JPH0770667B2 - リードフレーム材料 - Google Patents
リードフレーム材料Info
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- JPH0770667B2 JPH0770667B2 JP2219388A JP21938890A JPH0770667B2 JP H0770667 B2 JPH0770667 B2 JP H0770667B2 JP 2219388 A JP2219388 A JP 2219388A JP 21938890 A JP21938890 A JP 21938890A JP H0770667 B2 JPH0770667 B2 JP H0770667B2
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- Japan
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- nickel
- plating
- organic film
- less
- solderability
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
り、より詳細には、例えば、パワーICなどに用いられる
ニッケルまたはニッケル合金めっきを施した電子部品、
特に、はんだ付性を必要とするリードフレーム材料に関
する。
はんだ付性を有する部分にスポット銀めっきや錫めっき
を行ったものが多い。
は、フラックスを用いて行っていた。フラックスを用い
ないではんだ付性を良くするために、ニッケル−ホウ素
合金めっき、ニッケル−リン合金めっきやニッケル−コ
バルト合金めっきなどが開発されている。これらの合金
めっき皮膜は、還元性が高くはんだ付性に優れている。
有機皮膜を付着させることは、すでに一般化している。
しかし、ニッケル−リン合金めっきやニッケル−コバル
ト合金の防錆処理については研究されていない。これ
は、ニッケルが銅に比べて酸化しにくく、顕著な変色を
起こさないためである。さらにリードフレーム材料は加
工・半導体のボンディングなどの後工程があるため、ベ
ンゾトリアゾールなどの防錆処理は行われていなかっ
た。
や錫めっきをするとコストが高くなり、経済性の面等か
ら好ましくない。
クスの除去洗浄をしなければならない。これは、製造工
程が多くなるだけでなく、製品の品質、信頼性にも悪影
響をおよぼしていた。
合金をめっきした材料でも長期保存後には、はんだ付性
が悪くなるという問題を生じていた。
消させ、はんだ付性を向上し、長期保存しても安定した
品質を発揮するニッケルおよびニッケル合金めっきリー
ドフレーム材料を提供することを目的とする。
たニッケルまたはニッケル合金めっきにおける該めっき
の表面酸化状態が、X線光電子分析値の酸素ピーク強度
とニッケルピーク強度との比(O1s)/(Ni2p)(括弧
内は各元素のESCAのピーク強度を示す。以下同じ)とし
て1以下であり、前記めっき表面に、有機溶剤洗浄によ
って除去できるか、または300℃以下の温度で分解する
性質を持つ有機皮膜を有していることを特徴とする。
以下とすることが好ましい。
゜以下とすることが好ましい。
んだ付性について鋭意研究を行った結果、ニッケルおよ
びニッケル合金めっき表面の酸化とはんだ付性との間に
おける相関関係を見出し本発明に至ったものである。
ってニッケルまたはニッケル合金めっき表面の(Ni2
p)、(Co2p)、(O1s)などを測定し、ニッケル酸化物
と金属とのピークの強度比、または酸素ピーク強度とニ
ッケルピーク強度との比(O1s)/(Ni2p)を求めた場
合、この値において、(Ni酸化物)/(Ni金属)≦1お
よび(O1s)/(Ni2p)≦1のニッケルまたはニッケル
合金めっきは良好なはんだ付性を示すことが判明した。
困難であり、そのための手段につき本発明者は鋭意検討
を重ね、めっき表面に有機皮膜を形成してはどうかとの
着想を得た。ただ、従来、リードフレーム材料に有機皮
膜を形成した技術は存在していなかった。
いなかった理由は、リードフレーム材料にはスタンピン
グ・ボンディングなどの後工程が有り、後工程への有機
皮膜の影響が十分に研究されていなかったためにあると
考えられる。
について詳細な検討を行ったところ、(O1s)/(Ni2
p)≦1の場合には、酸化防止皮膜が有機洗浄によって
除去できるか、または300℃以下の温度で分解する性質
を持つ有機皮膜を付与すれば、半導体チップを付けたと
きにもはんだ層中に皮膜が残らず、ボンディングに悪影
響を与えないことを見い出した。
i2p)≦1とし、さらに経時的にこの状態を保存するた
めめっき表面に有機皮膜を形成している。なお、めっき
形成と有機皮膜形成との間の時間が長いとめっきの酸化
が進行しやすいためめっき直後に有機皮膜の形成を行
う。
(水洗条件は残存イオン量に関係し、残存イオン量はめ
っき酸化速度に完成する)等によっては、めっき直後で
あっても酸化が進行する場合もある。それを防止するた
めこれらの条件を適正な範囲に制御することが好まし
い。
めっきの酸化が進行する場合もあるため、これを防止す
るために、乾燥条件としては、ブロアー乾燥、露点:20
℃以下、乾燥温度:80℃以下とすることが好ましい。
℃以下の温度で分解する性質を持つ有機皮膜の材料とし
ては、例えば、ジシクロヘキシルアミンオレイン酸塩を
用いればよい。もちろんこれに限定されるものではな
い。
膜は薄い方が望ましい。しかし、有機皮膜が薄すぎると
酸化防止効果が低下することもある。従って、有機皮膜
の厚さは0.01μm以上とすることが好ましい。
るため、有機皮膜の厚さは0.1μm以下であることが望
ましい。また、有機皮膜の厚さを0.1μm以下とした場
合には、初期はんだ付け性試験において円形のはんだハ
ジキの発生は全く認められなくなるので、この点からも
0.1μm以下とすることが好ましい。
よっても評価できる。ESCA分析によって(Ni2p)、(C1
s)、(N1s)、(O1s)を測定し、炭素ピーク強度とニ
ッケルピーク強度の比(C1s)/(Ni2p)を求めればよ
い。また、窒素を含有する有機皮膜では窒素ピーク強度
とニッケルピーク強度の比(N1s)/(Ni2p)で皮膜の
厚さを評価しても良い。この値において(C1s)/(Ni2
p)は0.4以上1.4以下であることが望ましい。(ただし
(C1s)/(Ni2p)のブランクは0.3である)。
低いものが望ましい。鋭意研究の結果、ニッケル合金表
面の有機皮膜とプレス油との接触角は20゜以下にするこ
とが好ましいことがわかった。
た。
m厚に施し、純水にて洗浄した。
さらに水洗した後、乾燥し、第1図に示す層構造のリー
ドフレーム材料の試料を作成した。
後と、下記の経時促進処理後に表面酸化状態・はんだ付
け性を調査した。
性は下記の条件にて測定した。
製作所製) はんだ浴:Sn63/Pb37はんだ 浴温度:270℃ 浸漬時間:10秒 浸漬深さ:40mm 評価法:試験片のはんだ漏れ面積を測定した。
おいては(O1s)/(Ni2p)<0.6であり、表面酸化が少
なく、さらに酸化防止皮膜を付着してあるため経時促進
試験2時間後も(O1s)/(Ni2p)<0.7を保っていた。
をしめし、さらに長期保存しても安定した品質を発揮し
た。
る。さらに、液濃度の制御・処理時間の適正化・後水洗
により皮膜を均一に薄く付けているためボンディング時
にはんだ層中に皮膜が残り不良となることもなかった。
れとともに表1に示す。
置後に酸化防止処理を行った。
なかったため表面の酸化が進行し、酸化防止処理の効果
が発揮されなかった。また、はんだ付け性も低下した。
行った後、温度120℃、露点25℃で乾燥を行った。
化が進行し、(O1s)/(Ni2p)>1であり、全くはん
だが付かなかった。
酸化が進行し、(O1s)/(Ni2p)>1であり、はんだ
付け性が低下する。
であり、表面の酸化が進みボンディング不良が発生し
た。
処理をしなかった。
急速に進行し、(O1s)/(Ni2p)>1であり、はんだ
付け性が低下した。経時促進試験後には全くはんだが付
かなかった。
で行った。他の条件は実施例1と同様に行った。
た。
1の場合に比べると酸化防止皮膜の除去に時間がかかっ
た。また、有機洗浄・予備加熱なしで直接はんだ付けし
た場合、実施例1と比べると、はんだ付け時にはんだが
完全には除去されず、若干の半田はじきが発生した。
の10分の1に薄くし、他の条件は実施例1と同様とし
た。
は、実施例1の方が低く、また、はんだ付け性も実施例
1の方が優れていた。
期保存後にも良好なはんだ付け性を示す特徴を持ってい
る。このため、ボンディング時にフラックスを使う必要
がなく製造工程を短くできるとともに、製品の品質・信
頼性を向上させることができる。
図である。 1……銅または銅合金素材、2……ニッケルまたはニッ
ケル合金めっき層、3……有機皮膜の酸化防止層。
Claims (3)
- 【請求項1】銅または銅合金に施したニッケルまたはニ
ッケル合金めっきにおける該めっきの表面酸化状態が、
X線光電子分析値の酸素ピーク強度とニッケルピーク強
度との比(O1s)/(Ni2p)として1以下であり、前記
めっき表面に、有機溶剤洗浄によって除去できるか、ま
たは300℃以下の温度で分解する性質を持つ有機皮膜を
有していることを特徴とするニッケル合金めっきリード
フレーム材料。 - 【請求項2】前記有機皮膜の厚さが、0.01μm以上、0.
1μm以下であることを特徴とする請求項1記載のニッ
ケル合金めっきリードフレーム材料。 - 【請求項3】前記有機皮膜の表面張力は、プレス油との
接触角で20゜以下であることを特徴とする請求項1また
は2に記載のニッケル合金めっきリードフレーム材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2219388A JPH0770667B2 (ja) | 1990-08-21 | 1990-08-21 | リードフレーム材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2219388A JPH0770667B2 (ja) | 1990-08-21 | 1990-08-21 | リードフレーム材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04101451A JPH04101451A (ja) | 1992-04-02 |
JPH0770667B2 true JPH0770667B2 (ja) | 1995-07-31 |
Family
ID=16734638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2219388A Expired - Lifetime JPH0770667B2 (ja) | 1990-08-21 | 1990-08-21 | リードフレーム材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0770667B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000064084A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-02-29 | Kobe Steel Ltd | 電子部品の放熱板用めっき材 |
WO2016189643A1 (ja) | 2015-05-26 | 2016-12-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63187656A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-03 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体装置 |
-
1990
- 1990-08-21 JP JP2219388A patent/JPH0770667B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04101451A (ja) | 1992-04-02 |
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