JPH0499620A - 積層フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 透明導電性フィルムは液晶用、タッチパネル用透明電極
として利用されている。本発明は、透明性、導電性、耐
久性に優れた透明導電性積層フィルムに関するものであ
る。

〔従来の技術〕

高分子フィルム上に形成された透明導電被膜として従来
から知られているものは ■金、銀、銅、パラジウム等の金属薄膜■酸化インジウ
ム、酸化錫、ヨウ化鋼等の化合物半導体及び ■金、銀、銅、パラジウム等の導電性金属膜を可視光領
域において透明になるように透明導電体膜と組み合せた
積層膜か知られている。

しかしながら、液晶電極、タッチパネルに応用できる性
能を有する透明導電性膜か工業的に安価に製造されるに
至っていない。

即ち、上記■の金属薄膜は、金属が広い波長領域にわた
り反射能又は吸収能か高いため、光線透過率を高めると
、膜が薄くなり、導電性、耐久性の高いものが得られか
たい。

上記■の化合物半導体薄膜は、例えば、真空蒸着法、ス
パッタリング法等の真空中における薄膜形成法で高分子
フィルム上に形成することかできる。透明で導電性の高
い膜は通常４００°Ｃ以上の高温下では得られる。しか
し、高分子フィルムはガラス基板に比べて耐熱性かなく
、高温で薄膜を形成することか不可能である。そのため
導電性を高めるため数千オングストローム積層すると高
分子フィルムのカール、薄膜の割れの問題か発生する。

また被覆膜特性を均一に制御するためには膜形成速度を
遅くする必要かあり生産性か悪く、製造コストか著しく
高くなる。

上記■の透明導電性フィルムの代表的な構成は、金属膜
を高屈折膜てはさんだものを、高分子フィルム上に形成
された積層フィルムか挙げられる。

例えば、真空蒸着、反応性蒸着又は反応性スｌ＜ツタリ
ングで形成されたＢｉ２Ｏ３／Ａｕ／Ｂｉ２Ｏ５／高分
子フィルム、ＺｎＳ／Ａｇ／ＺｎＳ／高分子フィルム又
はＴｉ０ｚ／Ａｇ／ＴｉＯ□／高分子フィルム等サント
イ・ソチ構造の積層フィルムか提案されている。特に金
属層として金、銀を用いたものは、金、銀自身かもつ光
学特性により可視光領域における透明性か特に優れてい
ること、導電性においても好ましい特性を有しているこ
と等から材料として特に優れている。

しかし、銀は化学的に不安定で形成された膜は耐久性に
乏しく、金は高価でありコストの点て問題かあった。

〔発明か解決しようとする課題〕

その目的とする所は積層フィルムのそり、透明性、導電
性、耐久性等、フィルム特有の諸特性も含めて優れた透
明導電性フィルムを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

少なくとも片面にシランカップリング剤を含むエポキシ
アクリレート紫外線硬化樹脂のコーティング層を有する
高分子フィルム上に金属酸化物薄膜層、金属薄膜層、金
属酸化物薄膜層を順次積層したシート抵抗値５０Ω／口
以下、光線透過率７０％以上であって、当該金属薄膜層
か総重量に対して３重量％から３０重量％のパラジウム
を含む銀合金金属薄膜層であることを特徴とする積層フ
ィルムである。

本発明は、従来技術における前述のような欠点のない優
れた透明性、導電性、平坦性、耐久性を有し、密着力の
強い積層体について研究した結果以下に示す構成の積層
フィルムを得るにいたった。

以下本発明の詳細について述へる。

本発明において用いられる高分子フィルムは可撓性を有
する透明フィルムもしくはシートであり例えばポリエチ
レンテレフタレート等ポリエステル系フィルム、ポリサ
ルフすン、ポリエステルサルフすン等すルフすン系フィ
ルムか使用可能である。

上記フィルム上に塗膜を形成する有機コーティング層の
樹脂としては、高分子フィルム金属酸化物の双方に対し
て密着力か必要であり、エポキシアクリレートプレポリ
マーにシランカップリング剤を添加した時達成されるこ
とを見い出した。シランカップリング剤の添加量は０．
５〜１重量％か望ましい。シランカップリング剤として
は、例えば信越化学■のＫＭＢ　−５０３、ＫＭＢ−６
０３、ＫＭＢ−８０３、日本ユニカー味のＡ　−１８７
か用いられるか、特にエポキシ基、アミン基、メルカプ
ト基を有するものか好ましい。エポキシアクリレートプ
レポリマーは融点か５０°Ｃ以上のものか好ましい。

本発明の積層フィルムは前記有機コーティング上に金属
酸化物薄膜層、金属薄膜層、金属酸化物薄膜層を順次積
層したものであるか、かかる金属膜層は、総重量に対し
て３重量％から３帽１％のパラジウムを含む銀合金金属
薄膜である。

透明導電フィルムの導電層として金属層に銀を用いよう
とした時、銀か耐久性に乏しく、実用に耐えうる程度に
耐久性を向上させようと検討した結果、銀を銀バラノウ
ム合金に置きかえることか有効であることを見いだした
ものである。

金属薄膜の膜厚は、透明導電性としての要求性能を持て
ば別に限定されるものではないか、導電性を持つために
は、少なくともある程度の領域で連続性を持つことが必
要である。島状構造より、連続構造に移る膜厚として５
０Å以上、透明性の点から５００Å以下か望ましい。銀
に対するパラジウムの比率を３重量％以上にすると目的
の積層体は８０°Ｃ９０％ＨＲの雰囲気中で２００時間
放置しても白化しない。好ましくは、パラジウムを５重
量％以上にすると耐湿熱性は一段と向上する。耐久性は
パラジウムの含有量か増加するに従って向上する傾向か
あるか、透明性は逆に低下する。このためパラジウムの
含有量か３０重量％以上になると透明性か著しく低下す
る。目的とする積層体の電気、光学特性耐久性の調和か
らパラジウムの含有量は５〜１５重量９６か好ましい。

金属酸化物層を構造するものとしては、透明高屈折率、
低比抵抗のものであれば特に限定されるものではないが
、屈折率は可視光に対して１，６以上好ましくは１．７
以上の屈折率を有し、ソート抵抗値か３００Ω／口以下
、光線透過率８０％以上であるのか効果的である。これ
らの条件を満たすものとしては、インジウム、錫合金の
酸化物、酸化錫か上げられる。

本発明は金属層として銀、パラジウム合金の薄膜層を用
い、その両側を酸化インジウム薄膜て覆った債層物をエ
ポキシアクリレートプレポリマーを塗布樹脂としコーテ
ィングしたポリエチレンテレフタレートに設けた積層フ
ィルムとして使用される。

即ち、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の高分子
フィルムは酸化金属薄膜との密着力か低くそれに起因し
て、積層フィルムの耐久性か乏しいという欠点があった
か、高分子フィルム、酸化金属の双方に密着力の優れた
有機コーティングを施すことにより耐久性を上げること
かできた。

本発明による積層フィルムを液晶等に用いる場合には、
フィルム側からの空気の透過を塞かなければならない。

空気か透過した場合は液晶内に気泡か生し外観上致命的
な傷害となる。

光学特性上、液晶用途には、無定形高分子であるポリエ
ーテルサルフオンか適している。しかし、無定形高分子
フィルムは一般的に空気の透過率が大きく、液晶の劣化
を防止することは困響である。

よってこのような場合ガスバリヤ−性、耐熱性、耐塩酸
性、ポリエーテルサルフすンに対して密着力の強固な有
機コーティング層を有するポリエーテルサルフすンフイ
ルムを用いることかできる。

有機コーティング層としては例えばポリエーテルサルフ
ォノ上にウレタン系樹脂層、ポリビニルアルコール樹脂
層、エポキン系熱硬化樹脂層を順次積層したものか上げ
られる。尚、特に指定していなけれは光線透過率は波長
６００ｎｍの値を示している。

〔実施例１〕 高分子フィルムに光線透過率８６％厚さ７５μｍの二輪
延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、その
上に第１層として分子量約１０４０、融点５５°Ｃのエ
ポキシアクリレートプレポリマ−（昭和高分子株式会社
製Ｕ　Ｒ−９０）　１００重量部、ジエチレングリコー
ル２００重量部、酢酸エチル１００重量部、ベンゼンエ
チルエーテル２重量部、シランカップリング剤１重量部
を５０℃にて撹拌溶解して均一な溶液をデイツプ法によ
り両面塗布し８０℃１０分加熱して紫外線を照射して有
機コーティング層を形成した後、第２層としてリアクテ
ィブスパッタリング法により厚さ３００人のＩＴＯ膜を
形成、第３層として１５重量％のパラジウムを含む銀合
金膜をスパッタ法で１５０人形成し、第４層としてＩＴ
Ｏ膜を厚さ３００人、第２層と同様にリアクティブスパ
ック法て形成して積層フィルムを得た。

この積層フィルムの光線透過率は７１％、シート抵抗値
２０Ω／′口であった。温度８０°Ｃ，湿度９０％ＨＲ
の雰囲気中に４００時間この積層フィルムを放置した所
、ノート抵抗値の変化は１．１倍以内、外観上変化は認
められなかった。

〔比較例〕

有機コーティングをしておらず、金属層の銀、パラジウ
ム合金を銀単体で置きかえた以外は同様な積層フィルム
について同しく、温度８０°Ｃ，湿度９０％ＨＲの雰囲
気中に４００時間この積層フィルムを放置した所シート
抵抗値の変化は１．５倍以上、積層フィルム上薄膜部分
に紫色の斑点か発生した。

〔実施例２〜５〕 金属薄膜層の組成を変化させる以外は実施例と同様の方
法で透明導電性フィルムを作製した際のパラジウム比率
と光線透過率、シート抵抗値、８０℃・９０％ＨＲ・２
００時間の湿熱試験後の外観の変化を示す。

〔発明の効果〕

本発明の透明導電性を有する積層フィルムは層間の密着
力かつよく、透明性、導電性のすぐれたものである。

手続ネ甫正書（自発） 平成３年　８月 １日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも片面にシランカップリング剤を含むエ
   ポキシアクリレート紫外線硬化樹脂のコーティング層を
   有する高分子フィルム上に金属酸化物薄膜層、金属薄膜
   層、金属酸化物薄膜層を順次積層したシート抵抗値５０
   Ω／口以下、光線透過率７０％以上であって、当該金属
   薄膜層が総重量に対して３重量％から３０重量％のパラ
   ジウムを含む銀合金金属薄膜層であることを特徴とする
   積層フィルム。