JPH09174747A - 透明導電フィルム - Google Patents
透明導電フィルムInfo
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- JPH09174747A JPH09174747A JP7336664A JP33666495A JPH09174747A JP H09174747 A JPH09174747 A JP H09174747A JP 7336664 A JP7336664 A JP 7336664A JP 33666495 A JP33666495 A JP 33666495A JP H09174747 A JPH09174747 A JP H09174747A
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Abstract
性の耐久信頼性に優れ、透明性、光学等方性、耐溶剤
性、平滑性に優れた透明導電フィルムを提供する。 【解決手段】 ポリカーボネート等のプラスチックフィ
ルムの少なくとも一方の面に、ガスバリア層、耐溶剤
層、透明導電層がこの順序で積層されており、ガスバリ
ア層は金属酸化物からなり、耐溶剤層は放射線硬化型ア
クリル系樹脂に対し、ビニルトリメトキシシラン等の、
一般式(1)及び/又は(2) R1 −Si(OR2 )3 ・・・(1) Si(OR2 )4 ・・・(2) で示されるアルコキシシランの加水分解物を固形分の重
量比で20:1〜1:3 で混合した樹脂組成物の硬化層であ
る。
Description
に関し、詳しくは、透明性、光学等方性、平滑性、耐溶
剤性、層間の密着性およびガスバリア等の諸特性に優
れ、特に環境湿度に伴うガスバリア性の変化が小さく、
かつ密着性の経時劣化が少なく、例えば液晶表示パネル
の透明電極基板に用いた場合に表示品位や信頼性が高
く、エレクトロルミネッセンスパネルやエレクトロクロ
ミックパネル等の透明電極基板としても使用が可能な透
明導電フィルムに関する。
り大型化という要求に加え、長期信頼性、形状の自由
度、曲面表示等の高度な要求がなされている。特に、ペ
イジャー(ポケットベル)、携帯電話、電子手帳、ペン
入力機器など、携帯して移動可能な機器が著しく普及す
るにつれ、従来の厚く、重く、割れやすいガラス基板に
代わり、プラスチックを基板とする液晶表示パネルが検
討され、一部で実用化されてきている。こうしたプラス
チック液晶基板が、特開昭56−130010号公報等
に記載されている。
性(以後、まとめてガスバリア性と称す)の改善された
プラスチック基板も特開昭61−41122号公報や、
特開昭61−73924号公報、特開平3−9323号
公報等に記載されている。
ち、特開昭61−41122号公報、特開平3−932
3号公報等に記載のガスバリア性を付与するためのガス
バリア層としてポリビニルアルコール系樹脂のみを積層
したものでは、50%RH以下の低湿度での耐透気性に
は優れたいるものの、それよりも高い湿度、例えば90
%RHでの耐透気性、耐水蒸気透過性に劣るという欠点
がある。また、ポリビニルアルコール系樹脂層が透明導
電層直下、あるいは最外層に設けられた場合、水系溶液
に容易に侵されるという問題もある。この他、有機系の
ガスバリア層材料として、ポリアクリロニトリルやポリ
塩化ビニリデン等があるが、取り扱い性、環境問題の観
点から好まれない。
にはガスバリア層として金属酸化物層を設けたプラスチ
ック基板が記載されている。この場合、湿度に殆ど依存
しないガスバリア性が得られるが、層を厚くすると機械
的特性、すなわちわずかな屈曲でガスバリア層が割れて
しまう等の問題があるため、良好な機械的特性を維持し
たまま、良好なガスバリア性を付与することは困難であ
った。また、このような金属酸化物、特に生産性が良好
で好適に使用される酸化珪素層が最外層にある場合、ア
ルカリ水溶液で容易に侵食されるという欠点がある。
5143号公報では、耐スクラッチ性を向上させるとい
う観点で、金属酸化物層の上、あるいは下に、硬化性樹
脂を積層することが開示されている。しかし、高度なガ
スバリア性と、各層の密着性、アルカリ水溶液を含めた
耐溶剤性については十分に検討がなされていない。
してプラスチック基板を用いる場合には透明性、光学等
方性、平坦性、耐溶剤性、層間の密着性、ガスバリア性
等の諸特性において高い性能が要求される。
ている場合には、表示の明るさ、コントラストの低下や
着色の発生等の問題が起きる。
が不均一になったり、液晶の配向ムラを生じて表示品位
が低下する。
要な特性であり、透明導電層のエッチングに用いる酸性
水溶液、レジスト現像時に用いるアルカリ性水溶液、液
晶配向膜形成時に用いるN−メチルピロリドン、γ−ブ
チルラクトン等の有機溶剤等への耐性が低いと基板の外
観および平坦性の悪化等を引き起こす。
パネル作成時に於いて剥離やクラック等が発生しやすく
なり、又、密着性が経時的に低下していくような場合に
は耐衝撃性が低下し、パネルの長期信頼性に劣る結果に
なる。
を通して大気中の酸素や窒素もしくは水蒸気等が液晶層
に出入りし、液晶の劣化や気泡の発生等を引き起こしや
すく、表示不良の原因となる。
属酸化物層を積層した場合には、前述のように、アルカ
リ水溶液等への耐溶剤性が問題となる。この為、金属酸
化物層上には高い耐溶剤性と密着性を有する層を積層す
ることが必要となる。
金属酸化物層上への密着性に優れた耐溶剤層を得て、透
明性、光学等方性、平坦性、耐溶剤性、層間の密着性、
ガスバリア性の諸性能に優れた透明導電フィルムを提供
することを目的としている。
み、鋭意研究の結果、耐溶剤層として、放射線硬化型樹
脂と特定のアルコキシシランの加水分解物とを含有する
樹脂組成物の硬化層が前記目的を達成できることを見出
し、本発明に到達した。
ムの少なくとも一方の面に、ガスバリア層と耐溶剤層と
透明導電層がこの順序で積層されてなる透明導電フィル
ムに於いて、ガスバリア層が金属酸化物からなる層であ
り、耐溶剤層が放射線硬化型樹脂に対し、一般式(1)
及び/又は(2) R1 −Si(OR2 )3 ・・・(1) Si(OR2 )4 ・・・(2) (R1 はメチル基、エチル基、ビニル基またはアクリロ
イル基、メタクリロイル基、アミノ基もしくはエポキシ
基を含む有機基を、R2 はメチル基またはエチル基を示
す)で表されるアルコキシシランの加水分解物を固形分
の重量比率で20:1〜1:3の範囲で混合した樹脂組
成物の硬化層であることを特徴とする透明導電フィルム
である。
ィルムであって、基板であるプラスチックフィルムが溶
液流延法により成膜した厚さ70〜200μmのプラス
チックフィルムであり、透明導電フィルムのリタデーシ
ョン値が20nm以下、波長550nmでの光線透過率
が80%以上であるものが好ましい。
ルム面に、アンカーコート層、ポリビニルアルコール系
樹脂層及び保護層をこの順に積層されている透明導電フ
ィルムも本発明の範囲に含まれる。
フィルムは、プラスチックフィルム上に金属酸化物から
なるガスバリア層、特定の樹脂組成物の硬化層からなる
耐溶剤性を有する耐溶剤層及び透明導電層を積層したも
のである。
ム、マグネシウム、亜鉛等の絶縁酸化物層が挙げられ、
ガスバリア性に優れる材料として知られる。これら金属
酸化物層は、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーテ
ィング法、プラズマCVD法等の気相中より材料を堆積
させて膜形成する気相堆積膜形成法により作製される。
金属酸化物として好適なのは、ガスバリア性、透明性、
表面平坦性、屈曲性、膜応力、コスト等の点から酸化硅
素、特に好ましくは平均組成をSiOxで表した時のX
が1.5≦x≦2の酸化硅素である。
X線マイクロ分光法、オージェ電子分光法、ラザフォー
ド後方散乱法などにより分析、決定されるが、SiOx
のX値は、可視光線領域での透過率、屈曲性などの面か
ら上述の1.5≦x≦2の範囲が好ましい。SiOxの
X値が1.5よりも小さくなると、屈曲性、透明性が悪
くなる。
00nmの範囲が好ましい。膜厚が5nmよりも薄いと
ピンホールが発生しやすく、ガスバリア性も低下しやす
くなる。又、膜厚が100nmよりも厚いと屈曲性が低
下し、透明性も低下するので好ましくない。
(1)で示される、及び/又は式(2)で示されるアル
コキシシランの加水分解物とを混合した樹脂組成物を硬
化させた層である。
溶剤性を得るために必要であり、前記式(1)及び/又
は式(2)で表されるアルコキシシランの加水分解物は
酸化珪素層上で高い密着性および耐久性を得る為に必要
な成分である。
の放射線を照射することによって硬化が進行する樹脂を
指し、例えば分子あるいは単位構造内にアクリロイル
基、メタクリロイル基、ビニル基等の不飽和二重結合を
含む樹脂を挙げることができ、中でも特に反応性の面か
ら、アクリロイル基を含む樹脂が好ましい。
に記すように、耐溶剤性、特に所定の硬化条件下におい
て硬化させたとき、耐溶剤性を有していることが好まし
い。すなわち、樹脂100重量部に対し、光開始剤2−
ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−
オン(メルク社製商品名ダロキュアー1173)8重量
部が添加されてなる混合物を、必要に応じて適当な溶媒
で希釈して、100μm厚のポリカーボネートフィルム
上にコーティングし、乾燥膜厚3μmの樹脂層を形成し
た後、160W/cmの高圧水銀灯を用いて積算光量8
00mJ/cm 2 の条件で紫外線を照射し、樹脂層を硬
化させ、硬化した樹脂層の上に、N−メチルピロリド
ン、3.5wt%水酸化ナトリウム水溶液、エッチング
液(35wt%塩化第2鉄水溶液、35wt%塩酸、水
を1:1:10の割合で混合したもの)をそれぞれ数滴
ずつ滴下し、25℃で15分放置した後に樹脂層の白
濁、膨潤、溶解等の外観変化が目視で観察されないこと
である。
も、数種の混合組成でも構わないが、耐溶剤性の観点か
ら分子あるいは単位構造内に2個以上のアクリロイル基
を有する多官能アクリレート成分が樹脂組成中に含まれ
ることが好ましい。かかる多官能アクリレート成分とし
ては、例えばジペンタエリスリトールペンタアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペン
タエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリ
アクリレート等の各種アクリレートモノマーや、ポリエ
ステル変性もしくはウレタン変性の多官能アクリレート
オリゴマー等が挙げられるが、これらに限定されるもの
ではない。
(1)および又は(2) R1 −Si(OR2 )3 ・・・・(1) Si(OR2 )4 ・・・・・(2) (R1 はメチル基、エチル基、ビニル基またはアクリロ
イル基、メタクリロイル基もしくはアミノ基を含む有機
基を、R2 はメチル基またはエチル基を示す)で表され
るアルコキシシランを公知の方法により加水分解して得
られたものが好ましい。そして、これらのアルコキシシ
ランの中でも特に、ビニルトリメトキシシラン、ビニル
トリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキ
シシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエト
キシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等を好ま
しく用いることができる。
び/又は(2)で表されるアルコキシシランの加水分解
物との混合比は、固形分の重量比率で20:1〜1:3
の範囲にあることが好ましい。混合比が20:1より小
さくなると、金属酸化物層との密着性が低下する傾向が
あり、混合比が1:3より大きくなると耐溶剤性や硬化
性が低下する傾向が観られ好ましくない。
(1)及び/又は(2)で表される適当なアルコキシシ
ランを加水分解せずに添加することも好ましく行われ
る。このようにして添加されたアルコキシシランの一部
は、樹脂組成物が金属酸化物層上に塗工された際に、該
層上や大気中の水分により急速に加水分解される為、あ
らかじめ樹脂組成物中に含まれていたアルコキシシラン
の加水分解物と同じような機能を発揮し、層の密着性を
高めることができる。このようなアルコキシシランとし
ては、特にビニルトリメトキシシラン、γ−アクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン、γ−グルシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン等が好ましく用いられる。添加
量としては、全固形分重量に対し20%以内が好まし
い。添加量が20%以上では層の耐溶剤性、特に耐アル
カリ水溶液性が低下する傾向があり好ましくない。
ルムに積層した金属酸化物層の上に湿式塗工される。塗
工方法としては、例えばリバースロールコート法、マイ
クログラビヤコート法、ダイレクトグラビヤコート法、
キスコート法、ダイコート法等の公知の方法が用いられ
る。又、適当な有機溶媒で樹脂組成物の希釈を行うこと
により塗液粘度の調整や、層の膜厚の調整が可能であ
る。
める目的で、金属酸化物層の表面処理が好適に行われ
る。このような表面処理としては、コロナ処理、プラズ
マ処理、アルカリ処理等の公知技術を用いることができ
る。
化法等の放射線を照射することにより行われる。ここで
層の緻密性を高める為には、塗膜中に含まれる溶媒成分
を蒸発させた後に硬化を行う事がより好ましい。紫外線
硬化法を用いる場合、前記樹脂組成物に公知の光反応開
始剤を適量添加する。光反応開始剤としては、例えば、
ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−1−{4−
(メチルチオ)フェニル}−2−モルフォリノプロパ
ン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパ
ン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン等のアセトフェノン系化合物;ベンゾイン、ベン
ジルジメチルケタール等のベンゾイン系化合物;ベンゾ
フェノン、ベンゾイル安息香酸等のベンゾフェノン系化
合物;チオキサンソン、2,4−ジクロロチオキサンソ
ン等のチオキサンソン系化合物等が挙げられる。又、よ
り硬化性を向上させる為には、トリエタノールアミン、
メチルジエタノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香
酸エチル等の公知の反応開始助剤を適量添加することも
効果的である。
と硬化収縮に伴うカールの観点から、好ましくは硬化後
の膜厚が2〜6μmである。
に積層された初期段階はもちろんのこと、60℃、90
%RHの湿熱条件および90℃、ドライの耐熱条件具体
的には熱風乾燥機で温度を90℃に設定した耐熱条件下
で250時間以上の耐久性試験を行った場合でも接着性
の悪化は観られない。又、耐溶剤性に関しても、透明導
電層のエッチングに用いる酸性水溶液、レジスト現像時
に用いるアルカリ性水溶液、液晶配向膜形成時に用いる
N−メチルピロリドン等の有機溶剤等への耐性は充分で
あり、耐溶剤性に優れている。 耐溶剤層上に積層され
る透明導電層としては、公知のもの、例えば錫、インジ
ウム、亜鉛等の金属またはこれらの酸化物による層が適
用でき、スパッタリング法、真空蒸着法などの公知の手
段で設けることができる。
晶性のインジウム酸化物からなり、その組成分として錫
を5〜15重量%含有し、かつ、膜厚が20〜200n
mの範囲にあるものが層の透明性、導電性、屈曲性等の
観点から好ましい。
は、非結晶性のものと比較すると透明性、導電性は高い
が、耐屈曲性に問題があり、特にフィルム上に結晶性の
層を成膜した場合には、このフィルムを屈曲した際に割
れを生じやすく信頼性、取り扱い性が悪くなってしま
う。
結晶性、非結晶性を次のように定義している。すなわ
ち、成膜したインジウム酸化物層の表面を透過型電子顕
微鏡で観察した時に、非結晶質の表面に高々100nm
程度の大きさの微結晶粒が点在するのが観察される。こ
の観察方法で、単位面積(100μm2 )当たりの微結
晶粒の面積割合が20%以下の場合を非結晶性と定義し
ている。
であるが、微量の不純物を含有する場合や、わずかに酸
素不足の場合には半導体になる。好ましい半導体金属酸
化物としては、不純物として錫、またはフッ素を含むイ
ンジウム酸化物を挙げることができ、特に錫を5〜15
重量%含有するインジウム酸化物層が高い透明性を保ち
つつ、良好な導電性を示すので好ましい。
の範囲が好ましい。20nmより薄い場合には透明電極
層としての導電性が不十分になり、200nmより厚い
場合には透明性や耐屈曲性の悪化が観られ好ましくな
い。
基板の透明性や光学等方性、平滑性が特に必要とされる
ことから、本発明の透明導電フィルムのリタデーション
値は20nm以下で、波長550nmでの光線透過率が
80%以上、ヘイズ値は1%以下であることが好まし
い。
して用いるプラスチックフィルムは溶液流延法によって
製造されることが好ましく、厚さは70〜200μmの
範囲にあることが好ましい。
液流延可能、すなわち適当な溶媒に溶解可能なポリマー
であれば使用することができるが、光学特性、熱特性の
面からポリアリレートやポリカーボネートを用いる事が
好ましい。
性、機械特性の面から、特にビスフェノールAのみから
なるビスフェノール成分よりなり、分子量30,000
以上でガラス転移温度150℃以上のポリカーボネート
が好ましい。又、耐熱性向上の為、共重合成分として、
例えば9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオ
レンあるいは1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)
3,3,5−トリメチルシクロヘキサン等を用いること
ができる。
ネートフィルムでは、リタデーション値が20nm以
下、遅相軸のばらつき角度が±15度以下の優れた光学
等方性を得ることが可能である。又、フィルム成膜時に
空気層と接する側のフィルム面(以下エアー面と称す)
の表面粗さRaが1nm以下、フィルム成膜時に支持体
となるベルトと接する側のフィルム面(以下ベルト面と
称す)に於いても表面粗さRaが数nm程度の非常に優
れた平滑性を得ることができる。
の、複屈折の屈折率の差△nと膜厚dとの積△n・dで
あり、ここでは波長590nmでの測定値に代表させて
いる。リタデーション値および遅相軸の角度は各種の複
屈折率測定装置にて測定が可能であるが、ここでは日本
分光株式会社製の多波長複屈折率測定装置M−150を
用いて測定を行っている。
を測定原理としているWYKO社製TOPO−3Dを用
い、40倍の倍率でフィルム上の256μm角の正方形
の部分を1μm間隔にてスキャンし測定した時に得られ
た、中心線平均粗さの値である。
溶剤性を有する耐溶剤層及び透明導電層が積層された面
と反対のフィルム面に、アンカーコート層、ポリビニル
アルコール系樹脂層及び保護層をこの順に積層されてい
る透明導電フィルムもその範囲に含む。このような層を
さらに有する透明導電フィルムは、更にガスバリア性に
優れる。
ン2/20MLを用いて酸素透過度を測定した場合に、
30℃、50%RHの測定条件で、1cc/(m2 ・d
ay・atm)以下、30℃、90%RHの測定条件で
20cc/(m2 ・day・atm)以下の耐透気性が
得られ、また、同社製、パーマトランW1Aを用いて、
透明導電層を設ける面の反対面を加湿側に配置して水蒸
気透過度を測定した場合に、40℃、90%RHの測定
条件で20g/(m2 ・day・atm)以下の耐水蒸
気透過性が得られる。
ックフィルムの金属酸化物層と耐溶剤層を積層した面と
反対の面にアンカーコート層、ポリビニルアルコール系
樹脂層及び保護層をこの順に積層すると作業した後に透
明導電層を積層して作成すると、製膜プロセスにおい
て、導電層へ傷が入りにくく好ましい。
湿度環境下でのガスバリア性に優れており、公知の市販
のものが適用できる。具体的にはビニルアルコール成
分、ビニルアルコール共重合体成分よりなる群から選ば
れた少なくとも1種の成分を50モル%以上含有する高
分子樹脂が好ましい。このビニルアルコール共重合体と
しては、例えば、ビニルアルコール/酢酸ビニル共重合
体、ビニルアルコール/ビニルブチラール共重合体、エ
チレン/ビニルアルコール共重合体、あるいはこれらの
架橋体等が挙げられる。
ックフィルムとの密着性を確保する為に、アンカーコー
ト層を有することが好ましい。このようなアンカーコー
ト層としては、ウレタン系硬化樹脂層が好ましく、その
中でも特にフェノキシ系硬化樹脂層が好ましい。
層の積層されていない側のフィルム面にも、透明導電層
のエッチングに用いる酸性水溶液、レジスト現像時に用
いるアルカリ性水溶液等に対する耐溶剤性が必要であ
る。しかし、前記ポリビニルアルコール系樹脂層は、一
般的に、アルカリ性水溶液、酸性水溶液にさらされた場
合に層の膨潤が起こりやすく、耐溶剤性が不十分であ
る。この為、ポリビニルアルコール系樹脂層上に耐溶剤
性を有する保護層を有することが好ましい。このような
保護層としては、前記フェノキシ系硬化樹脂層、エポキ
シ系硬化樹脂層、シリコン系硬化樹脂層等を好ましく挙
げることができる。
明する。
価は以下の要領にて行った。
として代表的なN−メチルピロリドンを耐溶剤層の形成
された側のサンプル面に数滴滴下し、25℃で10分放
置後の白濁、膨潤、溶解等の外観の変化を目視にて観察
することによって行い、変化が確認されない場合に耐有
機溶剤性を有すると評価した。
ジストを溶解する際に用いられる3.5wt%水酸化ナ
トリウム水溶液にサンプルを25℃で10分間浸漬し、
その後流水にて充分洗浄を行った後に乾燥させ、外観を
目視にて観察することによって行い、変化が確認されな
い場合に耐アルカリ水溶液性を有すると評価した。
グする際に用いるエッチング液(35wt%塩化第2鉄
水溶液、35wt%塩酸、水を1:1:10の割合で混
合したもの)に25℃で10分間浸漬し、その後流水に
て充分洗浄を行った後に乾燥させ、外観を目視にて観察
することによって行い、変化が確認されない場合に耐酸
性水溶液性を有すると評価した。
水溶液性、耐酸性水溶液性の全てを有する場合に耐溶剤
性を有するとした。
を測定することによって行った。酸素透過度はMOCO
N社製オキシトラン2/20MLを用い、30℃、50
%RHの低湿度環境下と30℃、90%RHの高湿度環
境下で測定した。又、水蒸気透過度は、MOCON社製
パーマトランW1Aを用い、透明導電層を設ける面と反
対面を加湿側に向けて配置し、40℃、90%RHの加
湿条件下で測定した。
盤目テスト(碁盤目テープ法)によって行った。
製、U−3500型)を用いて平行光線での透過率を測
定した。
0Aを用いて測定を行った。
X線光電子分光法、X線マイクロ分光法、オージェ電子
分光法等の公知の技術により測定を行った。
ェノールAのみからなる平均分子量37,000のポリ
カーボネート樹脂を用いて溶液流延法により以下のよう
にポリカーボネートフィルムを製膜した。
のメチレンクロライドに濃度20重量%に溶解し、得ら
れた溶液をダイコーティング法により支持体の厚さ17
5μmのポリエステルフィルム上に流延して製膜した。
ついで、乾燥工程で残留溶媒濃度を13重量%になるま
で蒸発除去した後に、ポリエステルフィルムからポリカ
ーボネートフィルムを剥離した。得られたポリカーボネ
ートフィルムを温度120℃の乾燥炉中で縦横の張力を
バランスさせながら、残留溶媒濃度が0.08重量%に
なるまで乾燥した。
μmであった。そして表面粗さRaはエアー面が0.5
nm、ベルト面が2.1nmであった。
エアー面上に、SiOを蒸着源とし、真空度6.7mP
a下で真空蒸着することによって、厚さ25nm、X約
1.7の酸化珪素(SiOx )層を形成した。
0mJ/cm2 にてコロナ処理を行った後に、以下のよ
うな耐溶剤層を積層した。
トリメトキシシラン(信越化学社製、商品名KBM10
03)148重量部を入れ、激しく撹拌を行いながら
0.01規定の塩酸水54部を徐々に添加し、更に3時
間ゆっくりと撹拌を行うことによりビニルトリメトキシ
シランの加水分解液を得た。
レート(東亞合成化学社製、商品名アロニックスM−3
09)50重量部、前記ビニルトリメトキシシランの加
水分解液を100重量部、未加水分解のビニルトリメト
キシシラン10重量部、光開始剤2−ヒドロキシ−2−
メチル−1−フェニルプロパン−1−オン(メルク社
製、商品名ダロキュアー1173)8重量部およびレベ
リング剤としてシリコンオイル(東レ・ダウコーニング
シリコン社製、SH28PA)0.02重量部を混合し
て塗液とした。
用いてコーティングし、60℃で1分間加熱して塗膜中
の残留溶剤を揮発除去した後、160W/cmの高圧水
銀灯を用いて、積算光量800mJ/cm2 の条件で紫
外線を照射して塗膜の硬化を行い、膜厚約4μmの樹脂
層を得た。
験結果は100/100であった。又60℃、90%R
Hおよび90℃、ドライの耐久性試験250時間経過後
に行った密着性試験の結果はともに100/100で、
密着性の悪化は観られなかった。
耐アルカリ水溶液性、耐有機溶剤性について所定の耐溶
剤性試験を行った所、外観の変化は観られず、耐溶剤性
に優れていることがわかった。
℃、50%RHの測定条件で6cc/(m2 ・day・
atm)、30℃、90%RHの測定条件下で7cc/
(m 2 ・day・atm)であり、水蒸気透過度は、4
0℃、90%RHで3g/(m2 ・day・atm)で
あった。
耐溶剤層の積層された側の面に透明導電層として、イン
ジウムー錫酸化物層をスパッタリング法により形成して
透明導電フィルムを作成した。スパッタリングターゲッ
トにはインジウムと錫が9:1wt比の組成で充填密度
が90%のインジウムー錫酸化物ターゲットを用いた。
スパッタ装置内に積層フィルムをセットした後、1.3
mPaの圧力まで排気を行った後、ArとO2 の体積比
98.5:1.5の混合ガスを導入し、雰囲気圧力を
0.27Paにした。フィルム温度は50℃とし、投入
電力密度1W/cm2 でDCスパッタリングを行った。
存在割合が面積比0%であり、非結晶性であった。又、
膜厚は130nmであり、表面抵抗値は40Ω/□であ
った。なお、Ω/□は単位正方形の対向辺に電極を配置
して測定した表面抵抗値である。
於ける光線透過率は84%で、ヘイズ値は0.4%であ
った。又、フィルム上の任意の10点で測定したリタデ
ーション値は8±2nm、遅相軸のばらつき角度はMD
方向を中心に±8度であった。又、透明導電層表面の表
面粗さRaは4.6nmであった。又、密着性試験結果
は100/100であり、透明導電層の密着性も良好で
あった。
例1の樹脂組成からアルコキシシランの加水分解物を除
いた下記組成とし、その硬化条件を下記積算光量とする
以外は実施例1と全く同様にして透明導電フィルムを作
成した。
メチロールプロパントリアクリレート(東亞合成化学社
製、商品名アロニックスM−309)100重量部、光
開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロ
パン−1−オン(メルク社製、商品名ダロキュアー11
73)7重量部およびレベリング剤としてシリコンオイ
ル(東レ・ダウコーニングシリコン社製、SH28P
A)0.02重量部を混合したものを用いた。この塗液
を酸化珪素層上にバーコーターを用いてコーティング
し、60℃で1分間加熱して塗膜中の残留溶剤を揮発除
去した後、160W/cmの高圧水銀灯を用いて、積算
光量700mJ/cm2 の条件で紫外線を照射して塗膜
の硬化を行い、耐溶剤層を形成した。
ルカリ水溶液性、耐有機溶剤性の耐溶剤性試験の結果、
外観の変化は観られず、耐溶剤性に優れていた。しか
し、密着性の試験結果は0/100であり、酸化珪素層
と耐溶剤層間の密着性が悪く為、使用は困難であった。
記のエポキシ系樹脂を用い、硬化条件を下記のとおりに
する以外は実施例1と全く同様にして透明導電フィルム
を作成した。
ように作成した。
本化薬株式会社製、EOCN−104S)100重量
部、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン20
重量部、メチルエチルケトン150重量部、メチルヘキ
サヒドロ無水フタル酸80重量部および1,8−ジアザ
ビシクロ(5,4,0)ウンデセン5重量部からなる塗
液をマイヤーバーを用いて酸化珪素層上にコーティング
し、130℃で30分間熱処理を行い、硬化樹脂層を形
成した。
ルカリ水溶液性、耐有機溶剤性の耐溶剤性試験の結果、
外観の変化は観られず、耐溶剤性に優れていた。又積層
初期に行った密着性試験の結果は100/100であっ
た。しかし、60℃、90%RHでの湿熱耐久性試験1
00時間経過後に再び行った密着性試験の結果は0/1
00で、酸化珪素層と耐溶剤層間の密着性が悪化した。
すなわち、層間の密着性に関して耐久信頼性が低く、使
用は困難であった。
珪素層、耐溶剤層を積層した後、反対側のフィルム面に
アンカーコート層とガスバリア層と保護層を積層した。
樹脂層を用いた。具体的には東都化成株式会社製のフェ
ノキシ樹脂(Pheno Tohto YP−50)2
0重量部と、溶媒としてメチルエチルケトン50重量部
と2−エトキシエチルアセテート30重量部を混合した
後、これに硬化剤のイソシアネートとして武田薬品工業
株式会社製A3を10重量部混合した溶液をマイヤーバ
ーを用いてコーティングした後、130℃で3分間熱処
理を行って膜厚1.5μmの層を形成し、アンカーコー
ト層とした。
ビニルアルコール(商品名PVA−117)10重量部
を水90重量部に加熱溶解した溶液をマイヤーバーを用
いて前記アンカーコート層上にコーティングし、130
℃で5分間熱処理を行って膜厚2.5μmの層を形成
し、ガスバリア層とした。
為の塗液をそのまま用い、マイヤーバーを用いて前記ガ
スバリア層上にコーティングし、130℃で5分間熱処
理を行って膜厚3μmの層を形成し、保護層とした。
験結果はフィルム両面とも100/100であり、各層
間の密着性はきわめて良好であった。又60℃、90%
RHならびに90℃、ドライの耐久性試験250時間経
過後に行った密着性試験の結果も100/100で、密
着性の悪化は観られなかった。
耐アルカリ水溶液性、耐有機溶剤性について耐溶剤性試
験を行った所、外観の変化は観られず、耐溶剤性に優れ
ていることがわかった。
は、30℃、50%RHの測定条件下で0.1cc/
(m2 ・day・atm)、30℃、90%RHの測定
条件下で5cc/(m2 ・day・atm)であり、水
蒸気透過度は、40℃、90%RHで3g/(m2 ・d
ay・atm)であって、ガスバリア性に非常に優れて
いることがわかった。
層された側のフィルム面に実施例1と全く同様に、透明
導電層を積層して透明導電フィルムを作成した。
於ける光線透過率は85%で、ヘイズ値は0.5%であ
った。又、フィルム上の任意の10点で測定したリタデ
ーション値は7±2nm、遅相軸のばらつき角度はMD
方向を中心に±8度であった。又、透明導電層表面の表
面粗さRaは4.6nmであった。又、密着性試験結果
は100/100であり、透明導電層の密着性も良好で
あった。
リア性、耐溶剤性、密着性、平滑性に優れ、液晶表示パ
ネルの透明電極基板として用いた時にその表示品位に優
れ、機械的、熱的および溶剤の影響を受けても、その表
示品質に劣化を起こさない高信頼性の透明導電フィルム
を提供することができる。
Claims (6)
- 【請求項1】 プラスチックフィルムの少なくとも一方
の面に、ガスバリア層と耐溶剤層と透明導電層がこの順
序で積層されてなる透明導電フィルムにおいて、ガスバ
リア層が金属酸化物からなる層であり、耐溶剤層が放射
線硬化型樹脂に対し、一般式(1)及び/又は(2) R1 −Si(OR2 )3 ・・・(1) Si(OR2 )4 ・・・(2) (R1 はメチル基、エチル基、ビニル基またはアクリロ
イル基、メタクリロイル基、アミノ基もしくはエポキシ
基を含む有機基を、R2 はメチル基またはエチル基を示
す)で表されるアルコキシシランの加水分解物を固形分
の重量比率で20:1〜1:3の範囲で混合した樹脂組
成物の硬化層であることを特徴とする透明導電フィル
ム。 - 【請求項2】 前記放射線硬化型樹脂が分子或いは単位
構造内に2個以上のアクリロイル基を有する多官能アク
リレート成分を含有する請求項1記載の透明導電フィル
ム。 - 【請求項3】 前記プラスチックフィルムが、溶液流延
法により成膜した厚さ70〜200μmのプラスチック
フィルムであり、透明導電フィルムのリタデーション値
が20nm以下で、波長550nmでの光線透過率が8
0%以上である請求項1又は2記載の透明導電フィル
ム。 - 【請求項4】 透明導電層を有する面と反対側のフィル
ム面に、アンカーコート層、ポリビニルアルコール系樹
脂層及び保護層がこの順に積層されてなる請求項1〜3
のいずれか1項記載の透明導電フィルム。 - 【請求項5】 前記放射線硬化型樹脂がN−メチルピロ
リドン、3.5wt%水酸化ナトリウム及びエッチング
液(35wt%塩化第2鉄水溶液、35wt%塩酸、水
を1:1:10の割合で混合したもの)のいずれに対し
ても25℃で15分以上の耐久性を有する請求項1〜4
のいずれか1項記載の透明導電フィルム。 - 【請求項6】 前記金属酸化物が酸化硅素である請求項
1〜5のいずれか1項記載の透明導電フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP33666495A JP3403882B2 (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 透明導電フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JPH09174747A true JPH09174747A (ja) | 1997-07-08 |
JP3403882B2 JP3403882B2 (ja) | 2003-05-06 |
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Country Status (1)
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