JPH0763626A - 薄膜ロードセル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 精密な形状の、薄膜歪素子を利用したロード
セルの作製。 【構成】 起歪体１上に絶縁塗装を施し、その上に機能
性金属薄膜を作製し、ウエットエッチング法を用いて抵
抗パターンを作製するロードセルにおいて、起歪体１表
面に無電解ニッケルメッキを施した、薄膜ロードセル。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は薄膜歪素子を利用したロ
ードセルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の薄膜を用いたロードセルは金属起
歪体上に絶縁塗装を施し、その上に機能性金属薄膜、電
極薄膜をスパッタリングや蒸着等の方法を用いて作製し
これをウエットエッチング法を用いて所望のパターンを
作製していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の方法ではウエッ
トエッチング時に酸を使用するために起歪体が溶解され
る問題があり、起歪体や機能性金属薄膜の材質の選択幅
が少なく精密な形状で高特性のロードセル作製に問題が
あった。例えば、起歪体の材質としてアルミニウム合金
を用いた場合、使用可能な機能性金属薄膜の材質として
は、ニクロム系合金に限定されてしまう。また、機能性
金属薄膜の材質として固有抵抗の大きい鉄−クロム系合
金を用いようとすると起歪体の材質としてはアルミニウ
ム合金を用いることができず高価で加工が困難なステン
レス等を用いる必要がある。このように従来において
は、アルミニウム合金の起歪体上に、鉄−クロム系合金
を機能性薄膜に使用したロードセルを作製することがで
きなかった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、エッチングの
際に起歪体が溶解しないように起歪体全面に無電解ニッ
ケルメッキを施し、エッチングバリアとするために精密
な形状のロードセルの作製を可能とした。

【０００５】

【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。

【０００６】図１は本発明によるロードセルの斜視図、
図２は本発明によるロードセルの表面部分の構成の断面
図、図３、４はパターン図、図５はロードセルの斜視図
である。

【０００７】図１に於て、アルミニウム合金Ａ２０２４
を機械加工により起歪部を有する起歪体１に加工し、パ
ターンの形成面を研磨し、エッチングバリアとして全面
にニッケルメッキ２を無電解メッキ法にて１３μｍの厚
さに形成した後、絶縁塗装としてポリイミド３を５μｍ
の厚さにスピンコート、加熱処理を行った。

【０００８】この表面に機能性金属薄膜として鉄−クロ
ム系合金４をスパッタリング法にて２０００Ａ着膜し
た。更に電極膜として真空蒸着法を用いてパラジウム５
を２０００Ａ、金６を５０００Ａ着膜し図２に示す構造
の着膜基体を得た。

【０００９】該着膜基体上にフォトレジストにより第３
図に示す様なパターンを形成した。この基体をヨウ化カ
リウム溶液中に１２０秒間浸し金、パラジウムをエッチ
ングし、水洗を行い電極とした。

【００１０】この電極を作製した基板上にフォトレジス
トにより図４に示すようなパターンを作製し、弗化水素
酸１０ｍｌ、硝酸１０ｍｌ、水５００ｍｌを混合した溶
液中に９０秒間浸し、パターニングを行った後、水洗、
３００℃１時間の熱処理にて温度係数を調整し図５に示
すようなロードセルを得た。

【００１１】

【発明の効果】本発明により、従来作製が難しかったア
ルミニウム合金の起歪体上に、鉄−クロム系合金を機能
性薄膜に使用したロードセルの作製が可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１におけるロードセルの斜視図である。

【図２】実施例１におけるロードセルの断面図である。

【図３】実施例１におけるパターンの上面図である。

【図４】実施例１におけるパターンの上面図である。

【図５】実施例１におけるロードセルの斜視図である。

【符号の説明】

１ アルミニウム合金（起歪体） ２ ニッケル ３ ポリイミド ４ 鉄−クロム系合金 ５ パラジウム ６ 金 ７ フォトレジスト

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 起歪体上に絶縁塗装を施し、その上に機
   能性金属薄膜を作製し、ウエットエッチング法を用いて
   抵抗パターンを作製するロードセルにおいて起歪体表面
   に無電解ニッケルメッキを施すことを特徴とする薄膜ロ
   ードセル。
2. 【請求項２】 起歪体をアルミニウム合金とすることを
   特徴とする請求項１記載の薄膜ロードセル。
3. 【請求項３】 機能性金属薄膜を鉄−クロム系合金とす
   る事を特徴とする請求項１記載の薄膜ロードセル。