JPH0775330A - 半導体装置 - Google Patents
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- JPH0775330A JPH0775330A JP5159805A JP15980593A JPH0775330A JP H0775330 A JPH0775330 A JP H0775330A JP 5159805 A JP5159805 A JP 5159805A JP 15980593 A JP15980593 A JP 15980593A JP H0775330 A JPH0775330 A JP H0775330A
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Abstract
でSUBを引けるようにする。 【構成】SUB電位を出力するP型MOSトランジスタ
のゲートをたたくコンデンサの前に電源電圧を昇圧する
ブースト回路をつけることにより、上記P型MOSトラ
ンジスタのゲートレベルが−VCCよりも低い電位になる
ようにする。これにより、SUB電位のVTP1段上がり
がなくなり、SUBが−VCCまで引けるようになる。
Description
負電位を安定に供給する回路を備えた半導体装置に関す
る。
体基板や所定の導電型に形成されたウェル領域は、その
表面に形成される素子のバイアス条件等が変動すること
による誤動作を防止するために、所定の電位が供給され
ている。例えばN型MOSトランジスタを用いるDRA
M装置においては、基板を負電位に固定するためのSU
B電位発生回路を備えている。
半導体装置について説明する。
であり、出力VBBから得られる負電位は、図示しない半
導体基板に供給されている。
ンバータ回路により構成され、電源電圧に依存した一定
周期のクロック信号を発生させる回路である。また、C
1 ,C2 ,C3 は左側のレベルの変動に追従して、右側
のレベルを“H”→“L”に降圧または“L”→“H”
に昇圧させる為にコンデンサン、Q1 はSUB電位とな
るVBBを出力するP型MOSトランジスタ、Q2 は節点
Bが“H”の時のレベルをGNDとする為のP型MOS
トランジスタ、Q3 ,Q4 は節点Dが“L”の時のレベ
ルが−VCCとなるようにする為のP型MOSトランジス
タである。
達するとオシレータ回路からVCC−GNDの振幅をもつ
一定周期のクロック信号が出力される。まず節点Cが
“H”→“L”に切りかわる場合について説明する。節
点Cが“H”→“L”すなわちVCCレベルからGNDレ
ベルに変化するとコンデンサC2 を介してのカップリン
グにより節点DのレベルはVCC分引き下げられる。もと
もと節点Cが“H”のときの節点DのレベルはP型MO
SトランジスタとコンデンサC3 によりGNDレベルと
されている為、節点Cが“L”となったときの節点Dの
レベルは−VCCレベルとなる。
N状態となり、節点BのレベルはGNDレベルまで引き
下げられる。次に節点Cが“L”→“H”すなわちGN
DレベルカラVCCレベルに変化するとコンデンサC1 を
介してのカップリングにより節点BのレベルはVCC分引
き下げられ、−VCCレベルとなる。これによりP型MO
SトランジスタQ1 がON状態となり、SUB電位であ
るVBBがマイナスに引かれはじめる。これは、VBBの電
位と節点Bの電位との下がP型MOSトランジスタのス
レッシュホールド電圧(以下VTPと記す)以下になる
まで続き、以後P型MOSトランジスタQ1 がOFF状
態となることにより、この動作はストップする。続い
て、再び節点Cのレベルが“H”→“L”になることに
より節点BのレベルはGNDレベルとなる。この時P型
MOSトランジスタQ1 はOFF状態である。
れるクロック信号が“H”→“L”,“L”→“H”を
繰り返す毎にSUB電位VBBは徐々にマイナスレベルま
で引かれ、ある一定レベルまで引かれると、その電位で
安定することになる。
発生回路では、SUB電位VBBを出力するP型MOSト
ランジスタのQ1 のゲートレベルが−VCCにしかならな
い為、P型MOSトランジスタQ2 のVTP1段上が
り、すなわち−VCC+|VTP|までしかSUBを引く
ことができない。例えばVCCが3Vの時、SUBは−
1.5V程度までしか引けない為、SUBレベルが浅す
ぎることにより、デバイスの特性が悪化するという問題
点があった。またP型MOSトランジスタQ1 のゲート
とソースの差電位が小さい為、Q2 の電流能力も小さい
ものとなり、電源投入後、SUBが引けるまでに非常に
長い時間がかかってしまうという問題点があった。
電源電圧を供給され第1のクロックに応じて第1の負電
圧信号を出力する回路と、電源電圧を供給され第2のク
ロックに応じて第1の負電圧信号よりも低い第2の負電
圧信号を出力する回路と、第2の負電圧信号により制御
されて第1の負電圧信号と等しい負電圧を出力する回路
とを備えた半導体装置を得る。また第1の負電圧信号は
電源電圧を反転した電圧とすることができる。
ランジスタを有し、そのゲートには第2の負電圧信号が
印加され、第2の負電圧信号は、第1の負電圧信号の電
圧からP型MOSトランジスタの閾値電圧を引いた値以
下の電圧を有するようにしても良い。
それぞれ電源電圧を有するクロックであり、第1の負電
圧信号を出力する回路は、一端に第1のクロックが入力
され、この一端を正極として電源電圧に充電された第1
のコンデンサを有し、第2の負電圧信号を出力する回路
は、第2のクロックを昇圧した第3のクロックを一端に
入力され、この一端を正極としてこの昇圧した電圧に充
電された第2のコンデンサを有する。
がハイレベルである期間に電源電位の反転電位を出力す
る反転回路と、第2のクロックがハイレベルである期間
に電源電位を出力する反転回路と、第2のクロックがハ
イレベルである期間に電源電位を昇圧した電位を出力す
る昇圧回路と、昇圧回路の出力を反転して出力する制御
回路と、反転回路の出力を入力され制御回路の出力によ
り制御されて、第2のクロックがロウレベルである期間
に反転電位を出力する回路とを有する半導体装置を得
る。
る。
体装置におけるSUB電位発生回路の回路図であり、図
2はSUB電位発生回路の動作を説明するための、タイ
ミングチャートである。
OSC1とOSC2を出力し、OSL1はインバータ回
路INV1と、インバータ回路INV3 及びコンデンサ
C1及びN型MOSトランジスタQ1 ,Q3 及びP型M
OSトランジスタQ2 よりなるブースト回路と、コンデ
ンサC2 を介してP型MOSトランジスタQ6 のゲート
に接続される構成となっている。またOSCZはインバ
ータ回路INV2,INV4とコンデンサC3 を介して
P型MOSトランジスタQ6 のドレインに接続される構
成となっている。
“H”のときのレベルをGNDとするためのものであ
り、P型MOSトランジスタQ5 は、節点Gが“H”の
ときのレベルをGNDとするためのものである。
GNDレベルとの間で振動する信号であり、周期は等し
く、クロックOSC2がVCCレベルである期間が、クロ
ックOSC1がVCCレベルである期間に一致するか又は
包含されるように、デューティー比および位相がそれぞ
れ設定されている。
路2の動作についてそれぞれ説明する。
りも前にクロックOSC1がGNDレベルのときは、イ
ンバータINV3の出力もGNDレベルとなるので、コ
ンデンサC1はN型MOSトランジスタQ1により、N
型MOSトランジスタQ1の閾値電圧をVTNとして、V
CC−VTNレベルまで充電される。このとき、N型MOS
トランジスタQ3は導通しているので、ブースト回路1
の出力である節点Bの電位はGNDレベルとなる。そし
てクロックOSC1が時刻t1に立ち上がってVCCレベ
ルになると、インバータINV3の出力はVCCとなり、
コンデンサC1の端子Hは2VCC−VTNレベルにまで上
昇する。これに伴いN型MOSトランジスタQ1は非道
通となる。そして、このときP型MOSトランジスタQ
2は導通しているので、節点Bからの出力は2VCC−V
TNレベルになる。その後時刻t4にクロックOSC1が
GNDレベルに立ち下がると、節点Bの出力は再びGN
Dレベルになる。即ち、ブースト回路1の出力である節
点Bの電位は、クロックOSC1のVCCレベル、GND
レベル間の振動に同期して、2VCC−VTNレベル、GN
Dレベル間で振動することになる。
うになる。時刻t2においてクロックOSC2が立ち上
がり、VCCレベルに達すると、節点D,EはそれぞれG
NDレベル、VCCレベルとなる。このとき、後に説明す
るように、コンデンサC4は節点Dの側の端子が高電位
となるようにVCCレベルに充電されているので、節点G
は−VCCレベルとなる。またコンデンサC3も、以下に
説明するように、VCCに充電されているので、接点Fは
GNDレベルとなる。よってP型MOSトランジスタQ
7は、ゲート、ソースがそれぞれ−VCC、GNDレベル
となって導通し、節点FはGNDレベルとなり、よって
コンデンサC3はVCCレベルに充電される。このときP
型MOSトランジスQ5は、ゲートがGND、ソースが
−VCCレベルなので非導通状態となり、このため節点G
の−VCCレベルは維持される。
2が立ち下がってGNDレベルになると、節点D,Eは
それぞれVCCレベル、GNDレベルとなり、このときコ
ンデンサC3、C4はともにVCCに充電されているの
で、節点F,Gはそれぞれ−VCC、GNDレベルとな
る。するとP型MOSトランジスタQ5はゲート、ソー
スがそれぞれ−VCC、GNDレベルとなって導通するの
で、コンデンサC4は上述のようにVCCレベルまで充電
されることになる。なお、P型MOSトランジスタQ7
はこの時非導通状態になっており、したがって節点Fは
−VCCレベルに維持されている。
ロックOSC2のVCCレベル、GNDレベル間の変化に
対して同位相及び逆位相で、GNDレベル、−VCCレベ
ル間を振動し、また節点Eの電位はクロックOSC2と
同位相で、VCC、GND両レベル間を振動することにな
る。
明する。SUB出力回路3は、ブースト回路1の制御に
よって、低電位発生回路2で発生される低電位を出力す
る回路である。
が立ち上がりVCCレベルに達すると、上述のように節点
Bは2VCC−VTNレベルになり、またこのときコンデン
サC2は以下に説明するように2VCC−VTNに充電され
ているので、節点CはGNDレベルとなる。この場合に
おいて出力VBBのレベルは、以下に説明するように負の
電位に降圧されて図示しない負荷回路の容量によって維
持されているので、P型MOSトランジスタQ6はゲー
トがGNDレベル、ソースが負電位となり、非導通とな
る。
ち上がり、節点Gが−VCCになると、P型MOSトラン
ジスタQQ4が導通し、コンデンサC2は節点Bの電位
である2VCC−VTNレベルに充電される。この場合、P
型MOSトランジスタQ6は非導通のままである。
が立ち下がってGNDレベルになり、節点GがGNDレ
ベルに上昇すると、P型MOSトランジスタQ4は非導
通となり、よって節点Cは節点Bの電位及びコンデンサ
C2の充電電圧によってGNDレベルに維持される。
ち下がって節点BがGNDレベルになると、コンデンサ
C2のカップリングにより節点Cは−2VCC+VTNレベ
ルにまで下降する。従って、P型MOSトランジスタQ
6はゲートが−2VCC+VTNレベルにまで下降するので
強く導通し、出力VBBからは、節点Fのレベルである−
VCCレベルが出力される。即ち、P型MOSトランジス
タの閾値電圧をVTPとして、−2VCC+VTN<−VCC−
VTPなる関係が成立するように、各閾値電圧VTN、VTP
及び電源電圧VCCを設定することにより、節点Fのレベ
ルである−VCCレベルがそのまま、出力VBBのレベルと
なる。従って出力VBBに接続されている外部負荷の電位
は−VCCレベルまで降圧される。より詳しくは、この外
部負荷はコンデンサC3との容量分割によって降圧さ
れ、以上説明した動作を繰り返すことにより、漸次−V
CCレベルにまで下降することになる。
は、出力電位を=VCCに一致させることができ、基板電
位を確実に−VCCレベルにまで低下させることができ
る。またこのとき、出力部のP型MOSトランジスタQ
6のゲートは−2VCC+VTNレベルまで大きく低下する
ので、ゲート、ソース間の電位差が非常に大きくなり、
P型MOSトランジスタQ6の電流駆動能力が大きくな
って、短時間で基板電位を引き落とすことができる。
時供給する回路を備えている製品の場合であり、図3に
示すVBTがその昇圧された電源である。動作について
は、第1の実施例の回路と全く同じである。
位発生回路内に、電源電圧をそれよりも高い電圧に昇圧
するブースト回路を追加し、この回路の出力を反転する
ことにより、SUB電位を出力するP型MOSトラジス
タのゲートレベルを−VCCよりも低い電圧にできるよう
にしたので、SUB電位のVTP1段上がりがなくなり、
電源電圧が低い場合でも、SUBレベルを十分に深い電
位まで引くことができ、また短時間でSUBを引くこと
ができるという効果を有する。
波形図。
波形図。
Claims (6)
- 【請求項1】 正の電源電圧を供給され第1のクロック
に応じて第1の負電圧信号を出力する回路と、前記電源
電圧を供給され第2のクロックに応じて前記第1の負電
圧信号よりも低い第2の負電圧信号を出力する回路と、
前記第2の負電圧信号により制御されて前記第1の負電
圧信号と等しい電圧を出力する回路とを備えた半導体装
置。 - 【請求項2】 前記第1の負電圧信号は前記電源電圧を
反転した電圧を有することを特徴とする請求項1記載の
半導体装置。 - 【請求項3】 前記出力する回路はP型MOSトランジ
スタを有し、前記P型MOSトランジスタのゲートには
前記第2の負電圧信号が印加されることを特徴とする請
求項1記載の半導体装置。 - 【請求項4】 前記第2の負電圧信号は、前記第1の負
電圧信号の電圧から前記P型MOSトランジスタの閾値
電圧を引いた値以下の電圧を有することを特徴とする請
求項3記載の半導体装置。 - 【請求項5】 前記第1及び第2のクロックはそれぞれ
前記電源電圧を有し、前記第1の負電圧信号を出力する
回路は、一端に前記第1のクロックが入力され、該一端
を正極として前記電源電圧に充電された第1のコンデン
サを有し、前記第2の負電圧信号を出力する回路は、前
記第2のクロックを昇圧した第3のクロックを一端に入
力され、該一端を正極として前記昇圧した電圧に充電さ
れた第2のコンデンサを有することを特徴とする請求項
1記載の半導体装置。 - 【請求項6】 第1のクロックがハイレベルである期間
に電源電位の反転電位を出力する反転回路と、第2のク
ロックがハイレベルである期間に前記電源電位を昇圧し
た電位を出力する昇圧回路と、前記昇圧回路の出力を反
転して出力する制御回路と、前記反転回路の出力を入力
され前記制御回路の出力により制御されて、前記第2の
クロックがロウレベルである期間に前記反転電位を出力
する回路とを有することを有する半導体装置。
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