JPH08112748A - ワイヤソー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワイヤソー装置において、作業効率を向上で
きるとともに、その作業を正確に行うことができるよう
にすることにある。 【構成】 複数の加工用ローラ間３，４に１本のワイヤ
５を螺旋状に巻き付ける。加工用ローラ３，４の回転に
よりワイヤ５を走行させワーク１０に切断加工を施され
る。そして、ワイヤ５，ワーク１０等によりワーク１０
に対する切断開始可能な状態を検出する第１の検出手段
を構成し、ワイヤ５，支持板３６等により切断完了状態
を検出する第２の検出手段を構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体材料、
磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断
するワイヤソー装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のワイヤソー装置は、複数の加工
用ローラ間にワイヤが多数回巻掛けられる。そして、そ
の加工用ローラの回転によりワイヤが走行され、その走
行中のワイヤとワークとが接触されるとともに、その接
触部に砥粒を含むスラリーが供給されて、ワークがワイ
ヤによりウェハー状にスライスされる。

【０００３】そして、従来の装置においては、ワークと
ワイヤとが接触していることを作業者が目視確認してか
ら切断開始が行われる。また、切断終了に際しては、作
業者がワイヤの撓みによる切断残しがないかを目視によ
り確認を行って、手動でワークを引き上げたり、また、
一部では引き上げ動作ボタンを押して一定時間経過後に
再びワーク引き上げ完了を目視確認したりした後に、装
置運転停止ボタンを押して装置を停止していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
ワイヤソー装置においては、切断の開始及び終了に際し
て、目視確認等の手動作業を必要とするため、人手がか
かって作業の自動化を行い得ず、作業効率が悪いもので
あった。しかも、切断の開始及び終了を目視確認に依存
すれば、当然、その確認の確実度が低く、作業ミスの原
因になるおそれもあった。

【０００５】この発明の目的は、作業効率を向上できる
とともに、その作業を正確に行うことができるワイヤソ
ー装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１においては、ワークに対する切断開始可
能な状態を検出する第１の検出手段と、切断完了状態と
を検出する第２の検出手段とを備えた。

【０００７】請求項２においては、請求項１において第
１の検出手段による検出に基づいて、ワークに対する切
断開始が行われるとともに、第２の検出手段による検出
に基づいて切断終了が行われるように制御する制御手段
を備えた。

【０００８】請求項３においては、請求項１または２に
おいて、ワークの切断完了後にワイヤとワークとの離脱
を検出する第３の検出手段を備えた。請求項４において
は、請求項１〜３のいずれかにおいて、第１の検出手段
は、ワイヤ及びワークを含み、ワイヤがワークに接触し
たときに通電される。

【０００９】請求項５においては、請求項１〜３のいず
れかにおいて、第２の検出手段は、ワイヤ及びワーク支
持部を含み、ワイヤがワーク支持部に接触したときに通
電される。

【００１０】請求項６においては、請求項５において、
第２の検出手段は、ワーク支持部に埋設された電極を含
む。

【００１１】

【作用】請求項１においては、ワークに対する切断を開
始可能な状態と、切断完了状態とが検出されるため、そ
れらの状態の確認を目視に依存することが不要になる。

【００１２】請求項２においては、ワークに対する切断
を開始可能な状態が検出されると、切断作業が自動的に
開始され、切断完了状態が検出されると切断作業が自動
的に終了する。

【００１３】請求項３においては、ワークの切断完了後
にワイヤとワークとの離脱が検出される。請求項４にお
いては、ワイヤとワークとの接触により、ワークに対す
る切断を開始可能な状態が検出される。

【００１４】請求項５においては、ワイヤとワーク支持
部との接触により、切断完了状態が検出される。請求項
６においては、ワイヤと電極との接触により、切断完了
状態が検出される。

【００１５】

【実施例】以下、この発明の一実施例を、図面に基づい
て詳細に説明する。図１及び図２に示すように、切断機
構１は装置フレーム２上に装設されている。この切断機
構１は平行に延びる加工用駆動ローラ３及び加工用被動
ローラ４を備え、それらの外周には環状溝３ａ，４ａが
所定ピッチで形成されている。

【００１６】鋼線よりなる１本の切断用ワイヤ５は前記
加工用ローラ３，４の各環状溝３ａ，４ａ間に螺旋状に
連続的に巻回されている。ワイヤ走行用モータ６は装置
フレーム２上に配設され、このモータ６により加工用駆
動ローラ３が直接回転されるとともに、多数張設された
ワイヤ５の走行にともない加工用被動ローラ４が回転さ
れる。そして、加工用ローラ３の回転によって、ワイヤ
５が一方向または双方向に所定の走行速度で走行され
る。

【００１７】ワーク支持機構９は前記切断機構１の上方
において、フレーム２に上下動可能に支持され、その下
部にはワーク１０がセットされる。位置検出用のエンコ
ーダを備えたワーク昇降用モータ１１はフレーム２上に
配設され、このモータ１１により図示しないボールスク
リュー等を介してワーク支持機構９が上下動される。そ
して、装置の運転時には、ワイヤ５が切断機構１の加工
用ローラ３，４間で走行されながら、ワーク支持機構９
が切断機構１に向かって下降される。この時、図示しな
いスラリ供給機構によりワイヤ５上へ砥粒を含むスラリ
が供給されるとともに、そのワイヤ５に対しワーク１０
が押し付けられ、ラッピング作用によってワーク１０が
スライス加工される。

【００１８】図１〜図３に示すように、リール機構１２
は前記フレーム２上に装設され、ワイヤ５を繰り出すた
めの繰出しリール１３と、ワイヤ６を巻き取るための巻
取りリール１４とを備えている。回転方向及び回転速度
を変更可能なサーボモータよりなる一対のリール回転用
モータ１５，１６はフレーム２に配設され、それらのモ
ータ軸にはカップリング１７及び連結軸１８を介して各
リール１３，１４が連結されている。トラバース機構１
９はリール機構１２に隣接してフレーム２上に装設さ
れ、繰出しリール１３からのワイヤ５の繰出し及び巻取
りリール１４へのワイヤ５の巻取りをトラバースしなが
ら案内する。

【００１９】そして、前記リール機構１２の両リール１
３，１４の回転により、繰出しリール１３から切断機構
１へワイヤ５が繰り出されるとともに、加工後のワイヤ
５が巻取りリール１４に巻き取られる。また、繰出しリ
ール１３上のワイヤ５が、切断機構１を経て巻取りリー
ル１４にすべて巻き取られたとき、両リール回転用モー
タ１５，１６の回転方向が切り換えられて、両リール１
３，１４の繰出し機能及び巻取り機能が反転される。

【００２０】図１、図２、図４及び図５に示すように、
ワイヤ張力付与機構２０は前記リール機構１２と切断機
構１との間に配設されている。この張力付与機構２０は
フレーム２の前面に回動軸２３を介して一定ストローク
にて回動可能に支持された一対のダンサアーム２１，２
２を備え、それらの先端にはガイドローラ２４及びウェ
イト２５がそれぞれ取り付けられている。エンコーダよ
りなる一対のセンサ２６，２７は各ダンサアーム２１，
２２の回動軸２３に連結され、ダンサアーム２１，２２
の回動位置に応じて検出信号を出力する。ストッパ２８
はフレーム２の前面に突設され、このストッパ２８との
係合により、各ダンサアーム２１，２２の最下位置が規
制される。リミットスイッチ４５はフレーム２に支持さ
れ、ダンサアーム２１，２２が最下端に位置したときに
それを検出し、装置運転を停止させる。

【００２１】ワイヤガイド機構２９は切断機構１に近接
して配置され、ワイヤ５を案内するための複数のガイド
ローラ３０を備えている。そして、切断機構１の加工用
ローラ３，４間に巻回されたワイヤ５の両端が、このワ
イヤガイド機構２９のガイドローラ３０及びフレーム２
上のガイドローラ３１を介して、ワイヤ張力付与機構２
０のガイドローラ２４に掛装されている。そして、ワイ
ヤ張力付与機構２０の両ダンサアーム２１，２２がウェ
イト２５にて下方へ付勢されることにより、加工用ロー
ラ３，４間のワイヤ５に所定の張力が付与される。

【００２２】ワイヤ張力低減機構３２は前記リール機構
１２とワイヤ張力付与機構２０との間に配設されてい
る。この張力低減機構３２は一対の回転ローラ３３を備
え、それらの外周にはワイヤ５が接触されている。そし
て、両回転ローラ３３が図示しない制御手段によって適
宜回転されることにより、ワイヤ張力付与機構２０から
リール機構１２の各リール１３，１４側へ波及するワイ
ヤ５の張力が低減される。

【００２３】次に、前記ワーク支持機構９に対するワー
ク１０の取付構成について詳述する。図６及び図７に示
すように、ワーク支持機構９は導電材よりなるサドル３
４を備え、その下面にはガラス等よりなる絶縁板３５及
びワーク支持部としてのカーボン等の導電材よりなる支
持板３６を介して、導電材よりなるワーク１０が接着固
定されている。

【００２４】雌型端子３７は前記支持板３６に埋設さ
れ、この雌型端子３７にねじを介して係脱可能に対応す
るように、サドル３４の外面には雄型端子３８が電線３
９を介して接続されている。そして、装置の運転開始に
おいて、ワーク１０を加工用ローラ３，４間のワイヤ５
と近接対応する位置に自動セットする際に、雄型端子３
８が雌型端子３７にねじ込まれて、ワーク１０及び支持
板３６がサドル３４に対して電気接続される。

【００２５】電極としての導電材よりなる検出棒４０は
合成樹脂等の絶縁層４１により被覆した状態で、前記支
持板３６の中央下部に埋設され、その絶縁層４１がワー
ク１０の外周面に接合されている。検出棒４０は加工用
ローラ３，４間のワイヤ５の配列方向に延びている。雌
型端子４２は検出棒４０の端面に形成され、この雌型端
子４２とねじを介して係脱可能に対応するように、サド
ル３４の端面には雄型端子４３が電線４４を介して接続
されている。雄型端子４３を雌型端子４２にねじ込むこ
とにより、検出棒４０がサドル３４に対して電気接続さ
れる。

【００２６】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置の主要部の制御装置について説明する。図２及び図
９に示すように、制御装置５１は前記フレーム２の近傍
に配設され、その内部には中央処理装置（ＣＰＵ）５２
及びメモリ５３が実装されている。このＣＰＵ５２は装
置全体の動作を統括するとともに、タイマ機能を有して
いる。メモリ５３は装置の動作を制御するためのプログ
ラムを記憶するとともに、各種の入力データや検出デー
タを一時的に記憶する。

【００２７】操作盤５４は制御装置５１の前部に配置さ
れ、その上面にはタッチパネル機能を有するディスプレ
イ５５が装備されている。そして、このディスプレイ５
５には、例えば図１０に示すような初期モニタ画面５６
等の各種のモニタ画面が、作業モード等に応じて随時表
示される。また、このモニタ画面５６上には、作業状態
やワイヤ経路等を示す線図５７、作業モードを選択する
ための複数のスイッチ部５８、運転モード等を表示する
ための複数の表示部５９等が設けられている。そして、
このモニタ画面５６上のスイッチ部５８をタッチするこ
とによって、任意の作業モードを選択することができ
る。

【００２８】この実施例においては、前記ＣＰＵ５２に
より制御手段が構成されている。またＣＰＵ５２，ワイ
ヤ５及びワーク１０等により第１の検出手段が、ＣＰＵ
５２，ワイヤ５，支持板３６及び検出棒４０等により第
２の検出手段が、ＣＰＵ５２により第３の検出手段がそ
れぞれ構成されている。

【００２９】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置について動作を説明する。まず、装置運転の停止時
における動作を、図１１のフローチャートに従って説明
する。さて、ディスプレイ５５上のスイッチ部５８の操
作、あるいはプログラムされた自動停止指示によりＣＰ
Ｕ５２に運転の停止指令が入力されると（ステップＳ
１）、ワイヤ５を緩める方向にリール用モータ１５，１
６がゆっくりと回転され、これによりダンサアーム２
１，２２は図４に示す最下位置Ｐ２に向かってゆっくり
と回動される（ステップＳ２）。

【００３０】そして、ダンサアーム２１，２２が最下位
置Ｐ２の手前（数ｍｍ上方）の所定位置まで回動された
とき、センサ２６，２７からの検出信号に基づき、リー
ル用モータ１５，１６が停止されて、リール用モータ１
５，１６がサーボロック状態に制動保持される（ステッ
プＳ３〜Ｓ４）。従って、ダンサアーム２１，２２が前
記所定位置で停止される。なお、センサ２６，２７の出
力は常時ＣＰＵ５２に入力され、ダンサアーム２１，２
２の位置が常時検出されている。従って、運転停止指令
に基づいてＣＰＵ５２は最下位置Ｐ２の手前までのダン
サアーム２１，２２の回動量を演算して、その演算結果
に基づいてリール用モータ１５，１６の回転を制御す
る。

【００３１】この時点でタイマの計時動作がスタートさ
れ、所定時間（１〜２秒）サーボロック状態が維持され
る（ステップＳ５）。従って、仮にダンサアーム２１，
２２に停止にともなう振動が発生していても、その所定
時間の停止により収束される。そして、タイマがタイム
アップすると、リール用モータ１５，１６がサーボロッ
ク状態から解放されて、フリーの状態になる（ステップ
Ｓ６〜Ｓ７）。それにより、ワイヤ５がリール１３，１
４上から繰り出し可能になり、ダンサアーム２１，２２
は最下位置Ｐ２の手前の位置から、最下位置Ｐ２に向か
って僅かに回動されて、ストッパ２８により停止され
る。（ステップＳ８）。

【００３２】このため、装置運転の停止時に、リール１
３，１４の惰性回転により、リール１３，１４上からワ
イヤ５が余分に繰り出されることはなく、ワイヤ５に余
分な弛みが生じるおそれを防止することができる。従っ
て、次に装置の運転を開始する際に、ワイヤ５をガイド
ローラ３０，３１等から外れることなく、円滑に給送す
ることができるとともに、ワイヤ５の余分な弛みに起因
するワイヤ切断事故を防止できる。また、この装置の運
転開始時には、ワイヤ５に余分な弛みが生じていないた
め、リール１３，１４上にワイヤ５を所定量巻き取るこ
とにより、ダンサアーム２０，２１を中立位置Ｐ１に直
ちに復帰回動させることができて、装置の運転を自動で
開始することができる。

【００３３】次に、装置の運転開始時におけるワーク１
０の自動セット動作を説明する。まず、作業者はディス
プレイ５５のスイッチ部５８の操作により、ワーク１０
の上下寸法を含むワーク１０の大きさを入力する。この
大きさのデータは制御装置５１のメモリ５３に記憶され
る。そして、ディスプレイ５５上のスイッチ部５８の操
作により、ワーク１０の自動セットモードが選択される
と、図１２のルーチンが開始される。そこで、図６に示
すように、予め接続されている雄型端子３８と雌型端子
３７を介して、ワーク１０、支持板３６とサドル３４の
電気接続を確認する（ステップＳ１〜Ｓ２）。

【００３４】この状態で、ワーク１０のセット確認動作
が完了し、自動開始操作により、ワーク昇降用モータ１
１によりワーク支持機構９が下方に早送り移動され、ワ
ーク１０が加工用ローラ３，４間のワイヤ５に向かって
下降される（ステップＳ３）。そして、メモリ５３内に
格納されたワークの大きさを示すデータに基づいて、ワ
ーク１０がワイヤ５の直上位置（１ｍｍ程度）に達する
と（ステップＳ４）、ワーク１０の早送りが予め設定さ
れた切削送りに切換えられる（ステップＳ５）。

【００３５】そして、ワーク１０が加工用ローラ３，４
間のワイヤ５に接触すると、すなわちワーク１０に対す
る切断加工が可能な状態になると、図示しない端子を介
してワイヤ５に流れる検出電流が、ワーク１０から支持
板３６、ケーブル３９、サドル３４及びフレーム２に流
れて、全体として閉回路が形成され、それによりこの接
触が検出される（ステップＳ６）。そして、その時のワ
ーク１０位置が加工開始ゼロ位置としてメモリ５３に設
定され、ワイヤ５の走行が開始される（ステップＳ
７）。

【００３６】従って、ワーク１０の寸法データを入力
し、ワーク１０の自動セットモードを選択するのみで、
ワーク１０を自動動作にて加工用ローラ３，４間のワイ
ヤ５と近接対応する位置へ、迅速かつ正確にセットする
ことができる。そして、このワーク１０のセット状態
で、ワーク１０を早送りから切削送り速度にて下降さ
せ、その後ワイヤ５を走行させてただちに切削運転を開
始することができる。以上のように目視確認に依存する
ことなく、自動的に切断加工を開始できる。

【００３７】次に、加工終了時におけるワイヤ５からの
ワーク１０の離脱動作を、図１３のフローチャートに従
って説明する。ディスプレイ５５上のスイッチ部５８に
より、ワーク１０の自動加工モードを選択した場合に、
前述のように、ワーク昇降用モータ１１によりワーク支
持機構９が下方へ切削送りされて、ワーク１０が下降
し、接触したワイヤ５が走行されて、ワーク１０の加工
が開始される（ステップＳ１〜Ｓ２）。

【００３８】そして、加工用ローラ３，４間のワイヤ５
に対し、スラリが供給されながらワーク１０が押し付け
られて、そのワーク１０がスライス加工される。その
後、図８に示すようにワーク１０の加工が終了し、ワイ
ヤ５が被覆層４１を切断して検出棒４０に達すると、ワ
イヤ５に流れる検出電流が、検出棒４０からケーブル４
４、サドル３４及びフレーム２に流れて、全体として閉
回路が形成され、この接触が検出される（ステップＳ
３）。すると、モータ５，１１等の駆動が停止されて、
切断加工動作が停止される（ステップＳ４）。

【００３９】そして、前記の停止状態において、ディス
プレイ５５上のスイッチ部５８の操作により、ワイヤ５
からのワーク１０の離脱が指示されると、ワイヤ走行用
モータ５によりワイヤ５が低速で走行されながら、ワー
ク昇降用モータ１１の逆転によりワーク１０がゆっくり
と上昇送りされる（ステップＳ５〜Ｓ６）。これによ
り、ワーク１０が加工用ローラ３，４間のワイヤ５から
抜き取られ、ワーク１０が最上位置に達したときに、ワ
ーク昇降用モータ１１の位置検出用エンコーダとＣＰＵ
５２によりその状態が検出され、ワーク１０の抜き取り
動作が終了する（ステップＳ７）。

【００４０】従って、ワーク１０の自動加工モードで
は、目視に依存することなく、切断の完了が検出されワ
ーク１０の離脱動作を自動的に行うことができる。この
実施例においては、図２及び図１０に示すように、操作
盤５４上にタッチパネル機能を有するディスプレイ５５
が装備され、このディスプレイ５５のスイッチ部５８に
より、各種の動作モードの選択や動作指示を行うように
なっている。従って、タッチパネル機能を有しないディ
スプレイとキーボード等の操作部とを有する装置に比較
して、配置スペースを小さくできるとともに、構成を簡
単にすることができる。

【００４１】なお、この発明は、例えば次のように構成
を変更して具体化してもよい。 （１）図１３のステップＳ４における電流検出動作にお
いて、端部のワイヤ５が検出棒４０に接触したとき、タ
イマの計時動作をスタートさせ、その時点から所定時間
経過して、全てのスライス片が切り出されたとき、タイ
マをタイムアップさせ、それにより切断完了と判断する
ように構成すること。 （２）ワイヤ張力付与機構２０の構成を前記実施例とは
異なる構成にすること。例えば、ガイドローラ２４が直
線的に移動する構成にすること。 （３）前記実施例とは逆に加工用ローラ３，４が昇降動
作を行うように構成すること。

【００４２】請求項以外に、前記実施例から把握される
技術的思想を以下に述べる。 （１）複数の加工用ローラ３，４間に１本のワイヤ５を
螺旋状に巻き付け、それらのローラ３，４の回転にとも
ないワイヤ５を走行させることによりワーク１０を切断
するようにしたワイヤソー装置において、ワーク１０の
支持部３６に電極４０を設け、ワイヤ５がワーク切断し
た後に電極４０に接することにより、切断終了を判断す
る制御手段５２を設けたワイヤソー装置。

【００４３】このように構成すれば、切断終了を自動的
に認識でき、切りすぎや、切断完了前の装置停止を防止
できる。 （２）加工用ローラ３，４とワイヤ５のリール１３，１
４との間にウェイト２５を有する張力付与機構２０を設
け、その張力付与機構２０のウェイト２５により、加工
用ローラ３，４間のワイヤ５に所定の張力を付与するよ
うに構成したワイヤソー装置において、前記張力付与機
構２０の張力付与方向及びそのその逆方向における位置
を検出するセンサ２６，２７と、そのセンサ２６，２７
からの検出信号に基づいてリール用モータ１５，１６の
回転を制御する制御装置５１とを備え、その制御装置５
１は、装置運転の停止時にワイヤ５を緩める方向にリー
ル用モータ１５，１６を回転させ、張力付与機構２０が
移動ストロークの最下位置の直上位置まで移動されたと
き、センサ２６，２７からの検出信号に基づきリール用
モータ１５，１６の回転を停止させてその状態に制動保
持し、所定時間経過後にリール用モータの１５，１６制
動を解放して、張力付与機構２０の最下位置への移動を
許容するように制御するワイヤソー装置。

【００４４】以上のように構成すれば、装置運転の停止
時に、リール上からワイヤが余分に繰り出されて弛みが
生じるのを防止することができる。従って、装置の運転
開始時に、ワイヤをガイドローラから外れることなく円
滑に給送することができるとともに、ワイヤ切断事故を
防止できる。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、以下のような効果を発揮する。請求項１において
は、ワークに対する切断を開始可能な状態と、切断完了
状態とが検出されるため、それらの状態の確認を目視に
依存することが不要になり、切断作業を効率よく、しか
も加工ミスが生じることなく行うことができる。

【００４６】請求項２においては、ワークに対する切断
を開始可能な状態が検出されると、切断作業が自動的開
始され、切断完了状態が検出されると切断作業が自動的
に終了するため、切断加工が自動的に行われる。

【００４７】請求項３においては、ワークの切断完了後
においてワイヤとワークとの離脱が検出され、加工終了
を自動的に行うことができる。請求項４においては、ワ
イヤとワークとの接触により、ワークに対する切断を開
始可能な状態が検出され、ワークが加工開始位置に配置
されたことを確実に検出できる。

【００４８】請求項５及び６においては、ワイヤとワー
ク支持部との接触により、切断完了状態が確実に検出さ
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のワイヤソー装置の一実施例を示す
正面図。

【図２】 そのワイヤソー装置の平面図。

【図３】 リール機構を拡大して示す部分破断側面図。

【図４】 ワイヤ張力付与機構を拡大して示す部分正面
図。

【図５】 図４のＶ−Ｖ線における部分断面図。

【図６】 サドルに対するワークの取付構成を拡大して
示す部分断面図。

【図７】 図６の VII− VII線における部分拡大断面
図。

【図８】 ワークの加工終了時の切り込み状態を示す部
分断面図。

【図９】 ワイヤソー装置の主要部の制御回路を示すブ
ロック図。

【図１０】 操作盤上のタッチパネルの初期モニタ画面
を示す平面図。

【図１１】 加工終了時のリール用モータの動作を示す
フローチャート。

【図１２】 ワークの自動セット動作を示すフローチャ
ート。

【図１３】 加工終了後のワークの抜き取り動作を示す
フローチャート。

【符号の説明】

３…加工用駆動ローラ、４…加工用被動ローラ、５…切
断用ワイヤ（第１，第２の検出手段を構成する）、１０
…ワーク（第１の検出手段を構成する）、３６…第２の
検出手段を構成するワーク支持部としての支持板、４０
…電極としての検出棒、５１…制御装置、５２…制御手
段，第１〜第３の検出手段を構成するＣＰＵ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に１本のワイヤを
   螺旋状に巻き付け、加工用ローラの回転によりワイヤを
   走行させるとともに、その状態でワイヤとワークとの間
   に切削送りを付与してワークに対して切断加工を施すよ
   うにしたワイヤソー装置において、 ワークに対する切断開始可能な状態を検出する第１の検
   出手段と、切断完了状態とを検出する第２の検出手段と
   を備えたワイヤソー装置。
2. 【請求項２】 第１の検出手段による検出に基づいて、
   ワークに対する切断開始が行われるとともに、第２の検
   出手段による検出に基づいて切断終了が行われるように
   制御する制御手段を備えた請求項１に記載のワイヤソー
   装置。
3. 【請求項３】 ワークの切断完了後にワイヤとワークと
   の離脱を検出する第３の検出手段を備えた請求項１また
   は２に記載のワイヤソー装置。
4. 【請求項４】 第１の検出手段は、ワイヤ及びワークを
   含み、ワイヤがワークに接触したときに通電される請求
   項１〜３にいずれかに記載のワイヤソー装置。
5. 【請求項５】 第２の検出手段は、ワイヤ及びワーク支
   持部を含み、ワイヤがワーク支持部に接触したときに通
   電される請求項１〜３のいずれかに記載のワイヤソー装
   置。
6. 【請求項６】 第２の検出手段は、ワーク支持部に埋設
   された電極を含む請求項５に記載のワイヤソー装置。