JP3194855B2 - 積層フィルム - Google Patents
積層フィルムInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフィルム液晶表示装
置に用いられる透明導電性フィルムに関するものであ
る。
置に用いられる透明導電性フィルムに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】透明導電性フィルムとしては、ポリエス
テルフィルム等の透明高分子フィルム表面に酸化インジ
ウム、酸化錫、あるいは錫、インジウム合金の酸化膜等
の半導体膜や金、銀、パラジウムあるいはそれらの合金
等の金属膜、半導体膜と金属膜を組み合わせて形成され
たもの等が知られている。一方、ガスバリヤー層として
は、高分子フィルム上の少なくとも片面にＳｉＯ2等を
蒸着したもの、あるいは、高分子フィルム上に塩化ビニ
リデン系ポリマー、ビニルアルコール系ポリマーなど相
対的にガスバリヤー性のあるポリマーのコーティング層
を設けたものが知られている。
テルフィルム等の透明高分子フィルム表面に酸化インジ
ウム、酸化錫、あるいは錫、インジウム合金の酸化膜等
の半導体膜や金、銀、パラジウムあるいはそれらの合金
等の金属膜、半導体膜と金属膜を組み合わせて形成され
たもの等が知られている。一方、ガスバリヤー層として
は、高分子フィルム上の少なくとも片面にＳｉＯ2等を
蒸着したもの、あるいは、高分子フィルム上に塩化ビニ
リデン系ポリマー、ビニルアルコール系ポリマーなど相
対的にガスバリヤー性のあるポリマーのコーティング層
を設けたものが知られている。
【０００３】例えば、特開平７−４９４８３による液晶
表示素子では、高分子フィルム上にガスバリヤー層とし
てＳｉＯ2等の絶縁酸化物を成膜し、更に透明電極とし
てＩｎ、Ｓｎの合金膜を付与した積層体を用いている
が、工業的設備で液晶表示素子組立を行った時にガスバ
リヤー層がロールにより機械的に、或いはエッチング液
等により化学的に損傷を受け、液晶表示素子とした時、
積層フィルム本来のガスバリヤー性が喪失し、経時的に
表示欠陥が発生する可能性が大きいことが分かった。よ
って高分子フィルム液晶表示装置には、ガスバリヤー
性、透明導電性の特性を合わせ持つ積層フィルムが必要
である。しかし、これらの機能を有する各層を組み合わ
せてガスバリアー性、透明導電性を付与し、液晶表示装
置材料として必要な耐久性のすべてが十分な透明導電性
フィルムは、いまだ工業的には生産されていない。
表示素子では、高分子フィルム上にガスバリヤー層とし
てＳｉＯ2等の絶縁酸化物を成膜し、更に透明電極とし
てＩｎ、Ｓｎの合金膜を付与した積層体を用いている
が、工業的設備で液晶表示素子組立を行った時にガスバ
リヤー層がロールにより機械的に、或いはエッチング液
等により化学的に損傷を受け、液晶表示素子とした時、
積層フィルム本来のガスバリヤー性が喪失し、経時的に
表示欠陥が発生する可能性が大きいことが分かった。よ
って高分子フィルム液晶表示装置には、ガスバリヤー
性、透明導電性の特性を合わせ持つ積層フィルムが必要
である。しかし、これらの機能を有する各層を組み合わ
せてガスバリアー性、透明導電性を付与し、液晶表示装
置材料として必要な耐久性のすべてが十分な透明導電性
フィルムは、いまだ工業的には生産されていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】工業的設備で液晶表示
素子組立を行っても、ガスバリヤー層がロールにより機
械的に、或いはエッチング液等により化学的に損傷を受
け、液晶表示素子とした時、積層フィルム本来のガスバ
リヤー性が喪失し、経時的に表示欠陥が発生しない、透
明性、ガスバリヤー性、耐久性の優れた透明で導電性を
有するフィルムを提供することにある。特に高分子フィ
ルムに無機酸化物によるガスバリヤー層を直接形成する
と良好なガスバリヤー性が得難いことに鑑み、高分子フ
ィルムに安定した無機酸化物によるガスバリヤー性を付
与することにある。
素子組立を行っても、ガスバリヤー層がロールにより機
械的に、或いはエッチング液等により化学的に損傷を受
け、液晶表示素子とした時、積層フィルム本来のガスバ
リヤー性が喪失し、経時的に表示欠陥が発生しない、透
明性、ガスバリヤー性、耐久性の優れた透明で導電性を
有するフィルムを提供することにある。特に高分子フィ
ルムに無機酸化物によるガスバリヤー層を直接形成する
と良好なガスバリヤー性が得難いことに鑑み、高分子フ
ィルムに安定した無機酸化物によるガスバリヤー性を付
与することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】高分子フィルムの片側表
面にシランカップリング剤を含むエポキシアクリレート
紫外線硬化樹脂によるアンカーコーティング層、その上
にＩｎ、Ｓｎの合金酸化物の無機薄膜によるガスバリヤ
ー層、その上にビスフェノールＡ型のエポキシ熱硬化樹
脂によるアンカー層、その上にシランカップリング剤を
含むエポキシアクリレート紫外線硬化樹脂による保護コ
ーティング層、どちらかの面の上に透明導電層を形成す
ることによってガスバリアー性に優れた積層フィルムを
得る。
面にシランカップリング剤を含むエポキシアクリレート
紫外線硬化樹脂によるアンカーコーティング層、その上
にＩｎ、Ｓｎの合金酸化物の無機薄膜によるガスバリヤ
ー層、その上にビスフェノールＡ型のエポキシ熱硬化樹
脂によるアンカー層、その上にシランカップリング剤を
含むエポキシアクリレート紫外線硬化樹脂による保護コ
ーティング層、どちらかの面の上に透明導電層を形成す
ることによってガスバリアー性に優れた積層フィルムを
得る。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明で用いる透明の高分子フィ
ルムとしてはポリエステルフィルム、ポリエーテルイミ
ドフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエーテルサ
ルフォンフィルム等があげられる。本発明で用いられる
透明な高分子フィルムの全光線透過率は少なくとも４０
％以上、好ましくは８０％以上が望ましい。高分子フィ
ルムは各層の形成に先立ち各層及び高分子フィルム相互
の密着力を高めるために脱ガス処理、コロナ放電処理、
火炎処理等の表面処理やアクリル系エポキシ系の公知の
アンカーコートが施されていてもよい。
ルムとしてはポリエステルフィルム、ポリエーテルイミ
ドフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエーテルサ
ルフォンフィルム等があげられる。本発明で用いられる
透明な高分子フィルムの全光線透過率は少なくとも４０
％以上、好ましくは８０％以上が望ましい。高分子フィ
ルムは各層の形成に先立ち各層及び高分子フィルム相互
の密着力を高めるために脱ガス処理、コロナ放電処理、
火炎処理等の表面処理やアクリル系エポキシ系の公知の
アンカーコートが施されていてもよい。
【０００７】本発明でいうガスバリヤー層は、Ｉｎ、Ｓ
ｎの合金酸化物であってこれら金属酸化物に遷移元素等
の添加物を含有しているものならなんら問題ない。これ
らガスバリヤー層は公知のＥＢ蒸着、イオンプレーティ
ング、或いは、プレーナーマグネトロンスパッタリング
により形成することができる。ガスバリヤー層の厚みは
１００Å〜５０００Åが好ましい。ガスバリヤー層の厚
みが１００Å未満ではガスバリヤー層が完全な連続構造
となっておらず、温度変化による積層フィルムの伸び縮
みでガスバリヤー層が破壊されてしまう確率が大きくな
る。ガスバリヤー層の厚みが５０００Åを越えると着色
による透明性の低下、ガスバリヤー層の内部応力に起因
するクラックの発生によるガスバリヤー性の低下が起こ
り好ましくない。
ｎの合金酸化物であってこれら金属酸化物に遷移元素等
の添加物を含有しているものならなんら問題ない。これ
らガスバリヤー層は公知のＥＢ蒸着、イオンプレーティ
ング、或いは、プレーナーマグネトロンスパッタリング
により形成することができる。ガスバリヤー層の厚みは
１００Å〜５０００Åが好ましい。ガスバリヤー層の厚
みが１００Å未満ではガスバリヤー層が完全な連続構造
となっておらず、温度変化による積層フィルムの伸び縮
みでガスバリヤー層が破壊されてしまう確率が大きくな
る。ガスバリヤー層の厚みが５０００Åを越えると着色
による透明性の低下、ガスバリヤー層の内部応力に起因
するクラックの発生によるガスバリヤー性の低下が起こ
り好ましくない。
【０００８】本発明に使用されるアンカーコーティング
層としては、エポキシアクリレートプレポリマーにシラ
ンカップリング剤を添加したものを紫外線硬化させたも
のが上げられる。積層フィルムに安定したガスバリヤー
性を付与するため、ガスバリヤー層を成膜する前にシラ
ンカップリング剤を含むエポキシアクリレート紫外線硬
化樹脂をアンカーコーティング層としてコーティングす
ると高分子フィルム表面が傷つきにくく鏡面となり、か
つガスバリヤー層と高分子フィルムの密着力が向上する
ため結果的に強固に密着しかつ緻密なガスバリヤー層を
形成することが可能となり、安定して１ｃｃ／ｍ2・ｄ
ａｙ・ａｔｍ以下の良好な酸素ガスバリヤー性を付与す
るに至った。シランカップリング剤の添加量は、０．５
〜１．０重量％が望ましい。シランカップリング剤とし
ては、例えば信越化学（株）のＫＢＭ−５０３、ＫＢＭ
−８０３、日本ユニカー（株）のＡ−１８７が用いられ
るが、特にエポキシ基、アミノ基、メルカプトン基を有
するものが好ましい。エポキシアクリレートプレポリマ
ーは、融点が５０℃以上のものが好ましく、例えば昭和
高分子（株）のＶＲ−６０があげられる。
層としては、エポキシアクリレートプレポリマーにシラ
ンカップリング剤を添加したものを紫外線硬化させたも
のが上げられる。積層フィルムに安定したガスバリヤー
性を付与するため、ガスバリヤー層を成膜する前にシラ
ンカップリング剤を含むエポキシアクリレート紫外線硬
化樹脂をアンカーコーティング層としてコーティングす
ると高分子フィルム表面が傷つきにくく鏡面となり、か
つガスバリヤー層と高分子フィルムの密着力が向上する
ため結果的に強固に密着しかつ緻密なガスバリヤー層を
形成することが可能となり、安定して１ｃｃ／ｍ2・ｄ
ａｙ・ａｔｍ以下の良好な酸素ガスバリヤー性を付与す
るに至った。シランカップリング剤の添加量は、０．５
〜１．０重量％が望ましい。シランカップリング剤とし
ては、例えば信越化学（株）のＫＢＭ−５０３、ＫＢＭ
−８０３、日本ユニカー（株）のＡ−１８７が用いられ
るが、特にエポキシ基、アミノ基、メルカプトン基を有
するものが好ましい。エポキシアクリレートプレポリマ
ーは、融点が５０℃以上のものが好ましく、例えば昭和
高分子（株）のＶＲ−６０があげられる。
【０００９】本発明に使用されるガスバリヤー層を覆う
保護コーティング層としては、エポキシアクリレートプ
レポリマーにシランカップリング剤を添加したものを紫
外線硬化させたものが上げられる。該保護コーティング
層は、透明でかつガスバリヤー層に対して密着力があ
り、かつ透明導電層形成時に電極膜膜質を損なうような
ガスの発生がないことをみいだした。シランカップリン
グ剤の添加量は、０．５〜１．０重量％が望ましい。シ
ランカップリング剤としては、例えば信越化学（株）の
ＫＢＭ−５０３、ＫＢＭ−８０３，日本ユニカー（株）
のＡ−１８７が用いられるが、特にエポキシ基、アミノ
基、メルカプトン基を有するものが好ましい。エポキシ
アクリレートプレポリマーは、融点が、５０℃以上のも
のが好ましく、例えば昭和高分子（株）のＶＲ−６０が
あげられる。
保護コーティング層としては、エポキシアクリレートプ
レポリマーにシランカップリング剤を添加したものを紫
外線硬化させたものが上げられる。該保護コーティング
層は、透明でかつガスバリヤー層に対して密着力があ
り、かつ透明導電層形成時に電極膜膜質を損なうような
ガスの発生がないことをみいだした。シランカップリン
グ剤の添加量は、０．５〜１．０重量％が望ましい。シ
ランカップリング剤としては、例えば信越化学（株）の
ＫＢＭ−５０３、ＫＢＭ−８０３，日本ユニカー（株）
のＡ−１８７が用いられるが、特にエポキシ基、アミノ
基、メルカプトン基を有するものが好ましい。エポキシ
アクリレートプレポリマーは、融点が、５０℃以上のも
のが好ましく、例えば昭和高分子（株）のＶＲ−６０が
あげられる。
【００１０】本発明に使用されるアンカー層としては例
えば旭電化（株）のＥＸＰ−４９−１０等ビスフェノー
ルＡ型のエポキシ熱硬化樹脂が上げられ、ガスバリヤー
層の上に塗布することによってガスバリヤー層と保護コ
ーティング層との密着力をより向上させることができ
る。従来の積層フィルムでは液晶表示装置を作製する
際、ＮａＯＨ溶液浸せき処理、ＨＣｌ溶液浸せき処理に
よりガスバリヤー層に欠陥が生じ、ガスバリヤー性が損
なわれる問題があったが、本発明によりガスバリヤー層
の上に該保護コーティングを施すことによりガスバリヤ
ー層に必要な耐久性を付与し解決することができた。透
明導電層の形成法としては、従来から公知の真空蒸着
法、イオンプレーティング法、スパッタ法等の物理的堆
積法が適用できる。
えば旭電化（株）のＥＸＰ−４９−１０等ビスフェノー
ルＡ型のエポキシ熱硬化樹脂が上げられ、ガスバリヤー
層の上に塗布することによってガスバリヤー層と保護コ
ーティング層との密着力をより向上させることができ
る。従来の積層フィルムでは液晶表示装置を作製する
際、ＮａＯＨ溶液浸せき処理、ＨＣｌ溶液浸せき処理に
よりガスバリヤー層に欠陥が生じ、ガスバリヤー性が損
なわれる問題があったが、本発明によりガスバリヤー層
の上に該保護コーティングを施すことによりガスバリヤ
ー層に必要な耐久性を付与し解決することができた。透
明導電層の形成法としては、従来から公知の真空蒸着
法、イオンプレーティング法、スパッタ法等の物理的堆
積法が適用できる。
【００１１】
《実施例１》 高分子フィルムに厚さ１００μｍのポリ
エーテルスルフォンフィルムを用い、その両面にアンカ
ーコーティング層を分子量約１０４０、融点５５℃のエ
ポキシアクリレートプレポリマー（昭和高分子（株）製
ＶＲ−６０）１００重量部、ジエチレングリコール２０
０重量部、酢酸エチル１００重量部、ベンゼンエチルエ
ーテル２重量部、シランカップリング剤（信越化学
（株）製ＫＢＭ−５０３）１重量部を５０℃にて撹はん
溶解して均一な溶液をディップ法により塗布し、８０℃
１０分加熱した後紫外線を照射して形成した。ガスバリ
ヤー層としてアンカーコーティング層のどちらかの面上
に、バルクに対する相対重量密度９５％以上のＩｎ、Ｓ
ｎ（ＳｎＯ2１０ｗｔ％含有）の合金酸化物ターゲット
を用いたプレーナーマグネトロンスパッタリングによ
り、厚み２００Å、比抵抗５×１０-4Ω・ｃｍのＩｎ、
Ｓｎの合金酸化膜を形成した。
エーテルスルフォンフィルムを用い、その両面にアンカ
ーコーティング層を分子量約１０４０、融点５５℃のエ
ポキシアクリレートプレポリマー（昭和高分子（株）製
ＶＲ−６０）１００重量部、ジエチレングリコール２０
０重量部、酢酸エチル１００重量部、ベンゼンエチルエ
ーテル２重量部、シランカップリング剤（信越化学
（株）製ＫＢＭ−５０３）１重量部を５０℃にて撹はん
溶解して均一な溶液をディップ法により塗布し、８０℃
１０分加熱した後紫外線を照射して形成した。ガスバリ
ヤー層としてアンカーコーティング層のどちらかの面上
に、バルクに対する相対重量密度９５％以上のＩｎ、Ｓ
ｎ（ＳｎＯ2１０ｗｔ％含有）の合金酸化物ターゲット
を用いたプレーナーマグネトロンスパッタリングによ
り、厚み２００Å、比抵抗５×１０-4Ω・ｃｍのＩｎ、
Ｓｎの合金酸化膜を形成した。
【００１２】《実施例２》 高分子フィルムに厚さ１０
０μｍのポリエーテルスルフォンフィルムを用い、その
両面にアンカーコーティング層を分子量約１０４０、融
点５５℃のエポキシアクリレートプレポリマー（昭和高
分子（株）製ＶＲ−６０）１００重量部、ジエチレング
リコール２００重量部、酢酸エチル１００重量部、ベン
ゼンエチルエーテル２重量部、シランカップリング剤
（信越化学（株）製ＫＢＭ−５０３）１重量部を５０℃
にて撹はん溶解して均一な溶液をディップ法により塗布
し、８０℃１０分加熱した後紫外線を照射して形成し
た。ガスバリヤー層としてアンカーコーティング層のど
ちらかの面上に、バルクに対する相対重量密度９５％以
上のＩｎ、Ｓｎ（ＳｎＯ2１０ｗｔ％含有）の合金酸化
物ターゲットを用いたプレーナーマグネトロンスパッタ
リングにより、厚み２００Å、比抵抗５×１０-4Ω・ｃ
ｍのＩｎ、Ｓｎの合金酸化膜を形成した。このようにし
て作った積層フィルムにおいて酸素ガスバリヤー性を測
定したところ０．３ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍであっ
た。ガスバリヤー層の上にアンカー層をエポキシビスフ
ェノールＡ型熱硬化樹脂（旭電化（株）製ＥＰＸ−４９
−１０）を同量の酢酸メチルで希釈してバーコーターに
てコーティングした後８０℃で２時間硬化させることに
より形成した。その上に保護コートティング層を分子量
約１０４０、融点５５℃のエポキシアクリレートプレポ
リマー（昭和高分子（株）製ＶＲ−６０）１００重量
部、ジエチレングリコール２００重量部、酢酸エチル１
００重量部、ベンゼンエチルエーテル２重量部、シラン
カップリング剤（信越化学（株）製ＫＢＭ−５０３）１
重量部を５０℃にて撹はん溶解して均一な溶液をバーコ
ーターにより塗布し、８０℃１０分加熱した後紫外線を
照射して形成した。ガスバリアー層を形成した面とは反
対のポリエーテルスルフォンフィルム面にリアクティブ
マグネトロンスパッタ装置により厚さ３００ÅのＩｎ，
Ｓｎの合金酸化物膜を形成し透明導電層とした。このよ
うにして作った積層フィルムにおいて透明導電層を形成
する前の状態で濃度１規定、液温３０℃のＨＣｌに５分
間浸せきする前後で酸素ガスバリヤー性を測定したとこ
ろ処理前後ともに０．３ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍで
あった。
０μｍのポリエーテルスルフォンフィルムを用い、その
両面にアンカーコーティング層を分子量約１０４０、融
点５５℃のエポキシアクリレートプレポリマー（昭和高
分子（株）製ＶＲ−６０）１００重量部、ジエチレング
リコール２００重量部、酢酸エチル１００重量部、ベン
ゼンエチルエーテル２重量部、シランカップリング剤
（信越化学（株）製ＫＢＭ−５０３）１重量部を５０℃
にて撹はん溶解して均一な溶液をディップ法により塗布
し、８０℃１０分加熱した後紫外線を照射して形成し
た。ガスバリヤー層としてアンカーコーティング層のど
ちらかの面上に、バルクに対する相対重量密度９５％以
上のＩｎ、Ｓｎ（ＳｎＯ2１０ｗｔ％含有）の合金酸化
物ターゲットを用いたプレーナーマグネトロンスパッタ
リングにより、厚み２００Å、比抵抗５×１０-4Ω・ｃ
ｍのＩｎ、Ｓｎの合金酸化膜を形成した。このようにし
て作った積層フィルムにおいて酸素ガスバリヤー性を測
定したところ０．３ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍであっ
た。ガスバリヤー層の上にアンカー層をエポキシビスフ
ェノールＡ型熱硬化樹脂（旭電化（株）製ＥＰＸ−４９
−１０）を同量の酢酸メチルで希釈してバーコーターに
てコーティングした後８０℃で２時間硬化させることに
より形成した。その上に保護コートティング層を分子量
約１０４０、融点５５℃のエポキシアクリレートプレポ
リマー（昭和高分子（株）製ＶＲ−６０）１００重量
部、ジエチレングリコール２００重量部、酢酸エチル１
００重量部、ベンゼンエチルエーテル２重量部、シラン
カップリング剤（信越化学（株）製ＫＢＭ−５０３）１
重量部を５０℃にて撹はん溶解して均一な溶液をバーコ
ーターにより塗布し、８０℃１０分加熱した後紫外線を
照射して形成した。ガスバリアー層を形成した面とは反
対のポリエーテルスルフォンフィルム面にリアクティブ
マグネトロンスパッタ装置により厚さ３００ÅのＩｎ，
Ｓｎの合金酸化物膜を形成し透明導電層とした。このよ
うにして作った積層フィルムにおいて透明導電層を形成
する前の状態で濃度１規定、液温３０℃のＨＣｌに５分
間浸せきする前後で酸素ガスバリヤー性を測定したとこ
ろ処理前後ともに０．３ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍで
あった。
【００１３】《比較例１》 アンカーコーィング層を省
いた以外は、実施例１と同様に作った積層フィルムにお
いて、電極形成前に酸素ガスバリヤー性を測定したとこ
ろ７ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍであり、ガスバリヤー
性は不十分であった。 《比較例２》 アンカーコーィング層を省いた以外は、
実施例２と同様に作った積層フィルムにおいて、電極形
成前に酸素ガスバリヤー性を測定したところ１２ｃｃ／
ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍであり、ガスバリヤー性は不十分
であった。 《比較例３》保護コーティング層、保護コーティング層
のためのアンカー層を省略した以外は実施例２と同様に
して作った積層フィルムにおいて、電極形成前の状態で
の酸素ガスバリヤー性は０．５ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａ
ｔｍであったが濃度１規定、液温３０℃のＨＣｌに５分
間浸せきした後測定したところ１００ｃｃ／ｍ2・ｄａ
ｙ・ａｔｍと劣化しており不十分であった。 《比較例４》保護コーティング層のためのアンカー層を
省略した以外は実施例２と同様にして作った積層フィル
ムにおいて、電極形成前の状態での酸素ガスバリヤー性
は０．５ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ、濃度１規定、液
温３０℃のＨＣｌに５分間浸せきした後測定したところ
０．５ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍと良好なバリヤー性
が得られたが、保護コーチィングとガスバリヤー層間で
充分な密着力が得られずクロスカットセロテープ剥離試
験で３／１００と耐久性が実用レベルにないことがわか
った。
いた以外は、実施例１と同様に作った積層フィルムにお
いて、電極形成前に酸素ガスバリヤー性を測定したとこ
ろ７ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍであり、ガスバリヤー
性は不十分であった。 《比較例２》 アンカーコーィング層を省いた以外は、
実施例２と同様に作った積層フィルムにおいて、電極形
成前に酸素ガスバリヤー性を測定したところ１２ｃｃ／
ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍであり、ガスバリヤー性は不十分
であった。 《比較例３》保護コーティング層、保護コーティング層
のためのアンカー層を省略した以外は実施例２と同様に
して作った積層フィルムにおいて、電極形成前の状態で
の酸素ガスバリヤー性は０．５ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａ
ｔｍであったが濃度１規定、液温３０℃のＨＣｌに５分
間浸せきした後測定したところ１００ｃｃ／ｍ2・ｄａ
ｙ・ａｔｍと劣化しており不十分であった。 《比較例４》保護コーティング層のためのアンカー層を
省略した以外は実施例２と同様にして作った積層フィル
ムにおいて、電極形成前の状態での酸素ガスバリヤー性
は０．５ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ、濃度１規定、液
温３０℃のＨＣｌに５分間浸せきした後測定したところ
０．５ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍと良好なバリヤー性
が得られたが、保護コーチィングとガスバリヤー層間で
充分な密着力が得られずクロスカットセロテープ剥離試
験で３／１００と耐久性が実用レベルにないことがわか
った。
【００１４】
【発明の効果】本発明により、工業的設備での液晶表示
装置組み立て時に機械的、化学的な損傷を受けない、透
明性、ガスバリヤー性、耐久性に優れた積層フィルムを
提供することが可能となった。
装置組み立て時に機械的、化学的な損傷を受けない、透
明性、ガスバリヤー性、耐久性に優れた積層フィルムを
提供することが可能となった。
Claims (1)
- 【請求項１】 高分子フィルムの片側表面にシランカッ
プリング剤を含むエポキシアクリレート紫外線硬化樹脂
によるアンカーコーティング層、その上にＩｎ、Ｓｎの
合金酸化物の無機薄膜によるガスバリヤー層、その上に
ビスフェノールＡ型のエポキシ熱硬化樹脂によるアンカ
ー層、その上にシランカップリング剤を含むエポキシア
クリレート紫外線硬化樹脂による保護コーティング層、
更にどちらかの面の上に透明導電層を形成することを特
徴とする積層フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28199195A JP3194855B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 積層フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28199195A JP3194855B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 積層フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09123333A JPH09123333A (ja) | 1997-05-13 |
| JP3194855B2 true JP3194855B2 (ja) | 2001-08-06 |
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ID=17646713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28199195A Expired - Fee Related JP3194855B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 積層フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3194855B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| TW434301B (en) * | 1996-01-30 | 2001-05-16 | Becton Dickinson Co | Non-ideal barrier coating composition comprising organic and inorganic materials |
| JP3478368B2 (ja) * | 1997-05-30 | 2003-12-15 | 住友ベークライト株式会社 | 透明帯電防止バリアフィルム |
| JPH10329254A (ja) * | 1997-05-30 | 1998-12-15 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 積層フィルム及び液晶表示素子 |
| JP3313306B2 (ja) * | 1997-05-30 | 2002-08-12 | 住友ベークライト株式会社 | 帯電防止フィルム |
| JP3953161B2 (ja) * | 1997-11-14 | 2007-08-08 | 藤森工業株式会社 | 透明導電性シートの製造法 |
| JP2000007978A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-11 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | コーティング材及び積層体 |
| PT1138476E (pt) * | 1998-08-21 | 2005-02-28 | Toppan Printing Co Ltd | Pelicula de deposicao de vapor e material de embalagem |
| JP4827293B2 (ja) * | 2000-11-24 | 2011-11-30 | 株式会社きもと | 無機薄膜用保護膜 |
| JP2003140123A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Nippon Shokubai Co Ltd | 液晶表示装置用基板 |
| JP4148794B2 (ja) * | 2002-02-25 | 2008-09-10 | 住友ベークライト株式会社 | 蒸着膜用樹脂及びこれを用いたガスバリア性プラスチックフィルム |
| JP5432490B2 (ja) * | 2008-09-25 | 2014-03-05 | 株式会社日本触媒 | 樹脂基材用コーティング組成物及び積層体 |
| JP5810579B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-11-11 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア積層フィルム |
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| CN113242792B (zh) * | 2018-12-12 | 2023-05-23 | 大塚化学株式会社 | 透明导电层形成用基材、透明导电性膜、触摸面板以及透明导电层形成用基材的制造方法 |
-
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