JPH08139255A - リードフレームおよびそれを用いた半導体集積回路装置 - Google Patents

リードフレームおよびそれを用いた半導体集積回路装置

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JPH08139255A
JPH08139255A JP6273353A JP27335394A JPH08139255A JP H08139255 A JPH08139255 A JP H08139255A JP 6273353 A JP6273353 A JP 6273353A JP 27335394 A JP27335394 A JP 27335394A JP H08139255 A JPH08139255 A JP H08139255A
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tab
groove
lead
integrated circuit
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JP6273353A
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Yoshihiko Shimanuki
好彦 嶋貫
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Hitachi Ltd
Renesas Semiconductor Package and Test Solutions Co Ltd
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Hitachi Ltd
Hitachi Yonezawa Electronics Co Ltd
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    • H01L2224/732Location after the connecting process
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    • H01L2924/181Encapsulation

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リードフレーム同志の密着性を低減するリー
ドフレームおよびそれを用いた半導体集積回路装置を提
供する。 【構成】 半導体チップを搭載するタブ2cを備えたリ
ードフレーム2であり、リードフレーム2の表面2aの
外枠部2dおよびタブ2cにおいて、溝部3が設けら
れ、前記半導体チップのボンディング前に、リードフレ
ーム2を他のリードフレーム2と重ねた際に、2つのリ
ードフレーム2間の接触面積を低減し、前記2つのリー
ドフレーム2間の真空度を低下させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームおよび
それを用いた半導体集積回路装置に関し、特に、半導体
素子を搭載する前のリードフレーム同志の密着を低減す
るリードフレームの構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を研究、
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。
【0003】半導体集積回路装置の構成部材の1つであ
るリードフレームは、その表面または裏面に対して加工
を行っていないため、その両面とも平坦性に優れてい
る。
【0004】したがって、半導体素子を搭載する前(ペ
レットボンディング前)などに、リードフレームを他の
リードフレームと重ねた場合、リードフレームの外枠部
やタブなどの比較的面積の広い箇所において、前記2つ
のリードフレーム間が真空状態になりやすい。
【0005】なお、前記タブを備えたリードフレームに
ついては、特開昭55−21128号公報に開示されて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術において、2つのリードフレームを重ねた場合、リー
ドフレーム間が真空状態になりやすいため、その結果、
2つのリードフレームが密着したまま、離れにくくなる
という問題が発生する。
【0007】そこで、本発明の目的は、リードフレーム
同志の密着性を低減するリードフレームおよびそれを用
いた半導体集積回路装置を提供することにある。
【0008】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0010】すなわち、本発明によるリードフレーム
は、半導体素子を搭載するタブを備えたリードフレーム
の表裏面のどちらか一方の面あるいは両面に、溝部、凹
部、または凸部が設けられているものである。
【0011】また、前記溝部、前記凹部、または前記凸
部が、前記リードフレームの外枠部の長手方向に設けら
れているものである。
【0012】さらに、前記溝部、前記凹部、または前記
凸部が、前記タブに設けられているものである。
【0013】また、前記溝部、前記凹部、または前記凸
部が、前記リードフレームの外枠部の長手方向と、前記
タブとの両方に設けられているものである。
【0014】なお、前記溝部、前記凹部、または前記凸
部は、前記リードフレームの表面または裏面に沿って蛇
行する波形を形成しているものである。
【0015】また、本発明による半導体集積回路装置
は、前記リードフレームを用いたものであり、前記リー
ドフレームのタブに前記半導体素子が搭載され、かつ前
記半導体素子とその周辺部が封止されているものであ
る。
【0016】
【作用】上記した手段によれば、リードフレームの表裏
面のどちらか一方の面あるいは両面に、溝部、凹部、ま
たは凸部が設けられていることにより、2つのリードフ
レームを重ねた際に、2つのリードフレーム間の接触面
積を低減することができる。これにより、2つのリード
フレーム間の真空度を低下することができる。
【0017】また、前記溝部、前記凹部、または前記凸
部が、前記リードフレームの外枠部の長手方向に、また
は前記タブに、あるいはその両方に設けられていること
により、外枠部またはタブは比較的広い面積を有した箇
所であるため、リードフレームの強度を保ったまま前記
溝部、前記凹部、または前記凸部を形成することができ
る。
【0018】さらに、前記溝部、前記凹部、または前記
凸部は、リードフレームの表面または裏面に沿って蛇行
する波形を形成しているものであるため、前記同様、リ
ードフレームの強度を保ったまま前記溝部、前記凹部、
または前記凸部を形成することができる。
【0019】なお、前記溝部、前記凹部、または前記凸
部が形成されたリードフレームを用いた半導体集積回路
装置であることにより、該半導体集積回路装置の製造工
程において、リードフレーム同志の密着性を低減するこ
とができる。
【0020】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
【0021】図1は本発明によるリードフレームの構造
の一実施例を示す図であり、(a)はその部分平面図、
(b)は(a)の部分平面図におけるA−A断面を示す
断面図、図2は本発明のリードフレームを用いた半導体
集積回路装置の構造の一実施例を示す断面図である。
【0022】まず、本実施例のリードフレームの構成に
ついて説明すると、半導体素子である半導体チップ1を
搭載するタブ2cを備えたリードフレーム2であり、リ
ードフレーム2の半導体チップ1を搭載する側の面(以
降、表面2aという)に溝部3が設けられている。
【0023】なお、溝部3はリードフレーム2の表面2
aだけでなく、その反対側の面(以降、裏面2bとい
う)に設けられていてもよく、さらに、表面2aと裏面
2bとの両面に設けられていてもよい。
【0024】また、リードフレーム2では、比較的その
面積の広い部分、例えばリードフレーム2の外枠部2d
またはタブ2cなどにおいて、溝部3が設けられてい
る。
【0025】ここで、本実施例で説明するリードフレー
ム2は、溝部3がリードフレーム2の外枠部2dの長手
方向と、タブ2cとの両方に設けられているものである
が、そのどちらか一方に設けられているものであっても
よい。
【0026】なお、タブ2cにおいては、溝部3が十字
形に形成されている。
【0027】また、溝部3の加工については、リードフ
レーム2のタブ2cやリード部2eなどを形成する際の
エッチング時あるいはプレス時に、その工程の中で加工
する。
【0028】次に、本実施例の半導体集積回路装置の構
成について説明する。
【0029】まず、前記半導体集積回路装置は本実施例
のリードフレーム2を用いたものであり、リードフレー
ム2のタブ2cに半導体チップ1が搭載され、かつ半導
体チップ1とその周辺部が封止されているものである。
その構成は、半導体チップ1を搭載するタブ2cを備え
かつ溝部3が形成されたリードフレーム2と、リードフ
レーム2のリード部2eと半導体チップ1の電極1aと
を電気的に接続する接続部材4と、半導体チップ1およ
び接続部材4さらにその周辺部を封止する封止部材6と
からなる。
【0030】なお、半導体チップ1は熱硬化性樹脂など
の接着剤5を介してタブ2c上に固定されている。
【0031】また、接続部材4は、例えば、ボンディン
グワイヤ、または、はんだバンプなどであり、さらに、
封止部材6は熱硬化性樹脂などである。
【0032】本実施例によるリードフレームおよびそれ
を用いた半導体集積回路装置の作用および効果について
説明する。
【0033】まず、リードフレーム2の表面2aまたは
裏面2bのどちらか一方、あるいはその両面に、溝部3
が設けられていることにより、半導体チップ1のボンデ
ィング前などに、リードフレーム2を他のリードフレー
ム2と重ねた際に、2つのリードフレーム2間の接触面
積を低減することができる。
【0034】これにより、2つのリードフレーム2間の
真空度を低下することができ、その結果、リードフレー
ム2同志の密着性を低減することができる。
【0035】また、溝部3がリードフレーム2の外枠部
2dの長手方向と、タブ2cとの両方に設けられている
ことにより、外枠部2dまたはタブ2cは比較的広い面
積を有した箇所であるため、リードフレーム2の強度を
保ったまま溝部3を形成することができる。
【0036】なお、本実施例の半導体集積回路装置は、
溝部3が形成されたリードフレーム2を用いたものであ
ることにより、前記半導体集積回路装置の製造工程にお
いて、リードフレーム2同志の密着性を低減することが
できるため、その製造性を向上することができる。
【0037】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【0038】例えば、前記実施例で説明したリードフレ
ームでは、その外枠部とタブとに溝部が設けられている
が、該リードフレームの表面あるいは裏面において、前
記溝部は前記外枠部や前記タブ以外の箇所に設けられて
いてもよい。
【0039】また、前記リードフレームは、図3および
図4の本発明の他の実施例のリードフレームの部分平面
図および断面図に示すように、溝部ではなく、凸部7ま
たは凹部8が設けられているものであってもよい。
【0040】ここで、凸部7または凹部8は、図3
(a)の部分平面図、図3(b)の断面図、図4(a)
の部分平面図、さらに図4(b)の断面図に示すよう
に、リードフレーム2の外枠部2dにおいて、所定の長
さを有して形成されたものでもよく、また、図3(a)
の部分平面図、図3(c)の断面図、図4(a)の部分
平面図、さらに図4(b)の断面図に示すように、局部
的に形成されたものであってもよい。
【0041】なお、凸部7または凹部8は、リードフレ
ーム2の外枠部2dだけでなく、タブ2cなどに設けら
れていてもよく、また、その両方に設けられていてもよ
い。さらに、外枠部2dやタブ2c以外の比較的広い面
積の箇所に設けられていてもよい。
【0042】また、リードフレーム2の表面2aまたは
裏面2bのどちらか一方に設けられていてもよいし、そ
の両面に設けられていてもよい(両面に設けられている
場合、例えば、表面2aに凸部7が設けられた場合、裏
面2bにも凸部7が形成されることになる)。
【0043】なお、リードフレーム2に凸部7または凹
部8が形成されたことによる作用および効果は、前記実
施例で説明したものと同様であるため、その重複説明は
省略する。
【0044】また、図1に示した溝部3は、図5および
図6の本発明の他の実施例のリードフレームの部分平面
図に示すように、図1(b)に示したリードフレーム2
の表面2aまたは裏面2bに沿って蛇行する波形を形成
しているものであってもよい。
【0045】ここで、図5に示す溝部3は、図1(b)
に示したリードフレーム2の表面2aに沿って湾曲状の
波形を形成するものであり、また、図6に示す溝部3
は、図1(b)に示したリードフレーム2の表面2aに
沿って矩形の波形を形成するものである。
【0046】なお、溝部3を波形とすることによって、
リードフレーム2の強度を保ったまま溝部3を形成する
ことができる。
【0047】また、前記波形の溝部3を、図3および図
4に示した凸部7または凹部8としてもよく、波形の溝
部3、波形の凸部7、または波形の凹部8においても、
図1に示したリードフレーム2の外枠部2dもしくはタ
ブ2cのどちらか一方に設けられていてもよいし、ある
いは、その両方に設けられていてもよい。
【0048】さらに、外枠部2dやタブ2c以外の比較
的広い面積の箇所に設けられていてもよいし、また、リ
ードフレーム2の表面2aまたは裏面2bのどちらか一
方に設けられていてもよく、その両面に設けられていて
もよい。
【0049】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0050】(1).リードフレームの表裏面のどちら
か一方の面あるいは両面に、溝部、凹部、または凸部が
設けられていることにより、2つのリードフレームを重
ねた際に、2つのリードフレーム間の接触面積を低減す
ることができる。
【0051】これにより、2つのリードフレーム間の真
空度を低下することができ、その結果、リードフレーム
同志の密着性を低減することができる。
【0052】(2).前記溝部、前記凹部、または前記
凸部が、前記リードフレームの外枠部の長手方向に、ま
たは前記タブに、あるいはその両方に設けられているこ
とにより、外枠部またはタブは比較的広い面積を有した
箇所であるため、リードフレームの強度を保ったまま前
記溝部、前記凹部、または前記凸部を形成することがで
きる。
【0053】(3).前記溝部、前記凹部、または前記
凸部は、リードフレームの表面または裏面に沿って蛇行
する波形を形成しているものであるため、前記同様、リ
ードフレームの強度を保ったまま前記溝部、前記凹部、
または前記凸部を形成することができる。
【0054】(4).前記溝部、前記凹部、または前記
凸部が形成されたリードフレームを用いた半導体集積回
路装置であることにより、該半導体集積回路装置の製造
工程において、リードフレーム同志の密着性を低減する
ことができるため、その製造性を向上することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるリードフレームの構造の一実施例
を示す図であり、(a)はその部分平面図、(b)は
(a)の部分平面図におけるA−A断面を示す断面図で
ある。
【図2】本発明のリードフレームを用いた半導体集積回
路装置の構造の一実施例を示す断面図である。
【図3】本発明の他の実施例であるリードフレームの構
造の一例を示す図であり、(a)はその部分平面図、
(b)は(a)の部分平面図におけるB−B断面を示す
断面図、(c)は(a)の部分平面図におけるC−C断
面を示す断面図である。
【図4】本発明の他の実施例であるリードフレームの構
造の一例を示す図であり、(a)はその部分平面図、
(b)は(a)の部分平面図におけるD−D断面を示す
断面図、(c)は(a)の部分平面図におけるEE断面
を示す断面図である。
【図5】本発明の他の実施例であるリードフレームの構
造の一例を示す部分平面図である。
【図6】本発明の他の実施例であるリードフレームの構
造の一例を示す部分平面図である。
【符号の説明】
1 半導体チップ(半導体素子) 1a 電極 2 リードフレーム 2a 表面 2b 裏面 2c タブ 2d 外枠部 2e リード部 3 溝部 4 接続部材 5 接着剤 6 封止部材 7 凸部 8 凹部

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子を搭載するタブを備えたリー
    ドフレームであって、前記リードフレームの表裏面のど
    ちらか一方の面あるいは両面に、溝部、凹部、または凸
    部が設けられていることを特徴とするリードフレーム。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のリードフレームであっ
    て、前記溝部、前記凹部、または前記凸部が、前記リー
    ドフレームの外枠部の長手方向に設けられていることを
    特徴とするリードフレーム。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のリードフレームであっ
    て、前記溝部、前記凹部、または前記凸部が、前記タブ
    に設けられていることを特徴とするリードフレーム。
  4. 【請求項4】 請求項1記載のリードフレームであっ
    て、前記溝部、前記凹部、または前記凸部が、前記リー
    ドフレームの外枠部の長手方向と、前記タブとの両方に
    設けられていることを特徴とするリードフレーム。
  5. 【請求項5】 請求項1,2,3または4記載のリード
    フレームであって、前記溝部、前記凹部、または前記凸
    部は、前記リードフレームの表面または裏面に沿って蛇
    行する波形を形成していることを特徴とするリードフレ
    ーム。
  6. 【請求項6】 請求項1,2,3,4または5記載のリ
    ードフレームを用いた半導体集積回路装置であって、前
    記リードフレームのタブに前記半導体素子が搭載され、
    かつ前記半導体素子とその周辺部が封止されていること
    を特徴とする半導体集積回路装置。
JP6273353A 1994-11-08 1994-11-08 リードフレームおよびそれを用いた半導体集積回路装置 Pending JPH08139255A (ja)

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