JPH0765414A - 情報記録用媒体 - Google Patents

情報記録用媒体

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JPH0765414A
JPH0765414A JP5207374A JP20737493A JPH0765414A JP H0765414 A JPH0765414 A JP H0765414A JP 5207374 A JP5207374 A JP 5207374A JP 20737493 A JP20737493 A JP 20737493A JP H0765414 A JPH0765414 A JP H0765414A
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JP
Japan
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layer
recording medium
information recording
recording
double
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Pending
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JP5207374A
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English (en)
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Tetsuya Nishida
哲也 西田
Motoyasu Terao
元康 寺尾
Shinkichi Horigome
信吉 堀籠
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Hitachi Ltd
Maxell Holdings Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 レーザ光の照射を受けて原子配列変化が生じ
て光学特性が変化する無機物の薄膜を記録層とする情報
記録用媒体において、再生専用型のCDドライブ等の装
置で直接的に情報を読み出すことが出来るようにすると
共に、情報を記録した場合の再生信号強度が十分になる
ようにする。 【構成】 レプリカ基板1,1’と、保護層2,2’
と、レーザ光の照射を受けて原子配列変化が生じて光学
定数が変化する無機物からなる記録層3,3’と、中間
層4,4’と、反射層5,5’と、上引き層6,6’
と、有機物層7,7’と、接着剤層8から形成され、基
板側からのレーザ光に対する反射率が、未記録部または
記録部のいずれか一方で65%以上,他方で45%以下
であり、反射層5,5’の膜厚が、15nm以上,25
nm以下である情報記録用媒体A。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、情報記録用媒体に関
し、さらに詳しくは、レーザ光の照射を受けて原子配列
変化が生じて光学特性が変化する無機物の薄膜を記録層
とする情報記録用媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザ光の照射を受けて原子配列変化が
生じて光学特性が変化する情報記録用媒体に記録用レー
ザ光を照射すると、記録層が、相変化,原子拡散,フォ
トダークニングなどの現象を起して、再生用レーザ光に
対する反射率が変化する。このため、情報が記録され
る。
【0003】記録層の相変化に関する従来技術は、例え
ば特公昭47−26897号公報において、Te-Ge
系,As-Te-Ge系,Te-O系などの薄膜について
述べられている。また、特開昭54−41902号公報
において、(Ge)20(Tl)5(Sb)5(Se)70などの組成
が述べられている。また、特開昭57−24039号公
報において、(Sb)25(Te)12.5(Se)62.5,(Cd)14
(Te)14(Se)72,(Bi)2(Se)3、(Sb)2(Se)3,
(In)20(Te)20(Se)60,(Bi)25(Te)12.5(Se)
62.5,CuSe,(Te)33(Se)67の薄膜が述べられて
いる。
【0004】また、記録層の原子拡散に関する従来技術
は、例えば特開昭61−188752号公報において、
(Sb)2(Se)3/Biの2層膜が述べられている。
【0005】なお、レーザ光の照射を受けて原子配列変
化が生じて光学特性が変化する無機物の薄膜を記録層と
する情報記録用媒体ではないが、例えば特開平2−87
339号公報,特開平2−87340号公報,特開平2
−87342号公報には、有機物を記録層とする情報記
録用媒体および形状変化により記録を行う情報記録用媒
体が開示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来、レーザ光の照射
を受けて原子配列変化が生じて光学特性が変化する無機
物の薄膜を記録層とする情報記録用媒体(以下、「この
種の情報記録用媒体」という場合がある)では、未記録
部または記録部でのレーザ光に対する反射率を65%よ
り小さくしていた。しかし、反射率が65%より小さい
と、高反射率の情報記録用媒体を前提としている再生専
用型のCDドライブ,CD−ROMドライブ,CD−I
ドライブ,レーザディスクドライブ等の装置では、直接
的に情報を読み出すことができない問題点があった。こ
のため、未記録部または記録部での反射率を65%以上
とすることが考えられるが、従来のこの種の情報記録用
媒体では、高反射率とするための構成が最適化されてい
なかったので、情報を記録した場合の再生信号強度が不
十分になってしまう問題点があった。
【0007】なお、この種の情報記録用媒体記録に較べ
て、有機物を記録層とする情報記録用媒体や形状変化に
より記録を行う情報記録用媒体は、データの保持寿命が
短く、耐環境性が悪い問題点がある。
【0008】従って、本発明の目的は、レーザ光の照射
を受けて原子配列変化が生じて光学特性が変化する無機
物の薄膜を記録層とする情報記録用媒体において、未記
録部または記録部での反射率を65%以上として、再生
専用型のCDドライブ等の装置で直接的に情報を読み出
すことが出来るようにすると共に、構成を最適化して、
情報を記録した場合の再生信号強度が十分になるように
した情報記録用媒体を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】第1の観点では、本発明
は、基板と、その基板上に直接もしくは保護層を介して
積層されレーザ光の照射を受けて実質的に形状変化を伴
わずに原子配列変化が生じて光学定数が変化する無機物
からなる記録層と、その記録層上に積層された中間層
と、その中間層上に積層され前記レーザ光を反射する反
射層と、その反射層上に積層された上引き層とから少な
くとも形成される情報記録用媒体において、基板側から
のレーザ光に対する反射率が、未記録部または記録部の
いずれか一方で65%以上,他方で45%以下であり、
反射層の膜厚が、15nm以上,25nm以下であるこ
とを特徴とする情報記録用媒体を提供する。
【0010】上記構成において、記録層は、非晶質状態
と結晶状態の間で変化するものがよいが、その非晶質状
態に結晶部分が混在していてもよい。また、非晶質状態
と結晶状態の間で変化するものの外に、結晶粒径や結晶
形を変化するものや,結晶と準安定状態の間で変化する
ものなどでもよい。また、記録層中の原子のうちの一部
が拡散,化学反応などにより移動するものでもよい。ま
た、前記相変化と原子の移動の両方を起こすものであっ
てもよい。
【0011】上記構成において、初期反射率が65%未
満の場合でも、Arレーザ光の照射,半導体レーザ光の
照射およびフラッシュアニール等による初期結晶化によ
り、反射率を65%以上とすれば、本発明の範囲に含ま
れる。
【0012】上記構成において、積層順序は、基板に近
い側から順に、記録層、中間層、反射層、上引き層とす
るのが好ましい。上記構成において、記録層、中間層、
反射層および上引き層がそれぞれ隣接していることが好
ましい。
【0013】記録層,中間層,反射層および上引き層を
合わせて情報記録担体部とすると、この情報記録担体部
の一方の面が保護層で密着して保護されていれば、耐環
境性が向上する。情報記録担体部の両方の面が保護層で
密着して保護されていれば、耐環境性がさらに向上し、
可逆型として用いたときの書き換え可能回数が10倍以
上向上する。
【0014】上記構成において、記録層の膜厚が、50
nm以上,120nm以下であることが好ましい。上記
構成において、記録層の未記録部または記録部のどちら
か一方でのレーザ光に対する複素屈折率の虚数部である
消衰係数が、0.2以下であることが好ましい。上記構
成において、記録層が、SeまたはSのうち少なくとも
1元素を含有することが好ましい。上記構成において、
SeまたはSの含有量が、40at%以上,90at%
以下であることが好ましい。上記構成において、記録層
が、SeまたはSのうち少なくとも1元素およびIn,
Sn,Te,Bi,Si,PbまたはGaのうちの少な
くとも1元素を含有することが好ましい。上記構成にお
いて、記録層が、SeおよびInおよびSn,Te,B
i,Si,Pb,Ga,SbまたはGeのうちの少なく
とも1元素を含有することが好ましい。上記構成媒体に
おいて、記録層が、SeまたはSのうち少なくとも1元
素およびTl,Co,Ti,V,Cr,Mn,Fe,N
i,Cu,Pd,AgまたはAuのうちの少なくとも1
元素を含有することが好ましい。上記構成において、T
lまたはCoの含有量が、2at%以上,10at%以
下であることが好ましい。
【0015】上記構成において、中間層のレーザ光に対
する複素屈折率の虚数部である消衰係数が、0.2以下
であることが好ましい。
【0016】上記構成において、上引き層の膜厚が、2
0nm以上,500nm以下であることが好ましい。
【0017】本発明の情報記録用媒体で、一部分が同じ
情報を持つ情報記録用媒体を大量に作製する場合には、
情報記録用媒体の一部分に再生専用型の情報(ROM)
を予め凹または凸状のプリピットの形で形成し、混在さ
せておくことが好ましい。
【0018】本発明の情報記録用媒体は、テープ状,カ
ード状などの形態で使用可能である。また、映像や音声
などのアナログ信号をFM変調したものや,電子計算機
のデータや,ファクシミリ信号や,ディジタルオーディ
オ信号などのディジタル情報を、リアルタイムで記録す
ることが可能である。
【0019】
【作用】本発明の情報記録用媒体は、基板と、レーザ光
の照射を受けて原子配列変化が生じて光学定数が変化す
る無機物からなる記録層と、中間層と、反射層と、上引
き層とから少なくとも形成され、基板側からのレーザ光
に対する反射率が、未記録部または記録部のいずれか一
方で65%以上,他方で45%以下であり、反射層の膜
厚が、15nm以上,25nm以下である。このような
高い反射率をもたせたため、再生専用型のCDドライブ
等の装置で直接的に情報を読み出すことが出来るように
なる。特に、未記録部の初期反射率が70%以上で記録
部の反射率が28%以下とした場合は、CD−WO(追
記型CD)規格であるオレンジブックに完全準拠できる
ようになる。一方、反射層の膜厚を15nm以上,25
nm以下としたため、上記反射率を維持し、且つ、記録
層に損傷を与えないパワーで十分な感度で記録できるよ
うになり、再生信号強度が十分になる。
【0020】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。なお、こ
れにより本発明が限定されるものではない。
【0021】図1は、本発明の情報記録用媒体の第1実
施例の両面ディスクAの断面構造図を示す。この両面デ
ィスクAにおいて、1,1’はレプリカ基板、2,2’
は保護層、3,3’は記録層、4,4’は中間層、5,
5’は反射層、6,6’は上引き層、7,7’は有機物
層、8は接着剤層である。
【0022】保護層2,2’は、例えばCe,La,S
i,In,Al,Ge,Pb,Sn,Bi,Te,T
a,Sc,Y,Ti,Zr,V,Nb,CrおよびWな
どよりなる群より選ばれた少なくとも1元素の酸化物、
Mg,Ce,Caなどよりなる群より選ばれた少なくと
も1元素の弗化物、Si,Al,Ta,Bなどよりなる
群より選ばれた少なくとも1元素の窒化物、Cd,Z
n,Ga,In,Sb,Ge,Sn,Pb,Biなどよ
りなる群より選ばれた少なくとも1元素の硫化物、B,
Siなどよりなる群より選ばれた少なくとも1元素の炭
化物、Tiなどのホウ化物、ホウ素、炭素あるいは金属
などを主成分とする無機物より形成することが出来る。
また、これらの混合物でもよい。具体的には、例えば、
主成分が、CeO2,La23,SiO,SiO2,In
23,Al23, GeO,GeO2,PbO,SnO,
SnO2,Bi23,TeO2,Ta25,Sc23,Y
23,TiO2,ZrO2,V25,Nb25,Cr
23,WO2,WO3,CdS,ZnS,In23,Sb
23, Ga23,GeS,SnS,SnS2,PbS,
Bi23,MgF2,CeF3,CaF2,TaN,Si3
4, AlN,BN,Si,TiB2,B4C,SiC,
B,Cのうちのいずれか又はそれに近い組成をもったも
の又はそれらの混合物が挙げられる。上記のうち、酸化
物では、SiO2,Y23,Sc23,CeO2,TiO
2,ZrO2,SiO,Ta25,In23,Al2O3ま
たはSnO2に近い組成のものが好ましい。窒化物で
は、 TaN,Si34またはAlN(窒化アルミニウ
ム)に近い組成のものが、表面反射率があまり高くな
く,層が安定であり,強固である点で、好ましい。硫化
物では、ZnSに近い組成のものが、屈折率が適当であ
り,層が安定である点で、好ましい。Siの水素を含む
非晶質も好ましい。ガラス,石英,サファイア,鉄,チ
タンあるいはアルミニウムを主成分とする基板1,1’
も保護層2,2’として働き得る。
【0023】一方、保護層2,2’は、例えばアクリル
樹脂,ポリカーボネート,ポリオレフィン,エポキシ樹
脂,ポリイミド,ポリアミド,ポリスチレン,ポリエチ
レン,ポリエチレンテレフタレート,ポリ4フッ化エチ
レン(テフロン)などのフッ素樹脂,紫外線硬化樹脂な
どの有機物より形成してもよい。また、これらの基板
1,1’も保護層2,2’として働き得る。
【0024】保護層2,2’は、耐熱性の面では無機物
が好ましい。しかし、無機物の保護層(基板の場合を除
く)を厚くすると、クラック発生,透過率低下,感度低
下を起こしやすい問題がある。そこで、無機物の保護層
2,2’は薄くし、保護層2,2’の記録層1,1’側
と反対の面には、厚い有機物層を密着させ、機械的強度
を増すのが好ましい。この有機物層は、基板1,1’で
あってもよい。この有機物層としては、例えば、ポリス
チレン,ポリ4フッ化エチレン(テフロン),ポリイミ
ド,アクリル樹脂,ポリオレフィン,ポリエチレンテレ
フタレート,ポリカーボネート,エポキシ樹脂,ホット
メルト接着剤として知られているエチレン−酢酸ビニル
共重合体など,粘着剤および紫外線硬化樹脂などを用い
ることが出来る。
【0025】保護層2,2’は、多層にすれば、保護効
果が高まる。例えば、膜厚30nm〜300nmのSi
2 に近い組成の薄膜を、レプリカ基板1,1’上に形
成し、その上に、膜厚30nm〜300nmのZnSに
近い組成の薄膜を形成して保護層2,2’とすると、耐
環境性および記録・消去特性が大きく向上し、書き換え
可能回数も大幅に向上できる。
【0026】記録層3,3’は、SeまたはSのうち少
なくとも1元素と、In,Sn,Te,Bi,Si,P
b,Gaのうちの少なくとも1元素とから構成されるこ
とが好ましい。さらに、Tl,Co,Pd,Ti,V,
Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Ag,Auのう
ちの少なくとも1元素を、10at%以下の少量添加す
ることにより、非晶質状態の安定性が向上するので好ま
しい。また、SeとSbを主成分として含む合金系で
は、非晶質状態の安定性を保持したまま、記録時の結晶
化を高速で行うことができ、耐酸化性も著しく高いた
め、追記型媒体として好ましい。さらに、Sn,Si,
Pbの4価の元素を添加することで、非晶質状態の安定
性をさらに高め、かつ、記録時の結晶化をより高速で行
うことが出来るようになるため、追記型媒体としてより
好ましい。また、SeとInを主成分として含む合金系
では、結晶状態と非晶質状態との相変化を多数回繰り返
して行うことが出来るため、書き換え型媒体として好ま
しい。さらに、SeとInとSn,Te,Bi,Si,
Pb,Ga,SbまたはGeのうち少なくとも1元素と
から構成されると、書換え回数が大きく向上するため、
より好ましい。さらに、Tl,Co等の元素を添加する
ことで、結晶化速度がさらに向上するため、書き換え型
媒体としてより好ましい。記録層3,3’中のSeまた
はSの含有量は、消衰係数を小さくし、耐酸化性を向上
できるという点で、40at%以上,90at%以下が
好ましく、50at%以上がより好ましい。また、55
at%以上が特に好ましく、60at%以上がより一層
好ましい。記録層3,3’は、未記録状態または記録状
態での再生用レーザ光に対する複素屈折率の虚数部であ
る消衰係数が、0.2以下であるものが好ましい。ま
た、レーザ光を効率良く吸収できるという点で、消衰係
数が0.05以上であるものが好ましい。
【0027】中間層4,4’および上引き層6,6’
は、Ce,La,Si,In,Al,Ge,Pb,S
n,Bi,Te,Ta,Sc,Y,Ti,Zr,V,N
b,CrおよびWなどよりなる群より選ばれた少なくと
も1元素の酸化物、Mg,Ce,Caなどよりなる群よ
り選ばれた少なくとも1元素の弗化物、Si,Al,T
a,Bなどよりなる群より選ばれた少なくとも1元素の
窒化物、Cd,Zn,Ga,In,Sb,Ge,Sn,
Pb,Biなどよりなる群より選ばれた少なくとも1元
素の硫化物、Cd,Zn,Ga,In,Sb,Ge,S
n,Pb,Biなどよりなる群より選ばれた少なくとも
1元素のセレン化物などを主成分とする無機物より形成
することが出来る。また、これらの混合物でもよい。具
体的には、例えば、主成分が、CeO2,La23,S
iO,SiO2,In23,Al23,GeO,Ge
2,PbO,SnO,SnO2,Bi23,TeO2
Ta25,Sc23,Y23,TiO2,ZrO2, V2
5,Nb25,Cr23,WO2,WO3,MgF2,C
eF3,CaF2,TaN,Si34,AlN,BN,C
dS,ZnS,In23,Sb23,Ga23,Ge
S,SnS,SnS2, PbS,Bi23,CdSe,
ZnSe,In2Se3,Sb2Se3,Ga2Se3,Ge
Se,SnSe,SnSe2,PbSe,Bi2Se3
うちのいずれか又はそれに近い組成をもったもの又はそ
れらの混合物が挙げられる。上記のうち、酸化物では、
SiO2,Y23,Sc23,CeO2,TiO2,Zr
2,SiO,Ta25,In23,Al23またはS
nO2 のうちのいずれか又はそれに近い組成のものが好
ましい。SiO2 又はそれを含む混合物は、レーザ光照
射時の膜の熱膨張を少なくできるため、多数回書き換え
を行ってもノイズの上昇が少ないので、特に好ましい。
窒化物では、Si34,AlN(窒化アルミニウム)ま
たはTaNのうちのいずれか又はそれに近い組成のもの
が好ましい。硫化物では、ZnS又はそれに近い組成の
ものが好ましい。ZnS又はZnSを含む混合物は、レ
ーザ光照射時の膜変形を少なくできるため、多数回書き
換えを行ってもノイズの上昇が少ないので、特に好まし
い。なお、記録層3,3’と全く同じ組成のものも使用
可能であり、その場合、コストを低減できる点で好まし
い。
【0028】一方、中間層4,4’および上引き層6,
6’は、例えば、アクリル樹脂,ポリカーボネート,ポ
リオレフィン,エポキシ樹脂,ポリイミド,ポリアミ
ド,ポリスチレン,ポリエチレン,ポリエチレンテレフ
タレート,ポリ4フッ化エチレン(テフロン)などのフ
ッ素樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、紫外線硬化
樹脂などの有機物またはこれらの混合物より形成するこ
とも出来る。さらに、中間層4,4’および上引き層
6,6’は、上記無機物と上記有機物の混合物を使用し
てもよい。また、無機物層と無機物層,無機物層と有機
物層,有機物層と有機物層等の多層構造にしてもよい。
中間層4,4’および上引き層6,6’は、未記録部の
媒体反射率をより高くできるという点で、レーザ光に対
する複素屈折率の虚数部である消衰係数が0.2以下、
特に0.1以下であるのが好ましい。なお、中間層4,
4’および上引き層6,6’に同じ組成の材料を用いる
と、製造コストが安価になるので好ましい。
【0029】反射層5,5’は、膜厚50nm以上の単
独層とした場合に再生用レーザ光に対する反射率が70
%以上となるような金属,半金属,半導体およびこれら
の合金を使用できる。例えば、Al,Au,Ag,Cu
等またはこれらを含む合金等のように、反射率が80%
以上の高反射率材料を主成分とするものを用いると、両
面ディスクAの反射率を70%以上に高めて、情報を再
生する際の再生信号強度を大きくするので、好ましい。
これらの高反射率材料中では、AlまたはAl合金を用
いると、安価になる。また、Au,Ag,CuまたはA
u合金,Ag合金,Cu合金等の高熱伝導率金属を用い
ると、レーザ光照射時の各層での余分な温度上昇を押さ
え、膜変形を防ぐことができるため、多数回書き換えを
行ってもノイズの上昇が少ないので、好ましい。これら
の高熱伝導率金属中では、AuまたはAu合金を用いる
と、耐環境性が最も高く、データ保持寿命が最長であ
り、好ましい。また、CuまたはCu合金を用いると、
安価になる。
【0030】有機物層7,7’は、材質が有機物に限定
される以外は、前記保護層2,2’と同等である。
【0031】記録層3,3’、中間層4,4’、反射層
5,5’および上引き層6,6’では、組成が膜厚方向
に変化していてもよい。ただし、組成の変化は不連続的
でない方が好ましい。
【0032】各層の形成方法は、真空蒸着,ガス中蒸
着,スパッタリング,イオンビーム蒸着,イオンプレー
ティング,電子ビーム蒸着,射出成形,キャスティン
グ,回転塗布,プラズマ重合などのうちのいずれかを適
宜用いることが出来る。保護層2,2’を無機物とすれ
ば、そのままの形で電子ビーム蒸着,スパッタリング等
で形成できる。また、反応性スパッタリングや、金属,
半金属,半導体の少なくとも1元素よりなる層を形成し
たのち、酸素,硫黄,窒素のうちの少なくとも一者と反
応させるようにして形成することも出来る。なお、スパ
ッタリングにより形成すると、組成および膜厚を管理し
やすく、製造コストが安価となるので好ましい。
【0033】記録層3,3’をスパッタリングにより形
成すると、組成および膜厚を管理しやすく、製造コスト
が安価となるので好ましい。記録層3,3’をスパッタ
リングで形成する場合は、通常、アルゴンガスを用いる
が、アルゴンガス中に窒素ガスを混合したガスを用いて
スパッタリングしてもよい。これにより、SeまたはS
の含有量の少ない組成の場合でも、消衰係数を小さくす
ることが出来る。窒素ガスの濃度は、3モル%以上,3
0モル%以下とするのが好ましい。
【0034】反射層4,4’をスパッタリングにより形
成すると、組成および膜厚を管理しやすく、製造コスト
が安価となるので好ましい。
【0035】各層の膜厚の好ましい範囲は、 層 膜厚(nm) 保護層2,2’ 20〜1000 (無機物の場合) 保護層2,2’ 500〜10mm (有機物の場合) 記録層3,3’ 50〜120 中間層4,4’ 10〜200 反射層5,5’ 15〜25 上引き層6,6’ 20〜500 であって、レプリカ基板1,1’側からのレーザ光に対
する未記録部または記録部の反射率が65%以上となる
組合せである。
【0036】各層の膜厚のより好ましい範囲は、 層 膜厚(nm) 保護層2,2’ 20〜1000 (無機物の場合) 保護層2,2’ 500〜10mm (有機物の場合) 記録層3,3’ 70〜110 中間層4,4’ 10〜180 反射層5,5’ 15〜25 上引き層6,6’ 50〜400 であって、レプリカ基板1,1’側からのレーザ光に対
する未記録部または記録部の反射率が65%以上となる
組合せである。
【0037】各層の膜厚の特に好ましい範囲は、 層 膜厚(nm) 保護層2,2’ 40〜600 (無機物の場合) 保護層2,2’ 2μm〜1mm (有機物の場合) 記録層3,3’ 80〜100 中間層4,4’ 30〜160 反射層5,5’ 20〜25 上引き層6,6’ 100〜300 であって、レプリカ基板1,1’側からのレーザ光に対
する未記録部または記録部の反射率が65%以上となる
組合せである。
【0038】なお、記録層以外の上記各層の材質や膜厚
は、本発明にかかる記録層に限らず、本発明に含まれな
い相変化記録層,相互拡散型記録層,光磁気記録層など
にも有効である。
【0039】−第1製造例− 図1の両面ディスクAを次の製造方法により製造した。 直径130mm,厚さ1.2mmのディスク状ポリカ
ーボネート板の表面に、射出成形法によって、トラッキ
ング用1.5μmピッチのスパイラル状の溝を形成し、
一周を49セクターに分割し、各セクターの始まりで、
溝と溝の中間の山の部分(この部分を記録トラックと呼
ぶ)に、凹凸ピットの形で、トラックアドレスやセクタ
ーアドレスなど(この部分をヘッダー部と呼ぶ)を入
れ、レプリカ基板1とした。なお、溝と溝の中間の山の
部分を記録トラックとすることによって、溝から発生す
るノイズの影響を回避できる。 前記レプリカ基板1の上に、高周波マグネトロンスパ
ッタリング装置を用いて、SiO2 の保護層2を250
nmの膜厚に形成した。 続いて、原子%で(In)45(Se)55の組成の記録層3
を、90nmの膜厚に形成した。 続いて、同一スパッタリング装置内で、原子%で(Z
nS)60(SiO2)40 の組成の中間層4を、75nmの
膜厚に形成した。 続いて、同一スパッタリング装置内で、原子%で(A
l)20(Au)80の組成の反射層5を、20nmの膜厚に
形成した。 続いて、同一スパッタリング装置内で、原子%で(Z
nS)60(SiO2)40 の組成の上引き層6を、200n
mの膜厚に形成した。 さらに、上引き層6の上に、紫外線硬化樹脂を回転塗
布し、硬化させて、50μmの厚さの有機物層7を形成
した。 同様にして、別のレプリカ基板1’上に、保護層
2’、記録層3’、中間層4’、反射層5’、上引き層
6’、有機物層7’を順に形成した。 このようにして作製した2枚の片面ディスクを、有機
物層7側および有機物層7’側を内側にして、接着剤層
8によって貼り合わせ、両面ディスクAを製造した。
【0040】上記両面ディスクAを可逆型として用い、
光ディスクドライブ(記録・消去・再生装置)により、
記録,消去,再生の評価を行った。 両面ディスクAの線速度を1.2m/s(回転数27
0rpm,半径位置43mm)で回転させる。 波長780nmの半導体レーザから低レベルのレーザ
パワーの連続光を、光ヘッド中の開口数(Numerical Ap
erture)0.55の対物レンズで集光し、レプリカ基板
1を通して、記録層3の任意の半径位置に照射し、反射
光を検出することによって、記録トラックに光スポット
の中心が常に一致するように光ヘッドを駆動し、トラッ
キングを行った。また、記録層3上に焦点が来るように
自動焦点合わせを行った。 両面ディスクAを初期化せずに、1ビーム方式による
オーバーライトで、EFM(8−14変調)での11T
の繰り返し信号(0.17MHz,デューティー50
%)を記録した。ディスク面上のパワーレベルは、図2
に示すように、記録を行う部分では結晶化を起こす中間
レベル(6mW)を用い、消去する部分では非晶質化を
起こす高レベル(9mW)を用いた。記録・消去する部
分以外では、低レベル(1mW)とした。 低レベル(1mW)の連続光を照射し、反射光の強弱
を検出して再生したところ、中間レベル(6mW)の照
射部の反射率は72%,高レベル(9mW)の照射部の
反射率は26%となり、再生信号変調度64%,測定帯
域10kHzで搬送波対雑音比60dBの再生信号出力
が得られた。なお、中間レベルと高レベルの比は、0.
4:1〜0.8:1の範囲が好ましいことが判った。
【0041】この上に、EFMでの6Tの繰り返し信
号(0.36MHz,デューティー50%)をオーバー
ライトした。 低レベル(1mW)の連続光を照射し、反射光の強弱
を検出して再生したところ、中間レベル(6mW)の照
射部の反射率は71%,高レベル(9mW)の照射部の
反射率は27%となり、再生信号変調度62%,測定帯
域10kHzで搬送波対雑音比59dBの再生信号出力
が得られた。この再生信号出力の前信号(11Tの繰り
返し信号)消去比は29dBであった。また、この時の
書き換え可能回数は、10万回以上であった。
【0042】一方、両面ディスクAを中間レベル(6
mW)の連続光で初期化して未記録部の反射率を72%
とし、その後で上記のの記録・消去を行ったところ、
上記のと同じ結果が得られた。また、上記ののオー
バライトを行ったところ、上記のと同じ結果が得られ
た。ここで、記録を行う部分では非晶質化を起こす高レ
ベル(9mW)を用い、消去する部分では結晶化を起こ
す中間レベル(6mW)を用いた。従って、未記録部で
の反射率が65%以上で記録部での反射率が45%以下
であるか,未記録部での反射率が45%以下で記録部で
の反射率が65%以上であれば、記録を行う前に初期化
をしても,しなくても、良好な記録・再生特性を得られ
ることが判った。
【0043】記録書き換え時に、最初の1回転または
数回転で上記高レベルに近いレベルの連続光を照射して
一旦消去し、次の1回転で情報信号に従って中間レベル
と高レベルとで変調したレーザ光を照射して記録した。 これを再生したところ、搬送波対雑音比および前信号
消去比が向上した。また、上記高レベルに近いレベル
は、高レベルの0.8倍〜1.1倍の範囲が好ましいこ
とが判った。
【0044】上記両面ディスクAは、耐酸化性が優れて
おり、60℃,相対湿度95%の条件下に3000時間
放置しても、レーザ光に対する媒体反射率または透過率
の変化は無かった。また、ディスク線速度1.2m/
s,0.17MHzの信号を記録した両面ディスクA
を、60℃,相対湿度95%の条件下に3000時間放
置しても、再生信号変調度および搬送波対雑音比に変化
は見られなかった。また、ディスク線速度11m/s,
3MHz,デューティー50%の信号を記録した両面デ
ィスクAを、60℃,相対湿度95%の条件下に300
0時間放置しても、再生信号変調度および搬送波対雑音
比に変化は見られなかった。
【0045】−第2製造例− 第2製造例の両面ディスクBとして、図1の両面ディス
クAにおける記録層3の組成を原子%で(In)43(Se)
53(Tl)4 に変えたものを製造した。この両面ディスク
Bを可逆型として用い、光ディスクドライブ(記録・消
去・再生装置)により、記録,消去,再生の評価を行っ
た。 ディスク線速度を11m/s(回転数2500rp
m,半径位置42mm)として回転した。 両面ディスクBを初期化せずに、1ビーム方式による
オーバーライトで、3MHz,デューティー50%の信
号を記録した。ディスク面上のパワーレベルは、図3に
示すように、記録を行う部分では結晶化を起こす中間レ
ベル(16mW)を用い、消去する部分では非晶質化を
起こす高レベル(24mW)を用いた。記録・消去する
部分以外では、低レベル(1mW)とした。 低レベル(1mW)の連続光を照射し、反射光の強弱
を検出して再生したところ、中間レベル(16mW)の
照射部の反射率は72%,高レベル(24mW)の照射
部の反射率は26%となり、再生信号変調度64%,測
定帯域10kHzで搬送波対雑音比61dBの再生信号
出力が得られた。
【0046】この上に、4MHz,デューティー50
%の信号をオーバーライトした。 低レベル(1mW)の連続光を照射し、反射光の強弱
を検出して再生したところ、中間レベル(16mW)の
照射部の反射率は71%,高レベル(24mW)の照射
部の反射率は25%となり、再生信号変調度62%,測
定帯域10kHzで搬送波対雑音比60dBの再生信号
出力が得られた。この再生信号出力の前信号(3MH
z,デューティー50%信号)消去比は28.5dBで
あった。また、この時の書き換え可能回数は、30万回
以上であった。
【0047】一方、両面ディスクBを中間レベル(1
6mW)の連続光で初期化して未記録部の反射率を72
%とし、その後で上記のの記録・消去を行ったとこ
ろ、上記のと同じ結果が得られた。また、上記のの
オーバライトを行ったところ、上記のと同じ結果が得
られた。ここで、記録を行う部分では非晶質化を起こす
高レベル(24mW)を用い、消去する部分では結晶化
を起こす中間レベル(16mW)を用いた。従って、未
記録部での反射率が65%以上で記録部での反射率が4
5%以下であるか,未記録部での反射率が45%以下で
記録部での反射率が65%以上であれば、記録を行う前
に初期化をしても,しなくても、良好な記録・再生特性
を得られることが判った。
【0048】上記ディスクBは、耐酸化性が優れてお
り、60℃,相対湿度95%の条件下に3000時間放
置しても、レーザ光に対する媒体反射率または透過率の
変化は無かった。また、ディスク線速度1.2m/s,
0.17MHzの信号を記録した両面ディスクBを、6
0℃,相対湿度95%の条件下に3000時間放置して
も、再生信号変調度および搬送波対雑音比に変化は見ら
れなかった。また、ディスク線速度11m/s,3MH
z,デューティー50%の信号を記録した両面ディスク
Bを、60℃,相対湿度95%の条件下に3000時間
放置しても、再生信号変調度および搬送波対雑音比に変
化は見られなかった。
【0049】−第3製造例− 第3製造例の両面ディスクCとして、前記両面ディスク
AまたはBにおける保護層2の組成を、レーザ光に対す
る複素屈折率の虚数部である消衰係数が0.2以下であ
るZnS,ZnS−SiO2 系,SiO,CeO2,A
23,Ta2O5,Y23,ZrO2,V25,Ta
N,Si34,AlN等のうちいずれか又はこれらの混
合物に変えたものを製造した。なお、保護層2の膜厚
は、その組成の光学定数に合せて制御した。この両面デ
ィスクCを可逆型として用い、光ディスクドライブ(記
録・消去・再生装置)により、記録,消去,再生の評価
を行ったところ、前記両面ディスクAと同様の記録・消
去特性が得られた。
【0050】−第4製造例− 第4製造例の両面ディスクDとして、前記両面ディスク
A,B,Cにおける保護層2を、記録層3に近い側に厚
さ160nmの(ZnS)60(SiO2)40 の第1層,記録
層3から遠い側に厚さ250nmのSiO2 の第2層を
配置した2層構造に変えたものを製造した。この両面デ
ィスクDを可逆型として用い、光ディスクドライブ(記
録・消去・再生装置)により、記録,消去,再生の評価
を行ったところ、50万回以上の書き換えが可能であ
り、書き換え特性が良好であった。すなわち、保護層2
を2層構造以上の積層膜とすることで、保護強度を向上
できることが判った。
【0051】−第5製造例− 第5製造例の両面ディスクEとして、前記両面ディスク
A,B,Cにおける保護層6を、記録層3に近い側に厚
さ200nmの(ZnS)60(SiO2)40 の第1層,記録
層3から遠い側に厚さ250nmのSiO2 の第2層を
配置した2層構造に変えたものを製造した。この両面デ
ィスクEを可逆型として用い、光ディスクドライブ(記
録・消去・再生装置)により、記録,消去,再生の評価
を行ったところ、70万回以上の書き換えが可能であ
り、書き換え特性が良好であった。すなわち、保護層2
を2層構造以上の積層膜とすることで、保護強度を向上
できることが判った。
【0052】−第6製造例− 第6製造例の両面ディスクFとして、前記両面ディスク
Bにおける反射層5の膜厚を10nmから30nmに変
えたものを製造した。この両面ディスクFを可逆型とし
て用い、光ディスクドライブ(記録・消去・再生装置)
により、ディスク線速度11m/s,3MHz,デュー
ティー50%の信号を、オーバーライト記録し、評価を
行ったところ、記録可能な、高レベルのパワーの範囲お
よび中間レベルの照射部の反射率は、次のようになっ
た。 反射層5の膜厚(nm) 高レベルのパワー(mW) 反射率(%) 10 20 50 15 22 68 20 24 72 25 27 74 30 (注1) − (注1:記録感度が低下し、パワー30mW以下では記
録不能であった。) このことから、反射層5の膜厚を、15nm以上,25
nm以下とすべきことが判った。
【0053】−第7製造例− 第7製造例の両面ディスクGとして、前記両面ディスク
Aにおける記録層3の膜厚を40nmから130nmに
変えると共に、中間層4の膜厚を15nmから150n
mに変えたものを製造した。この両面ディスクGを可逆
型として用い、光ディスクドライブ(記録・消去・再生
装置)により、ディスク線速度1.2m/s,0.17
MHz,デューティー50%の信号をオーバーライト記
録し、評価を行ったところ、中間レベルの照射部の反射
率が65%以上で,高レベルの照射部の反射率が45%
以下となる条件を満足する中間層4の膜厚の範囲は、図
4のようになった。このことから、記録層3の膜厚は、
50nm以上,120nm以下とするのが好ましいこと
が判った。
【0054】−第8製造例− 第8製造例の両面ディスクHとして、前記両面ディスク
Bにおける上引き層6の膜厚を10nmから600nm
に変えたものを製造した。この両面ディスクHを可逆型
として用い、光ディスクドライブ(記録・消去・再生装
置)により、ディスク線速度11m/s,3MHz,デ
ューティー50%の信号と4MHz,デューティー50
%の信号とを交互にオーバーライト記録し、評価を行っ
たところ、記録可能な、高レベルのパワーの範囲および
書き換え可能回数は、次のようになった。 上引き層6の膜厚 高レベルのパワー 書き換え可能回数 (nm) (mW) (回) 10 20 2千 20 20 10万 50 21 15万 100 22 20万 150 23 25万 200 24 30万 300 25 40万 400 27 50万 500 29 50万以上 600 (注2) − (注2:記録感度が低下し、パワー30mW以下では記
録不能であった。) このことから、上引き層6の膜厚は、20nm以上,5
00nm以下とするのが好ましいことが判った。
【0055】−第9製造例− 第9製造例の両面ディスクIとして、前記両面ディスク
Aにおける記録層3のSe含有量の比率を30at%〜
95at%に変えたものを製造した。この両面ディスク
Iを可逆型として用い、光ディスクドライブ(記録・消
去・再生装置)により、ディスク線速度1.2m/s,
0.17MHz,デューティー50%の信号をオーバー
ライト記録し、評価を行ったところ、中間レベルの照射
部の反射率および非晶質状態からの結晶化温度は、次の
ようになった。 Se含有量(at%) 反射率(%) 結晶化温度(℃) 30 47 125 35 57 135 40 65 155 45 68 230 50 70 290 55 72 310 60 74 320 70 75 280 90 75 150 95 75 60 このことから、Se含有量は、40at%以上,90a
t%以下とするのが好ましいことが判った。
【0056】−第10製造例− 第10製造例の両面ディスクJとして、前記両面ディス
クBにおける記録層3のTl含有量の比率を0at%〜
15at%に変えたものを製造した。なお、InとSe
の相対比率は一定に保った。この両面ディスクJを可逆
型として用い、光ディスクドライブ(記録・消去・再生
装置)により、ディスク線速度11m/s,3MHz,
デューティー50%の信号を記録し、その上に4MH
z,デューティー50%の信号をオーバーライト記録
し、評価を行ったところ、消去比は、次のようになっ
た。また、記録層3を剥き出しにして80℃,相対湿度
90%中に放置し、再生信号が5dB低下するまでのデ
ータ保持寿命を測定したところ、次のようになった。 Tl含有量(at%) 消去比(dB) データ保持寿命(時間) 0 20 3000以上 1 24 3000以上 2 26 3000以上 4 28.5 3000以上 6 29.5 3000 8 30 2500 10 30 2000 15 30 500 このことから、ディスク線速度11m/sに対しては、
Tl含有量は、2at%以上,10at%以下、特に2
at%以上,6at%以下とするのが好ましいことが判
った。
【0057】−第11製造例− 第11製造例の両面ディスクKとして、前記両面ディス
クBにおける記録層3のTlをCoに変え、その含有量
の比率を0at%〜25at%に変えたものを製造し
た。なお、InとSeの相対比率は一定に保った。この
両面ディスクKを可逆型として用い、光ディスクドライ
ブ(記録・消去・再生装置)により、ディスク線速度1
1m/s,3MHz,デューティー50%の信号を記録
し、その上に4MHz,デューティー50%の信号をオ
ーバーライト記録し、評価を行ったところ、記録可能
な、高レベルのパワーおよび消去比は、次のようになっ
た。 Co含有量(at%) 高レベルのパワー(mW) 消去比(dB) 0 24 20 1 23 23 2 22 25 4 20 28 6 22 30 8 23 30 10 26 30 15 28 30 20 30 30 25 記録感度低下 − このことから、ディスク線速度11m/sに対しては、
Co含有量は、2at%以上,10at%以下、特に2
at%以上,8at%以下とするのが好ましいことが判
った。なお、Coの一部または全部の代りに、Ti,
V,Cr,Mn,Fe,Ni,Cu,Pd,Agまたは
Auのうちの少なくとも1元素を用いても同様の結果が
得られた。
【0058】−第12製造例− 第12製造例の両面ディスクLとして、前記両面ディス
クAまたはBにおける記録層3の組成のInの一部また
は全部を、Sn,Te,Bi,Si,Pb,Gaのうち
の少なくとも1元素に変えたものを製造した。この両面
ディスクLを可逆型として用い、光ディスクドライブ
(記録・消去・再生装置)により、記録,消去,再生の
評価を行ったところ、前記両面ディスクAまたはBと同
様の記録・消去特性が得られた。
【0059】−第13製造例− 第13製造例の両面ディスクMとして、前記両面ディス
クAまたはBにおける記録層3の組成のInの一部を、
Sn,Te,Bi,Si,Pb,Ga,Sb,Geのう
ちの少なくとも1元素に変えたものを製造した。この両
面ディスクMを可逆型として用い、光ディスクドライブ
(記録・消去・再生装置)により、記録,消去,再生の
評価を行ったところ、前記両面ディスクAまたはBと同
様の記録・消去特性が得られた。
【0060】−第14製造例− 第14製造例の両面ディスクNとして、前記両面ディス
クAにおける中間層4の組成を、 ZnS-SiO2 系と
同じくレーザ光を多重干渉させるZnS,SiO2,S
iO,CeO2,Al23,Ta25,Y23,Zr
2,V25,TaN,Si34,AlN等のうちのい
ずれか又はこれらの混合物に変えたものを製造した。な
お、その組成の屈折率に合わせて、光学的膜厚が同じに
なるように膜厚を制御した。この両面ディスクNを可逆
型として用い、光ディスクドライブ(記録・消去・再生
装置)により、記録,消去,再生の評価を行ったとこ
ろ、前記両面ディスクAと同様の記録・消去特性が得ら
れた。
【0061】また、上記組成のうち、ZnSまたはZn
Sを含む混合物は、レーザ光照射時の膜変形を少なくで
きるため、5万回以上書き換えを行っても、ノイズの上
昇が3dB以下と少なかった。また、上記組成のうち、
SiO2またはSiO2を含む混合物は、レーザ光照射時
の膜の熱膨張を少なくできるため、5万回以上書き換え
を行っても、ノイズの上昇が3dB以下と少なかった。
【0062】−第15製造例− 第15製造例の両面ディスクOとして、前記両面ディス
クBにおける中間層4の組成を、 ZnS-SiO2 系と
同じくレーザ光を多重干渉させるZnS,SiO2,S
iO,CeO2,Al23,Ta25,Y23,Zr
2,V25,TaN,Si34,AlN等のうちのい
ずれか又はこれらの混合物に変えたものを製造した。な
お、その組成の屈折率に合わせて、光学的膜厚が同じに
なるように膜厚を制御した。この両面ディスクOを可逆
型として用い、光ディスクドライブ(記録・消去・再生
装置)により、記録,消去,再生の評価を行ったとこ
ろ、前記両面ディスクBと同様の記録・消去特性が得ら
れた。
【0063】また、上記組成のうち、ZnSまたはZn
Sを含む混合物は、レーザ光照射時の膜変形を少なくで
きるため、5万回以上書き換えを行っても、ノイズの上
昇が3dB以下と少なかった。また、上記組成のうち、
SiO2またはSiO2を含む混合物は、レーザ光照射時
の膜の熱膨張を少なくできるため、5万回以上書き換え
を行っても、ノイズの上昇が3dB以下と少なかった。
【0064】−第16製造例− 第16製造例の両面ディスクPとして、前記両面ディス
クAにおける反射層5の組成を、Al−Au系と同じく
80%以上の高反射率であるCu,Ag,Au,Alの
いずれか又は他の元素を含むCu合金,Ag合金,Au
合金,Al合金等に変えたものを製造した。この両面デ
ィスクPを可逆型として用い、光ディスクドライブ(記
録・消去・再生装置)により、記録,消去,再生の評価
を行ったところ、前記両面ディスクAと同様の記録・消
去特性が得られた。
【0065】また、上記組成のうち、Al,Cuまたは
Al合金,Cu合金を用いると、最も安価に製造するこ
とが出来た。また、上記組成のうち、Cu,Ag,Au
またはCu合金,Ag合金,Au合金を用いると、熱伝
導率が大きいため、レーザ光照射時の各層での余分な温
度上昇を押さえ、膜変形を防ぐことができるため、5万
回以上書き換えを行っても、ノイズの上昇が3dB以下
と少なかった。また、上記組成のうち、AuまたはAu
合金を用いると、耐環境性が最も高く、剥き出しにして
80℃,相対湿度90%中に放置したとき、再生信号が
5dB低下するまでのデータ保持寿命は、5000時間
以上であった。 −第17製造例− 第17製造例の両面ディスクQとして、前記両面ディス
クBにおける反射層5の組成を、Al−Au系と同じく
80%以上の高反射率であるCu,Ag,Au,Alの
いずれか又は他の元素を含むCu合金,Ag合金,Au
合金,Al合金等に変えたものを製造した。この両面デ
ィスクQを可逆型として用い、光ディスクドライブ(記
録・消去・再生装置)により、記録,消去,再生の評価
を行ったところ、前記両面ディスクBと同様の記録・消
去特性が得られた。
【0066】また、上記組成のうち、Al,Cuまたは
Al合金,Cu合金を用いると、最も安価に製造するこ
とが出来た。また、上記組成のうち、Cu,Ag,Au
またはCu合金,Ag合金,Au合金を用いると、熱伝
導率が大きいため、レーザ光照射時の各層での余分な温
度上昇を押さえ、膜変形を防ぐことができるため、5万
回以上書き換えを行っても、ノイズの上昇が3dB以下
と少なかった。また、上記組成のうち、AuまたはAu
合金を用いると、耐環境性が最も高く、剥き出しにして
80℃,相対湿度90%中に放置したとき、再生信号が
5dB低下するまでのデータ保持寿命は、5000時間
以上であった。 −第18製造例− 第18製造例の両面ディスクRとして、前記両面ディス
クAまたはBにおけるレプリカ基板1を、化学強化ガラ
ス板,ポリカーボネート板,ポリオレフィン板,エポキ
シ板またはアクリル樹脂板等のいずれかの表面にフォト
ポリメリゼイション法によりトラッキング用の溝を有す
る紫外線硬化樹脂層を形成したレプリカ基板に変えたも
のを製造した。この両面ディスクRを可逆型として用
い、光ディスクドライブ(記録・消去・再生装置)によ
り、記録,消去,再生の評価を行ったところ、前記両面
ディスクAまたはBと同様の記録・消去特性が得られ
た。
【0067】−第19製造例− 第19製造例の両面ディスクSとして、前記両面ディス
クAにおける記録層3の組成のSeの一部または全部
を、Sに変えたものを製造した。この両面ディスクSを
可逆型として用い、光ディスクドライブ(記録・消去・
再生装置)により、記録,消去,再生の評価を行ったと
ころ、前記両面ディスクAと同様の記録・消去特性が得
られた。但し、Sの含有量が多いほど、耐酸化性が劣化
した。
【0068】−第20製造例− 第20製造例の両面ディスクTとして、前記両面ディス
クBにおける記録層3の組成のSeの一部または全部
を、Sに変えたものを製造した。この両面ディスクTを
可逆型として用い、光ディスクドライブ(記録・消去・
再生装置)により、記録,消去,再生の評価を行ったと
ころ、前記両面ディスクBと同様の記録・消去特性が得
られた。但し、Sの含有量が多いほど、耐酸化性が劣化
した。
【0069】
【発明の効果】本発明によれば、無機物からなる記録層
材料の原子配列変化により記録を行うタイプの情報記録
媒体において、レーザ光に対する未記録部の反射率が6
5%以上と高くても記録・消去・再生特性が良好で、記
録データの保持寿命が長く、耐環境性に優れた情報記録
用媒体を得ることが出来る。また、本発明の情報記録用
媒体に記録した情報は、広く普及している再生専用型の
CDドライブ,レーザディスクドライブ等の装置で読み
出すことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の両面ディスクの構造を示す
断面図である。
【図2】第1製造例におけるオーバーライト用記録レー
ザ波形を示す説明図である。
【図3】第2製造例におけるオーバーライト用記録レー
ザ波形を示す説明図である。
【図4】第7製造例における評価結果の図表である。
【符号の説明】
A 両面ディスク 1,1’ レプリカ基板 2,2’ 保護層 3,3’ 記録層 4,4’ 中間層 5,5’ 反射層 6,6’ 上引き層 7,7’ 有機物層 8 接着剤層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀籠 信吉 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、その基板上に直接もしくは保護
    層を介して積層されレーザ光の照射を受けて実質的に形
    状変化を伴わずに原子配列変化が生じて光学定数が変化
    する無機物からなる記録層と、その記録層上に積層され
    た中間層と、その中間層上に積層され前記レーザ光を反
    射する反射層と、その反射層上に積層された上引き層と
    から少なくとも形成される情報記録用媒体において、 基板側からのレーザ光に対する反射率が、未記録部また
    は記録部のいずれか一方で65%以上,他方で45%以
    下であり、 反射層の膜厚が、15nm以上,25nm以下であるこ
    とを特徴とする情報記録用媒体。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の情報記録用媒体におい
    て、反射層が、Al,Au,Ag,Cuまたはこれらを
    含む合金であることを特徴とする情報記録用媒体。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の情報記
    録用媒体において、積層順序が、基板に近い側から順
    に、記録層、中間層、反射層、上引き層となることを特
    徴とする情報記録用媒体。
  4. 【請求項4】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
    の情報記録用媒体において、記録層、中間層、反射層お
    よび上引き層がそれぞれ隣接していることを特徴とする
    情報記録用媒体。
  5. 【請求項5】 請求項1から請求項4のいずれかに記載
    の情報記録用媒体において、記録層の膜厚が、50nm
    以上,120nm以下であることを特徴とする情報記録
    用媒体。
  6. 【請求項6】 請求項1から請求項5のいずれかに記載
    の情報記録用媒体において、記録層の未記録部または記
    録部のどちらか一方でのレーザ光に対する複素屈折率の
    虚数部である消衰係数が、0.2以下であることを特徴
    とする情報記録用媒体。
  7. 【請求項7】 請求項1から請求項6のいずれかに記載
    の情報記録用媒体において、記録層が、SeまたはSの
    うち少なくとも1元素を含有することを特徴とする情報
    記録用媒体。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載の情報記録用媒体におい
    て、SeまたはSの含有量が、40at%以上,90a
    t%以下であることを特徴とする情報記録用媒体。
  9. 【請求項9】 請求項1から請求項8のいずれかに記載
    の情報記録用媒体において、記録層が、SeまたはSの
    うち少なくとも1元素およびIn,Sn,Te,Bi,
    Si,PbまたはGaのうちの少なくとも1元素を含有
    することを特徴とする情報記録用媒体。
  10. 【請求項10】 請求項1から請求項8のいずれかに記
    載の情報記録用媒体において、記録層が、SeおよびI
    nおよびSn,Te,Bi,Si,Pb,Ga,Sbま
    たはGeのうちの少なくとも1元素を含有することを特
    徴とする情報記録用媒体。
  11. 【請求項11】 請求項1から請求項10のいずれかに
    記載の情報記録用媒体において、記録層が、Seまたは
    Sのうち少なくとも1元素およびTl,Co,Ti,
    V,Cr,Mn,Fe,Ni,Cu,Pd,Agまたは
    Auのうちの少なくとも1元素を含有することを特徴と
    する情報記録用媒体。
  12. 【請求項12】 請求項11に記載の情報記録用媒体に
    おいて、TlまたはCoの含有量が、2at%以上,1
    0at%以下であることを特徴とする情報記録用媒体。
  13. 【請求項13】 請求項1から請求項12のいずれかに
    記載の情報記録用媒体において、中間層のレーザ光に対
    する複素屈折率の虚数部である消衰係数が、0.2以下
    であることを特徴とする情報記録用媒体。
  14. 【請求項14】 請求項1から請求項13のいずれかに
    記載の情報記録用媒体において、上引き層のレーザ光に
    対する複素屈折率の虚数部である消衰係数が、0.2以
    下であることを特徴とする情報記録用媒体。
  15. 【請求項15】 請求項1から請求項14のいずれかに
    記載の情報記録用媒体において、上引き層の膜厚が、2
    0nm以上,500nm以下であることを特徴とする情
    報記録用媒体。
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