JP2016155195A - ワイヤーソー及び切断方法 - Google Patents
ワイヤーソー及び切断方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016155195A JP2016155195A JP2015035299A JP2015035299A JP2016155195A JP 2016155195 A JP2016155195 A JP 2016155195A JP 2015035299 A JP2015035299 A JP 2015035299A JP 2015035299 A JP2015035299 A JP 2015035299A JP 2016155195 A JP2016155195 A JP 2016155195A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- workpiece
- rollers
- roller
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
【課題】加工精度が高く加工コストを低減できるワイヤーソーを提供する。
【解決手段】被加工物Wを設置する設置部41と、設置部41を挟む一対の下部固定ローラー36a、36bと、下部固定ローラー36a、36bに張架されるワイヤー2とを備え、下部固定ローラー36a、36b間で屈曲したワイヤー2が被加工物Wに接触して所定の張力で往復移動し、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2が短縮して被加工物Wの切断が進行するワイヤーソー1において、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を掛けて屈曲させる可動ローラー37a、37bを設け、可動ローラー37a、37bが所定方向に移動して下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を短縮するとともに下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2から退避できる。
【選択図】図2
【解決手段】被加工物Wを設置する設置部41と、設置部41を挟む一対の下部固定ローラー36a、36bと、下部固定ローラー36a、36bに張架されるワイヤー2とを備え、下部固定ローラー36a、36b間で屈曲したワイヤー2が被加工物Wに接触して所定の張力で往復移動し、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2が短縮して被加工物Wの切断が進行するワイヤーソー1において、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を掛けて屈曲させる可動ローラー37a、37bを設け、可動ローラー37a、37bが所定方向に移動して下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を短縮するとともに下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2から退避できる。
【選択図】図2
Description
本発明は、ワイヤーの往復移動により被加工物を切断するワイヤーソー及び切断方法に関する。
従来のワイヤーソーは特許文献1に記載されている。このワイヤーソーはシングルワイヤーソーから成り、被加工物を設置する設置部と、設置部に設置された被加工物を挟む一対の第1ローラーと、第1ローラーに張架されるワイヤーと、被加工物に対してワイヤーを所定位置に案内する左右一対の案内部材とを備える。案内部材はワイヤーに嵌合する隙間を介して前後に対向する案内板を有し、ワイヤーを案内する。
上記構成のワイヤーソーにおいて、被加工物の下部には左右に延びる位置決め溝を形成したダミー部材が設けられる。一対の第1ローラー間のワイヤーは下に凸に屈曲して位置決め溝内に挿入され、所定の張力で往復移動して被加工物を切断する。そして、ワイヤーの張力によって第1ローラー間のワイヤーが短縮され、切断が進行する。位置決め溝及び案内部材によって所望の切断位置に対するワイヤーのずれを防止することができる。
しかしながら、上記従来のワイヤーソーを用いた切断方法によると、ダミー部材によって被加工物に位置決め溝を設けているため加工コストが大きくなる。一方で、位置決め溝を省いて加工を行うと、ワイヤーが左右方向に長い被加工物に線接触して加工抵抗が大きいため案内部材間で蛇行する。このため、所望の切断位置に対するワイヤーのずれが大きくなり、加工精度が低下する問題があった。また、マルチワイヤーソーの場合は狭ピッチのワイヤー間に案内板を設置できないため、加工精度が更に低下する問題がある。
本発明は、加工精度が高く加工コストを低減できるワイヤーソー及びそれを用いた切断方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明は、被加工物を設置する設置部と、前記設置部を挟む一対の第1ローラーと、第1ローラーに張架されるワイヤーとを備え、第1ローラー間で屈曲した前記ワイヤーが被加工物に接触して所定の張力で往復移動し、第1ローラー間の前記ワイヤーが短縮して被加工物の切断が進行するワイヤーソーにおいて、
第1ローラー間の前記ワイヤーを掛けて屈曲させる可動の第2ローラーを設け、
第2ローラーが所定方向に移動して第1ローラー間の前記ワイヤーを短縮するとともに第1ローラー間の前記ワイヤーから退避できることを特徴としている。
第1ローラー間の前記ワイヤーを掛けて屈曲させる可動の第2ローラーを設け、
第2ローラーが所定方向に移動して第1ローラー間の前記ワイヤーを短縮するとともに第1ローラー間の前記ワイヤーから退避できることを特徴としている。
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、一対の第2ローラーが第1ローラーの並設方向に並設され、第2ローラーが互いに接近する方向に移動して第1ローラー間の前記ワイヤーを短縮すると好ましい。
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、一方の第2ローラーが着脱可能に配されて他方の第2ローラーと被加工物との間に退避して取り外された後、他方の第2ローラーが被加工物の側方を通って被加工物と第1ローラーとの間の前記ワイヤーから退避すると好ましい。
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、両方の第2ローラーが被加工物の側方を通って被加工物と第1ローラーとの間の前記ワイヤーから退避すると好ましい。
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、第2ローラーが被加工物に接近する方向に移動して第1ローラー間の前記ワイヤーを短縮するとともに、被加工物の側方を通って被加工物と第1ローラーとの間の前記ワイヤーから退避すると好ましい。
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、前記設置部が被加工物に対向する第3ローラーを有し、前記ワイヤーの接触により第3ローラーが回転した際に加工を終了すると好ましい。
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、前記ワイヤーの張力を検出して調整する張力調整部を備えると好ましい。
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、加工液を貯留して被加工物が浸漬される加工槽を備えると好ましい。
また本発明は、被加工物を設置する設置部と、前記設置部を挟む一対の第1ローラーと、第1ローラーに張架されるワイヤーとを備え、第1ローラー間で屈曲した前記ワイヤーが被加工物に接触して所定の張力で往復移動し、第1ローラー間の前記ワイヤーが短縮して被加工物の切断が進行する切断方法において、
前記ワイヤーが被加工物の稜線で被加工物に点接触して切断を開始することを特徴としている。
前記ワイヤーが被加工物の稜線で被加工物に点接触して切断を開始することを特徴としている。
また本発明は、上記構成の切断方法において、第1ローラー間の前記ワイヤーを掛けて屈曲させる可動の第2ローラーを設け、第2ローラーの移動により第2ローラーと第1ローラーとの間の前記ワイヤーを被加工物の稜線で被加工物に点接触させて切断を開始し、切断の途中に第2ローラーを第1ローラー間の前記ワイヤーから退避させると好ましい。
また本発明は、上記構成の切断方法において、被加工物が加工対象の主材上にダミー部材が接合され、前記ダミー部材と第1ローラーとの間の前記ワイヤーが前記主材の稜線で前記主材に点接触して切断を開始すると好ましい。
また本発明は、上記構成の切断方法において、被加工物が加工対象の主材上にダミー部材が接合され、第1ローラー間の前記ワイヤーが前記ダミー部材の稜線で前記ダミー部材に点接触して切断を開始すると好ましい。
本発明のワイヤーソーによると、第1ローラー間のワイヤーを掛けて屈曲させる可動の第2ローラーが所定方向に移動して第1ローラー間のワイヤーを短縮するとともに第1ローラー間のワイヤーから退避できる。これにより、第1ローラーと第2ローラーとの間のワイヤーを被加工物の稜線で被加工物に点接触させることができる。この時、第1ローラー間のワイヤーは第2ローラーに掛けられているため、切断開始時にワイヤーの往復移動によって被加工物の稜線付近の所望の切断位置に溝を形成することができ、この溝に沿って被加工物の切断を進めることができる。したがって、加工コストが低く被加工物の加工精度が高い切断を行うことができる。
また本発明の切断方法によると、ワイヤーが被加工物の稜線で被加工物に点接触して切断を開始する。これにより、切断開始時に被加工物の稜線付近の所望の切断位置に溝を形成することができ、この溝に沿って被加工物の切断を進めることができる。したがって、加工コストが低く被加工物の加工精度が高い切断を行うことができる。
<第1実施形態>
以下に本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図1は第1実施形態のワイヤーソーの側面断面図を示している。ワイヤーソー1はマルチワイヤーソーから成り、ワイヤー2、ワイヤー往復移動機構3、及び加工槽4を有する。
以下に本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図1は第1実施形態のワイヤーソーの側面断面図を示している。ワイヤーソー1はマルチワイヤーソーから成り、ワイヤー2、ワイヤー往復移動機構3、及び加工槽4を有する。
ワイヤー2は例えば線径1.0mm以下のピアノ線等から成り、表面に例えばダイヤモンドの砥粒が固着されている。なお、ワイヤー2の表面に固着される砥粒はダイヤモンド以外の砥粒でもよい。
ワイヤー2はワイヤー往復移動機構3により矢印E1で示すように往復移動を行って被加工物Wを切断する。被加工物Wには加工対象の主材M及びダミー部材D1〜D3(ダミー部材D1、D2についてはそれぞれ図8及び図9を参照)が含まれる。主材Mに特に限定はないが、例えばシリコンのインゴット、ガラスや樹脂(例えばアクリル樹脂)等のブロック等をあげることができる。また、ワイヤー2による主材Mの切断面の面精度は例えばPV(Peak to Valley)値で100μm以下に形成される。
ワイヤー往復移動機構3は、ワイヤーリール31、ガイドローラー32、ダンサローラー33、上部固定ローラー34a、34b、34c、下部固定ローラー36a、36b(第1ローラー)、及び可動ローラー37a、37b(第2ローラー)を有する。加工槽4を挟む一対のワイヤーリール31は一本のワイヤー2で接続され、それぞれワイヤー2を巻回している。両方のワイヤーリール31にはそれぞれモータ39が接続され、モータ39の駆動により一方のワイヤーリール31からワイヤー2が引き出されて他方のワイヤーリール31に巻き取られる。
ガイドローラー32はワイヤーリール31から引き出されたワイヤー2をダンサローラー33、上部固定ローラー34a、34b、34c、下部固定ローラー36a、36b、及び可動ローラー37a、37bに案内する。ダンサローラー33はダンサ装置35に接続されている。ダンサ装置35はモータ35a及び支持アーム35bを有し、支持アーム35bの一端はモータ35aに接続されるとともに他端はダンサローラー33の軸部(不図示)に接続される。モータ35aの駆動により支持アーム35bが上下方向で回動してダンサローラー33が上下方向で回動する。これにより、ワイヤー2の張力を検出して調整する。ダンサローラー33及びダンサ装置35により、ワイヤー2の張力を検出して調整する張力調整部が構成される。
上部固定ローラー34a、34b、34c、下部固定ローラー36a、36b、及び可動ローラー37a、37bは表面に軸方向(図1において紙面に直交する方向)に所定周期で溝部(不図示)が凹設される。ワイヤー2は各溝部に配され、上部固定ローラー34a、34b、34c、下部固定ローラー36a、36b、及び可動ローラー37a、37b間に螺旋状に巻回されている。上部固定ローラー34aは上部固定ローラー34b、34cよりも上方に配置され、上部固定ローラー34b、34cの間の中央部に所定距離を隔てて対向している。これにより、上部固定ローラー34aと切断中の被加工物Wとの接触を防止することができる。
加工槽4内の底部には被加工物Wを設置する設置部41が設けられ、設置部41と加工対象の主材Mとの間には主材Mと材質が同じダミー部材D3が配置される。設置部41は被加工物Wに対向する検知ローラー38(第3ローラー)を有する。ワイヤー2の接触により検知ローラー38が回転するとワイヤー2の往復移動が停止し、ワイヤー2で被加工物Wを切断する加工動作が終了する。
一対の下部固定ローラー36a、36bは設置部41を挟んで配置され、上部固定ローラー34b、34c間のワイヤー2を掛けている。一対の可動ローラー37a、37bは下部固定ローラー36a、36bの並設方向(図1において左右方向)に並設され、被加工物Wに対して設置部41の反対側で下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を掛けて屈曲させている。可動ローラー37a、37bは図1において上下方向及び左右方向に移動できるように構成されるとともに、着脱可能になっている。
加工槽4は加工液Sを貯留して被加工物Wが浸漬される。加工液Sとして例えば水、水性の研削液、油性の研削液等を用いることができる。加工槽4の底壁には吸込口51が開口し、加工槽4の両側壁にはそれぞれ吹出口52a、52bが開口する。吸込口51と吹出口52a、52bとは循環経路5により連結される。循環経路5には吸込口51から吹出口52a、52bに向かって順に濾過部6及びポンプ7が設けられる。循環経路5はポンプ7の下流側で分岐する第1分岐路5a及び第2分岐路5bを有する。第1分岐路5aを介して吸込口51と吹出口52aとが連通する。また、第2分岐路5bを介して吸込口51と吹出口52bとが連通する。
濾過部6は例えば循環経路5に対して着脱可能なフィルタを有し、ワイヤー2による被加工物Wの切断時に生じる加工屑を加工液S中から除去する。ポンプ7を駆動させると、加工槽4内の加工液Sが吸込口51から循環経路5内に吸い込まれ、吹出口52a、52bから加工槽4内に送出される。これにより、加工槽4内の加工液Sが循環経路5を介して循環し、濾過部6により加工屑が除去される。
上記構成のワイヤーソー1において、例えば四角柱形状の被加工物Wを加工槽4内の設置部41上に設置して固定する。この時、被加工物Wは上面まで加工液S中に浸漬される。その後、所定の操作により加工の開始が指示されると、図2に示すように、一対の可動ローラー37a、37bが互いに接近する方向(矢印A1)に移動する。これにより、下部固定ローラー36aと可動ローラー37aとの間及び下部固定ローラー36bと可動ローラー37bとの間の被加工物Wから離れたワイヤー2が被加工物Wの左右上端の稜線Rで被加工物Wに点接触する。すなわち、ワイヤー2は稜線Rに点接触するとともに稜線Rの両側の面(上面及び側面)から離れている。
この時、図1の左方のモータ39を駆動させて両方のワイヤーリール31が時計回りに回転し、右方のワイヤーリール31からワイヤー2が引き出されて左方のワイヤーリール31に巻き取られる。所定時間経過後に左方のモータ39を停止して右方のモータ39を駆動させ、両方のワイヤーリール31を反時計回りに回転させる。両方のモータ39を交互に駆動させ、ワイヤーリール31の回転方向を可変させることにより、ワイヤー2が矢印E1(図1参照)に示すように往復移動する。この時、ワイヤーリール31の回転角が左右で異なり、ワイヤー2が徐々に一方のワイヤーリール31に巻き取られる。
また、ポンプ7の駆動により加工槽4内の加工液Sが吸込口51から循環経路5内に吸い込まれる。循環経路5内に吸い込まれた加工液S中の加工屑は濾過部6で除去される。濾過部6で加工屑が除去された加工液Sは第1分岐路5a及び第2分岐路5bを流通し、それぞれ吹出口52a、52bから加工槽4内に送出される。
その後に、被加工物Wの切断が稜線Rから開始される。ワイヤー2が往復移動しながら可動ローラー37a、37bが所定の速度で互いに接近する方向に移動する。これにより、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2が短縮して被加工物Wの切断が進行する。切断の開始時にワイヤー2が被加工物Wの稜線Rに点接触するため加工抵抗が少なく、稜線R近傍に傾斜した溝部G(図5参照)を所望の切断位置に形成することができる。
切断開始後の所定時間経過後にワイヤー2の往復移動が一時停止し、可動ローラー37a、37bがワイヤー2から退避する退避工程に移行する。退避工程では、図3に示すように、可動ローラー37bが可動ローラー37aと被加工物Wとの間に移動し、ワイヤー2から退避する。そして、可動ローラー37bは使用者によってワイヤーソー1から取り外される。なお、可動ローラー37bのワイヤー2からの退避を検知すると自動的にワイヤーソー1から外されるようにしてもよい。図4は可動ローラー37bがワイヤーソー1から取り外された後の様子を示している。
その後に、図5に示すように、可動ローラー37aは矢印A2で示すように一方の下部固定ローラー36b側に移動する。この時、下部固定ローラー36bと可動ローラー37aとの間のワイヤー2は切断開始時に形成された溝部Gから離脱する。
その後に、図6の矢印A3に示すように、可動ローラー37aが被加工物Wの側方を通って被加工物Wと下部固定ローラー36bとの間のワイヤー2から退避する。可動ローラー37aのワイヤー2からの退避の際に、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2が溝部Gに再び進入する。これにより、退避工程が終了する。この時、可動ローラー37aは設置部41の上面及び下部固定ローラー36bの下端よりも下方に配されるため、被加工物Wの切断の支障にはならない。なお、ワイヤー2から退避した可動ローラー37aを取り外してもよい。
退避工程が終了すると、ワイヤー2の往復移動が再開する。図6に示すように、可動ローラー37aがワイヤー2から退避した状態でワイヤー2の張力により下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2が短縮して被加工物Wの切断が進行する。そして、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2により被加工物Wは完全に切断される。
本実施形態では、切断開始時にワイヤー2の往復移動によって稜線R付近に形成された溝部Gに沿って、被加工物Wの切断を進めることができる。したがって、被加工物Wを高精度で切断することができる。
下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2は図6に示すように、上方に凸になるように湾曲しながら被加工物Wを切断する。このため、主材Mの左右両端部は中央部よりも先に切断が完了する。本実施形態では、主材Mの下方にダミー部材D3を設けているため、主材Mの中央部の切断完了前におけるワイヤー2の張力の急激な変化を防止することができる。したがって、ワイヤー2の断線や捩れによる主材Mの切断不良を容易に防止することができる。
図7に示すように、ワイヤー2の検知ローラー38への接触により検知ローラー38が矢印方向に回転すると、ワイヤー2の往復移動は停止してワイヤーソー1の加工動作は終了する。この時、ポンプ7の駆動も停止され、循環経路5を介した加工液Sの循環も停止する。加工動作終了後に被加工物Wを設置部41から取り外す。
なお、退避工程において、可動ローラー37bが下部固定ローラー36b側に移動して被加工物Wの側方を通って被加工物Wと下部固定ローラー36bとのワイヤー2から退避した後に、可動ローラー37aが下部固定ローラー36a側に移動して被加工物Wの側方を通って被加工物Wと下部固定ローラー36aとのワイヤー2から退避してもよい。これにより、可動ローラー37a、37bをワイヤーソー1から取り外す手間を省くことができる。この時、可動ローラー37aが可動ローラー37bよりも先にワイヤー2から退避してもよい。
ここで、本実施形態のワイヤーソー1を用いた他の切断方法について説明する。図8に示すように、被加工物Wはダミー部材D1が主材M上に接合されている。本実施形態では、ダミー部材D1の材質は主材Mと同じになっているが、異なってもよい。ダミー部材D1の左右方向の幅は主材Mの左右方向の幅よりも狭くなっている。
被加工物Wを設置部41に設置した後に、所定の操作により加工の開始が指示されると、可動ローラー37a、37bは図8の矢印方向に下降し、可動ローラー37a、37b間のワイヤー2はダミー部材D1の上面に接触する。また、下部固定ローラー36aと可動ローラー37aとの間のワイヤー2及び下部固定ローラー36bと可動ローラー37bとの間のワイヤー2は主材Mの稜線Rで主材Mに点接触する。
そして、可動ローラー37a、37bがさらに下降すると、可動ローラー37a、37bは下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2から退避し、取り外される。その後に、ダミー部材D1及び主材Mの切断が開始され、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2によりダミー部材D1及び主材Mが完全に切断される。これにより、溝部G(図5参照)からワイヤー2を離脱させずに可動ローラー37a、37bをワイヤーソー1から取り外すことができる。したがって、被加工物Wの加工の精度を一層向上させることができる。
なお、ダミー部材D1の左右方向の幅は主材Mの左右方向の幅よりも狭くなっているため、ワイヤー2がダミー部材D1の上面に線接触しても加工抵抗は小さく、下部固定ローラー36a、36間で蛇行するおそれは少ない。
また、ダミー部材D1とは異なる形状のダミー部材D2を用いた場合について説明する。図9に示すように、上方に向けて突出して可動ローラー37a、37bの軸方向に垂直な断面が三角形の突出部Bを有するダミー部材D2が主材M上に接合されている。本実施形態では、ダミー部材D2の材質は主材Mと同じになっているが、異なってもよい。
被加工物Wを設置部41に設置した後に、所定の操作により加工の開始が指示されると、可動ローラー37a、37bは矢印のように互いに接近する方向に移動し、下部固定ローラー36aと可動ローラー37aとの間のワイヤー2及び下部固定ローラー36bと可動ローラー37bとの間のワイヤー2がダミー部材D2の左右端の稜線Rに点接触する。そして、可動ローラー37a、37bが下降し、可動ローラー37a、37b間のワイヤー2が突出部Bの稜線Rに点接触する。その後に、ダミー部材D2の切断が開始され、退避工程に移行する。そして、退避工程終了後は図10に示すように、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2によりダミー部材D2及び主材Mの切断が進行する。
本実施形態によると、下部固定ローラー36a、36b(第1ローラー)間のワイヤー2を掛けて屈曲させる可動ローラー37a、37b(第2ローラー)が上下方向及び左右方向に移動して下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を短縮するとともに下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2から退避できる。
これにより、切断開始前に下部固定ローラー36a、36bと可動ローラー37a、37bとの間のワイヤー2を被加工物Wの稜線Rに点接触させることができる。この時、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2は可動ローラー37a、37bに掛けられているため、切断開始時にワイヤー2の往復移動によって被加工物Wの稜線R付近の所望の切断位置に溝部Gを形成することができ、この溝部Gに沿って被加工物Wの切断を進めることができる。したがって、被加工物を高精度で切断することができる。また、被加工物Wに予め位置決め溝を形成する必要がないため、加工コストを低減することができる。
また、可動ローラー37a、37bが下部固定ローラー36a、36bの並設方向に並設され、可動ローラー37a、37bが互いに接近する方向に移動して下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を短縮する。これにより、切断開始前に下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を被加工物Wの稜線Rに容易に点接触させることができる。
また、一方の可動ローラー37bが着脱可能に配され、退避工程で他方の可動ローラー37aと被加工物Wとの間に退避して取り外された後、他方の可動ローラー37aが被加工物Wの側方を通って被加工物Wと下部固定ローラー36bとの間のワイヤー2から退避する。これにより、可動ローラー37a、37bをワイヤー2から容易に退避させることができる。
なお、退避工程において、両方の可動ローラー37a、37bが被加工物Wの側方を通って被加工物Wと下部固定ローラー36a、36bとの間のワイヤー2から退避してもよい。これにより、可動ローラー37a、37bを取り外す手間を省くことができる。
また、設置部41が被加工物Wに対向する検知ローラー38(第3ローラー)を有し、ワイヤー2の接触により検知ローラー38が回転した際に加工を終了する。これにより、検知ローラー38が往復移動するワイヤー2を受けることで、ワイヤー2の張力の急激な変化を防止することができる。したがって、ワイヤー2の断線や捩れを防止することができる。また、ワイヤー2の接触により検知ローラー38が回転した際に加工を終了するため、被加工物Wを確実に切断することができる。
また、ワイヤー2の張力を検出して調整する張力調整部を備えているため、被加工物Wにワイヤー2を確実に押し付けて切断を行うことができる。
また、加工液Sを貯留して被加工物Wが浸漬される加工槽4を備えているため、往復移動するワイヤー2と被加工物Wとの間に生じる摩擦熱による被加工物Wの温度上昇を低減することができる。また、被加工物Wの切断時に生じる加工屑は加工液S中に拡散するため、被加工物Wの切断箇所における加工屑の滞留を防止することができる。
また、被加工物Wが主材M上にダミー部材D1が接合され、ダミー部材D1と下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2が主材Mの稜線Rで主材Mに点接触して切断を開始する。これにより、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を主材Mの稜線Rに容易に点接触させることができる。また、退避工程の際にワイヤー2を被加工物Wに形成された溝部Gから離脱させずに可動ローラー37a、37bをワイヤー2から退避させることができる。
また、被加工物Wが主材M上にダミー部材D2が接合され、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2がダミー部材D2の稜線Rでダミー部材D2に点接触して切断を開始する。これにより、主材Mが小型の場合でも安定して切断を行うことができる。
<第2実施形態>
次に本発明の第2実施形態について説明する。図11は第2実施形態のワイヤーソーの要部の側面断面図を示している。説明の便宜上、図1〜図10に示す第1実施形態と同様の部分には同一の符号を付している。本実施形態では可動ローラー37bを省いている点で第1実施形態とは異なっている。その他の部分は第1実施形態と同様である。
次に本発明の第2実施形態について説明する。図11は第2実施形態のワイヤーソーの要部の側面断面図を示している。説明の便宜上、図1〜図10に示す第1実施形態と同様の部分には同一の符号を付している。本実施形態では可動ローラー37bを省いている点で第1実施形態とは異なっている。その他の部分は第1実施形態と同様である。
被加工物Wを設置部41上に設置し、所定の操作により加工の開始が指示されると、可動ローラー37aは一点鎖線37a´に示すように被加工物Wに接近する方向(矢印A4)に移動し、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を短縮する。そして、一点鎖線2´、37a´で示すように、下部固定ローラー36aと可動ローラー37aとの間のワイヤー2及び下部固定ローラー36bと可動ローラー37aとの間のワイヤー2は被加工物Wの稜線Rで被加工物Wに点接触する。その後、被加工物Wの切断が開始され、退避工程に移行する。
本実施形態によると、可動ローラー37aが被加工物Wに接近する方向に移動して下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2を短縮するとともに、被加工物Wの側方を通って被加工物Wと下部固定ローラー36a、36bとの間のワイヤー2から退避する。これにより、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。また、可動ローラー37bを省き、一つの可動ローラー37aを用いている。これにより、ワイヤーソー1の製造コストの増大を抑制することができる。
なお、第1実施形態及び第2実施形態では、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2が下部固定ローラー36a、36bの軸方向で所定周期で配置されるマルチワイヤーソーを例に説明したが、マルチワイヤーソーに替えて、下部固定ローラー36a、36b間のワイヤー2が1本になっているシングルワイヤーソーを用いてもよい。
また、下部固定ローラー36a、36b及び可動ローラー37a、37bの溝部の数と同じ数のワイヤーを用意し、溝部の数と同じ数のモータを設けて各々のワイヤーを各々のモータにより往復移動させてもよい。これにより、一のワイヤーが断線した場合でもその他のワイヤーで被加工物Wの切断を行うことができる。
また、第1実施形態及び第2実施形態において、加工槽4を省いてもよい。この場合、ワイヤー2の表面に砥粒を固着させずに、ワイヤー2と被加工物Wとの接触部の近傍に砥粒を含む液体を供給してもよい。
本発明は、往復移動するワイヤーにより被加工物を切断するワイヤーソー及び切断方法に利用することができる。
1 ワイヤーソー
2 ワイヤー
3 ワイヤー往復移動機構
4 加工槽
5 循環経路
5a 第1分岐路
5b 第2分岐路
6 濾過部
7 ポンプ
31 ワイヤーリール
32 ガイドローラー
33 ダンサローラー
34a、34b、34c 上部固定ローラー
36a、36b 下部固定ローラー(第1ローラー)
37a、37b 可動ローラー(第2ローラー)
38 検知ローラー(第3ローラー)
41 設置部
51 吸込口
52a、52b 吹出口
S 加工液
W 被加工物
M 主材
D1、D2、D3 ダミー部材
2 ワイヤー
3 ワイヤー往復移動機構
4 加工槽
5 循環経路
5a 第1分岐路
5b 第2分岐路
6 濾過部
7 ポンプ
31 ワイヤーリール
32 ガイドローラー
33 ダンサローラー
34a、34b、34c 上部固定ローラー
36a、36b 下部固定ローラー(第1ローラー)
37a、37b 可動ローラー(第2ローラー)
38 検知ローラー(第3ローラー)
41 設置部
51 吸込口
52a、52b 吹出口
S 加工液
W 被加工物
M 主材
D1、D2、D3 ダミー部材
Claims (12)
- 被加工物を設置する設置部と、前記設置部を挟む一対の第1ローラーと、第1ローラーに張架されるワイヤーとを備え、第1ローラー間で屈曲した前記ワイヤーが被加工物に接触して所定の張力で往復移動し、第1ローラー間の前記ワイヤーが短縮して被加工物の切断が進行するワイヤーソーにおいて、
第1ローラー間の前記ワイヤーを掛けて屈曲させる可動の第2ローラーを設け、
第2ローラーが所定方向に移動して第1ローラー間の前記ワイヤーを短縮するとともに第1ローラー間の前記ワイヤーから退避できることを特徴とするワイヤーソー。 - 一対の第2ローラーが第1ローラーの並設方向に並設され、第2ローラーが互いに接近する方向に移動して第1ローラー間の前記ワイヤーを短縮することを特徴とする請求項1に記載のワイヤーソー。
- 一方の第2ローラーが着脱可能に配されて他方の第2ローラーと被加工物との間に退避して取り外された後、他方の第2ローラーが被加工物の側方を通って被加工物と第1ローラーとの間の前記ワイヤーから退避することを特徴とする請求項2に記載のワイヤーソー。
- 両方の第2ローラーが被加工物の側方を通って被加工物と第1ローラーとの間の前記ワイヤーから退避することを特徴とする請求項2に記載のワイヤーソー。
- 第2ローラーが被加工物に接近する方向に移動して第1ローラー間の前記ワイヤーを短縮するとともに、被加工物の側方を通って被加工物と第1ローラーとの間の前記ワイヤーから退避することを特徴とする請求項1に記載のワイヤーソー。
- 前記設置部が被加工物に対向する第3ローラーを有し、前記ワイヤーの接触により第3ローラーが回転した際に加工を終了することを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載のワイヤーソー。
- 前記ワイヤーの張力を検出して調整する張力調整部を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載のワイヤーソー。
- 加工液を貯留して被加工物が浸漬される加工槽を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれかに記載のワイヤーソー。
- 被加工物を設置する設置部と、前記設置部を挟む一対の第1ローラーと、第1ローラーに張架されるワイヤーとを備え、第1ローラー間で屈曲した前記ワイヤーが被加工物に接触して所定の張力で往復移動し、第1ローラー間の前記ワイヤーが短縮して被加工物の切断が進行する切断方法において、
前記ワイヤーが被加工物の稜線で被加工物に点接触して切断を開始することを特徴とする切断方法。 - 第1ローラー間の前記ワイヤーを掛けて屈曲させる可動の第2ローラーを設け、
第2ローラーの移動により第2ローラーと第1ローラーとの間の前記ワイヤーを被加工物の稜線で被加工物に点接触させて切断を開始し、切断の途中で第2ローラーを第1ローラー間の前記ワイヤーから退避させることを特徴とする請求項9に記載の切断方法。 - 被加工物が加工対象の主材上にダミー部材が接合され、前記ダミー部材と第1ローラーとの間の前記ワイヤーが前記主材の稜線で前記主材に点接触して切断を開始することを特徴とする請求項9または請求項10に記載の切断方法。
- 被加工物が加工対象の主材上にダミー部材が接合され、第1ローラー間の前記ワイヤーが前記ダミー部材の稜線で前記ダミー部材に点接触して切断を開始することを特徴とする請求項9または請求項10に記載の切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015035299A JP2016155195A (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | ワイヤーソー及び切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015035299A JP2016155195A (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | ワイヤーソー及び切断方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016155195A true JP2016155195A (ja) | 2016-09-01 |
Family
ID=56824625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015035299A Pending JP2016155195A (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | ワイヤーソー及び切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016155195A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110447089A (zh) * | 2017-03-21 | 2019-11-12 | 信越半导体株式会社 | 铸块的切断方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0558220U (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-03 | 戸田建設株式会社 | ワイヤソーにおける切断部のガイドプーリ |
JPH08112748A (ja) * | 1994-10-14 | 1996-05-07 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソー装置 |
JP2003011052A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Allied Material Corp | ワイヤによる被加工物の切断方法 |
JP2006192539A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Denso Corp | ワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置 |
JP2012101310A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Yasunaga Corp | ワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法 |
JP2014108467A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Komatsu Ntc Ltd | シングルワイヤソー |
JP2014136274A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | Komatsu Ntc Ltd | シングルワイヤソー |
-
2015
- 2015-02-25 JP JP2015035299A patent/JP2016155195A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0558220U (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-03 | 戸田建設株式会社 | ワイヤソーにおける切断部のガイドプーリ |
JPH08112748A (ja) * | 1994-10-14 | 1996-05-07 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソー装置 |
JP2003011052A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Allied Material Corp | ワイヤによる被加工物の切断方法 |
JP2006192539A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Denso Corp | ワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置 |
JP2012101310A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Yasunaga Corp | ワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法 |
JP2014108467A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Komatsu Ntc Ltd | シングルワイヤソー |
JP2014136274A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | Komatsu Ntc Ltd | シングルワイヤソー |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110447089A (zh) * | 2017-03-21 | 2019-11-12 | 信越半导体株式会社 | 铸块的切断方法 |
CN110447089B (zh) * | 2017-03-21 | 2023-04-18 | 信越半导体株式会社 | 铸块的切断方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101880518B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼의 제조 방법 | |
CN106142171A (zh) | 一种切纸机 | |
EP2871049A1 (en) | Apparatus for cutting and winding carcass material for tires | |
KR20130115968A (ko) | 와이어식 절단 장치 | |
JP2016155195A (ja) | ワイヤーソー及び切断方法 | |
JP2010030000A (ja) | グルーブローラの構造 | |
JP2001254297A (ja) | 複合ブレード及びその製造方法 | |
CN206185327U (zh) | 卷料自动裁切激光切割机 | |
CN104245201B (zh) | 线电极放电加工机以及线电极去除装置 | |
JP6168689B2 (ja) | ワイヤソー及び切断加工方法 | |
JP6353246B2 (ja) | ガラスチョップドストランドの製造装置、及び製造方法 | |
JP5259248B2 (ja) | ワイヤソー | |
JP2017104912A (ja) | ワイヤーソー及び切断方法 | |
JP2018158428A (ja) | ワイヤソー及び切断加工方法 | |
CN107106989A (zh) | 用于对卷取的纤维束深加工的装置和方法 | |
JP5128012B1 (ja) | ワイヤ放電加工機及びワイヤ電極除去装置 | |
JP5769681B2 (ja) | 基板の製造方法 | |
JP2009183979A (ja) | 非円形筒状の被加工材料の絞り加工方法及びその装置 | |
JP6277924B2 (ja) | インゴットの切断方法 | |
JP2016155197A (ja) | ワイヤーソー及び切断方法 | |
JP5318505B2 (ja) | 加工液捕集装置及びワイヤソー | |
JP5177508B2 (ja) | ワイヤソー | |
ITTO20120050A1 (it) | Metodo per la molatura di lastre di vetro | |
KR101142109B1 (ko) | 와이어 커팅장치 | |
US20200276726A1 (en) | Cutting machine |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180828 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190305 |