RU2685564C1 - Способ синтеза наночастиц металлов осаждением на пористый углеродный материал - Google Patents
Способ синтеза наночастиц металлов осаждением на пористый углеродный материал Download PDFInfo
- Publication number
- RU2685564C1 RU2685564C1 RU2018100372A RU2018100372A RU2685564C1 RU 2685564 C1 RU2685564 C1 RU 2685564C1 RU 2018100372 A RU2018100372 A RU 2018100372A RU 2018100372 A RU2018100372 A RU 2018100372A RU 2685564 C1 RU2685564 C1 RU 2685564C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metal
- nanoparticles
- electron beam
- target
- deposition
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 11
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 title claims abstract description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title description 11
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 title description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims description 25
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 8
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 13
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 6
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 5
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 3
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000011858 nanopowder Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001508 alkali metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000008045 alkali metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000011852 carbon nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000001017 electron-beam sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002843 nonmetals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
- B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
- B22F9/12—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from gaseous material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
- C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к получению наночастиц металла. Способ включает испарение мишени из металла электронным пучком в вакууме и осаждение наночастиц металла. Испарение мишени из металла ведут электронным пучком, направленным под углом 30-90 градусов к поверхности мишени. Обеспечивают пространственное сканирование электронного пучка по двум координатам на мишени с частотами в пределах 5-200 Гц и амплитудой 5 мм в течение 10-1000 секунд и временную модуляцию тока пучка с частотой 10-100 Гц со скважностью 1-10. Осаждение наночастиц металла осуществляют из направленного потока на подложку, покрытую пористым углеродным материалом толщиной 0,1-2 мм, насыпной плотностью 0,04-0,06 г/см и установленную на водоохлаждаемом медном экране. Обеспечивается уменьшение поглощения энергии в парах металла, что увеличивает производительность распыления. 3 ил.
Description
Изобретение относится к области нанотехнологий. Изобретение относится к способам получения наночастиц металлов и может применяться в медицине, химической промышленности, микро- и наноэлектронике, приборостроении.
При синтезе наночастиц металлов известными из области техники способами, например, плазменным распылением, взрывом проволочек, термическим распылением, лазерным распылением и др., основанными на нагреве исходного образца до температур, при которых происходит его интенсивное распыление в молекулярном, либо атомарном виде, приходится решать следующие задачи:
- минимизация потерь энергии и вещества при нагреве;
- отвод тепла при охлаждении продуктов распыления и выделения теплоты конденсации;
- реализация механизма конденсации, который приводит к формированию наночастиц нужного размера;
- сбор, хранение и транспортировка наночастиц металлов. Использование мощных электронных пучков для синтеза наночастиц
имеет ряд преимуществ, связанных с их высоким КПД, малым энергопотреблением (возможностью подвода энергии без потерь к необходимой области образца), низкой ценой оборудования и эксплуатационных расходов. Способ является универсальным относительно материалов мишени, т.к. позволяет испарять практически любые материалы, включая органические.
При использовании ускорителей с высокой энергией электронов (более 2 МэВ) возможно испарение мишеней в газе высокого давления, что упрощает вопросы охлаждения паровой фазы. Преимуществами являются также высокий КПД процесса вследствие прямого преобразования электрической энергии в тепловую энергию в нагреваемом материале, темп нагрева испаряемого материала выше 1000 град/сек и химическая чистота пучка электронов.
Однако сбор наночастиц из газовой среды представляет определенные трудности.
Электронно-лучевые установки с энергией электронов до 100 КэВ доступны, однако в этом случае вывод пучка в атмосферу невозможен. Сечение взаимодействия электронов с атомами другого вещества достаточно большое, в результате чего необходимо выводить пучок из электронной пушки в глубокий вакуум (10-3 - 10-4 торр), что позволяет вкладывать большую энергию в малый объем, т.к. длина пробега электронов в твердом материале составляет несколько микрон.
Расширение паров металла в газ низкого давления позволяет получить высокие скорости охлаждения пара и одновременного уменьшения его концентрации, что приводит к протеканию процессов гомогенной конденсации и формированию потоков наночастиц.
Одной из самых сложных и не решенных до сих пор проблем при синтезе наночастиц металлов остается их сбор, хранение и транспортировка. Высокая поверхностная энергия наночастиц способствует их активному взаимодействию с окружающей средой и быстрому коагулированию. Для хранения и транспортировки необходимы специальные контейнеры, содержащие инертную среду, пригодную для данного нанопорошка (газообразную, жидкую или твердую). Инертную окружающую среду для хранения наночастиц создать достаточно сложно.
Известны технические решения, когда наночастицы, помещают в органическую жидкость, полимерную матрицу, инкапсулируют углеродом или солью, чтобы предохранить их от коагулирования. При этом органическая жидкость или полимер не должны менять свойства наночастиц, и при необходимости должны удаляться и освобождать наночастицы с сохранением их свойств и размеров.
Известен способ получения нанопорошков металлов, сплавов или соединений металлов с неметаллами (В, С, О, Si), инкапсулированных в инертную оболочку соли, [US 2008268178, 2008-10-30, С23С 14/30; С23С 16/00], включающий испарение материала и галогенида щелочного металла и конденсацию смеси из паровой фазы на поверхности подложки, выполняемые одновременно в замкнутом объеме. В нижней части закрытого объема располагают тигли со слитками соли и материала, а электронные и/или лазерные лучи используют в качестве источника для нагрева соли и материала вплоть до температуры их испарения. Получаемые инкапсулированные в инертную оболочку нанопорошки материалов имеют небольшую дисперсию распределения по размеру, не подвержены окислению в атмосфере, легко извлекаются путем растворения оболочки.
Недостатком указанного способа является то, что при выделении наночастиц металла они попадают в жидкую среду растворителя и могут либо коагулировать в ней, либо вступать в химическую реакцию с растворителем (в зависимости от металла).
Известен способ получения наночастиц металл-кислород путем испарения и конденсации электронным пучком в вакууме [UA 92556, 2010-11-10, С23С 14/24; С23С 14/54; В82В 3/00], включающий одновременное нагревание и испарение в вакуумной камере металла или сплавов металлов, а также твердого носителя, по меньшей мере из двух отдельных контейнеров, смешивание паровых потоков исходного материала и носителя, осаждение пара на подложке с фиксацией наночастиц исходного материала на подложке материалом упрочняющего носителя и образование конденсата наночастиц в носителе.
В изобретении заявлено, что применение указанного способа позволяет упростить процессы хранения, транспортировки и подготовки растворов без нарушения размера наночастиц со временем. Однако недостатком указанного способа является то, что при одновременном распылении углерода и металла (для большинства металлов) возможно образование карбидов, которые невозможно восстановить до чистого металла.
Наиболее близким по совокупности существенных признаков и получаемому результату является способ получения наночастиц никеля в углеродной оболочке [UA 104013 (С2) - 2013-12-25 С23С 14/28; С23С 14/54; С23С 14/58; С30В 30/00], заключающийся в испарении смеси углерода и никеля электронным пучком в вакууме до температуры, превышающей температуру плавления никеля (1455°С) с выдержкой в течение 20-30 мин. до образования стабильной жидкой фазы Ni3C, после чего увеличивают температуру выше 2300°С и проводят испарение в вакууме с последующим осаждением материала в виде закапсулированных углеродом наночастиц никеля на поверхности полупроводника с молекулярным типом связи и слоистой кристаллической структурой.
Изобретение обеспечивает получение инкапсулированных в углероде наночастиц никеля высокой плотности, однородности формы и геометрических размеров и легкое отделение этих частиц от подложки.
Недостатком указанного способа является то, что при попадании в атмосферу, диффузия кислорода приведет к формированию наночастиц оксидов металла. В случае, если конечным материалом является оксид металла, то это не является проблемой, в случае же использования наночастиц металлов, необходимо хранение закапсулированных углеродом наночастиц (на углеродной матрице) в инертной среде, например, в среде инертного газа.
Во всех известных технических решениях напыляют одновременно и матрицу и наночастицы.
В основу изобретения положена задача создания способа синтеза наночастиц металлов, позволяющего существенно упростить процессы сбора, хранения, транспортировки и выделения наночастиц чистых металлов, минимизировать потери энергии, чем увеличить производительность по распылению металла.
Задача решается путем создания способа синтеза наночастиц металлов осаждением из направленного потока на пористый углеродный материал, включающего испарение металла электронным пучком в вакууме и осаждение наночастиц на подложку, в котором, согласно изобретению, для сбора наночастиц металла в вакуумной камере на водоохлаждаемом медном экране устанавливают подложку, покрытую пористым углеродным материалом толщиной 0,1-2 мм, насыпной плотностью 0,04-0,06 г/см, пространственное сканирование электронного пучка осуществляют по двум координатам на мишени с частотами в пределах 5-200 Гц и амплитудой 5 мм, в течение 10-1000 секунд, временную модуляцию тока пучка осуществляют с частотой 10-100 Гц со скважностью (отношение длительности тока к длительности паузы) 1-10, при этом электронный пучок направляют под углом 30-90 градусов к поверхности металла.
Для распыления образцов электронным пучком в открытую вакуумную камеру помещают металл либо в виде пластины, либо металл в графитовом тигле. На водоохлаждаемом медном плоском экране устанавливают подложку с нанесенным углеродным покрытием. Подложка может быть выполнена из любого материала с высокой теплопроводностью, например, из тонкой медной фольги.
Предварительно на подложку осаждают углеродный материал толщиной 0,1-2 мм, насыпной плотностью 0,04 - 0,06 г/см. Осаждение пористого углеродного покрытия на подложку осуществляют, например, плазменно-дуговым синтезом. Предварительно напыленный пористый углеродный материал является матрицей для хранения и транспортировки наночастиц металла. Использование пористой сажи определяет наличие большого числа «разорванных» углеродных связей, что позволяет надежно удерживать наночастицы металла, предотвращая их коагуляцию. Слабая
адгезия сажи к подложке и высокая ее пористость являются существенным преимуществом при сборе наночастиц металла на углеродной матрице.
Распыление осуществляют электронной пушкой в вакууме.
Пространственное сканирование электронного пучка осуществляют по двум координатам на мишени с частотами в пределах 5-200 Гц и амплитудой 5 мм. Временную модуляцию тока пучка осуществляют с частотой 10-100 Гц со скважностью (отношение длительности тока к длительности паузы) 1-10. При этом электронный пучок направляют под углом 30-90 градусов к поверхности металла.
При интенсивном испарении для данной энергии электронов отсутствие модуляции (перемещение зоны взаимодействия электронного пучка с металлом по области диаметром около 1 см) приводит к поглощению определенной доли электронов пучка (энергии) уже в газовой фазе. Это приводит к уменьшению расхода испаренного вещества и увеличению энергии атомов металла в газовой фазе. Также могут происходить процессы ионизации атомов металла. Предотвращению указанных эффектов способствует наклонное падение пучка электронов на поверхность металла. Это приводит к уменьшению взаимодействия электронов пучка с атомами металла в газовой фазе.
Предложенные параметры сканирования позволяют достичь уменьшения поглощения энергии в парах металла и, следовательно, увеличения производительности распыления металла.
Для реализации способа используют электронно-лучевую установку. Распыление электронным пучком осуществляют в открытой вакуумной камере. Пучок электронов направляют на мишень через отверстие в охлаждаемом медном экране, на который установлена подложка для сбора распыленного материала.
К настоящему времени выполнены эксперименты по распылению различных металлов, в том числе, серебра, вольфрама, олова, железа,
которые показали, что подобным способом в углеродную матрицу можно осаждать любой металл.
Экспериментальная установка представляла собой источник пучка электронов с энергией 60 КэВ и регулируемым током в пределах 0 - 250 мА. Вакуумную камеру откачивали до давления 10-4 - 10-5 Тор. Для анализа результатов использовали: электронные просвечивающие микроскопы JEM-2010 (JEOL, Ltd, Japan) и JEM-2200FS (JEOL, Ltd, Japan); электронные сканирующие микроскопы S-3400N и JSM-6700F.
В качестве примера на фигуре 1 представлена фотография морфологии материала при напылении вольфрама на сажу (серые области). На фигуре видны в саже наночастицы вольфрама размером несколько нано метров (б) и скопления этих наночастиц (а). Размер частиц составляет 1-10 нм.
Результаты экспериментов по влиянию модуляции пучка электронов (перемещение зоны взаимодействия электронного пучка с металлом по области диаметром около 1 см) при распылении вольфрама представлены на фигуре 2 и на фигуре 3. На фигуре 2 представлена фотография среза кремниевой пластины без модуляции электронного пучка при испарении вольфрама. На фигуре 3 представлена фотография среза кремниевой пластины с модуляцией электронного пучка при испарении вольфрама. Толщина напыления с модуляцией электронного пучка заметно больше (540 нм) по сравнению со случаем отсутствия модуляции (350 нм).
Полученные результаты продемонстрировали уменьшение потерь энергии и увеличение производительности, упрощение процессов сбора, хранения, транспортировки и выделения наночастиц чистых металлов.
Claims (1)
- Способ получения наночастиц металла, включающий испарение мишени из металла электронным пучком в вакууме и осаждение наночастиц металла, отличающийся тем, что испарение мишени из металла ведут электронным пучком, направленным под углом 30-90 градусов к поверхности мишени, при этом обеспечивают пространственное сканирование электронного пучка по двум координатам на мишени с частотами в пределах 5-200 Гц и амплитудой 5 мм в течение 10-1000 секунд и временную модуляцию тока пучка с частотой 10-100 Гц со скважностью 1-10, причем осаждение наночастиц металла осуществляют из направленного потока на подложку, покрытую пористым углеродным материалом толщиной 0,1-2 мм, насыпной плотностью 0,04-0,06 г/см и установленную на водоохлаждаемом медном экране.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018100372A RU2685564C1 (ru) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | Способ синтеза наночастиц металлов осаждением на пористый углеродный материал |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018100372A RU2685564C1 (ru) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | Способ синтеза наночастиц металлов осаждением на пористый углеродный материал |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2685564C1 true RU2685564C1 (ru) | 2019-04-22 |
Family
ID=66314395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018100372A RU2685564C1 (ru) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | Способ синтеза наночастиц металлов осаждением на пористый углеродный материал |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2685564C1 (ru) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5589234A (en) * | 1993-06-23 | 1996-12-31 | Osaka University | Method of manufacturing ultrafine particles of a compound |
| US6392188B1 (en) * | 1999-02-26 | 2002-05-21 | Istituto Nazionale Per La Fisica Della Materia | Apparatus for production of nanosized particulate matter by vaporization of solid materials |
| RU2185931C1 (ru) * | 2001-01-24 | 2002-07-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков сложных соединений и смесевых составов и устройство для его реализации |
| UA92556C2 (ru) * | 2009-06-10 | 2010-11-10 | Астромонт Лимитед | Способ получения наночастиц системы металл-кислород с заданным составом электронно-лучевым испарением и конденсацией в вакууме |
| RU2455119C2 (ru) * | 2010-08-27 | 2012-07-10 | Алексей Александрович Калачев | Способ получения наночастиц |
| RU2465983C2 (ru) * | 2010-12-15 | 2012-11-10 | Учреждение Российской академии наук Институт электрофизики Уральского отделения РАН (ИЭФ УрО РАН) | Способ получения нанопорошка и устройство для его реализации |
| RU2489232C1 (ru) * | 2011-12-22 | 2013-08-10 | Общество с ограниченной ответственностью "НОРМИН" | Способ получения наноразмерного порошка металла |
| UA104013C2 (ru) * | 2011-08-05 | 2013-12-25 | Черновецкое Отделение Института Проблем Материаловедения Национальной Академии Наук Украины | СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗАКАПСУЛированных В УГЛЕРОДНЫЕ ОБОЛОЧКИ НАНОЧАСТИЦ НИКЕЛЯ |
| RU2623935C2 (ru) * | 2012-04-27 | 2017-06-29 | Риэктив Метал Партиклз Ас | Устройство и способ изготовления частиц |
-
2018
- 2018-01-09 RU RU2018100372A patent/RU2685564C1/ru active IP Right Revival
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5589234A (en) * | 1993-06-23 | 1996-12-31 | Osaka University | Method of manufacturing ultrafine particles of a compound |
| US6392188B1 (en) * | 1999-02-26 | 2002-05-21 | Istituto Nazionale Per La Fisica Della Materia | Apparatus for production of nanosized particulate matter by vaporization of solid materials |
| RU2185931C1 (ru) * | 2001-01-24 | 2002-07-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков сложных соединений и смесевых составов и устройство для его реализации |
| UA92556C2 (ru) * | 2009-06-10 | 2010-11-10 | Астромонт Лимитед | Способ получения наночастиц системы металл-кислород с заданным составом электронно-лучевым испарением и конденсацией в вакууме |
| RU2455119C2 (ru) * | 2010-08-27 | 2012-07-10 | Алексей Александрович Калачев | Способ получения наночастиц |
| RU2465983C2 (ru) * | 2010-12-15 | 2012-11-10 | Учреждение Российской академии наук Институт электрофизики Уральского отделения РАН (ИЭФ УрО РАН) | Способ получения нанопорошка и устройство для его реализации |
| UA104013C2 (ru) * | 2011-08-05 | 2013-12-25 | Черновецкое Отделение Института Проблем Материаловедения Национальной Академии Наук Украины | СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗАКАПСУЛированных В УГЛЕРОДНЫЕ ОБОЛОЧКИ НАНОЧАСТИЦ НИКЕЛЯ |
| RU2489232C1 (ru) * | 2011-12-22 | 2013-08-10 | Общество с ограниченной ответственностью "НОРМИН" | Способ получения наноразмерного порошка металла |
| RU2623935C2 (ru) * | 2012-04-27 | 2017-06-29 | Риэктив Метал Партиклз Ас | Устройство и способ изготовления частиц |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1998001596A1 (en) | Production of nanometer particles by directed vapor deposition of electron beam evaporant | |
| Yatsui et al. | Preparation of thin films and nanosize powders by intense, pulsed ion beam evaporation | |
| RU2455119C2 (ru) | Способ получения наночастиц | |
| US20050227020A1 (en) | Method for carrying out homogeneous and heterogeneous chemical reactions using plasma | |
| RU2685564C1 (ru) | Способ синтеза наночастиц металлов осаждением на пористый углеродный материал | |
| JPH0524988B2 (ru) | ||
| RU2475298C1 (ru) | Способ получения нанопорошков из различных электропроводящих материалов | |
| JPS60224706A (ja) | 金属超微粒子の製造法 | |
| JP2697753B2 (ja) | 直流グロー放電による金属被膜の堆積法 | |
| EP1109641A1 (en) | Method and apparatus for producing material vapour | |
| JP2013035725A (ja) | ニッケル内包フラーレンの製造方法、及び、製造装置 | |
| US20110129671A1 (en) | Method of producing quantum confined indium nitride structures | |
| JPS6260876A (ja) | 薄膜蒸着装置 | |
| RU2744089C1 (ru) | Метод получения стабилизированных линейных цепочек углерода в жидкости | |
| JP2505376B2 (ja) | 成膜方法及び装置 | |
| JP2911127B2 (ja) | プラズマ重合反応装置 | |
| Ushakov et al. | Technology Ready Use For Producing Nanomaterials in the Plasma of a Low-Pressure Pulsed Arc Discharge | |
| RU2618278C1 (ru) | Способ получения гибридного материала на основе многостенных углеродных нанотрубок, декорированных дистанционно разделенными кристаллическими наночастицами алюминия | |
| JP2004011007A (ja) | 成膜方法 | |
| JPS6350473A (ja) | 連続多段イオンプレ−テイング装置 | |
| AU756273B2 (en) | Method and apparatus for producing material vapour | |
| JPH02213467A (ja) | 薄膜形成方法、及びその装置 | |
| WO2021124356A1 (en) | A process and device for fabrication of high temperature superconductors | |
| JP2021134093A (ja) | 酸化物焼結体とその製造方法およびスパッタリングターゲット | |
| JP3418795B2 (ja) | 溶融蒸発用金属組成物および金属の溶融蒸発方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200110 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20210122 |