JPH0791573B2 - 磁性流体の製造法 - Google Patents
磁性流体の製造法Info
- Publication number
- JPH0791573B2 JPH0791573B2 JP61147810A JP14781086A JPH0791573B2 JP H0791573 B2 JPH0791573 B2 JP H0791573B2 JP 61147810 A JP61147810 A JP 61147810A JP 14781086 A JP14781086 A JP 14781086A JP H0791573 B2 JPH0791573 B2 JP H0791573B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- magnetic fluid
- ferromagnetic
- fine particles
- surfactant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁性流体の製造法に関する。更に詳しくは、
強磁性微粒子を界面活性剤またはそれを含有する媒質中
に分散せしめた磁性流体の製造法に関する。
強磁性微粒子を界面活性剤またはそれを含有する媒質中
に分散せしめた磁性流体の製造法に関する。
従来、磁性流体の製造は湿式粉砕法、湿式析出法などに
よって行われていたが、近年はそれ以外に真空蒸発法が
提案されるようになってきている。例えば、特開昭60−
161,490号公報および同60−162,704号公報には、強磁性
金属、強磁性合金または強磁性化合物を蒸発させ、その
蒸発物をそれらに対して吸着性を持つ界面活性剤を適当
な濃度で溶解した低蒸気の液体に接触させ、強磁性微粒
子のコロイドを形成させる方法が記載されている。
よって行われていたが、近年はそれ以外に真空蒸発法が
提案されるようになってきている。例えば、特開昭60−
161,490号公報および同60−162,704号公報には、強磁性
金属、強磁性合金または強磁性化合物を蒸発させ、その
蒸発物をそれらに対して吸着性を持つ界面活性剤を適当
な濃度で溶解した低蒸気の液体に接触させ、強磁性微粒
子のコロイドを形成させる方法が記載されている。
しかしながら、この方法は、次のような問題がみられ
る。
る。
（１）蒸発が抵抗加熱によって行われるため周辺部も加
熱され、このため界面活性剤およびその媒質の蒸発など
が起り、真空度が低下する。このことは、蒸発した強磁
性微粒子の気相での凝集につながるため、微粒子の粒子
径が大きくなり易くなる。
熱され、このため界面活性剤およびその媒質の蒸発など
が起り、真空度が低下する。このことは、蒸発した強磁
性微粒子の気相での凝集につながるため、微粒子の粒子
径が大きくなり易くなる。
（２）磁性材料が高温に熱せられながら微粒子として生
成するため、酸化などにより磁化特性が劣化する。この
ことは、磁気記録材料などにおいて、高密度のものには
蒸着法が使用されていないことからもいえる。
成するため、酸化などにより磁化特性が劣化する。この
ことは、磁気記録材料などにおいて、高密度のものには
蒸着法が使用されていないことからもいえる。
（３）蒸発前後の元素組成が異なり、またその組成のコ
ントロールも困難である。
ントロールも困難である。
そこで、本発明者は良好な磁化特性を示す磁性流体を安
定して製造する方法について種々検討した結果、強磁性
微粒子をスパッタリング法により発生させることによ
り、かかる課題が効果的に解決されることを見出した。
定して製造する方法について種々検討した結果、強磁性
微粒子をスパッタリング法により発生させることによ
り、かかる課題が効果的に解決されることを見出した。
〔問題点を解決するための手段〕および〔作用〕 従って、本発明は磁性流体の製造法に係り、磁性流体の
製造は、スパッタリング法により発生させ、バイアス電
極に接触させた強磁性微粒子を界面活性剤またはそれを
含有する媒質よりなる液体または液膜中に吸収させるこ
とにより行われる。
製造は、スパッタリング法により発生させ、バイアス電
極に接触させた強磁性微粒子を界面活性剤またはそれを
含有する媒質よりなる液体または液膜中に吸収させるこ
とにより行われる。
スパッタリング法による強磁性微粒子の発生は、鉄、コ
バルトなどの強磁性金属、鉄‐コバルト合金、鉄‐ニッ
ケル合金などの強磁性合金、マグネタイト、ラーベス相
化合物など強磁性化合物などもターゲットに用い、放電
圧力10-3〜10-1Torrのオーダーおよび高周波電力約200
〜500Wの条件下で、一般にダイオード（コンベンショナ
ル）法またはマグネトロンスパッタリング法によって行
われる。
バルトなどの強磁性金属、鉄‐コバルト合金、鉄‐ニッ
ケル合金などの強磁性合金、マグネタイト、ラーベス相
化合物など強磁性化合物などもターゲットに用い、放電
圧力10-3〜10-1Torrのオーダーおよび高周波電力約200
〜500Wの条件下で、一般にダイオード（コンベンショナ
ル）法またはマグネトロンスパッタリング法によって行
われる。
放出された分子レベルの強磁性微粒子は、それを界面活
性剤またはそれを含有する媒質に吸収させる前にバイア
ス電極に接触させる。
性剤またはそれを含有する媒質に吸収させる前にバイア
ス電極に接触させる。
通常のスパッタリング法では、ターゲットから強磁性微
粒子が飛び出すと同時に電子が放出されるため、ターゲ
ットと対向する位置に置かれた物体の温度が上昇し、ス
パッタリングの条件にもよるが、一般には約100〜250℃
の高温となる。
粒子が飛び出すと同時に電子が放出されるため、ターゲ
ットと対向する位置に置かれた物体の温度が上昇し、ス
パッタリングの条件にもよるが、一般には約100〜250℃
の高温となる。
本発明方法では、ターゲットの対向位置に界面活性剤ま
たはそれを含有する媒質よりなる液体または液膜が位置
することになるため、これらの温度を上昇させてしまう
と蒸気を発生させたり、液体または液膜としての特性を
変化させるようになるため、通常のスパッタリング法を
そのまま適用することができない。そこで、ターゲット
と液体または液膜との間にバイアス電極を設け、電子を
吸引させることが行われる。このバイアス電極として
は、飛来した強磁性微粒子を通過させる状態で接触させ
るように、メッシュ状のバイアス電極であることが好ま
しい。メッシュ電極としては、ステンレススチール、
銅、アルミニウムなどの導電性金属から形成され、微粒
子を通過させるために約100Å以上のメッシュを有する
ものが用いられる。
たはそれを含有する媒質よりなる液体または液膜が位置
することになるため、これらの温度を上昇させてしまう
と蒸気を発生させたり、液体または液膜としての特性を
変化させるようになるため、通常のスパッタリング法を
そのまま適用することができない。そこで、ターゲット
と液体または液膜との間にバイアス電極を設け、電子を
吸引させることが行われる。このバイアス電極として
は、飛来した強磁性微粒子を通過させる状態で接触させ
るように、メッシュ状のバイアス電極であることが好ま
しい。メッシュ電極としては、ステンレススチール、
銅、アルミニウムなどの導電性金属から形成され、微粒
子を通過させるために約100Å以上のメッシュを有する
ものが用いられる。
このようにしてスパッタリング法により発生させ、バイ
アス電極に接触させた強磁性微粒子は、界面活性剤また
はそれを含有する媒質よりなる液体または液膜中に吸収
させる。
アス電極に接触させた強磁性微粒子は、界面活性剤また
はそれを含有する媒質よりなる液体または液膜中に吸収
させる。
界面活性剤としては、強磁性微粒子に対して強い吸着性
を有するものであれば任意のものを使用することがで
き、例えばカルボン酸の金属塩またはアミン塩、多価ア
ルコール脂肪酸エステル、アルキルアリールスルホン酸
塩、リン酸塩、リン酸エステル、アミン誘導体などが用
いられる。
を有するものであれば任意のものを使用することがで
き、例えばカルボン酸の金属塩またはアミン塩、多価ア
ルコール脂肪酸エステル、アルキルアリールスルホン酸
塩、リン酸塩、リン酸エステル、アミン誘導体などが用
いられる。
これらの界面活性剤で液状のものはそれ単体でも用いら
れるが、一般にはそれを媒質に溶解させた、濃度約１重
量％以上の溶液として用いられる。かかる媒質として
は、例えばアルキルナフタリン、アルキルベンゼン、ア
ルキルジフェニルエーテル、ポリフェニルエーテル、ジ
エステル、シリコーン油、フルオロカーボン油、グリセ
リン、グリースなどが用いられる。
れるが、一般にはそれを媒質に溶解させた、濃度約１重
量％以上の溶液として用いられる。かかる媒質として
は、例えばアルキルナフタリン、アルキルベンゼン、ア
ルキルジフェニルエーテル、ポリフェニルエーテル、ジ
エステル、シリコーン油、フルオロカーボン油、グリセ
リン、グリースなどが用いられる。
界面活性剤またはそれを含有する媒質よりなる液体を用
いる一態様は、第１図に示される。この態様において
は、真空容器１内の上部に高周波電源２に接続された強
磁性体ターゲット３を設置し、それに対向する位置には
攪拌翼付き容器４に入れた界面活性剤またはそれを含有
する媒質よりなる液体５を設置し、これら両者間には直
流電源６に接続されたメッシュ状バイアス電極７が設置
される。
いる一態様は、第１図に示される。この態様において
は、真空容器１内の上部に高周波電源２に接続された強
磁性体ターゲット３を設置し、それに対向する位置には
攪拌翼付き容器４に入れた界面活性剤またはそれを含有
する媒質よりなる液体５を設置し、これら両者間には直
流電源６に接続されたメッシュ状バイアス電極７が設置
される。
スパッタリング操作は、まず真空容器内を排気８にして
10-5Torr以下とした後、アルゴンガスを10-4Torrのオー
ダー迄導入９し、その後バルブ（図示せず）調整により
10-3〜10-1Torrとする。このような状態で攪拌翼を回転
し、液体５を攪拌しながら、前記ターゲット３に13.56M
Hzの高周波を印加して放電させる。この際のスパッタリ
ング時間の調節により、任意の濃度の磁性流体を製造す
ることができるが、一般には強磁性微粒子が体積濃度で
約10％程度になるように調整される。
10-5Torr以下とした後、アルゴンガスを10-4Torrのオー
ダー迄導入９し、その後バルブ（図示せず）調整により
10-3〜10-1Torrとする。このような状態で攪拌翼を回転
し、液体５を攪拌しながら、前記ターゲット３に13.56M
Hzの高周波を印加して放電させる。この際のスパッタリ
ング時間の調節により、任意の濃度の磁性流体を製造す
ることができるが、一般には強磁性微粒子が体積濃度で
約10％程度になるように調整される。
界面活性剤またはそれを含有する媒質よりなる液膜を用
いる一態様は、第２図に示される。この態様にあって
は、第１図の態様で攪拌翼付き容器に液体を入れて用い
る代わりに、液体10を入れた容器11に回転ドラム12を部
分的に浸漬し、そのドラムを約１〜10rpm程度の回転速
度で回転させながら、ドラム表面に液膜13を形成させる
ことが行われる。
いる一態様は、第２図に示される。この態様にあって
は、第１図の態様で攪拌翼付き容器に液体を入れて用い
る代わりに、液体10を入れた容器11に回転ドラム12を部
分的に浸漬し、そのドラムを約１〜10rpm程度の回転速
度で回転させながら、ドラム表面に液膜13を形成させる
ことが行われる。
強磁性微粒子を吸収させる液体または液膜としては、こ
れ以外にも任意の態様で用いることができ、例えば前記
特開昭60−161,490号公報などに記載される方法などを
採用することもできる。
れ以外にも任意の態様で用いることができ、例えば前記
特開昭60−161,490号公報などに記載される方法などを
採用することもできる。
本発明方法によれば、強磁性微粒子の大きさが分子レベ
ル（10Å以下）のものを発生させることができ、しかも
それが空気中で凝集することなく吸収液体または液膜に
到達するので、粒度分布が容易に制御でき、その上用い
られた強磁性体ターゲットの組成と同じ組成を有する微
粒子が得られるので、強磁性体材料が本来有するすぐれ
た磁化特性を保持したままで微粒子化することができ、
このように製造上からもその組成変化を考慮する必要が
ないので、有利に磁性流体を製造することができる。
ル（10Å以下）のものを発生させることができ、しかも
それが空気中で凝集することなく吸収液体または液膜に
到達するので、粒度分布が容易に制御でき、その上用い
られた強磁性体ターゲットの組成と同じ組成を有する微
粒子が得られるので、強磁性体材料が本来有するすぐれ
た磁化特性を保持したままで微粒子化することができ、
このように製造上からもその組成変化を考慮する必要が
ないので、有利に磁性流体を製造することができる。
第１図は、本発明方法で液体を用いた一態様を示す概略
図である。また、第２図は、液膜を用いた一態様を示す
概略図である。 （符号の説明） ３……強磁性体ターゲット 5,10……界面活性剤またはそれを含有する媒質（液体） ７……メッシュ状バイアス電極 13……界面活性剤またはそれを含有する媒質（液膜）
図である。また、第２図は、液膜を用いた一態様を示す
概略図である。 （符号の説明） ３……強磁性体ターゲット 5,10……界面活性剤またはそれを含有する媒質（液体） ７……メッシュ状バイアス電極 13……界面活性剤またはそれを含有する媒質（液膜）
Claims (4)
- 【請求項１】スパッタリング法により発生させ、その後
バイアス電極に接触させた強磁性微粒子を界面活性剤ま
たはそれを含有する媒質よりなる液体または液膜中に吸
収させることを特微とする磁性流体の製造法。 - 【請求項２】バイアス電極への接触がメッシュ状バイア
ス電極の通過によって行われる特許請求の範囲第１項記
載の磁性流体の製造法。 - 【請求項３】液体が攪拌状態で用いられる特許請求の範
囲第１項記載の磁性流体の製造法。 - 【請求項４】液体中に一部が浸漬された回転ドラムの回
転によりドラム表面に形成された液膜が用いられる特許
請求の範囲第１項記載の磁性流体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61147810A JPH0791573B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | 磁性流体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61147810A JPH0791573B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | 磁性流体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS634006A JPS634006A (ja) | 1988-01-09 |
| JPH0791573B2 true JPH0791573B2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=15438727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61147810A Expired - Lifetime JPH0791573B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | 磁性流体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0791573B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5058665B2 (ja) * | 2007-04-24 | 2012-10-24 | 株式会社Ｄｎｐファインケミカル | 微粒子分散体の製造方法及びそれを使用して製造された金属又は金属化合物の微粒子分散体 |
| JP5530109B2 (ja) * | 2009-02-17 | 2014-06-25 | 株式会社新光化学工業所 | 複合金属ナノ粒子コロイド、複合金属ナノ粒子、複合金属ナノ粒子コロイドの製造方法、複合金属ナノ粒子の製造方法ならびに複合金属ナノ粒子コロイドの製造装置 |
| JP5904648B2 (ja) * | 2014-04-17 | 2016-04-13 | 株式会社新光化学工業所 | 複合金属ナノ粒子コロイド、複合金属ナノ粒子、複合金属ナノ粒子コロイドの製造方法、複合金属ナノ粒子の製造方法ならびに複合金属ナノ粒子コロイドの製造装置 |
| JP2015132020A (ja) * | 2015-04-14 | 2015-07-23 | 株式会社新光化学工業所 | 多元金属ナノ粒子コロイド、多元金属ナノ粒子コロイドの製造方法および金属ナノ粒子及び／又は多元金属ナノ粒子を担持した状態の担体 |
| JP6145900B2 (ja) * | 2015-10-02 | 2017-06-14 | 株式会社新光化学工業所 | 複合無機物ナノ粒子コロイド、複合無機物ナノ粒子、複合無機物ナノ粒子コロイドの製造方法、複合無機物ナノ粒子の製造方法及び複合無機物ナノ粒子コロイドの製造装置 |
| JP6692146B2 (ja) * | 2015-11-04 | 2020-05-13 | コスモ石油ルブリカンツ株式会社 | 磁気粘性流体組成物 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56136635A (en) * | 1980-03-29 | 1981-10-26 | Res Dev Corp Of Japan | Production of ultra-fine powder and particle utilizing arc plasma sputtering and its device |
| JPS60161490A (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-23 | Natl Res Inst For Metals | 磁性流体の製造装置 |
| JPS60162704A (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-24 | Natl Res Inst For Metals | 磁性流体の製造法 |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP61147810A patent/JPH0791573B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS634006A (ja) | 1988-01-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Wagener et al. | Preparation of metal nanosuspensions by high-pressure DC-sputtering on running liquids | |
| JPH0791573B2 (ja) | 磁性流体の製造法 | |
| US7367999B2 (en) | Ultrafine particles and method and apparatus for producing the same | |
| JPS60162704A (ja) | 磁性流体の製造法 | |
| JPS60161490A (ja) | 磁性流体の製造装置 | |
| Yamada et al. | Cubic crystals in ti films evaporated on nacl substrates | |
| JPH10256528A (ja) | レーヤードアルミニウム微粒子の生成法及びその応用 | |
| JP2819699B2 (ja) | 磁性流体の製造方法 | |
| JP5652237B2 (ja) | ナノ粒子分散イオンゲルの製造方法 | |
| KR900001141B1 (ko) | 자기 기록매체 및 그 제조방법 | |
| JP2644677B2 (ja) | フラーレン類の製造方法及びその製造装置 | |
| JP2006335592A (ja) | 金属内包カーボンナノカプセルの製造方法 | |
| JPH0827931B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0127486B2 (ja) | ||
| RU2685564C1 (ru) | Способ синтеза наночастиц металлов осаждением на пористый углеродный материал | |
| RUNNING | PREPARATION OF METAL NANOSUSPENSIONS BY HIGH-PRESSURE DC-SPUTTERING ON RUNNING LIQUIDS M. WAGENER*, BS MURTY**, B. GONTHER | |
| JP5954389B2 (ja) | ナノ粒子分散イオンゲルの製造方法 | |
| JPS61107527A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6013067B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| ten Brink | Connecting the Dots: Nanoparticles, Nanostructured Surfaces, and Wetting | |
| JPS59177364A (ja) | 有機物蒸発方法とその装置 | |
| JPS5968818A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01194938A (ja) | 超微粒子コロイド分散液の製造法 | |
| JPH0622962Y2 (ja) | 磁性流体の製造装置 | |
| JPH1161405A (ja) | スパッタリング装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |