JPH0770667B2 - リードフレーム材料 - Google Patents

リードフレーム材料

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JPH0770667B2
JPH0770667B2 JP2219388A JP21938890A JPH0770667B2 JP H0770667 B2 JPH0770667 B2 JP H0770667B2 JP 2219388 A JP2219388 A JP 2219388A JP 21938890 A JP21938890 A JP 21938890A JP H0770667 B2 JPH0770667 B2 JP H0770667B2
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nickel
plating
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solderability
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利久 原
伸 石川
益光 副田
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Kobe Steel Ltd
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Kobe Steel Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ニッケル合金めっきリードフレーム材料に係
り、より詳細には、例えば、パワーICなどに用いられる
ニッケルまたはニッケル合金めっきを施した電子部品、
特に、はんだ付性を必要とするリードフレーム材料に関
する。
[従来の技術] 従来、ニッケルめっき材料は、はんだ付性が劣るため、
はんだ付性を有する部分にスポット銀めっきや錫めっき
を行ったものが多い。
また、ニッケルめっき材料に直接はんだ付けする場合に
は、フラックスを用いて行っていた。フラックスを用い
ないではんだ付性を良くするために、ニッケル−ホウ素
合金めっき、ニッケル−リン合金めっきやニッケル−コ
バルト合金めっきなどが開発されている。これらの合金
めっき皮膜は、還元性が高くはんだ付性に優れている。
また、銅や鉄鋼の金属表面に、変色防止や防錆の目的で
有機皮膜を付着させることは、すでに一般化している。
しかし、ニッケル−リン合金めっきやニッケル−コバル
ト合金の防錆処理については研究されていない。これ
は、ニッケルが銅に比べて酸化しにくく、顕著な変色を
起こさないためである。さらにリードフレーム材料は加
工・半導体のボンディングなどの後工程があるため、ベ
ンゾトリアゾールなどの防錆処理は行われていなかっ
た。
しかし、はんだ付性を良くするためにスポット銀めっき
や錫めっきをするとコストが高くなり、経済性の面等か
ら好ましくない。
さらに、フラックスを用いるとはんだ付け後に、フラッ
クスの除去洗浄をしなければならない。これは、製造工
程が多くなるだけでなく、製品の品質、信頼性にも悪影
響をおよぼしていた。
また、ニッケル−リン合金めっきやニッケル−コバルト
合金をめっきした材料でも長期保存後には、はんだ付性
が悪くなるという問題を生じていた。
[発明が解決しようとする課題] 本発明は、従来の技術がもつ、以上のような問題点を解
消させ、はんだ付性を向上し、長期保存しても安定した
品質を発揮するニッケルおよびニッケル合金めっきリー
ドフレーム材料を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明のリードフレーム材料は、銅または銅合金に施し
たニッケルまたはニッケル合金めっきにおける該めっき
の表面酸化状態が、X線光電子分析値の酸素ピーク強度
とニッケルピーク強度との比(O1s)/(Ni2p)(括弧
内は各元素のESCAのピーク強度を示す。以下同じ)とし
て1以下であり、前記めっき表面に、有機溶剤洗浄によ
って除去できるか、または300℃以下の温度で分解する
性質を持つ有機皮膜を有していることを特徴とする。
なお、前記有機皮膜の厚さは、0.01μm以上、0.1μm
以下とすることが好ましい。
また、有機皮膜の表面張力は、プレス油との接触角で20
゜以下とすることが好ましい。
[作用] 発明者は、ニッケルおよびニッケル合金めっき材料のは
んだ付性について鋭意研究を行った結果、ニッケルおよ
びニッケル合金めっき表面の酸化とはんだ付性との間に
おける相関関係を見出し本発明に至ったものである。
すなわち、酸化状態はX線光電子分析(ESCA分析)によ
ってニッケルまたはニッケル合金めっき表面の(Ni2
p)、(Co2p)、(O1s)などを測定し、ニッケル酸化物
と金属とのピークの強度比、または酸素ピーク強度とニ
ッケルピーク強度との比(O1s)/(Ni2p)を求めた場
合、この値において、(Ni酸化物)/(Ni金属)≦1お
よび(O1s)/(Ni2p)≦1のニッケルまたはニッケル
合金めっきは良好なはんだ付性を示すことが判明した。
しかし、経済的に上記条件に表面状態を維持することは
困難であり、そのための手段につき本発明者は鋭意検討
を重ね、めっき表面に有機皮膜を形成してはどうかとの
着想を得た。ただ、従来、リードフレーム材料に有機皮
膜を形成した技術は存在していなかった。
従来有機皮膜を付与したリードフレーム材料が存在して
いなかった理由は、リードフレーム材料にはスタンピン
グ・ボンディングなどの後工程が有り、後工程への有機
皮膜の影響が十分に研究されていなかったためにあると
考えられる。
しかし、上記常識に反し、有機皮膜の付与を行った場合
について詳細な検討を行ったところ、(O1s)/(Ni2
p)≦1の場合には、酸化防止皮膜が有機洗浄によって
除去できるか、または300℃以下の温度で分解する性質
を持つ有機皮膜を付与すれば、半導体チップを付けたと
きにもはんだ層中に皮膜が残らず、ボンディングに悪影
響を与えないことを見い出した。
従って、本発明では、めっきの表面状態を(O1s)/(N
i2p)≦1とし、さらに経時的にこの状態を保存するた
めめっき表面に有機皮膜を形成している。なお、めっき
形成と有機皮膜形成との間の時間が長いとめっきの酸化
が進行しやすいためめっき直後に有機皮膜の形成を行
う。
また、めっき条件(例えばめっき浴温度)、水洗条件
(水洗条件は残存イオン量に関係し、残存イオン量はめ
っき酸化速度に完成する)等によっては、めっき直後で
あっても酸化が進行する場合もある。それを防止するた
めこれらの条件を適正な範囲に制御することが好まし
い。
さらに、有機皮膜の形成処理後の乾燥条件によっては、
めっきの酸化が進行する場合もあるため、これを防止す
るために、乾燥条件としては、ブロアー乾燥、露点:20
℃以下、乾燥温度:80℃以下とすることが好ましい。
なお、有機溶剤洗浄によって除去できるか、または300
℃以下の温度で分解する性質を持つ有機皮膜の材料とし
ては、例えば、ジシクロヘキシルアミンオレイン酸塩を
用いればよい。もちろんこれに限定されるものではな
い。
なお、スタンピングに悪影響を与えないためには有機皮
膜は薄い方が望ましい。しかし、有機皮膜が薄すぎると
酸化防止効果が低下することもある。従って、有機皮膜
の厚さは0.01μm以上とすることが好ましい。
一方、有機皮膜が厚すぎると除去するために時間がかか
るため、有機皮膜の厚さは0.1μm以下であることが望
ましい。また、有機皮膜の厚さを0.1μm以下とした場
合には、初期はんだ付け性試験において円形のはんだハ
ジキの発生は全く認められなくなるので、この点からも
0.1μm以下とすることが好ましい。
なお、有機皮膜の厚さはX線光電子分析(ESCA分析)に
よっても評価できる。ESCA分析によって(Ni2p)、(C1
s)、(N1s)、(O1s)を測定し、炭素ピーク強度とニ
ッケルピーク強度の比(C1s)/(Ni2p)を求めればよ
い。また、窒素を含有する有機皮膜では窒素ピーク強度
とニッケルピーク強度の比(N1s)/(Ni2p)で皮膜の
厚さを評価しても良い。この値において(C1s)/(Ni2
p)は0.4以上1.4以下であることが望ましい。(ただし
(C1s)/(Ni2p)のブランクは0.3である)。
また、プレス油との馴染み性をよくするため表面張力が
低いものが望ましい。鋭意研究の結果、ニッケル合金表
面の有機皮膜とプレス油との接触角は20゜以下にするこ
とが好ましいことがわかった。
[実施例] (実施例1) 脱酸銅に対し、常法により脱脂洗浄・酸洗浄を順次行っ
た。
その後直ぐに、ニッケル−コバルト合金めっきを1.5μ
m厚に施し、純水にて洗浄した。
洗浄後直ぐに酸化防止処理(有機皮膜の被覆)を行い、
さらに水洗した後、乾燥し、第1図に示す層構造のリー
ドフレーム材料の試料を作成した。
以下にその条件の詳細を述べる。
<めっき> ・基本浴組成 硫酸ニッケル 240g/ 塩化ニッケル 40g/ 硫酸コバルト 2g/ ホウ酸 35g/ 市販光沢剤 #610 5ml/ #63 10ml/ (荏原ユージライト社製) ・めっき条件 電流密度 3A/dm2 温度 45℃ 撹拌あり <酸化防止処理> ・基本液組成 ジシクロヘキシルアミンオレイン酸塩 0.15% ノニオン系界面活性剤 0.05% 水 99.8% ・処理条件 スプレー散布 ・処理時間 5秒 ・乾燥 ブロアー、温度70℃、露点10℃ 上記方法によって作成した試料につき、酸化防止処理直
後と、下記の経時促進処理後に表面酸化状態・はんだ付
け性を調査した。
<経時促進試験法> 温度:25℃ 湿度:90% 保持:デシケータ中に垂直に吊るして保持 保持時間:2時間 なお、表面酸化状態は、ESCAにより測定し、はんだ付け
性は下記の条件にて測定した。
<はんだ付け性試験法> 試験片:ニッケル合金めっき銅板 50mm×50mm×0.30mmを使用した。
試験器:垂直浸漬型はんだ付け性試験機((株)田葉井
製作所製) はんだ浴:Sn63/Pb37はんだ 浴温度:270℃ 浸漬時間:10秒 浸漬深さ:40mm 評価法:試験片のはんだ漏れ面積を測定した。
上記方法によって得られた試料は、酸化防止処理直後に
おいては(O1s)/(Ni2p)<0.6であり、表面酸化が少
なく、さらに酸化防止皮膜を付着してあるため経時促進
試験2時間後も(O1s)/(Ni2p)<0.7を保っていた。
そのためフラックスを使用しなくても良好なはんだ付性
をしめし、さらに長期保存しても安定した品質を発揮し
た。
試料の酸化防止皮膜は200℃付近で気化する特性があ
る。さらに、液濃度の制御・処理時間の適正化・後水洗
により皮膜を均一に薄く付けているためボンディング時
にはんだ層中に皮膜が残り不良となることもなかった。
なお、以上の試験における試験結果を以下の比較例のそ
れとともに表1に示す。
(比較例1) 実施例1と同様にニッケル合金めっきを行い、24時間放
置後に酸化防止処理を行った。
比較例1では、めっき直後において酸化防止処理を行わ
なかったため表面の酸化が進行し、酸化防止処理の効果
が発揮されなかった。また、はんだ付け性も低下した。
(比較例2) 実施例1と同様にニッケル合金めっき・酸化防止処理を
行った後、温度120℃、露点25℃で乾燥を行った。
比較例2では、乾燥条件が適正でなかったため表面の酸
化が進行し、(O1s)/(Ni2p)>1であり、全くはん
だが付かなかった。
(比較例3) 温度60℃でめっきを行い、めっき後湯洗した。
他の条件は実施例1と同様に行った。
比較例3では、めっき条件が適正でなかったため表面の
酸化が進行し、(O1s)/(Ni2p)>1であり、はんだ
付け性が低下する。
このように比較例1〜3では、(O1s)/(Ni2p)>1
であり、表面の酸化が進みボンディング不良が発生し
た。
(比較例4) 実施例1と同様にニッケル合金めっきを行い、酸化防止
処理をしなかった。
比較例4は、酸化防止処理をしていないため表面酸化が
急速に進行し、(O1s)/(Ni2p)>1であり、はんだ
付け性が低下した。経時促進試験後には全くはんだが付
かなかった。
(実施例2) 酸化防止処理は、液濃度を10倍に濃くし、処理時間10秒
で行った。他の条件は実施例1と同様に行った。
本例も、比較例に比べると良好なはんだ付け性を示し
た。
ただ、実施例2では、酸化防止皮膜が厚いため、実施例
1の場合に比べると酸化防止皮膜の除去に時間がかかっ
た。また、有機洗浄・予備加熱なしで直接はんだ付けし
た場合、実施例1と比べると、はんだ付け時にはんだが
完全には除去されず、若干の半田はじきが発生した。
(実施例3) 実施例3では、酸化防止処理の液濃度を実施例1の場合
の10分の1に薄くし、他の条件は実施例1と同様とし
た。
本例も比較例に比べて良好なはんだ付け性を示した。
ただ、実施例1と比べた場合には、(O1s)/(Ni2p)
は、実施例1の方が低く、また、はんだ付け性も実施例
1の方が優れていた。
[発明の効果] 本発明のリードフレーム材料は、表面酸化が少なく、長
期保存後にも良好なはんだ付け性を示す特徴を持ってい
る。このため、ボンディング時にフラックスを使う必要
がなく製造工程を短くできるとともに、製品の品質・信
頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるリードフレーム材料の一例の断面
図である。 1……銅または銅合金素材、2……ニッケルまたはニッ
ケル合金めっき層、3……有機皮膜の酸化防止層。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】銅または銅合金に施したニッケルまたはニ
    ッケル合金めっきにおける該めっきの表面酸化状態が、
    X線光電子分析値の酸素ピーク強度とニッケルピーク強
    度との比(O1s)/(Ni2p)として1以下であり、前記
    めっき表面に、有機溶剤洗浄によって除去できるか、ま
    たは300℃以下の温度で分解する性質を持つ有機皮膜を
    有していることを特徴とするニッケル合金めっきリード
    フレーム材料。
  2. 【請求項2】前記有機皮膜の厚さが、0.01μm以上、0.
    1μm以下であることを特徴とする請求項1記載のニッ
    ケル合金めっきリードフレーム材料。
  3. 【請求項3】前記有機皮膜の表面張力は、プレス油との
    接触角で20゜以下であることを特徴とする請求項1また
    は2に記載のニッケル合金めっきリードフレーム材料。
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