JPH08152589A

JPH08152589A - 露光済検査装置

Info

Publication number: JPH08152589A
Application number: JP6319080A
Authority: JP
Inventors: Koichi Sato; 公一佐藤
Original assignee: Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Current assignee: Pentax Corp
Priority date: 1994-11-29
Filing date: 1994-11-29
Publication date: 1996-06-11
Anticipated expiration: 2019-01-13
Also published as: JP3486247B2; US5881322A

Abstract

(57)【要約】【目的】ラインセンサを副走査させて画像を読み出す
ことなく、またカメラから記録媒体を取り出すことな
く、その記録媒体が記録済みであるか否かを容易に判定
する。【構成】撮影動作時、発光素子７１をオン状態に定
め、電子現像型記録媒体３０の画像領域外に設けた検査
露光領域を露光する。露光済みの検査動作では、まず発
光素子７１がオン状態に定め、電子現像型記録媒体３０
の検査露光領域に光を照射する。電子現像型記録媒体３
０を透過した光が光センサ７２に導かれる。光センサ７
２によって透過光の強度が測定し、その強度に基づい
て、電子現像型記録媒体３０が記録済みであるか否かを
判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばスチルビデオカ
メラに設けられ、記録媒体が露光済みであるか否かを検
査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来光学像を記録する材料として、銀塩
写真材料が広く用いられている。銀塩写真材料は、光感
度および解像度が高く、また経済性も優れている等の特
徴を備えているが、現像処理が煩雑であるだけでなく、
可視像が撮影と同時に得られないという欠点もある。現
像処理を簡単にするために乾式現像法が開発されている
が、この現像法においても、即時現像化すなわち撮影時
に可視像を得ることは不可能である。

【０００３】一方、非銀塩写真材料としては、電子写真
材料、ジアゾ写真材料、フリーラジカル写真材料等が知
られている。しかし、これらの写真材料において、銀塩
写真材料のような特徴を備えていると同時に即時現像化
が可能なものはない。なお、電子写真材料は乾式現像が
でき、露光により得られた静電潜像をトナー等によって
即時に現像できるので、複写機を中心として広く普及し
てきた。

【０００４】さて、このような電子写真技術において近
年、銀塩写真材料のように記録媒体自体が直接電子的に
現像され、かつその現像された可視像が即時に得られる
写真材料が開発されてきている。このような電子的に現
像される記録媒体を、この明細書では電子現像型記録媒
体と呼ぶ。

【０００５】例えば特開平５−２２８０号公報には、静
電情報記録媒体と電荷保持媒体とを組み合わせた記録媒
体が開示されており、静電情報記録媒体は光導電層と無
機酸化物層を有し、電荷保持媒体は液晶表示素子を有し
ている。この構成では、静電情報記録媒体と電荷保持媒
体に電圧が印加された状態で静電情報記録媒体が露光さ
れると、入射光量に応じた電荷が静電情報記録媒体に生
成される。静電情報記録媒体に対向して配置された液晶
表示素子にかかる電界の強さは、その生成電荷に応じて
変化するので、液晶表示素子には光量分布に応じた画像
が表示すなわち現像される。

【０００６】特開平５−１５０２５１号公報には、液晶
表示素子にかかる電界を除去しても液晶表示素子に表示
された画像が保持される、分散型液晶表示素子が開示さ
れている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述のような電子現像
型記録媒体がカメラに装填された状態では、その記録媒
体が記録済みであるか否かは例えばラインセンサを副走
査させて画像を読み出してみなければ確認できず、ある
いは、その記録媒体をカメラから取り出して観察しなけ
ればならない。

【０００８】本発明は、ラインセンサを副走査させて画
像を読み出すことなく、またカメラから記録媒体を取り
出すことなく、その記録媒体が記録済みであるか否かを
容易に判定することができる露光検査装置を提供するこ
とを目的としている。

【０００９】

【問題を解決するための手段】本発明に係る露光検査装
置は、画像領域外に検査露光領域を有する記録媒体への
記録動作時に検査露光領域を露光する検査露光手段と、
検査露光領域の透過光の強度を検出することによって、
記録媒体が露光済みであるか否かを判定する露光判定手
段とを備えたことを特徴としている。

【００１０】

【実施例】以下図示実施例により本発明を説明する。図
１は本発明の第１実施例を適用したスチルビデオカメラ
の外観図である。

【００１１】カメラ本体１１を前方から見ると、前面の
略中央には撮影レンズ等を備えた撮像光学系１２が設け
られ、撮像光学系１２の右上方にはストロボ１３が配設
されている。またストロボ１３とは反対側にはレリーズ
スイッチ１４が設けられている。ファインダ１５はカメ
ラ本体１１の上面の中央部に設けられ、スキャンスター
トスイッチ１６等の操作スイッチはファインダ１５の側
方に設けられている。このカメラにより得られた画像信
号を外部の記録装置等に出力するため、カメラ本体１１
の側面の下部には出力端子１７が配設されている。

【００１２】図２は、第１実施例のスチルビデオカメラ
のブロック図である。システムコントロール回路２０は
マイクロコンピュータであり、本スチルビデオカメラの
全体の制御を行う。

【００１３】撮像光学系１２には複数のレンズ群の他、
絞り１２ａが設けられている。撮像光学系１２の後方に
は、後述する電子現像型記録媒体３０が配設され、撮像
光学系１２と電子現像型記録媒体３０の間にはクイック
リターンミラー２１が設けられ、クイックリターンミラ
ー２１と電子現像型記録媒体３０の間にはシャッタ２２
が設けられている。クイックリターンミラー２１の上方
にはファインダ光学系２３のピント板２３ａが配設され
ている。

【００１４】絞り１２ａ、クイックリターンミラー２１
およびシャッタ２２は、それぞれアイリス駆動回路２
４、ミラー駆動回路２５およびシャッタ駆動回路２６に
よって駆動され、これらの回路２４、２５、２６は露出
制御回路２７により制御される。露出制御回路２７はシ
ステムコントロール回路２０から出力される指令信号に
従って動作する。すなわち、露出制御時、測光センサ２
８からの出力信号に基づく露出制御回路２７の制御に従
って、絞り１２ａはアイリス駆動回路２４により開度を
調整される。クイックリターンミラー２１は通常、ダウ
ン位置（実線により示される傾斜状態）に定められ、撮
像光学系１２を通過した光をファインダ光学系２３に導
いているが、撮影動作時、露出制御回路２７の制御に従
い、ミラー駆動回路２５によって上方に回動せしめられ
アップ位置（破線により示される水平状態）に定められ
る。シャッタ２２は通常閉塞しているが、撮影動作時、
露出制御回路２７の制御に従って、シャッタ駆動回路２
６によって所定時間開放され、これにより撮像光学系１
２を通過した光が電子現像型記録媒体３０の受光面に照
射される。

【００１５】電子現像型記録媒体３０は記録媒体駆動回
路４１の制御に基づいて電圧を印加され、この電圧印加
の間に露光されることによって電子現像型記録媒体３０
には、後述するように、撮像光学系１２によって結像さ
れた画像が可視像として現像される。なお記録媒体駆動
回路４１は、システムコントロール回路２０から出力さ
れる指令信号に従って動作する。

【００１６】電子現像型記録媒体３０の近傍には副走査
機構５０が設けられている。副走査機構５０には、例え
ば蛍光灯から成る光源４２とスキャナ光学系４３とライ
ンセンサ４４がそれぞれ支持されており、これらは副走
査機構５０による副走査によって電子現像型記録媒体３
０に沿って移動する。ラインセンサ４４は、例えば２０
００画素のＣＣＤ１次元センサ等を用いることができ
る。光源４２は、シャッタ２２の前面すなわち電子現像
型記録媒体３０の前面に沿って移動可能であり、ライン
センサ４４は電子現像型記録媒体３０の背面に沿って移
動可能である。スキャナ光学系４３は光源４２とライン
センサ４４の間に設けられている。副走査機構５０によ
る副走査において、光源４２は電子現像型記録媒体３０
とラインセンサ４４の間に位置し、したがって電子現像
型記録媒体３０により現像された画像は、光源４２によ
って照明され、スキャナ光学系４３の作用によってライ
ンセンサ４４の受光面に結像される。すなわちスキャナ
光学系４３は電子現像型記録媒体３０を透過した光の経
路の途中に設けられ、またラインセンサ４４はスキャナ
光学系４３による画像の結像面上を移動する。

【００１７】光源４２のオンオフ制御は照明光源駆動回
路４５により行われ、ラインセンサ４４に発生した画素
信号の読出し動作等の制御はラインセンサ駆動回路４７
により行われる。副走査機構５０の移動の制御はスキャ
ナ系駆動回路４６により行われる。これらの回路４５、
４６、４７はシステムコントロール回路２０により制御
される。

【００１８】ラインセンサ４４から読み出された画素信
号は、アンプ６１により増幅され、Ａ／Ｄ変換器６２に
よってデジタル信号に変換される。デジタルの画素信号
は、システムコントロール回路２０の制御に従って、画
像処理回路６３においてシェーディング補正、ドロップ
アウト補正およびガンマ補正等の処理を施された後、メ
モリ６４に一時的に格納される。なおメモリ６４は、ラ
インセンサ４４から出力される１水平走査線分だけの記
憶容量を有していてもよいが、１フレーム分の記憶容量
を有するメモリであってもよい。また、メモリ６４はシ
ェーディング補正等の補正値を格納するＥ²ＰＲＯＭを
備えていてもよい。

【００１９】メモリ６４から読み出された画素信号は、
画像処理回路６３からインターフェイス回路６５に入力
されてフォーマットの変換等の所定の処理を施され、出
力端子１７を介して外部のディスプレイ装置（図示せ
ず）等に出力可能である。また画像処理回路６３から出
力された画素信号は、記録装置制御回路６６において、
画像圧縮あるいはフォーマットの変換等の所定の処理を
施され、画像記録装置６７において例えばＩＣメモリカ
ード等の記録媒体に記録可能である。インターフェイス
回路６５と記録装置制御回路６６はシステムコントロー
ル回路２０からの指令信号に従って動作する。

【００２０】システムコントロール回路２０には、レリ
ーズスイッチ１４とスキャンスタートスイッチ１６が接
続され、これらのスイッチ１４、１６の操作に従って、
撮像動作および画像信号の読出し動作等が行われる。ま
たシステムコントロール回路２０には、このスチルビデ
オカメラの種々の設定状態等を表示するための表示素子
６８と、ストロボ１３の発光制御を行うためのストロボ
駆動回路６９が接続されている。

【００２１】電子現像型記録媒体３０よりも撮像光学系
１２側であって電子現像型記録媒体３０の縁部に対向し
た位置には、発光素子７１が設けられている。後述する
ように電子現像型記録媒体３０には検査露光領域３０ｂ
（図４参照）が設けられており、発光素子７１は、電子
現像型記録媒体３０に画像を記録する時に検査露光領域
３０ｂを露光する。シャッタ２２の側方には、発光素子
７１から照射される光を通過させるための孔２２ａが設
けられている。また電子現像型記録媒体３０の発光素子
７１とは反対側には、発光素子７１から照射されて電子
現像型記録媒体３０を透過した光の強度を検知する光セ
ンサ７２が設けられている。

【００２２】発光素子７１は発光素子駆動回路７３によ
って駆動されて、電子現像型記録媒体３０に対して光を
照射し、発光素子駆動回路７３はシステムコントロール
回路２０によって制御される。一方、光センサ７２によ
って検知された透過光の強度は、アンプ７４によって増
幅され、システムコントロール回路２０に入力される。

【００２３】図３は電子現像型記録媒体３０の構成を示
す図であり、これは特開平５−２２８０号公報に開示さ
れたものと同じである。すなわち電子現像型記録媒体３
０は静電情報記録媒体３１と電荷保持媒体３２と電源３
３とを備えている。静電情報記録媒体３１は、基板３
４、電極層３５、無機酸化物層３６および光導電層３７
を積層して成り、光導電層３７は電荷発生層３７ａと電
荷輸送層３７ｂを重合させて構成される。電荷保持媒体
３２は、液晶支持体３８と液晶電極層３９の間に液晶４
０を封入して構成される。静電情報記録媒体３１の電荷
輸送層３７ｂと電荷保持媒体３２の液晶支持体３８とは
微小間隙をもって対向している。

【００２４】電源３３は記録媒体駆動回路４１によりオ
ンオフ制御され、電源３３がオン状態のとき、電極層３
５と液晶電極層３９の間、すなわち静電情報記録媒体３
１と電荷保持媒体３２に電圧が印加される。この電圧印
加状態で静電情報記録媒体３１が露光されると、静電情
報記録媒体３１には、画像に応じた電荷が発生する。こ
の電荷に応じて、液晶４０に作用する電界の強さが変化
するため、液晶４０には、その画像が可視像として表示
され、被写体像が現像される。この電荷保持媒体３２は
分散型液晶表示素子であり、現像された可視像は電界を
除去しても保持される。分散型液晶表示素子は、加熱装
置（図示せず）を用いて所定の温度に加熱することによ
り、現像された可視像を消去させることもでき、その場
合は繰り返し同一記録媒体を用いることもできる。

【００２５】図４は、電子現像型記録媒体３０の画像領
域３０ａと検査露光領域３０ｂを示す図である。この図
に示されるように、画像領域３０ａは矩形を有し、検査
露光領域３０ｂは画像領域３０ａの外周を囲む枠状を有
している。また検査露光領域３０ｂに一部には、発光素
子７１によって露光される検査部３０ｃが設けられてい
る。すなわち、検査部３０ｃは画像領域３０ａに形成さ
れる画像には影響しない。

【００２６】図５は撮像動作のフローチャート、図６は
電子現像型記録媒体３０が露光済みであるか否かを検査
する動作のフローチャートである。これらの図を参照し
て、本実施例の作用を説明する。

【００２７】図５のフローチャートにおいて、ステップ
１０１では禁止フラグが読み込まれる。この禁止フラグ
は、図６に示す検査動作のプログラムによって、電子現
像型記録媒体３０が露光済みである時、例えば１にセッ
トされており、露光済みでない時、例えば０にセットさ
れている。ステップ１０２では、禁止フラグに基づい
て、電子現像型記録媒体３０へ画像を記録してもよいか
否かが判定される。電子現像型記録媒体３０が露光済み
（記録済み）であり、さらに画像を記録すべきでない場
合、ステップ１０３において、表示素子６８により露光
済みである旨の表示が行われる。

【００２８】ステップ１０２において電子現像型記録媒
体３０がまだ露光されていないと判断された場合、ステ
ップ１０４が実行される。ステップ１０４においてレリ
ーズスイッチ１４が押下されたことが検知されると、ス
テップ１０５において、測光センサ２８からの出力信号
すなわち測光値が検出される。ステップ１０６では、こ
の測光値に基づいて露出演算が開始される。ステップ１
０７において記録媒体活性化信号が出力され、これによ
り電源３３がオン状態となって静電情報記録媒体３１と
電荷保持媒体３２に電圧が印加される。ステップ１０８
において露出演算が完了したことが確認されると、この
演算結果に従って、ステップ１１１以下において撮像動
作が行われる。

【００２９】ステップ１１１では、絞り１２ａの開度が
全開状態から所定開度まで変化し、またクイックリター
ンミラー２１がダウン状態からアップ状態に変化する。
ステップ１１２においてミラー２１のアップ状態への変
化と絞り１２ａの開度調整が完了したことが確認される
と、ステップ１１３において、発光素子７１がオン状態
に切り換えられる。これにより、電子現像型記録媒体３
０の検査部３０ｃが露光される。次いで、ステップ１１
４ではシャッタ２２が開放する。露出演算により求めら
れた露出期間が経過し、ステップ１１５において露出が
完了したことが検出されると、ステップ１１６におい
て、シャッタ２２が閉じる。このシャッタ２２の閉塞動
作の完了に伴い、ステップ１１７が実行され、ミラー２
１がダウン状態に変化するとともに、絞り１２ａが全開
状態まで開放する。ステップ１１８では、発光素子７１
がオフ状態に切り換えられ、ステップ１１９では記録媒
体活性化信号の出力が停止される。

【００３０】記録媒体活性化信号は少なくともシャッタ
２２が開放している間出力され、この間、電子現像型記
録媒体３０に所定の電圧が印加される。そして、この状
態で露光されることにより、電子現像型記録媒体３０に
は被写体像が可視像として現像される。この可視像は記
録媒体活性化信号の出力が停止しても保持される。

【００３１】ステップ１２１において、ミラー２１と絞
り１２ａが初期状態に復帰したことか確認されると、ス
テップ１２２においてミラー２１と絞り１２ａの駆動が
停止され、この撮像動作ルーチンは終了する。

【００３２】露光済みの検査動作では、まず、ステップ
２０１において発光素子７１がオン状態に定められる。
これにより、電子現像型記録媒体３０の検査部３０ｃに
光が照射され、電子現像型記録媒体３０を透過した光が
光センサ７２に導かれる。ステップ２０２では、光セン
サ７２によって透過光の強度が測定される。

【００３３】ステップ２０３において、透過光の強度が
基準レベルよりも高いと判定された時、電子現像型記録
媒体３０は露光済みである。したがってこの場合、ステ
ップ２０４において、電子現像型記録媒体３０の記録動
作を禁止するため、禁止フラグが１にセットされる。す
なわちこの禁止フラグに基づいて、図５のフローチャー
トのステップ１０２では電子現像型記録媒体３０に記録
すべきでないと判断される。またステップ２０５では、
表示素子６８により、電子現像型記録媒体３０が露光済
みであることを示す警告が表示され、このプログラムは
終了する。

【００３４】一方、ステップ２０３において透過光の強
度が基準レベルよりも低いと判定された時、電子現像型
記録媒体３０はまだ露光されていないので、ステップ２
０６において、電子現像型記録媒体３０の記録動作を許
可するため、禁止フラグが０にセットされ、このプログ
ラムは終了する。

【００３５】以上のように本実施例によれば、電子現像
型記録媒体３０をカメラに装填した状態で、その記録媒
体３０が記録済みであるか否かを簡単に検査することが
でき、またその検査結果が表示素子６８によって表示さ
れるので、誤って多重露出を行うことが防止される。

【００３６】図７は第２実施例のスチルビデオカメラの
ブロック図である。図２の第１実施例の構成と異なり、
発光素子７１、光センサ７２、発光素子駆動回路７３、
アンプ７４および孔２２ａが設けられていない。その他
の構成は第１実施例と同様である。

【００３７】第２実施例では、電子現像型記録媒体３０
の露光時に、光源４２によって電子現像型記録媒体３０
の検査部３０ｃ（図４参照）が露光される。すなわち検
査部３０ｃの露光は、電子現像型記録媒体３０により現
像された画像をラインセンサ４４によって読み出す時に
電子現像型記録媒体３０を照明する光源４２によって行
われる。

【００３８】図８は第２実施例における撮像動作を示す
フローチャートである。この図において、図５のフロー
チャートのステップと同一内容のステップには同一符号
が付されている。

【００３９】図５と異なるステップのみについて説明す
る。ステップ１１２においてミラー２１のアップ状態へ
の変化と絞り１２ａの開度調整が完了したことが確認さ
れると、ステップ３１３において、照明光源４２がオン
状態に切り換えられ、この光源４２から照射される照明
光によって電子現像型記録媒体３０の検査部３０ｃが露
光される。ステップ１１７においてミラー２１がダウン
状態に変化するとともに絞り１２ａが全開状態まで開放
した後、ステップ３１８において、照明光源４２がオフ
状態に切り換えられる。その他のステップの処理内容は
図５のステップと同様である。

【００４０】図９は第２実施例において、電子現像型記
録媒体３０が露光済みであるか否かを検査する動作のフ
ローチャートである。この図において、図６のフローチ
ャートのステップと同一内容のステップには同一符号が
付されている。

【００４１】図６と異なるステップのみについて説明す
る。露光済みの検査動作の最初の処理として、ステップ
４０１において照明光源４２がオン状態に定められ、電
子現像型記録媒体３０の検査部３０ｃに光が照射され
る。ステップ４０２では、ラインセンサ４４の駆動電源
がオン状態に切り換えられ、ラインセンサ駆動回路４７
による読出し動作の制御が開始される。この時、ライン
センサ４４は検査部３０ｃに対応した位置に定められて
おり、ラインセンサ４４によって検知された検査部３０
ｃの画素信号は、アンプ６１により増幅され、Ａ／Ｄ変
換器６２によってデジタル信号に変換される。この画素
信号は画像処理回路６３において所定の処理を施された
後、システムコントロール回路２０に入力される。すな
わちステップ４０３では、ラインセンサ４４の出力信号
に基づいて、透過光の強度が求められる。

【００４２】ステップ４０３の後、ステップ２０３以下
が実行され、電子現像型記録媒体３０への記録を禁止あ
るいは許可するための禁止フラグがセットされる。その
他の動作は図６のステップと同様である。

【００４３】したがって第２実施例によれば、第１実施
例と同様な効果が得られる他、発光素子７１等のよう
に、電子現像型記録媒体３０の記録状態を検出するため
の特別な要素が不要であるため、構成が簡単である。

【００４４】なお、電子現像型記録媒体３０は上述した
構成のものに限定されず、画像を電子的に現像するもの
であれば、他の構成であってもよい。

【００４５】また本発明は、上記実施例のように一眼レ
フカメラに限定されず、レンズシャッタ式カメラにも適
用できる。なおレンズシャッタ式カメラの場合には、上
記実施例のようにスキャナ系駆動時に再びシャッタ２２
を開放する必要はない。

【００４６】光源４２は発光素子（ＬＥＤ）であっても
よく、スキャナ光学系４３は、単レンズの他、マイクロ
レンズアレー、セルフォックスレンズアレー等を利用す
ることができる。

【００４７】またラインセンサ４４は、電子現像型記録
媒体３０において反射した光を検出するように配設され
ていてもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ラインセ
ンサを副走査させて画像を読み出すことなく、またカメ
ラから記録媒体を取り出すことなく、その記録媒体が記
録済みであるか否かを容易に判定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を適用したスチルビデオカ
メラの外観図である。

【図２】図１のスチルビデオカメラの回路構成を示すブ
ロック図である。

【図３】電子現像型記録媒体の構成を示す図である。

【図４】電子現像型記録媒体の画像領域と検査露光領域
を示す図である。

【図５】第１実施例における撮像動作のフローチャート
である。

【図６】第１実施例において、電子現像型記録媒体が露
光済みであるか否かを検査する動作のフローチャートで
ある。

【図７】第２実施例のスチルビデオカメラのブロック図
である。

【図８】第２実施例における撮像動作を示すフローチャ
ートである。

【図９】第２実施例において、電子現像型記録媒体が露
光済みであるか否かを検査する動作のフローチャートで
ある。

【符号の説明】

３０記録媒体３０ａ画像領域３０ｂ検査露光領域３０ｃ検査部７１発光素子７２光センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】画像領域外に検査露光領域を有する記録
媒体への記録動作時に、前記検査露光領域を露光する検
査露光手段と、前記検査露光領域の透過光の強度を検出
することによって記録媒体が露光済みであるか否かを判
定する露光判定手段とを備えたことを特徴とする露光済
検査装置。
【請求項２】前記検査露光手段が、前記検査露光領域
に光を照射する発光素子を有することを特徴とする請求
項１に記載の露光済検査装置。
【請求項３】前記露光判定手段が、前記検査露光領域
に光を照射する発光素子を有することを特徴とする請求
項１に記載の露光済検査装置。
【請求項４】前記記録媒体が画像を電子的に現像する
電子現像型記録媒体であり、前記検査露光手段が、この
電子現像型記録媒体に記録された画像を読み出す時にこ
の電子現像型記録媒体を照明する光源であることを特徴
とする請求項１に記載の露光済検査装置。
【請求項５】前記記録媒体が画像を電子的に現像する
電子現像型記録媒体であり、前記露光判定手段が、この
電子現像型記録媒体に記録された画像を読み出す時にこ
の電子現像型記録媒体を照明する光源であることを特徴
とする請求項１に記載の露光済検査装置。
【請求項６】前記記録媒体が露光済みである時、この
記録媒体への記録動作を禁止する手段を備えたことを特
徴とする請求項１に記載の露光検査装置。
【請求項７】前記記録媒体が露光済みである時、この
記録媒体への記録動作を禁止する旨を表示する手段を備
えたことを特徴とする請求項１に記載の露光済検査装
置。
【請求項８】前記電子現像型記録媒体が、画像に応じ
た電荷が発生する静電情報記録媒体と、この電荷に応じ
て可視像が発生するとともにこの可視像を保持可能な電
荷保持媒体とを有することを特徴とする請求項１に記載
の露光済検査装置。
【請求項９】前記電荷保持媒体が分散型液晶表示素子
であることを特徴とする請求項８に記載の露光済検査装
置。