JPH0740498A - 透明導電性フィルムの製造方法 - Google Patents
透明導電性フィルムの製造方法Info
- Publication number
- JPH0740498A JPH0740498A JP5188416A JP18841693A JPH0740498A JP H0740498 A JPH0740498 A JP H0740498A JP 5188416 A JP5188416 A JP 5188416A JP 18841693 A JP18841693 A JP 18841693A JP H0740498 A JPH0740498 A JP H0740498A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent conductive
- roll
- thin film
- conductive thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 平滑でかつ該コーティングを有するポリエス
テルフィルムを基板として、安定してロール・ツ・ロー
ルで連続的に透明導電性薄膜を形成することができ、し
わ等の変形が生じない透明導電性フィルムの製造方法を
提供することにある。 【構成】 長尺のポリエステルフィルムを基材とし、該
基材の透明導電性薄膜形成面のみにシランカップリング
剤を含むエポキシアクリレート紫外線硬化樹脂をコーテ
ィングした透明導電性フィルム用基板をロール・ツ・ロ
ール方式で移送しながら真空中で連続的に100〜20
0℃に加熱して透明導電性薄膜を形成することを特徴と
する透明導電性フィルムの製造方法。
テルフィルムを基板として、安定してロール・ツ・ロー
ルで連続的に透明導電性薄膜を形成することができ、し
わ等の変形が生じない透明導電性フィルムの製造方法を
提供することにある。 【構成】 長尺のポリエステルフィルムを基材とし、該
基材の透明導電性薄膜形成面のみにシランカップリング
剤を含むエポキシアクリレート紫外線硬化樹脂をコーテ
ィングした透明導電性フィルム用基板をロール・ツ・ロ
ール方式で移送しながら真空中で連続的に100〜20
0℃に加熱して透明導電性薄膜を形成することを特徴と
する透明導電性フィルムの製造方法。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ポリエステルフィルム
基板上にロール・ツ・ロールで連続的に真空中で透明導
電性薄膜を形成した透明導電性フィルムの製造方法の改
良に関するものである。
基板上にロール・ツ・ロールで連続的に真空中で透明導
電性薄膜を形成した透明導電性フィルムの製造方法の改
良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】透明導電性フィルムは、液晶表示パネル
の材料として注目されて、既に多くの特許が出願されて
いる。例えば、特開昭59−65072号公報には、紫
外線硬化樹脂コーティング層を有する透明導電性フィル
ムについてのものが開示されている。このような蒸着、
スパッタ、イオンプレーティング等の薄膜形成方法によ
って形成される透明導電性薄膜は、厚みが0.1μm以
上である従来の溶剤希釈塗布型透明導電性フィルムに対
して同等以上の特性を示す。しかしながら、形成される
透明導電性薄膜が薄くバインダー等の薄膜中への添加が
困難なことから、ポリエステルフィルムと透明導電性薄
膜との密着力を向上させるために該コーティングが必要
なことがわかった。さらに、表面の5μm以上の突起
は、液晶パネルの表示欠点の原因となりフィルム表面は
極力平滑でなければならないことがわかった。一方、基
板にポリエステルフィルムを用いる場合、フィルム巻取
り、巻出し、ドラム上の走行といったハンドリングの観
点から、フィルムが平滑であるほどフィルム−フィルム
相互の滑り性が悪く、剥離帯電しやすく、ブロッキング
現象が発生し透明性導電薄膜形成時100〜200℃の
高温になることら基板は変形し製品になり得ない。その
ため、フィルム同士がブロッキングしない程度に表面が
粗であることが要求されている。液晶パネル用途に要求
される平滑性を向上させようとすれば、そのフィルムは
変形し製品になり得ないという問題があった。
の材料として注目されて、既に多くの特許が出願されて
いる。例えば、特開昭59−65072号公報には、紫
外線硬化樹脂コーティング層を有する透明導電性フィル
ムについてのものが開示されている。このような蒸着、
スパッタ、イオンプレーティング等の薄膜形成方法によ
って形成される透明導電性薄膜は、厚みが0.1μm以
上である従来の溶剤希釈塗布型透明導電性フィルムに対
して同等以上の特性を示す。しかしながら、形成される
透明導電性薄膜が薄くバインダー等の薄膜中への添加が
困難なことから、ポリエステルフィルムと透明導電性薄
膜との密着力を向上させるために該コーティングが必要
なことがわかった。さらに、表面の5μm以上の突起
は、液晶パネルの表示欠点の原因となりフィルム表面は
極力平滑でなければならないことがわかった。一方、基
板にポリエステルフィルムを用いる場合、フィルム巻取
り、巻出し、ドラム上の走行といったハンドリングの観
点から、フィルムが平滑であるほどフィルム−フィルム
相互の滑り性が悪く、剥離帯電しやすく、ブロッキング
現象が発生し透明性導電薄膜形成時100〜200℃の
高温になることら基板は変形し製品になり得ない。その
ため、フィルム同士がブロッキングしない程度に表面が
粗であることが要求されている。液晶パネル用途に要求
される平滑性を向上させようとすれば、そのフィルムは
変形し製品になり得ないという問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる現状
に鑑みなされたもので非常に平滑でかつ該コーティング
を有するポリエステルフィルムを基板として安定してロ
ール・ツ・ロールで連続的に透明導電性薄膜を形成する
ことができ、しわ等の変形が生じない透明導電性フィル
ムの製造方法を提供することにある。
に鑑みなされたもので非常に平滑でかつ該コーティング
を有するポリエステルフィルムを基板として安定してロ
ール・ツ・ロールで連続的に透明導電性薄膜を形成する
ことができ、しわ等の変形が生じない透明導電性フィル
ムの製造方法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上述の目的は、下記の本
発明により達成される。即ち、本発明は、長尺のポリエ
ステルフィルムを基材とし、該基材の透明導電性薄膜形
成面のみにシランカップリング剤を含むエポキシアクリ
レート紫外線硬化樹脂をコーティングした透明導電性フ
ィルム用基板をロール・ツ・ロール方式で移送しながら
真空中で連続的に100〜200℃に加熱して透明導電
性薄膜を形成することを特徴とする透明導電性フィルム
の製造方法である。なお、ロール・ツ・ロール方式と
は、ロール状にした基板を巻だしつつ移送させ再びロー
ル状に巻き上げる移送方式である。
発明により達成される。即ち、本発明は、長尺のポリエ
ステルフィルムを基材とし、該基材の透明導電性薄膜形
成面のみにシランカップリング剤を含むエポキシアクリ
レート紫外線硬化樹脂をコーティングした透明導電性フ
ィルム用基板をロール・ツ・ロール方式で移送しながら
真空中で連続的に100〜200℃に加熱して透明導電
性薄膜を形成することを特徴とする透明導電性フィルム
の製造方法である。なお、ロール・ツ・ロール方式と
は、ロール状にした基板を巻だしつつ移送させ再びロー
ル状に巻き上げる移送方式である。
【0005】ところで、上述の発明は、表面が非常に平
滑で該コーティングを施したポリエステルフィルムを基
板とした場合でも基板の透明導電性薄膜面にのみ該コー
ティングを施せば、ロール状にしても真空中でも安定し
た取扱ができ、ポリエステルフィルム基板を100〜2
00℃に温調した支持体と密着させて温度制御可能にす
れば、安定した品質の透明導電性薄膜の形成ができるこ
とを見いだした。従来表面の平滑なフィルムを熱変形す
ることなく巻取るための方法として、そのTD方向の端
部に凹凸加工する方法がよく知られている。このような
方法を用いても透明導電性薄膜形成時に100〜200
℃まで加熱し、平滑で透明導電性薄膜形成面に該コーテ
ィングを反対面にポリエステルフィルムを加熱した際発
生するオリゴマーが表面に析出しないコーティングを施
したポリエステルフィルム基板は帯電によりブロッキン
グしやすく、加熱ロール、温調ドラム等の支持体全体に
密着固定される。そのため、支持体と接触する際生じる
しわや波うちは解放されず、ポリエステルフィルム基板
は支持体のうえで浮き上がった状態で透明導電性薄膜が
形成され永久変形を起こすとともにロール状に巻取られ
る際に形成した透明導電性薄膜に傷やクラック等の欠点
が発生する問題があることが見いだされた。しかしなが
ら、本発明者らは、以下の通り解決可能なことを見いだ
した。即ち、ポリエステルフィルムの片面にのみ該コー
ティングを施すことにより基板を100〜200℃に加
熱した際、コーティングしていない面からオリゴマーが
発生し、これが滑材となりブロッキング現象が軽減さ
れ、ロール状の基板フィルムを巻出す際に必要な張力が
約20%減少し、その振れは半分以下になる。そのた
め、フィルム走行は安定し加熱ロールやドラム等の支持
体と接触する際生じるしわや波うちは、その高さ本数と
もに30%以上改善された。それに加えて、帯電による
支持体と基板フィルム間に働く力も半減されて支持体上
で発生したしわや波うちは、基板フィルムにかかる張力
により解放され完全に解消されることを見いだした。
滑で該コーティングを施したポリエステルフィルムを基
板とした場合でも基板の透明導電性薄膜面にのみ該コー
ティングを施せば、ロール状にしても真空中でも安定し
た取扱ができ、ポリエステルフィルム基板を100〜2
00℃に温調した支持体と密着させて温度制御可能にす
れば、安定した品質の透明導電性薄膜の形成ができるこ
とを見いだした。従来表面の平滑なフィルムを熱変形す
ることなく巻取るための方法として、そのTD方向の端
部に凹凸加工する方法がよく知られている。このような
方法を用いても透明導電性薄膜形成時に100〜200
℃まで加熱し、平滑で透明導電性薄膜形成面に該コーテ
ィングを反対面にポリエステルフィルムを加熱した際発
生するオリゴマーが表面に析出しないコーティングを施
したポリエステルフィルム基板は帯電によりブロッキン
グしやすく、加熱ロール、温調ドラム等の支持体全体に
密着固定される。そのため、支持体と接触する際生じる
しわや波うちは解放されず、ポリエステルフィルム基板
は支持体のうえで浮き上がった状態で透明導電性薄膜が
形成され永久変形を起こすとともにロール状に巻取られ
る際に形成した透明導電性薄膜に傷やクラック等の欠点
が発生する問題があることが見いだされた。しかしなが
ら、本発明者らは、以下の通り解決可能なことを見いだ
した。即ち、ポリエステルフィルムの片面にのみ該コー
ティングを施すことにより基板を100〜200℃に加
熱した際、コーティングしていない面からオリゴマーが
発生し、これが滑材となりブロッキング現象が軽減さ
れ、ロール状の基板フィルムを巻出す際に必要な張力が
約20%減少し、その振れは半分以下になる。そのた
め、フィルム走行は安定し加熱ロールやドラム等の支持
体と接触する際生じるしわや波うちは、その高さ本数と
もに30%以上改善された。それに加えて、帯電による
支持体と基板フィルム間に働く力も半減されて支持体上
で発生したしわや波うちは、基板フィルムにかかる張力
により解放され完全に解消されることを見いだした。
【0006】また、上述の本発明のポリエステルフィル
ム基材には、まったくコーティングしていないもの、コ
ーティングしていても100〜200℃に加熱した際
0.1〜2%ヘイズが上昇する程度にオリゴマーが析出
するものが適用できる。本発明の方法を透明導電性フィ
ルムの製造方法に適用する場合には、透明導電性薄膜と
して公知のものすべてに適用できる。即ち、従来から開
発が盛んなIn、Snの合金酸化膜(ITO膜)、Sn
のF添加酸化膜、ZnO膜にも適用できる。特に、IT
O膜形成時には、ITO膜を十分酸化するためポリエス
テルフィルム基板を高温に加熱する必要がある。ITO
成膜時のフィルム基板温度は高い程好ましいが本発明で
は100〜200℃が適当である。なぜなら、100℃
以上加熱しないと滑剤としてはたらくオリゴマーが十分
に発生せず、200℃以上にするとオリゴマーよりポリ
エステルフィルムが白濁してしまい外観を損ねるからで
ある。従来、100℃以上加熱するとロール、加熱ドラ
ム上での熱変形が発生しやすく、本発明の意義は大き
い。液晶パネルの表示部になるために非常に厳しい平坦
性や平滑性が要求され、この観点より、本発明の効果は
著しい。
ム基材には、まったくコーティングしていないもの、コ
ーティングしていても100〜200℃に加熱した際
0.1〜2%ヘイズが上昇する程度にオリゴマーが析出
するものが適用できる。本発明の方法を透明導電性フィ
ルムの製造方法に適用する場合には、透明導電性薄膜と
して公知のものすべてに適用できる。即ち、従来から開
発が盛んなIn、Snの合金酸化膜(ITO膜)、Sn
のF添加酸化膜、ZnO膜にも適用できる。特に、IT
O膜形成時には、ITO膜を十分酸化するためポリエス
テルフィルム基板を高温に加熱する必要がある。ITO
成膜時のフィルム基板温度は高い程好ましいが本発明で
は100〜200℃が適当である。なぜなら、100℃
以上加熱しないと滑剤としてはたらくオリゴマーが十分
に発生せず、200℃以上にするとオリゴマーよりポリ
エステルフィルムが白濁してしまい外観を損ねるからで
ある。従来、100℃以上加熱するとロール、加熱ドラ
ム上での熱変形が発生しやすく、本発明の意義は大き
い。液晶パネルの表示部になるために非常に厳しい平坦
性や平滑性が要求され、この観点より、本発明の効果は
著しい。
【0007】尚、上述の透明導電性薄膜の形成法として
は、従来から公知の真空蒸着法、イオンプレーティング
法、スパッタ法等の物理的堆積法が適用できる。本発明
に使用されるポリエステルフィルム基材にコーティング
する樹脂としては、ポリエステルフィルム基材と透明導
電性薄膜の双方に対して密着力が必要であり、エポキシ
アクリレートプレポリマーにシランカップリング剤を添
加したとき、達成されることをみいだした。シランカッ
プリング剤の添加量は、0.5〜1.0重量%が望まし
い。シランカップリング剤としては、例えば信越化学
(株)のKMB−503、KMB−803,日本ユニカ
ー(株)のAー187が用いられるが、特にエポキシ
基、アミノ基、メルカプトン基を有するものが好まし
い。エポキシアクリレートプレ ポリマーは、融点が、
50℃以上のものが好ましく、昭和高分子株式会社のV
R−90があげられる。即ち、ポリエステルフィルム
は、透明導電性薄膜との密着力が低く、これに起因して
透明導電性薄膜の耐久性が乏しいという欠点があった
が、ポリエステルフィルム、透明導電性薄膜の双方に密
着力の優れた、該コーティングを施すことにより克服す
ることができた。しかし、平滑な平面をもちかつ透明導
電性薄膜側のみに該コーティングを施して薄膜を形成し
ようとすると、本発明が解決すべき問題が生じた。そこ
で、鋭意検討した結果該コーティングを透明導電性薄膜
形成面のみに施し、100〜200℃に加熱した際発生
するオリゴマーを滑剤として利用することで解決可能な
ことをみいだした。
は、従来から公知の真空蒸着法、イオンプレーティング
法、スパッタ法等の物理的堆積法が適用できる。本発明
に使用されるポリエステルフィルム基材にコーティング
する樹脂としては、ポリエステルフィルム基材と透明導
電性薄膜の双方に対して密着力が必要であり、エポキシ
アクリレートプレポリマーにシランカップリング剤を添
加したとき、達成されることをみいだした。シランカッ
プリング剤の添加量は、0.5〜1.0重量%が望まし
い。シランカップリング剤としては、例えば信越化学
(株)のKMB−503、KMB−803,日本ユニカ
ー(株)のAー187が用いられるが、特にエポキシ
基、アミノ基、メルカプトン基を有するものが好まし
い。エポキシアクリレートプレ ポリマーは、融点が、
50℃以上のものが好ましく、昭和高分子株式会社のV
R−90があげられる。即ち、ポリエステルフィルム
は、透明導電性薄膜との密着力が低く、これに起因して
透明導電性薄膜の耐久性が乏しいという欠点があった
が、ポリエステルフィルム、透明導電性薄膜の双方に密
着力の優れた、該コーティングを施すことにより克服す
ることができた。しかし、平滑な平面をもちかつ透明導
電性薄膜側のみに該コーティングを施して薄膜を形成し
ようとすると、本発明が解決すべき問題が生じた。そこ
で、鋭意検討した結果該コーティングを透明導電性薄膜
形成面のみに施し、100〜200℃に加熱した際発生
するオリゴマーを滑剤として利用することで解決可能な
ことをみいだした。
【0008】
《実施例1》ポリエステルフィルムに厚さ100μmの
ポリエステルムを用い、その片側の面に該コーティング
層として分子量約1040、融点55℃のエポキシアク
リレートプレポリマー(昭和高分子株式会社製VR−9
0)100重量部、ジエチレングリコール200重量
部、酢酸エチル100重量部、ベンゼンエチルエーテル
2重量部、シランカップリング剤(信越化学株式会社製
KMB−503)1重量部を50℃にて撹はん溶解して
均一な溶液をディップ法により両面に塗布し80℃10
分加熱した後紫外線を照射して該コーティングを形成し
た後、ロール・ツ・ロール方式のリアクティブマグネト
ロンスパッタ装置により厚さ30nmのITO膜を形成
した。ITO膜形成時、ITO膜を十分に酸化するため
基板フィルムを140℃に加熱した。140℃に加熱す
るために140℃に温調した鏡面のドラムに密着させた
状態でフィルムを走行させた。その結果、ITO膜形成
工程でのしわや変形はまったくみられなかった。 《比較例1》ポリエステルフィルムの両面に該コーティ
ングを施した以外は実施例と同様な状態でITO膜の形
成を行うと温調ドラム上で部分的に浮き上がった状態で
ITO膜が形成され、フィルムが変形してしまい、ロー
ル状に巻き上げたときクラックが発生した。
ポリエステルムを用い、その片側の面に該コーティング
層として分子量約1040、融点55℃のエポキシアク
リレートプレポリマー(昭和高分子株式会社製VR−9
0)100重量部、ジエチレングリコール200重量
部、酢酸エチル100重量部、ベンゼンエチルエーテル
2重量部、シランカップリング剤(信越化学株式会社製
KMB−503)1重量部を50℃にて撹はん溶解して
均一な溶液をディップ法により両面に塗布し80℃10
分加熱した後紫外線を照射して該コーティングを形成し
た後、ロール・ツ・ロール方式のリアクティブマグネト
ロンスパッタ装置により厚さ30nmのITO膜を形成
した。ITO膜形成時、ITO膜を十分に酸化するため
基板フィルムを140℃に加熱した。140℃に加熱す
るために140℃に温調した鏡面のドラムに密着させた
状態でフィルムを走行させた。その結果、ITO膜形成
工程でのしわや変形はまったくみられなかった。 《比較例1》ポリエステルフィルムの両面に該コーティ
ングを施した以外は実施例と同様な状態でITO膜の形
成を行うと温調ドラム上で部分的に浮き上がった状態で
ITO膜が形成され、フィルムが変形してしまい、ロー
ル状に巻き上げたときクラックが発生した。
【0009】
【発明の効果】本発明により非常に平滑でかつ該コーテ
ィングが施してあるポリエステルフィルムを基板として
ロール・ツ・ロール方式で連続的に透明導電性薄膜を形
成した時、変形やしわ等のない外観の良好な透明導電性
フィルムの製造が可能となる。
ィングが施してあるポリエステルフィルムを基板として
ロール・ツ・ロール方式で連続的に透明導電性薄膜を形
成した時、変形やしわ等のない外観の良好な透明導電性
フィルムの製造が可能となる。
Claims (1)
- 【請求項1】長尺のポリエステルフィルムを基材とし、
該基材の透明導電性薄膜を形成する面のみにシランカッ
プリング剤を含むエポキシアクリレート紫外線硬化樹脂
をコーティングしたフィルム基板をロール・ツ・ロール
方式で移送しながら真空中で連続的に100〜200℃
に加熱しながら透明導電性薄膜を形成することを特徴と
する透明導電性フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5188416A JPH0740498A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 透明導電性フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5188416A JPH0740498A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 透明導電性フィルムの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0740498A true JPH0740498A (ja) | 1995-02-10 |
Family
ID=16223285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5188416A Pending JPH0740498A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 透明導電性フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0740498A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5707554A (en) * | 1996-05-08 | 1998-01-13 | Rexam Graphics, Incorporated | Electrically conductive surface release polymers |
US5869179A (en) * | 1996-05-08 | 1999-02-09 | Rexam Graphics, Incorporated | Imaging element having a conductive polymer layer |
KR100422321B1 (ko) * | 1999-10-09 | 2004-03-10 | 서광석 | 투명성 대전방지 폴리에스터 필름 |
JP2012064546A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Toppan Printing Co Ltd | 透明導電性積層体及びその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61255847A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-13 | コニカ株式会社 | 透明導電性フイルムの製造方法 |
JPS6346236A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-27 | Toyobo Co Ltd | 表面処理されたプラスチツク成形品 |
JPH03230946A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-14 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 積層フィルム |
JPH0499620A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-03-31 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 積層フィルム |
-
1993
- 1993-07-29 JP JP5188416A patent/JPH0740498A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61255847A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-13 | コニカ株式会社 | 透明導電性フイルムの製造方法 |
JPS6346236A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-27 | Toyobo Co Ltd | 表面処理されたプラスチツク成形品 |
JPH03230946A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-14 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 積層フィルム |
JPH0499620A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-03-31 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 積層フィルム |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5707554A (en) * | 1996-05-08 | 1998-01-13 | Rexam Graphics, Incorporated | Electrically conductive surface release polymers |
US5869179A (en) * | 1996-05-08 | 1999-02-09 | Rexam Graphics, Incorporated | Imaging element having a conductive polymer layer |
US6171422B1 (en) | 1996-05-08 | 2001-01-09 | Rexam Graphics, Inc. | Imaging element having a conductive polymer layer |
KR100422321B1 (ko) * | 1999-10-09 | 2004-03-10 | 서광석 | 투명성 대전방지 폴리에스터 필름 |
JP2012064546A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Toppan Printing Co Ltd | 透明導電性積層体及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6136444A (en) | Transparent conductive sheet | |
WO1987006626A1 (en) | Sputter-coated thin glass sheeting in roll form and method for continuous production thereof | |
JP3194855B2 (ja) | 積層フィルム | |
JPH0740498A (ja) | 透明導電性フィルムの製造方法 | |
JP3403880B2 (ja) | 透明ガスバリアー性積層フィルムおよびその製造方法 | |
JPS6141122A (ja) | 液晶表示パネル用電極基板 | |
JP3027315B2 (ja) | 積層フィルム | |
JPH06116425A (ja) | 透明導電性フィルムの製造方法 | |
JP2000108241A (ja) | 透明導電フィルム及びその製造方法 | |
JPH0414444B2 (ja) | ||
JP3983366B2 (ja) | 透明導電性フィルム用基板 | |
JP3101660B2 (ja) | 非金属薄膜層を設けた樹脂フィルムの製造法 | |
JP3667933B2 (ja) | 透明電極基板及びそれを用いた液晶表示素子 | |
JPH0961604A (ja) | プラスティック反射防止フィルム | |
JP3491952B2 (ja) | 無機質組成物の製造方法、積層体の製造方法及びペン入力パネル用保護材料の製造方法 | |
JP3363616B2 (ja) | 積層体の製造方法及びペン入力パネル用保護材料の製造方法 | |
JPS6127841B2 (ja) | ||
JPH11235728A (ja) | セルローストリアセテートフィルムの製造方法 | |
JPH0939151A (ja) | 透明導電性フィルム | |
JP3014570B2 (ja) | 液晶表示装置用基板の製造方法 | |
JPS6198530A (ja) | 基板用フイルム及び機能性積層体の製造方法 | |
JP3027316B2 (ja) | 積層フィルム | |
JP2003300267A (ja) | 積層フィルム | |
JP4524833B2 (ja) | 高分子フィルムシートの製造方法、製造装置、およびこれを用いた高分子フィルムシート | |
JPS6348362B2 (ja) |