブ状に形成されており、図示する例では凸部４の断面形状は長方形であり、そのリブ幅Ｗ１、すなわち凸部４の延びる方向に直交する方向での幅は例えば１．０ｍｍである。また第２の樹脂部材２の表面における凸部４の高さをＨ１で表す。第１の照射工程では、第１の樹脂部材１を介して当接面に照射されるレーザー光のスポット径を当接面におけるリブ幅Ｗ１すなわち凸部４の頂面におけるリブ幅と同じに設定する。レーザー光のスポット径がリブ幅Ｗ１よりも小さい場合、当接面において凸部４に未照射部が生じるため、第２の樹脂部材２の温度がその溶融温度まで昇温しにくくなり、樹脂の十分な溶かし量が得られず、溶着不良となる恐れがある。反対にレーザー光のスポット径がリブ幅Ｗ１よりも大きい場合には、凸部４以外にもレーザーが照射されることになるが、このとき樹脂部材１，２が当接していない領域にもレーザー光が照射されると、第２の樹脂部材２の表面からガスが生じる。このガスが凸部４に付着すると溶着部にクラックが生じる懸念がある。したがって、レーザー光のスポット径は、凸部４のリブ幅Ｗ１と同等であることが望ましい。もし、製品や組立、溶着装置などの制約からレーザー光のスポット径が凸部４のリブ幅Ｗ１よりも大きい状態で一括照射をしたい場合には、不要な部分にレーザー光が当たらないようにガラス２０板に金属製のマスクを設けてもよい。マスクを設けることにより、凸部４の頂面すなわち当接面のみにレーザー光を照射させることが可能になる。

第１の照射工程では、第１の樹脂部材１の下面に第２の樹脂部材２の凸部４の頂面を当接させた状態で、エアーシリンダー（不図示）を用いて例えば５００Ｎの荷重Ｆをガラス板２０に加える。この荷重Ｆは、反りやヒケを矯正するためのものである、そして、ガラス板２０越しに第１の樹脂部材１の上面に対して垂直に、当接面に向けてレーザー光源からレーザー光Ｐを照射し、レーザー溶着を行う。レーザー光源でのレーザー出力は例えば１５Ｗとされる。レーザー光Ｐは、第１の樹脂部材１と透過し、第１の樹脂部材１と第２の樹脂部材２の凸部４の頂面との当接面に到達し、当接面において第２の樹脂部材２に吸収される。上述したように凸部４は第２の樹脂部材２の表面においてリブ状に延びるように設けられているので、レーザー溶着装置は、凸部の延びる方向に沿ってレーザー光を照射する。レーザー光の照射速度は例えば３０ｍｍ／秒とする。このようなレーザー照射を行うことにより、第２の樹脂部材２の凸部４は、レーザー光を吸収したことによる昇温と荷重Ｆとの作用によって変形し、凸部４は、その第１の樹脂部材１と接する面の幅を広げながら、第１の樹脂部材１に溶着される。凸部４が第１の樹脂部材１に溶着したときの凸部４のリブ幅はＷ１からＷ２に広がる。

第２の照射工程によりレーザー溶着を行う際のレーザー光のスポット径は、第１の照射工程により、凸部４が第１の樹脂部材１と当接する部分の幅がＷ１からＷ２に拡大したことに伴って、Ｗ２に設定される。幅Ｗ１が１．０ｍｍであったとして、Ｗ２は例えば１．２ｍｍである。また凸部４の一部が溶融して第１の樹脂部材１の表面に沿って拡がることに対応して凸部４の高さはＨ１からＨ２へと低くなる。この状態で、第２の照射工程にとして、図４（ｂ）に示すように、当接面に向けた再度のレーザー照射を実行する。このとき、レーザー光のスポット径がＷ２に変更されていることにより、当接面において凸部４へのレーザー光の未照射部は発生せず、凸部４において第２の樹脂部材２が再び溶けることが可能になる。第２の照射工程が終了した時の凸部４の高さは、第１の照射工程を開始する前の凸部４の高さＨ１よりも低くなる。設計強度上で必要となる凸部４の高さとなるまで、レーザー光のスポット径を大きくしながら第２の溶着工程を繰り返すことによって、必要な接合強度を有する流路部材１００を得ることができる。第１の照射工程の場合と同様に、レーザー光のスポット径がＷ２よりも大きい状態で一括照射をしたい場合には、不要な部分にレーザー光が当たらないようにガラス２０板に金属製のマスクを設けてもよい。

以上の説明では、液体吐出ヘッドに備えられる流路部材１００の製造を例に挙げて本発明に基づくレーザー溶着方法を説明したが、本発明に基づくレーザー溶着方法によって製造されるものは、流路部材に限定されるものではない。本発明に基づくレーザー溶着方法によれば気密性の高い接合が実現できるので、インクなどの液体を貯えるためのタンク類、例えばインクタンクの製造にも本発明に基づくレーザー溶着方法を使用することができる。また、第２の樹脂部材２が凸部４を有しない場合にも本発明の基づくレーザー溶着方法を用いることができる。例えば、第２の樹脂部材２が棒状の部材であるときに、この棒状の部材の先端面に第１の樹脂部材１をレーザー溶着する場合においても、ここで説明した２段階の溶着工程を実施して接合強度の高い溶着部を形成することができる。

［第２の実施形態］
第１の実施形態では、平坦な面である第１の樹脂部材１の表面に対し、断面形状が長方形である凸部４を有する第２の樹脂部材２をレーザー溶着により接合させているが、第１の樹脂部材１の表面形状や凸部４の断面形状はこれに限られるものではない。第２の実施形態では、第１の樹脂部材１の表面形状や凸部４の断面形状についてのバリエーションを開示する。例えば、図５に示すように、第１の樹脂部材１において第２の樹脂部材２の凸部４の頂面と当接することとなる表面を、平坦な面ではなく凹部３を有する面とし、凹部３内に第２の樹脂部材２の凸部４を受け入れるようにすることができる。第２の樹脂部材２の表面において凸部４がリブ状に延びて形成される場合には、第１の樹脂部材１の凹部３も溝状に形成される。凹部３の断面形状は、図５（ａ）に示すように、第１の樹脂部材１の厚さ方向に狭くなるテーパ形状である台形であってもよいし、図５（ｂ）に示すように長方形であってもよい。凹部３の断面とは、第２の樹脂部材１の表面に垂直な面で凹部３を切ったときの断面であるものとし、特に、凹部３が溝として形成されているときは、凹部３が延びる方向に垂直な面で凹部３を切ったときの断面であるものとする。凹部３において第１の樹脂部材１の厚さ方向において最奥となる部分は、厚さ方向に垂直な平面領域として構成され、この平面領域において第２の樹脂部材２の凸部４が第１の樹脂部材１の表面に当接する。平面領域の幅Ｌは凸部４の頂面の幅Ｗ１よりも広いことが必要であり、例えばＷ１が１．０ｍｍであればＬは１．２ｍｍとされる。本実施形態では、第１の樹脂部材１の凹部３と第２の樹脂部材２の凸部４とを嵌合させることは意図していないので、凹部３は、凸部４よりも大きく形成される。具体的には、凸部４は、第１の照射工程を実施する前の状態においてその頂面以外では凹部３とは接しないようにする。

図６に示すように、凸部４の断面形状を、第２の樹脂部材２の表面から離れるにしたがって幅が狭くなるような台形とすることもできる。この場合、台形の頂上部分が凸部４の頂面となる。図６（ａ）は、第１の樹脂部材１の表面に断面が台形である凹部３が形成されているときに、台形の断面形状を有する凸部４が凹部３内で第１の樹脂部材１と当接している状態を示している。図６（ｂ）は、第１の樹脂部材１の表面に断面が長方形である凹部３が形成されているときに、台形の断面形状を有する凸部４が凹部３内で第１の樹脂部材１と当接している状態を示している。図６に示すものでも、凸部４は、第１の照射工程を実施する前の状態において、その頂面でのみ凹部３と接する。

第１の樹脂基板１の表面に凹部３を設けてこの凹部３の内部で第２の樹脂基板２の凸部４と第１の樹脂基板１とを当接させることにより、第１の照射工程によって溶融した樹脂の広がりを凹部３内に限定することができる。その結果、第１の実施形態のように第１の樹脂基板１の平坦な面に対してレーザー溶着を行う場合に比べ、第２の照射工程でのレーザー光のスポット径を小さくすることができ、レーザー光をより効率よく凸部４に吸収させることができる。また、第２の実施形態では、樹脂の広がりの範囲が凹部３内に限定されるため、樹脂の溶かし量をより精密に制御することが可能になる。

１ 第１の樹脂部材
２ 第２の樹脂部材
３ 凹部
４ 凸部

Claims (8)

1. レーザー光を透過する第１の樹脂部材と、前記レーザー光を吸収する第２の樹脂部材とを溶着するレーザー溶着方法において、
   前記第１の樹脂部材の表面と前記第２の樹脂部材の表面とを当接させる当接工程と、
   前記第１の樹脂部材と前記第２の樹脂部材との当接面に対して前記第１の樹脂部材の側から第１のスポット径で前記レーザー光を照射する第１の照射工程と、
   前記第１の照射工程の実施した後、前記第１のスポット径よりも大きい第２のスポット径で前記当接面に前記レーザー光を照射する第２の照射工程と、
   を有することを特徴とする、レーザー溶着方法。
2. 前記第１の照射工程及び前記第２の照射工程を実施しているときに、前記第１の樹脂部材と前記第２の樹脂部材とが前記当接面を介して相互に押し付けられるように荷重を加える、請求項１に記載のレーザー溶着方法。
3. 前記第２の樹脂部材の前記表面は凸部を有し、前記第１の樹脂部材の前記表面は平坦な面または凹部を有し、前記当接工程において、前記第１の樹脂部材の前記平坦な面または前記凹部の内部の面に前記凸部の頂面を当接させる、請求項１または２に記載のレーザー溶着方法。
4. 前記第１のスポット径は、前記凸部の前記頂面の幅に等しい、請求項３に記載のレーザー溶着方法。
5. 前記第２の照射工程が終了した時の前記凸部の高さが、前記第１の照射工程の開始する前の前記凸部の高さよりも低い、請求項３または４に記載のレーザー溶着方法。
6. 前記第２の樹脂部材の表面に垂直な面での前記凸部の断面形状が矩形または台形である、請求項３乃至５のいずれか１項に記載のレーザー溶着方法。
7. 前記当接工程において、前記凸部の前記頂面は、前記第１の樹脂部材の前記凹部の内部の面に当接させられ、
   前記第１の樹脂部材の表面に垂直な面での前記凹部の断面形状が矩形または台形である、請求項３乃至６のいずれか１項に記載のレーザー溶着方法。
8. 吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドに設けられて前記液体を流通するための流路を備える流路部材の製造方法において、請求項１乃至７のいずれか１項に記載されたレーザー溶着方法を使用し、前記第１の樹脂部材と前記第２の樹脂部材とによって前記流路の内壁面を形成するように、前記第１の樹脂部材と前記第２の樹脂部材とをレーザー溶着させることにより前記流路を形成することを特徴とする、流路部材の製造方法。

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