JPS61255847A - 透明導電性フイルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばタッチパネル型の透明スイッチ、エレ
クトロルミネセンス（ＥＬ）表示板の透明電極などに用
いられる透明導電性フィルムの製造方法に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

一般に透明導電性フィルムは、ガラス電極に比して、素
子の軽量化及び薄型化が可能であって、製造工程におい
ても取扱が容易で、所望の形状に容易に成形が可能であ
り、また連続生産が可能となるなど、種々の利点が得ら
れることから、例えば透明スイッチ、エレクトロルミネ
センス（Ｅ　Ｌ）表示板の透明電極、その他の素子の導
電部材として広く用いられている。

斯かる透明導電性フィルムは、通常、透明なプラスチッ
クよりなるベースフィルム上に、金属または金属の酸化
物よりなる透明導電層を設けて構成される。この透明導
電層の形成においては、例えば、スパッタリング法、イ
オンブレーティング法、真空蒸着法などの薄膜形成方法
が用いられ、従来においては、熱収縮率が比較的大きな
例えば１．０％以上のベースフィルムを用いて、比較的
低温で例えば８０℃以下の温度下で透明導電層を設ける
ようにした製造方法が知られている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

例えば透明導電性フィルムを用いて透明スイッチを構成
する場合には、２枚の透明導電性フィルム間にスペーサ
を介挿して透明導電層が互いにギャップを介して対向す
るようにして構成され、−一方の透明導電性フィルムを
例えば打鍵により押圧して対向する透明導電層同志を接
触させることによりスイッチが閉じられ、押圧力を解除
したときは透明導電性フィルムが復元して透明導電層同
志が離間することによりスイッチが開かれる。このよう
な透明スイッチにおいては、多数回に亘り安定してスイ
ッチの開閉を行うことができ名いわば耐打鍵性に優れて
いることが要求され、実用的には例えば１００万回以上
の耐打鍵性が必要とされる。

しかしながら、上述の如き従来の製造方法により製造さ
れた透明導電性フィルムを用いて透明スイッチを構成す
る場合には、耐打鍵性が劣っていて３０万回程度の打鍵
操作により接触不良などが生じてスイッチ機能が失われ
使用寿命が短い問題点がある。

また例えば透明導電性フィルムを用いて有機分散型エレ
クトロルミネセンス（ＥＬ）表示板の透明電極を構成す
る場合には、例えばアルミニウム基板上にエレクトロル
ミネセンス樹脂層を積層してＥＬ積層体を形成し、この
ＥＬ積層体の樹脂層に透明導電層が接触するよう透明導
電性フィルムを当該ＥＬ積層体に重ねた状態でこれを例
えば一対の熱ローラ間に通して熱接着して形成される。

しかしながら、上述の如き従来の製造方法により製造さ
れた透明導電性フィルムを用いて斯かるエレクトロルミ
ネセンス（Ｅ　Ｌ）表示板の透明電極を構成する場合に
は、透明導電性フィルムをＥＬ積層体に熱接着するとき
に透明導電性フィルムの寸法が大きく変化し、このため
シート抵抗が増加ししかも耐電圧が小さくて透明導電層
が断線し易く、結局実用可能な透明電極が得られない問
題点がある。

〔発明の目的〕

本発明は、以上の如き事情に基いてなされたものであっ
て、その目的は、機械的な耐久性が優れしかも優れた物
理的性能が確実に得られる透明導電性フィルムを製造す
ることができる透明導電性フィルムの製造方法を提供す
ることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明透明導電性フィルムの製造方法は、透明なプラス
チックよりなり熱収縮率が０．４％以下であるベースフ
ィルム上に、当該ベースフィルムの温度を８０〜１４０
℃に保持した状態で透明導電層を設けることを特徴とす
る 斯かる方法によれば、ベースフィルムとして熱収縮率が
０．４％以下であるものを用い、しかもこのベースフィ
ルムを温度８０〜１４０℃に保持した状態で透明導電層
を設けるので、透明導電層をベースフィルムに設ける工
程においてはベースフィルムの熱的な寸法の変化が小さ
くて透明導電層に無理な力が残留することがなく、従っ
て透明導電層のベースフィルムに対する接着性が良好と
なって機械的な耐久性が格段に優れたものとなるうえ、
優れた物理的性能が確実に得られ、例えば透明スイッチ
に用いる場合には耐打鍵性が優れたものとなって使用寿
命の長い透明スイッチを得ることができ、また例えばエ
レクトロルミネセンス（Ｅ、Ｌ　）表示板の透明電極に
用いる場合にはシート抵抗が小さくしかも耐電圧が大き
くて断線しにくいものとなり優れた性能の透明電極が得
られる。

以下、本発明を図面を参照しながら詳細に説明する。

第１図は本発明を実施するために用いることができる製
造装置の一例の概略を示す説明図であり、装置内部は４
つの室１．２，３．４に仕切られ、それぞれ排気ポンプ
（図示せず）により所定の真空度に保持されている０両
側の室１．４にはそれぞれプラスチックよりなるベース
フィルム９の供給ロール５及び巻取ロール７が配置され
、供給口巻取ロール７により一様な速度で巻取られる。

１０はハロゲンヒーターランプであり、このハロゲンヒ
ーターランプ１０は室１内において供給ロール５よりの
ベースフィルム９に対向して配置されていて当該ベース
フィルム９を予め乾燥させるものである。室３は蒸着処
理を施すための蒸着空間１５を区画するものであり、こ
の室３には上部に蒸着用ローラ６が配置され、下部には
、蒸着材料容器１１及びこの容器内に収納された蒸着材
料１２と、この蒸着材料１２を加熱して蒸発せしめるた
めの加熱源（図示せず）と、必要に応じて設けられる放
電装置Ｅ１３とが配置されている。この放電装置１３か
らは例えば透明導電層の構成物質となる物質或いは透明
導電層の形成を助長する物質がイオン化またはヒーター
及び冷却水導通路が配設され、そのローラ表面に接触し
て当該蒸着用ローラ６の回転に追随して搬送されるベー
スフィルム９を所定の温度即ち８０〜１４０℃の範囲内
の温度に一定に保持することができる構成となっている
。

本発明においては、例えば次のようにして透明導電性フ
ィルムを製造する。供給ロール５からのベースフィルム
９をまず室１内においてハロゲンヒーターランプ１０に
よって例えば温度８０〜１４０℃に加熱しながら当該ベ
ースフィルム９に吸着していた水分を除去する０次いで
搬送ローラ８１，８２を介して搬送され蒸着用ローラ６
の表面に接触して当該蒸着用ローラ６の回転に追随して
蒸着空間１５内に搬送されるベースフィルム９を、当該
蒸着用ローラ６により温度８０〜１４０℃の範囲内の温
度に保持した状態で、加熱源により透明導電層を構成す
ることとなる蒸着材料１２を加熱して蒸着空間１５に蒸
発させ、これにより前記温度に保持されたベースフィル
ム９上に蒸着膜を形成し、以て当該ベースフィルム９上
に透明導電層を設ける。この場合において、放電装置１
３からイオン化または活性化状態の物質を蒸着空間１５
に導入して、これを蒸着材料１２の蒸発物質と化合させ
、或いは当該蒸発物質を活性化させるようにしてもよい
、このようにして透明導電層が形成されたベースフィル
ム９は搬送ローラ８３．８４を介して巻取ロール７に巻
取られる。このような装置においてはベースフィルム９
を一様な速度で連続的に搬送しながら透明導電層を形成
することができるので大量生産が可能であって透明導電
性フィルムを安価に製造することができ、しかも均一な
性能を有する透明導電性フィルムを製造することができ
る。

本発明に用いるベースフィルムは、プラスチックよりな
りその熱収縮率が０．４％以下のものである。ここで熱
収縮率とは、１４０℃の恒温槽内に３分間ベースフィル
ムを放置したときの当該ベースフィルムの寸法変化率の
絶対値をいい、この寸法変化率は通常ベースフィルムの
製造時における長さ方向と幅方閏とでは異なり、一般に
長さ方向の方が大きい。本発明では大きい方の寸法変化
率を熱収縮率と定義する。

この熱収縮率が０．４％を越えるベースフィルムを用い
た場合には、透明導電層を設ける工程においてベースフ
ィルムの寸法の変化が大きいため、ベースフィルムへの
透明導電層の固着性が低下して機械的な耐久性が得られ
ず、しかも物理的性能が低下し、例えば透明スイッチに
用いる場合には、耐打鍵性が劣るため使用寿命が短くな
り、従って実用上満足できる透明スイッチが得られず、
またエレクトロルミネセンス（Ｅ　Ｌ）表示板の透明電
極に用いる場合には、熱接着する時にシート抵抗が増加
し、しかも耐電圧が小さくなり、そのうえ断線し易くな
り、従って実用上満足できる性能の透明電極が得られな
い。　　　　′ 本発明に用いるベースフィルムを構成するプラスチック
材料としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレンナックレート、ポリ−８−カプロアミド、ポ
リエ−テルイミド、ポリへキサメチレンジアミド、ポリ
メタキシレンジアミンテレフタルアミド、ビスフェノー
ルＡ及びそのハロゲン化物と酸ジクロライドを主成分と
する芳香族ポリエステルまたは芳香族ポリエステルカー
ボネート、メタフェニレンジアミンとイソフタル酸及び
テレフタル酸の共重合体などのポリアミド、ポリカーボ
ネート、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミド、イ
ミドポリベンズイミダゾール、ポリエーテルサルホン、
ポリエーテルエーテルケトン、ポリサルホン、ポリエー
テルイミド、トリアセチルセルロースなどを挙げること
ができ、このうち耐久性或いは耐熱性及び経済性などの
点からポリエチレンテレフタレートが好ましい、そして
ベースフィルムの厚さは、例えば透明スイッチに用いる
場合には１００〜３００μｍ１例えばエレクトロルミネ
センス（Ｅ　Ｌ）表示板の透明電極に用いる場合には５
０〜１５０Ａ１ｎ程度とされる。またベースフィルムと
してはその軟化点が例えば１ｏＯ〜３００℃程度である
ことが好ましい。

本発明においては、既述のようにベースフィルムの温度
を８０〜１４０℃の範囲内の温度に保持した状態で透明
導電層をベースフィルム上に設ける。

この温度が高すぎる場合にはベースフィルムが変質し例
えばオリゴマーが析出してフィルム表面が白濁して透明
性が低下する場合がある０例えばポリエチレンテレフタ
レートフィルムの場合１４０ｔを越えるとオリゴマーが
析出する。またベースフィルムの寸法の変化量が大きく
なり機械的耐久性及び物理的特性の点において実用上満
足できる性能が得られない、一方前記温度が８０℃未満
の場合にはベースフィルムへの透明導電層の固着性が低
下して機械的耐久性が低下し、また物理的特性も低下す
る。結局ベースフィルムの保持温度が８０〜１４０℃の
範囲から外れている場合には、機械的耐久性が小さくし
かも光透過性などの物理的特性が劣り、例えば透明スイ
ッチに用いる場合には、耐打鍵性が劣っていて使用寿命
が短くなるため実用上満足できる透明スイッチが得られ
ず、またエレクトロルミネセンス（Ｅ　Ｌ）表示板の透
明電極に用いる場合には、シート抵抗が増加し、しかも
耐電圧が小さくなり、そのうえ断線し易くなり、従って
実用上満足できる透明電極が得られない。

透明導電層を構成するための蒸着材料としては、例えば
インジウム、インジウム−スズ合金、或いはこれらの酸
化物を挙げることができる。また透明導電層の形成にお
いては、真空蒸着法のほか、スパッタリング法、イオン
ブレーティング法などその他の薄膜製造方法を用いるこ
とができる。真空蒸着法により透明導電層を形成する場
合には、蒸着材料の加熱源として、抵抗加熱源、電子銃
加熱源などの適宜の加熱源を用いることができる。

またこれらの蒸着材料のほかに、透明導電層を構成する
材料として或いは透明導電層の形成を助長するものとし
てその他の物質を必要に応じて放電装置によりイオン化
或いは活性化した状態で蒸着空間に供給してもよい。斯
かるその他の物質とし。

ては例えば酸素、酸素とアルゴンの混合ガスなどを用い
ることができる。斯かるその他の物質の供給量は例えば
３０〜２００ｃｃ／ｌ１ｉｎ程度である。そして放電装
置においては例えば出力が１００−１０００Ｗ程度の高
周波放電により上記物質をイオン化或いは活性化するこ
とが好ましい。

ベースフィルムの搬送速度は、透明導電層の成長速度と
の関係から定められるが、−例を挙げると５０〜２００
ｃｍ／ｌ１ｉｎの範囲内テアル。

〔実施例〕

以下本発明の具体的実施例について説明するが本発明は
これらの実施例に限定されるものではない。

実施例１ 第１図に示した構成の装置を用い、ポリエチレンテレフ
タレートよりなる合計５種のベースフィルム（厚さは５
種とも７５μｍ、熱収縮率はそれぞれ０．１％、　０．
２％、　０．４％、　０．６％、　１．０％）を用いて
、これらのベースフィルムの温度をＳＯ℃。

７０℃、９０℃、１００℃、１３０℃、１４０℃の６段
階に保持した各々の場合について当該ベースフィルム上
に下記の条件に従って透明導電層を設け、以てシート抵
抗が３００〜３２０Ωで波長５５０ｎｍでの光透過率が
８４〜８６％の透明導電性フィルムを得た。

蒸着材料：インジウム 加熱源：抵抗加熱源 その他の物質：酸素ガス（供給量８０ｃｃ／ｌｌ１ｉｎ
）放電装置の放電出カニ　４００Ｗ 搬送速度：　５０ｃ＋ｗ／＋＊ｉｎ （尚「その他の物質」は放電装置によりイオン化または
活性化された状態で蒸着空間に供給されるものである。

以下においても同様である。） 以上のようにして得られた透明導電性フィルムをそれぞ
れ用いて実用に則して透明スイッチを作製し、これらの
透明スイッチについて第２図に示した構成の実験装置を
用いて耐打鍵性を調べる実験を行った。この第２図にお
いて、３０は１２Ｖの直流電源、３１は１２にΩの抵抗
、４０は透明スイッチであり、透明スイッチ４０の一方
の透明導電層４１は抵抗３１を介して直流電源３０の正
極に接続され、透明スイッチ４０の他方の透明導電層４
２は直接直流電源３０の負極に接続されている。３２は
打鍵棒である。

４３．４４はそれぞれ一方及び他方のベースフィルムで
あり、４５．４６はスペーサである。ベースフィルム４
３．４４の厚さは既述のように７５μｍ、透明導電層４
１．４２の厚さは共に５００人、ギャップ４７の長さＤ
は０．５ｍｍである。実験は前記打鍵棒３２を上下に往
復動させることにより透明スイッチ４０の開閉を繰返し
て行い、スイッチの開閉不良が生じたときの打鍵回数を
求めた。

実験結果を第３図に示す。この第３図から理解されるよ
うに、本発明の方法に従って得られた透明導電性フィル
ム、即ち熱収縮率が０．１％、０．２％、０．４％のベ
ースフィルムを用い、このベースフィルムを温度９０℃
、１１０℃、１３０℃、１４０℃に保持した状態で透明
導電層を設けて得られた透明導電性フィルムにより透明
スイッチを構成した場合には、機械的耐久性が優れてい
て十分な耐打鍵性を有している。これに対して熱収縮率
が０．６％、１．０％のベースフィルムを用いた場合或
いは保持温度を５０℃、７０℃とした場合にはいずれも
透明導電層にひび割れが生じ易くまた透明導電層が剥が
れ易く、機械的耐久性が劣っていて耐打鍵性が低く、使
用寿命の短いものであった。

また熱収縮率が０．１％のベースフィルムを用い、この
ベースフィルムを温度５０℃、９０℃、１３０℃、１４
０℃に保持した状態で透明導電層を設けて得られた透明
導電性フィルムにより構成した合計４種の透明スイッチ
のそれぞれについて上述と同様にして打鍵棒による打鍵
テストを行い、打鍵回数がそれぞれ１０万回、　３０万
回、１００万回経過したときの透明スイッチを流れる電
流波形を調べた。結果を第４図に示す、この第４図の結
果から理解されるように、保持温度が９０℃、１３０℃
、１４０℃の場合には打鍵回数が１００万回に達したと
きにも、打鍵棒により透明スイッチが打鍵されている時
間に対応した矩形状或いは台形状の電流波形が得られ、
安定したスイッチ機能が得られる。これに対して、保持
温度が５０℃の場合には打鍵回数が３０万回に達したと
きには電流波形が大きく乱れてパルス状となっていて良
好なスイッチ機能が得られないものであった。

次ぎに上述と同様にして得られた透明導電性フィルムの
各々について耐電圧を調べる実験を行った。実験は第５
図に示すように、幅３ｃｌｌの透明導電性フィルム５０
の透明導電層５１上に離間距離が３１となるよう一対の
帯状電極５２．５３を銀ペーストにより設け、°これら
の電極５２．５３間に交流電源５４を接続し、当該交流
電源５４の電圧を徐々に高くしながら通電を続け、断線
したときの電圧を電圧計５５により求めた。５６は電流
計である。結果を第６図に示す。この結果から理解され
るように、熱収縮率が０．１％、０．２％、０．４％の
ベースフィルムを用い、かつ保持温度を９０℃、１１０
℃、１３０℃、１４０℃とした場合には、耐電圧が十分
高く、例えばエレクトロルミネセンス（ＥＬ）表示板の
透明電極に用いる場合には優れた性能が得られる。これ
に対して熱収縮率が０．６％、１．０％のベースフィル
ムを用いた場合或いは保持温度を５０℃、７０℃とじた
場合にはいずれも耐電圧が低くてエレクトロルミネセン
ス（ＥＬ）表示板の透明電極には適さないものであった
。

次に上述と同様にして得られた透明導電性フィルムの各
々について耐熱性を調べる実験を行った。

実験は透明導電性フィルムの常温（例えば２５℃）下に
おけるシート′抵抗をＲｏとし、１５０℃の恒温槽内に
透明導電性フィルムを１時間放置した後のシート抵抗を
Ｒとし、これらの変化率Ｒ／Ｒ，を求めた。結果を第７
図に示す。この結果から理解されるように、熱収縮率が
０．１％、０．２％、０．４率Ｒ／Ｒ，が小さくて耐熱
性が優れており、例えばエレクトロルミネセ・ンス（Ｅ
Ｌ）表示板の透明電極に用いる場合には優れた性能が得
られる。これに対して熱収縮率が０．６％、１．０％の
ベースフィルムを用いた場合或いは保持温度を５０℃、
　７０℃とした場合にはいずれもシート抵抗の変化率Ｒ
／Ｒ０が大きくて耐熱性が劣りエレクトロルミネセンス
（ＥＬ）表示板の透明電極には実用上適さないものであ
った。

実施例２ 第１図に示した構成の装置を用い、ポリエチレンテレフ
タレートよりなる合計５種のベースフィルム（厚さは５
種とも７５μｍ、熱収縮率はそれぞれ０．１％、　０．
２％、　０．４％、　０．６％、　１．０％）を用いて
、これらのベースフィルムの温度を５０’Ｃ。

７０℃、９０℃、１１０℃、１３０℃、　１４０　℃の
６段階に保持した各々の場合について、当該ベースフィ
ルム上に下記の条件に従つて上層（表面層）及び下層よ
りなる二層構成の透明導電層を設け、以てシート抵抗が
３２０〜３５０Ωで波長５５０ｎｍでの光透過率が８３
〜８５％の透明導電性フィルムを得た。

（上層） 蒸着材料：インジウム 加熱源：抵抗加熱源 その他の物質：酸素ガス（供給量８０ｃｃ／５ｉｎ）放
電装置の放電出力＋　４００Ｗ 搬送速度：　８０ｃ＋ｗ１０＋ｉｎ 蒸着層の成長速度：２０人／＋ｗｉｎ （下Ｎ） 蒸着材料：インジウム 加熱Ｒ：抵抗加熱源 その他の物質：＃Ｉ素ガス（供給量９０ｃｃ／５ｉｎ）
放電装置の放電出カニ　　６００Ｗ 搬送速度：　８０ｃ＋ｍ／ｌ１ｌｉｎ 蒸着層の成長速度：２０人／ｗｉｎ この透明導電層は上層（表面層）と下層とよりなる二層
構成であり、下層は上層に比して酸化度が高いものであ
る。

以上のようにして得られた透明導電性フィルムをそれぞ
れ用いて透明スイッチを作製し、これらの透明スイッチ
について実施例１と同様にして耐打鍵性を調べる実験を
行った。結果を第８図に示す。

この第８図から理解されるように、本発明の方法に従っ
て得られた透明導電性フィルム、即ち熱収縮率が０．１
％、０．２％、０．４％のベースフィルムを用い、この
ベースフィルムを温度９［：、１１０’Ｃ。

１３０℃、１４０℃に保持した状態で透明導電層を設け
て得られた透明導電性フィルムにより透明スイッチを構
成した場合には、機械的耐久性が優れていて実施例１で
得られたものより一層優れた耐打鍵性を有している。こ
れに対して熱収縮率が０．６％。

１．０％のベースフィルムを用いた場合或いは保持温度
を５０℃、７０℃とした場合にはいずれも透明導電層に
ひび割れが生じ易くまた透明導電層が剥がれ易く、いず
れも機械的耐久性が劣っていて耐打鍵性が低く、使用寿
命の短いものであった。

このように透明導電層の下層を酸化度の高いものとする
ことによって一層優れた耐打鍵性が得られることが理解
される。しかし上層においては酸化度をあまり高くする
とシート抵抗が増加するので例えばエレクトロルミネセ
ンス（Ｅ　Ｌ）表示板の透明電極に用いる場合には好ま
しくない。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明は、透明なプラスチックよりなり
熱収縮率が０．４％以下であるベースフィルム上に、当
該ベースフィルムの温度を８０〜１４０℃に保持した状
態で透明導電層を設けることを特徴とする透明導電性フ
ィルムの製造方法であるから、透明導電層をベースフィ
ルムに設ける工程においてはベースフィルムの熱的な寸
法の変化が小さくて透明導電層に無理な力が残留するこ
とがなく、従って透明導電層のベースフィルムに対する
固着性が良好となって機械的な耐久性が格段に優れたも
のとなるうえ優れた物理的性能が確実に得られ、この結
果例えば透明スイッチに用いる場合には耐打鍵性が優れ
た使用寿命の長い透明スイッチを得ることができ、また
例えばエレクトロルミネセンス（Ｅ　Ｌ）表示板の透明
電極に用いる場合にはシート抵抗が小さくしかも耐電圧
が大きくて断線しにくい優れた性能の透明電極を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施に用いることができる製造装置の
一例の概略を示す説明用断面図、第２図は耐打鍵性を調
べるための実験装置の一例を示す現用図、第３図は実施
例１で得られた透明導電性フィルムを用いて構成した透
明スイッチにおける耐打鍵性の実験結果を示す図、第４
図は実施例１で得られた透明導電性フィルムを用いて構
成した透明スイッチにおいて、打鍵回数がそれぞれ１０
万回、３０万回、１００万回に達したときの透明スイッ
チの開閉時に流れる電流波形を示す波形図、第５図は耐
電圧を調べるための実験装置の一例を示す説用図、第６
図は実施例１で得られた透明導電性フィルムにおける耐
電圧の実験結果を示す図、第７図は実施例１で得られた
透明導電性フィルムの温度変化に対するシート抵抗の変
化率を示す図、第８図は実施例２で得られた透明導電性
フィルムを用いて構成した透明スイッチにおける耐打鍵
性の実験結果を示す図である。 ８１．８２，８３．８４・・・搬送ローラ９・・・ベー
スフィルム １０・・・ハロゲンヒーターランプ １１・・・蒸着材料容器　　　１２・・・蒸着材料１３
・・・放電装置　　　　　１５・・・蒸着空間３０・・
・直流電源　　　　　３１・・・抵抗３２・・・打鍵棒
　　　　　　４０・・・透明スイッチ４１．４２・・・
透明導電層　　４３．４４・・・ベースフィルム４５、
４６・・・スペーサ　　　４７・・・ギャップ５０・・
・透明導電性フィルム５１・・・透明導電層５２．５３
・・・電極　　　　　５４・・・交流電源５５・・・電
圧計　　　　　　５６・・・電流計第１囮 ＝＊′！４客（べ包） 冨胃ｌ瓢幕（ス同］

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）透明なプラスチックよりなり熱収縮率が０．４％以
   下であるベースフィルム上に、当該ベースフィルムの温
   度を８０〜１４０℃に保持した状態で透明導電層を設け
   ることを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。