JPS6116527A - 金属電極の製造方法 - Google Patents
金属電極の製造方法Info
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- JPS6116527A JPS6116527A JP13830284A JP13830284A JPS6116527A JP S6116527 A JPS6116527 A JP S6116527A JP 13830284 A JP13830284 A JP 13830284A JP 13830284 A JP13830284 A JP 13830284A JP S6116527 A JPS6116527 A JP S6116527A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、金属電極の製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、半導体素子の高集積化にともない、基板上の電極
も、非常に細かく形成しなければならない０ ここで簡単に、微細なパターン形成に、従来性なわれて
いるリフトオフ法と呼ばれる電極製造方法を説明する。
も、非常に細かく形成しなければならない０ ここで簡単に、微細なパターン形成に、従来性なわれて
いるリフトオフ法と呼ばれる電極製造方法を説明する。
第１図は、電極製造プロセスを示す説明図である。１は
基板、２はレジスト、３は金属膜、４は電極である。第
１図の、ａは金属蒸着前、ｂは蒸着途中、Ｃは蒸着終了
後、ｄはアルコールにてレジスト除去後のそれぞれのデ
バイス構成断面を模式的に示したものである。
基板、２はレジスト、３は金属膜、４は電極である。第
１図の、ａは金属蒸着前、ｂは蒸着途中、Ｃは蒸着終了
後、ｄはアルコールにてレジスト除去後のそれぞれのデ
バイス構成断面を模式的に示したものである。
このリフトオフ法による電極形成では、第１図（−）の
ように、基板１上に、電極を形成すべき領域に開口した
レジスト２を形成し、ついで、第１図の（ｂ）に示すよ
うに、レジスト２の側面に、金属膜、３が蒸着され、電
極形成パターンが、蒸着時間の経過と共にしだいに挟ま
り、遂には、第１図（Ｃ）のように、電極形成パターン
開口が、蒸着金属自身によって閉じられてしまう。この
結果、レジスト２の除去によるリフトオフで形成された
電極４の厚さは薄く、断面形状は第１図（ｄ）に示され
るように三角形である。この従来のリフトオフ法による
電極形成の問題点は、電極抵抗が高いことである。
ように、基板１上に、電極を形成すべき領域に開口した
レジスト２を形成し、ついで、第１図の（ｂ）に示すよ
うに、レジスト２の側面に、金属膜、３が蒸着され、電
極形成パターンが、蒸着時間の経過と共にしだいに挟ま
り、遂には、第１図（Ｃ）のように、電極形成パターン
開口が、蒸着金属自身によって閉じられてしまう。この
結果、レジスト２の除去によるリフトオフで形成された
電極４の厚さは薄く、断面形状は第１図（ｄ）に示され
るように三角形である。この従来のリフトオフ法による
電極形成の問題点は、電極抵抗が高いことである。
発明の目的
本発明は、上記従来の問題点を改良した金属電極の製造
方法を提供するものである。
方法を提供するものである。
発明の構成
本発明は、要約するに、基板上に形成されたレジストパ
ターンを介して金属を蒸着し、その後、急速に冷却して
、前記レジストパターン上の金属を剥離除去し、ついで
、再度、金属を蒸着する工程をそなえた金属電極の形成
方法であり、これにより、レジストパターン開口部を通
じて、基板上に所望の厚さの金属電極が形成される。
ターンを介して金属を蒸着し、その後、急速に冷却して
、前記レジストパターン上の金属を剥離除去し、ついで
、再度、金属を蒸着する工程をそなえた金属電極の形成
方法であり、これにより、レジストパターン開口部を通
じて、基板上に所望の厚さの金属電極が形成される。
実施例の説明
本発明の製造方法を説明する。第２図（ａ）〜（ｅ）は
、本発明の電極形成プロセスを示す工程順断面図である
。第２図のａは金属蒸着前、ｂは蒸着終了、Ｃは基板１
を急速に冷却し金属膜３を除去、ｄは再度蒸着後、ｅは
アルコールにてレジスト除去後Ｏそれぞれのデバイス構
成断面を模式的に示したものである。従来のプロセスと
異なる点は、第２図のｃ、ｄに示すように、基板１を急
速に冷却して、レジスト２と金属膜３との収縮率の差に
より、金だ膜３を剥離させ除去し、そ′して、再度金属
膜３′の蒸着を行なうことである。また必要に応じて第
２図のＣ，ｄの工程を繰シ返し行なう。
、本発明の電極形成プロセスを示す工程順断面図である
。第２図のａは金属蒸着前、ｂは蒸着終了、Ｃは基板１
を急速に冷却し金属膜３を除去、ｄは再度蒸着後、ｅは
アルコールにてレジスト除去後Ｏそれぞれのデバイス構
成断面を模式的に示したものである。従来のプロセスと
異なる点は、第２図のｃ、ｄに示すように、基板１を急
速に冷却して、レジスト２と金属膜３との収縮率の差に
より、金だ膜３を剥離させ除去し、そ′して、再度金属
膜３′の蒸着を行なうことである。また必要に応じて第
２図のＣ，ｄの工程を繰シ返し行なう。
本発明の具体的な実施例を説明する。Ｓｔ基板上にポジ
型レジストを塗布し、露光、現像を行ない、寸法０．７
６μｍのレジストパターン形成を行なった。次に、厚さ
Ｏ，ＳμｍのＡＡ蒸着を行ない、蒸着終了後、基板を液
体チッソによって、基板を急速に冷却した。冷却した結
果、レジスト上のＡｔ膜を剥離させ、さらに基板を超音
波洗浄することにより、レジスト上のＡｔ膜を除去した
０次に再度Ａｔ蒸着を行ない、蒸着終了後、アルコール
にてレジスト除去を行ない、レジスト上のＡｔ膜を除去
した。以上のプロセスで基板上に形成したＡ７電極を調
査したところ、従来プロセスで形成したＡｔ電極と比較
して、電極幅は０．７６μｍと同じであるが、本発明の
プロセスでは、電極断面積が広く、電極抵抗を小さくで
きることを確認した。
型レジストを塗布し、露光、現像を行ない、寸法０．７
６μｍのレジストパターン形成を行なった。次に、厚さ
Ｏ，ＳμｍのＡＡ蒸着を行ない、蒸着終了後、基板を液
体チッソによって、基板を急速に冷却した。冷却した結
果、レジスト上のＡｔ膜を剥離させ、さらに基板を超音
波洗浄することにより、レジスト上のＡｔ膜を除去した
０次に再度Ａｔ蒸着を行ない、蒸着終了後、アルコール
にてレジスト除去を行ない、レジスト上のＡｔ膜を除去
した。以上のプロセスで基板上に形成したＡ７電極を調
査したところ、従来プロセスで形成したＡｔ電極と比較
して、電極幅は０．７６μｍと同じであるが、本発明の
プロセスでは、電極断面積が広く、電極抵抗を小さくで
きることを確認した。
発明の効果
以上の様に、本発明によれば、半導体素子の電極形成を
電極抵抗を小さくでき、半導体素子の高性能化に大きく
寄与するものである。
電極抵抗を小さくでき、半導体素子の高性能化に大きく
寄与するものである。
第１図（−）〜（ｄ）は、リフトオフ法による従来の電
極製造プロセスを示す工程順断面図、第２図（ａ）〜（
ｅ）は、本発明実施例の電極製造プロセスを示す工程順
断面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・レジスト、３．３
’・・・・・・金属膜、４・・・・・・電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾敏 男 ほか１名第１図
第２図
極製造プロセスを示す工程順断面図、第２図（ａ）〜（
ｅ）は、本発明実施例の電極製造プロセスを示す工程順
断面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・レジスト、３．３
’・・・・・・金属膜、４・・・・・・電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾敏 男 ほか１名第１図
第２図
Claims (1)
- 基板上に形成されたレジストパターンを介して金属を蒸
着し、その後急速に冷却して、前記レジストパターン上
の金属を剥離し、その後、再度、金属を蒸着する工程を
そなえた金属電極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13830284A JPS6116527A (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 金属電極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13830284A JPS6116527A (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 金属電極の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6116527A true JPS6116527A (ja) | 1986-01-24 |
Family
ID=15218696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13830284A Pending JPS6116527A (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 金属電極の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6116527A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8690234B2 (en) | 2010-04-26 | 2014-04-08 | Webasto SE | Vehicle roller blind arrangement, subassembly with a vehicle roller blind arrangement, and roof arrangement |
| US9108180B2 (en) | 2008-12-31 | 2015-08-18 | Sk Chemicals Co., Ltd. | Cation-exchanged zeolite catalyst and process for producing mono-iodo benzene through transiodination by using it |
-
1984
- 1984-07-03 JP JP13830284A patent/JPS6116527A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9108180B2 (en) | 2008-12-31 | 2015-08-18 | Sk Chemicals Co., Ltd. | Cation-exchanged zeolite catalyst and process for producing mono-iodo benzene through transiodination by using it |
| US8690234B2 (en) | 2010-04-26 | 2014-04-08 | Webasto SE | Vehicle roller blind arrangement, subassembly with a vehicle roller blind arrangement, and roof arrangement |
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