JPH073485B2 - カラ−フイルタの形成方法 - Google Patents
カラ−フイルタの形成方法Info
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- JPH073485B2 JPH073485B2 JP60043570A JP4357085A JPH073485B2 JP H073485 B2 JPH073485 B2 JP H073485B2 JP 60043570 A JP60043570 A JP 60043570A JP 4357085 A JP4357085 A JP 4357085A JP H073485 B2 JPH073485 B2 JP H073485B2
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- color filter
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、カラーフィルタの形成方法に係り、特にモザ
イク状のカラーフィルタを形成するのに適したカラーフ
ィルタの形成方法に関する。
イク状のカラーフィルタを形成するのに適したカラーフ
ィルタの形成方法に関する。
［従来の技術］ 従来、液晶表示装置等においてカラーフィルタを電極表
面上に形成してカラー画像を表示することが行われてい
る。例えば、第６図に分解斜視図を示すように、下側ガ
ラス基板５上にインジウム・チン・オキサイド（ITO）
等を蒸着などの方法により平行に固着しＹ電極６を形成
する。同様にして上側ガラス基板８上にＸ電極９を形成
する。次に下側ガラス基板５のＹ電極６の表面にカラー
フィルタを塗着し、第４図に示すように、Ｘ電極９とＹ
電極６とが相互に直交するように所定の間隔を保ってガ
ラス基板8,5の電極面を対向せしめ、図示しない封止材
で周辺部を封止して液晶表示セルを形成する。このセル
中に図示しない液晶材料を注入し、当該液晶材料がツイ
スト・ネマチック（TN）型である場合には、偏光板11を
２枚のガラス基板5,8の外側に偏光方向がほぼ平行又は
ほぼ直交するように設けて表示装置として形成するので
ある。
面上に形成してカラー画像を表示することが行われてい
る。例えば、第６図に分解斜視図を示すように、下側ガ
ラス基板５上にインジウム・チン・オキサイド（ITO）
等を蒸着などの方法により平行に固着しＹ電極６を形成
する。同様にして上側ガラス基板８上にＸ電極９を形成
する。次に下側ガラス基板５のＹ電極６の表面にカラー
フィルタを塗着し、第４図に示すように、Ｘ電極９とＹ
電極６とが相互に直交するように所定の間隔を保ってガ
ラス基板8,5の電極面を対向せしめ、図示しない封止材
で周辺部を封止して液晶表示セルを形成する。このセル
中に図示しない液晶材料を注入し、当該液晶材料がツイ
スト・ネマチック（TN）型である場合には、偏光板11を
２枚のガラス基板5,8の外側に偏光方向がほぼ平行又は
ほぼ直交するように設けて表示装置として形成するので
ある。
この場合にカラーフィルタをＹ電極６の表面に形成すれ
ば、観察者が該表示装置を見る角度の差により動作電極
と表示色がずれる現象（以下これを「視差」という）を
防止することが出来るので、上述の液晶表示装置やエレ
クトロクロミック表示装置等のカラー表示装置において
は、電極表面上へカラーフィルタを形成することが行な
われている。
ば、観察者が該表示装置を見る角度の差により動作電極
と表示色がずれる現象（以下これを「視差」という）を
防止することが出来るので、上述の液晶表示装置やエレ
クトロクロミック表示装置等のカラー表示装置において
は、電極表面上へカラーフィルタを形成することが行な
われている。
電極表面上へのカラーフィルタの形成方法としては、印
刷法やフォトリソグラフィ法や電着塗装法等が検討され
ているが、例えばマトリックス状電極によりカラー画像
を表示する上述した液晶表示装置などにおいて、高密度
の画像を得ようとする場合には、カラーフィルタは例え
ば幅100μｍ程度の微細なパターンとなり、Ｙ電極６と
の相対位置のずれが10μｍ程度以内というようなパター
ン精度が要求される。このような場合には、上述したカ
ラーフィルタの形成方法の中では電着塗装法が、ほぼ完
全にＹ電極６と一致したカラーフィルタが得られること
から、他の方法より優れている。
刷法やフォトリソグラフィ法や電着塗装法等が検討され
ているが、例えばマトリックス状電極によりカラー画像
を表示する上述した液晶表示装置などにおいて、高密度
の画像を得ようとする場合には、カラーフィルタは例え
ば幅100μｍ程度の微細なパターンとなり、Ｙ電極６と
の相対位置のずれが10μｍ程度以内というようなパター
ン精度が要求される。このような場合には、上述したカ
ラーフィルタの形成方法の中では電着塗装法が、ほぼ完
全にＹ電極６と一致したカラーフィルタが得られること
から、他の方法より優れている。
一方、カラーフィルタのパターンとしては、縞状のいわ
ゆるストライプ状パターンや相異なる色相の領域が互い
に隣り合うモザイク状パターンが知られているが、ある
条件下（例えば、比較的近い距離から表示画面を観察す
るような場合）では、モザイク状パターンの方が視覚上
優れた効果が得られることが知られている。
ゆるストライプ状パターンや相異なる色相の領域が互い
に隣り合うモザイク状パターンが知られているが、ある
条件下（例えば、比較的近い距離から表示画面を観察す
るような場合）では、モザイク状パターンの方が視覚上
優れた効果が得られることが知られている。
［発明の解決しようとする問題点］ 以上述べた様に、高密度の画像品質を得たい表示装置な
どの場合には、微細な電極上にモザイク状のパターンの
カラーフィルタを形成することが要求される。しかし、
従来の電着塗装法では、多色のカラーフィルタを形成し
ようとしても、例えば第６図に示す様な棒状の電極上に
全て同一の色相のカラーフィルタしか形成できずモザイ
ク状のカラーフィルタを形成することは不可能であっ
た。従って、基板表面に全面的に形成した電極上に異っ
た色相のカラーフィルタを設けることは不可能と考えら
れていた。
どの場合には、微細な電極上にモザイク状のパターンの
カラーフィルタを形成することが要求される。しかし、
従来の電着塗装法では、多色のカラーフィルタを形成し
ようとしても、例えば第６図に示す様な棒状の電極上に
全て同一の色相のカラーフィルタしか形成できずモザイ
ク状のカラーフィルタを形成することは不可能であっ
た。従って、基板表面に全面的に形成した電極上に異っ
た色相のカラーフィルタを設けることは不可能と考えら
れていた。
また、それぞれ異なる色相のカラーフィルタを各電極上
に形成するため、カラーフィルタを形成する電極と給電
側の電極の接触位置をずらせる必要があり、第７図の平
面図にその一例を示すように、Ｙ電極６′の端部を不揃
いにせざるを得なかった。
に形成するため、カラーフィルタを形成する電極と給電
側の電極の接触位置をずらせる必要があり、第７図の平
面図にその一例を示すように、Ｙ電極６′の端部を不揃
いにせざるを得なかった。
本発明は従来のカラーフィルタの形成方法の上述の様な
欠点を解消し、電極塗装法を用いてモザイク状のパター
ンのカラーフィルタを形成することができ、かつ帯状電
極の端部位置をずらすことの不要なカラーフィルタの形
成方法を提供することを目的とする。
欠点を解消し、電極塗装法を用いてモザイク状のパター
ンのカラーフィルタを形成することができ、かつ帯状電
極の端部位置をずらすことの不要なカラーフィルタの形
成方法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上述の目的を達成するために、フォトリソグラ
フィ法による工程と電着塗装法による工程とを組み合せ
てカラーフィルタを形成するようにしたものである。即
ち、本出願の第１の発明は、 電極表面にカラーフィルタを形成するカラーフィルタの
形成方法において、少なくとも、 電極表面にポジ型の感光性被膜を形成し、該感光性被膜
をフォトリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し
電極表面を露出する第１の工程と、 該露出された電極表面上に電着塗装法により所定の色相
の塗膜を形成する第２の工程と、 第１の工程で形成された残りの感光性被膜の一部をフォ
トリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し電極表
面を露出する第３の工程と、 該第３の工程により露出された電極表面上に電着塗装法
により前記色相と異なる色相の塗膜を形成する第４の工
程とを有し、 複数の色相の塗膜を形成することを特徴とし、本出願の
第２の発明は、 電極表面にカラーフィルタを形成するカラーフィルタの
形成方法において、少なくとも、 電極表面にポジ型の感光性被膜を形成し、該感光性被膜
をフォトリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し
電極表面を露出する第１の工程と、 該露出された電極表面上に電着塗装法により所定の色相
の塗膜を形成し、該塗膜を前記感光性被膜が変質しない
程度の低温で焼成する第２の工程と、 第１の工程で形成された残りの感光性被膜の一部をフォ
トリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し電極表
面を露出する第３の工程と、 該第３の工程により露出された電極表面上に電着塗装法
により前記色相と異なる色相の塗膜を形成する第４の工
程とを有し、 複数の色相の塗膜を形成することを特徴とする。
フィ法による工程と電着塗装法による工程とを組み合せ
てカラーフィルタを形成するようにしたものである。即
ち、本出願の第１の発明は、 電極表面にカラーフィルタを形成するカラーフィルタの
形成方法において、少なくとも、 電極表面にポジ型の感光性被膜を形成し、該感光性被膜
をフォトリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し
電極表面を露出する第１の工程と、 該露出された電極表面上に電着塗装法により所定の色相
の塗膜を形成する第２の工程と、 第１の工程で形成された残りの感光性被膜の一部をフォ
トリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し電極表
面を露出する第３の工程と、 該第３の工程により露出された電極表面上に電着塗装法
により前記色相と異なる色相の塗膜を形成する第４の工
程とを有し、 複数の色相の塗膜を形成することを特徴とし、本出願の
第２の発明は、 電極表面にカラーフィルタを形成するカラーフィルタの
形成方法において、少なくとも、 電極表面にポジ型の感光性被膜を形成し、該感光性被膜
をフォトリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し
電極表面を露出する第１の工程と、 該露出された電極表面上に電着塗装法により所定の色相
の塗膜を形成し、該塗膜を前記感光性被膜が変質しない
程度の低温で焼成する第２の工程と、 第１の工程で形成された残りの感光性被膜の一部をフォ
トリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し電極表
面を露出する第３の工程と、 該第３の工程により露出された電極表面上に電着塗装法
により前記色相と異なる色相の塗膜を形成する第４の工
程とを有し、 複数の色相の塗膜を形成することを特徴とする。
以下本発明のカラーフィルタの形成方法の各工程を代表
的例を用いて説明する。
的例を用いて説明する。
第１図ないし第３図は本発明のカラーフィルタの形成方
法により、平行に配列された帯状の電極上にモザイク状
のカラーフィルタを形成する工程を示す平面図である。
法により、平行に配列された帯状の電極上にモザイク状
のカラーフィルタを形成する工程を示す平面図である。
まず、ガラス基板５上に蒸着法等によりITO等から成る
電極１を、その上部を共通にしてくし形に形成する。な
お、本例ではドットマトリックス型カラー液晶表示装置
に用いることを想定しているので、ガラス基板５上に形
成した複数の透明くし形電極１を示すが、本発明のカラ
ーフィルタの形成方法はこの様な電極に限定されるもの
ではなく、例えば不透明な金属電極等でも良く、複数本
である必要もなく、基板上の一表面に全面的に形成され
たベタ電極でも良く、基板上に形成されている必要もな
い。
電極１を、その上部を共通にしてくし形に形成する。な
お、本例ではドットマトリックス型カラー液晶表示装置
に用いることを想定しているので、ガラス基板５上に形
成した複数の透明くし形電極１を示すが、本発明のカラ
ーフィルタの形成方法はこの様な電極に限定されるもの
ではなく、例えば不透明な金属電極等でも良く、複数本
である必要もなく、基板上の一表面に全面的に形成され
たベタ電極でも良く、基板上に形成されている必要もな
い。
次に、第２図に示すように、前記電極１のくし歯の部分
に全面的にフォトレジストを塗布し感光性被膜２を形成
する。この感光性被膜２の所定部分に所定のフォトマス
クを介して可視光線又は紫外線や遠赤外線等を照射し、
該感光性被膜２のこの照射部分又は非照射部分を現像液
で電極１から剥離して該部分の電極表面を露出させる
（いわゆるフォトリソグラフィ法）。
に全面的にフォトレジストを塗布し感光性被膜２を形成
する。この感光性被膜２の所定部分に所定のフォトマス
クを介して可視光線又は紫外線や遠赤外線等を照射し、
該感光性被膜２のこの照射部分又は非照射部分を現像液
で電極１から剥離して該部分の電極表面を露出させる
（いわゆるフォトリソグラフィ法）。
この工程に用いるフォトレジストとしては通常用いられ
るもので良いが後の電着工程で剥離してしまわなもので
あることを要する。また、フォトレジストには、光照射
によって、剥離容易になるポジ型と光照射によって剥離
困難になるネガ型との二種類があるが、本発明では、一
度塗布したフォトレジストを何度か露光して使うのに適
したポジ型を使用する。
るもので良いが後の電着工程で剥離してしまわなもので
あることを要する。また、フォトレジストには、光照射
によって、剥離容易になるポジ型と光照射によって剥離
困難になるネガ型との二種類があるが、本発明では、一
度塗布したフォトレジストを何度か露光して使うのに適
したポジ型を使用する。
感光性被膜２の現像液は、前記フォトレジストに対応し
て通常用いられる有機アルカリ系等の現像液で良い。
て通常用いられる有機アルカリ系等の現像液で良い。
以上の様にして所定のパターンに感光性被膜２が剥離さ
れ露出された電極１の表面に第１色目のカラーフィルタ
を電着塗装法により形成する。
れ露出された電極１の表面に第１色目のカラーフィルタ
を電着塗装法により形成する。
電着塗装法は、塗料溶液中に電極（溶液槽自体を電極と
しても良い）を設け、被電着物を反対の極性の電極とし
て両電極間に電圧を印加し、被電着物上に塗料中の樹
脂，顔料等を放電析出せしめるものである。この後被電
着物上の析出物を焼成すると、析出物は析出部上に流展
し均一な塗面を形成する。
しても良い）を設け、被電着物を反対の極性の電極とし
て両電極間に電圧を印加し、被電着物上に塗料中の樹
脂，顔料等を放電析出せしめるものである。この後被電
着物上の析出物を焼成すると、析出物は析出部上に流展
し均一な塗面を形成する。
塗料は、水等の溶媒中に顔料と樹脂粒子が分散した一種
のコロイド分散体であり、樹脂粒子としてカルボキシル
基等のアニオンをアミンやアンモニアで中和させた塩を
用いるアニオン型塗料と、アミノ基等のカチオンを酢酸
等の有機酸で中和した塩を用いるカチオン型塗料とが用
いられる。
のコロイド分散体であり、樹脂粒子としてカルボキシル
基等のアニオンをアミンやアンモニアで中和させた塩を
用いるアニオン型塗料と、アミノ基等のカチオンを酢酸
等の有機酸で中和した塩を用いるカチオン型塗料とが用
いられる。
ただし、本例の様に酸化物（例えばITO）の電極１上に
塗料を形成する場合には、カチオン型塗料を用いた場合
には、電極１を陰極として用いることになるので、通電
時に電極１が還元されてしまい、該電極１が塗料溶液中
に溶解してしまうおそれがある。また、電極表示装置等
の電極として用いる場合には該電極には高い透明度が要
求されるのであるが、上述の還元反応により電極の透明
度が低下してしまい使用出来なくなるおそれもある。従
って、酸化物電極上に塗膜を形成する場合には前述のア
ニオン型塗料が望ましい。なお、このようにして電極１
上に形成した塗膜は電気的に不良導体となるので、他の
色相の塗料溶液中に電極１を浸漬して、他の色相の電着
塗装を行っても、先の工程で作成した塗膜上に新たな塗
膜が形成されることはない。
塗料を形成する場合には、カチオン型塗料を用いた場合
には、電極１を陰極として用いることになるので、通電
時に電極１が還元されてしまい、該電極１が塗料溶液中
に溶解してしまうおそれがある。また、電極表示装置等
の電極として用いる場合には該電極には高い透明度が要
求されるのであるが、上述の還元反応により電極の透明
度が低下してしまい使用出来なくなるおそれもある。従
って、酸化物電極上に塗膜を形成する場合には前述のア
ニオン型塗料が望ましい。なお、このようにして電極１
上に形成した塗膜は電気的に不良導体となるので、他の
色相の塗料溶液中に電極１を浸漬して、他の色相の電着
塗装を行っても、先の工程で作成した塗膜上に新たな塗
膜が形成されることはない。
次に、第３図に示す様に、前工程で形成した塗膜形成部
３′に隣り合う領域の感光性被膜２を前述のフォトリソ
グラフィ法により所定のパターンに剥離し電極露出部４
を形成する。
３′に隣り合う領域の感光性被膜２を前述のフォトリソ
グラフィ法により所定のパターンに剥離し電極露出部４
を形成する。
該電極露出部を形成したガラス基板５を前記塗膜形成部
３′に形成した塗膜の色相と異なる色相の塗料を満した
電着槽中に浸漬し電極１に通電し、電着塗装法で該色相
の塗膜を電極露出部４に形成する。該塗膜を焼成流展せ
しめ均一な塗膜とする。最後に、残ったフォトレジスト
を除去しモザイク状のカラーフィルタが得られる。
３′に形成した塗膜の色相と異なる色相の塗料を満した
電着槽中に浸漬し電極１に通電し、電着塗装法で該色相
の塗膜を電極露出部４に形成する。該塗膜を焼成流展せ
しめ均一な塗膜とする。最後に、残ったフォトレジスト
を除去しモザイク状のカラーフィルタが得られる。
なお、本例では、各塗膜の色相として３原色の色相を予
定しているので、第２図，第３図に示したパターンは、
上述した工程だけでは電極１の表面上に塗膜を形成しな
い部分が出て来てしまうが、本発明のカラーフィルタの
形成方法は本例のような３原色のパターンに限定される
ものではなく、同一電極上に相異なる２色の色相の塗膜
を交互に形成したモザイク状のカラーフィルタでも良
く、この場合にはフォトマスクのパターンを２色の色相
の塗膜を交互に形成して塗膜の形成残りが無くなるよう
なパターンにすれば良い。更に、同一電極上で２色の色
相を交互に配置する他、隣り合う電極相互間でも相異な
る色相に配置したいわゆる市松模様状のモザイク状カラ
ーフィルタとしても良いことは言うまでもない。また、
各画素を構成する塗膜の形状は四角形でなくとも丸形で
も三角形でも良いことは勿論、モザイク状模様でなくス
トライプ状模様でも良い。
定しているので、第２図，第３図に示したパターンは、
上述した工程だけでは電極１の表面上に塗膜を形成しな
い部分が出て来てしまうが、本発明のカラーフィルタの
形成方法は本例のような３原色のパターンに限定される
ものではなく、同一電極上に相異なる２色の色相の塗膜
を交互に形成したモザイク状のカラーフィルタでも良
く、この場合にはフォトマスクのパターンを２色の色相
の塗膜を交互に形成して塗膜の形成残りが無くなるよう
なパターンにすれば良い。更に、同一電極上で２色の色
相を交互に配置する他、隣り合う電極相互間でも相異な
る色相に配置したいわゆる市松模様状のモザイク状カラ
ーフィルタとしても良いことは言うまでもない。また、
各画素を構成する塗膜の形状は四角形でなくとも丸形で
も三角形でも良いことは勿論、モザイク状模様でなくス
トライプ状模様でも良い。
さて、本例においては、フルカラーの液晶表示装置とし
て用いることを目的としているので、上述した工程に引
き続いて第３の色相の塗膜を、上述の最後の工程で感光
性被膜２を剥離して露出した電極１の表面に電着塗装法
で形成する。この場合第１ないし第３の色相を３原色と
すればフルカラー表示が出来る。
て用いることを目的としているので、上述した工程に引
き続いて第３の色相の塗膜を、上述の最後の工程で感光
性被膜２を剥離して露出した電極１の表面に電着塗装法
で形成する。この場合第１ないし第３の色相を３原色と
すればフルカラー表示が出来る。
最後に今まで電極１の各くし歯部分の電極への給電路と
して利用していた電極１のくしの背にあたる共通部分を
ガラス基板５の当該部分と共に機械的に切断し、電極１
の各くし歯部分の電極を独立させる。なお、電極形状が
くし形でない場合には各電極を一時的に短絡させて電着
塗装を行えば良い。
して利用していた電極１のくしの背にあたる共通部分を
ガラス基板５の当該部分と共に機械的に切断し、電極１
の各くし歯部分の電極を独立させる。なお、電極形状が
くし形でない場合には各電極を一時的に短絡させて電着
塗装を行えば良い。
以上の様にして形成したフルカラードットマトリックス
液晶表示装置用カラーフィルタ付電極基板を用いて液晶
表示装置を構成した例を第４図，第５図に示す。第４図
は平面図，第５図は断面図である。
液晶表示装置用カラーフィルタ付電極基板を用いて液晶
表示装置を構成した例を第４図，第５図に示す。第４図
は平面図，第５図は断面図である。
図において下側ガラス基板５の表面にはITO等が蒸着さ
れＹ電極６が形成されている。なお、本第４図，第５図
においてはＹ電極６の共通部分が既に切断されてしまっ
た状態を示している。該Ｙ電極６の表面には、前述した
工程により、例えば赤，青，緑の３原色のモザイク状カ
ラーフィルタ７が形成されている。なお、図示していな
いポリイミド，ポリアミド,SiO,TiO2等から成る配向膜
が該カラーフィルタ７の表面に必要に応じて形成され
る。
れＹ電極６が形成されている。なお、本第４図，第５図
においてはＹ電極６の共通部分が既に切断されてしまっ
た状態を示している。該Ｙ電極６の表面には、前述した
工程により、例えば赤，青，緑の３原色のモザイク状カ
ラーフィルタ７が形成されている。なお、図示していな
いポリイミド，ポリアミド,SiO,TiO2等から成る配向膜
が該カラーフィルタ７の表面に必要に応じて形成され
る。
一方、上側ガラス基板８の表面には、下側ガラス基板と
同様に複数のＸ電極が互いに平行に形成されており、こ
の上側ガラス基板８と前記下側ガラス基板５を、図示の
様に、Ｘ電極９とＹ電極６とが互いに直交するように電
極面を対向させて配向され、周辺部をエポキシ樹脂等の
シール剤10で封止して液晶表示セルが形成される。
同様に複数のＸ電極が互いに平行に形成されており、こ
の上側ガラス基板８と前記下側ガラス基板５を、図示の
様に、Ｘ電極９とＹ電極６とが互いに直交するように電
極面を対向させて配向され、周辺部をエポキシ樹脂等の
シール剤10で封止して液晶表示セルが形成される。
この液晶表示セル中に図示しない液晶物質を注入し、必
要に応じて偏光板を設置し、フルカラードットマトリッ
クス型液晶表示装置が完成する。なお、Ｘ電極９の表面
にも必要に応じて配向膜が形成されることは言うまでも
ない。更に、上述のようにして形成されたモザイク状カ
ラーフィルタは、薄膜トランジスタを用いたアクティブ
マトリックス方式の液晶表示パネル等にも用いることが
できる。
要に応じて偏光板を設置し、フルカラードットマトリッ
クス型液晶表示装置が完成する。なお、Ｘ電極９の表面
にも必要に応じて配向膜が形成されることは言うまでも
ない。更に、上述のようにして形成されたモザイク状カ
ラーフィルタは、薄膜トランジスタを用いたアクティブ
マトリックス方式の液晶表示パネル等にも用いることが
できる。
［作用］ 本発明のカラーフィルタの形成方法では、いったん電極
の全表面を感光性被膜で被覆し、必要部分のみをフォト
リソグラフィ法により剥離して該工程により感光性被膜
が剥離された表面にのみ電着塗装法により塗膜を形成す
るので、同一電極表面上に複数の色相の塗膜を電着塗装
法により形成することが可能となるのである。
の全表面を感光性被膜で被覆し、必要部分のみをフォト
リソグラフィ法により剥離して該工程により感光性被膜
が剥離された表面にのみ電着塗装法により塗膜を形成す
るので、同一電極表面上に複数の色相の塗膜を電着塗装
法により形成することが可能となるのである。
また、第１の色相の塗膜を焼成する際感光性被膜が変質
しない低温で焼成すれば、色相の異なる塗膜毎に感光性
被膜を塗布し直す必要がなくなる。
しない低温で焼成すれば、色相の異なる塗膜毎に感光性
被膜を塗布し直す必要がなくなる。
更に、基板上に平行に配列された複数の電極にモザイク
状カラーフィルタを形成する場合には、基板端面に各電
極に接続する共通部分を設け電極をくし形に形成し、各
電極に同時に給電すれば、複数本の電極に同時に同一の
色相の塗膜を電着塗装法により形成することができる。
状カラーフィルタを形成する場合には、基板端面に各電
極に接続する共通部分を設け電極をくし形に形成し、各
電極に同時に給電すれば、複数本の電極に同時に同一の
色相の塗膜を電着塗装法により形成することができる。
［実施例］ ガラス基板の表面にITOを蒸着し、第１図に示すような
くし形電極を形成した。
くし形電極を形成した。
次に該電極のくし歯の部分の表面に全面的にフォトレジ
ストをスピンナー法により塗布し感光性被膜を形成し
た。フォトレジストとしてはポジ型のOFPR−２（商品
名）を使用した。
ストをスピンナー法により塗布し感光性被膜を形成し
た。フォトレジストとしてはポジ型のOFPR−２（商品
名）を使用した。
この感光性被膜上にフォトマスクを設置し、該フォトマ
スクを介してプロジェクション法により紫外線を前記感
光性被膜上に照射し、前記フォトマスクのパターン状に
該感光性被膜を露光した。次に現像液（HMO−81（商品
名））で該感光性被膜を現像し、第２図に示した様なパ
ターンに露光部の感光性被膜を溶融剥離し電極表面を露
出させた。
スクを介してプロジェクション法により紫外線を前記感
光性被膜上に照射し、前記フォトマスクのパターン状に
該感光性被膜を露光した。次に現像液（HMO−81（商品
名））で該感光性被膜を現像し、第２図に示した様なパ
ターンに露光部の感光性被膜を溶融剥離し電極表面を露
出させた。
次に、上述のガラス基板上の電極の共通部分を直流安定
化電源のマイナス極に接続し、赤色の塗料（アゾ染料）
を満した電極槽に浸漬した。対向電極としては安定な白
金電極を用い両電極間に20Vの直流電圧を２分間印加
し、1.3μｍ厚の赤色塗膜を得た。この赤色塗膜を120℃
で焼成流展せしめ膜圧を均一化した。
化電源のマイナス極に接続し、赤色の塗料（アゾ染料）
を満した電極槽に浸漬した。対向電極としては安定な白
金電極を用い両電極間に20Vの直流電圧を２分間印加
し、1.3μｍ厚の赤色塗膜を得た。この赤色塗膜を120℃
で焼成流展せしめ膜圧を均一化した。
次に、このガラス基板上の感光性被膜を上述の方法と同
様にしてフォトリソグラフィ法により第３図に示す様な
パターンに剥離し、緑色の染料（フタロシアニン染料）
を満たした電着槽中に浸漬し、前述の赤色塗膜を形成し
たのと同一の条件で電着塗装及び焼成を行い赤色塗膜に
隣接する位置に同一厚の緑色塗膜を形成した。
様にしてフォトリソグラフィ法により第３図に示す様な
パターンに剥離し、緑色の染料（フタロシアニン染料）
を満たした電着槽中に浸漬し、前述の赤色塗膜を形成し
たのと同一の条件で電着塗装及び焼成を行い赤色塗膜に
隣接する位置に同一厚の緑色塗膜を形成した。
次に、該ガラス基板及び電極の表面に残留しているフォ
トレジストを、剥離剤（硫酸−過酸化水素）で完全に除
去し電極の残留表面を露出した。この露出電極表面上に
上と同様の電着塗装法により青色塗膜を形成し、第４図
に示すような３原色のモザイク状カラーフィルタを形成
した。
トレジストを、剥離剤（硫酸−過酸化水素）で完全に除
去し電極の残留表面を露出した。この露出電極表面上に
上と同様の電着塗装法により青色塗膜を形成し、第４図
に示すような３原色のモザイク状カラーフィルタを形成
した。
このカラーフィルタの分光特性を第８図に示す。
次に上側ガラス基板に蒸着法によりITOのＸ電極を形成
した。
した。
このＸ電極と前述したカラーフィルタを形成したＹ電極
の表面にスピンナー法によりポリイミドアミドを塗布
し、180℃で30分間キュアーした後ラビングによって配
向処理を施した。
の表面にスピンナー法によりポリイミドアミドを塗布
し、180℃で30分間キュアーした後ラビングによって配
向処理を施した。
この後下側ガラス基板の周辺部にエポキシ樹脂を第４
図，第５図に示す様に塗布し、上下のガラス基板を15μ
ｍの間隔で該エポキシ樹脂をスペーサー兼シール剤とし
て対向させた。この様にしてセルを形成した後該セル中
に誘電異方性が正で黒色に調整されたゲスト・ホスト型
液晶を注入しフルカラードットマトリックス型液晶表示
装置を構成した。
図，第５図に示す様に塗布し、上下のガラス基板を15μ
ｍの間隔で該エポキシ樹脂をスペーサー兼シール剤とし
て対向させた。この様にしてセルを形成した後該セル中
に誘電異方性が正で黒色に調整されたゲスト・ホスト型
液晶を注入しフルカラードットマトリックス型液晶表示
装置を構成した。
［発明の効果］ 本発明のカラーフィルタの形成方法においては、フォト
リソグラフィ法と電着塗装法を組み合わせてカラーフィ
ルタを形成するようにしたので、電着塗装法を用いてモ
ザイク状のパターンのカラーフィルタを構成出来、電極
とカラーフィルタの位置ずれのない、微細パターンに適
したカラーフィルタの形成が可能となった。
リソグラフィ法と電着塗装法を組み合わせてカラーフィ
ルタを形成するようにしたので、電着塗装法を用いてモ
ザイク状のパターンのカラーフィルタを構成出来、電極
とカラーフィルタの位置ずれのない、微細パターンに適
したカラーフィルタの形成が可能となった。
また、低温で焼成することによりフォトレジストの塗布
が１回だけで済むため生産工程を簡略化することがで
き、大幅なコストダウンが可能となった。
が１回だけで済むため生産工程を簡略化することがで
き、大幅なコストダウンが可能となった。
更に、マトリックス型電極上にカラーフィルタを形成す
る場合には、電極をくし型にして、後で共通部分を切断
するようにすることにより、電極端面の不揃いを無くす
ることができると同時に、一枚のガラス基板上に多数の
表示セルを形成するいわゆる多面付けパターンでの利用
率（取れ率）が向上し、この面からも生産コストを低く
することが可能となった。
る場合には、電極をくし型にして、後で共通部分を切断
するようにすることにより、電極端面の不揃いを無くす
ることができると同時に、一枚のガラス基板上に多数の
表示セルを形成するいわゆる多面付けパターンでの利用
率（取れ率）が向上し、この面からも生産コストを低く
することが可能となった。
第１図ないし第３図は本発明の代表的例の工程を示す平
面図、第４図及び第５図は本発明の方法により形成した
カラーフィルタを用いて液晶表示装置を構成した例を示
す各平面図と断面図、第６図は従来の液晶表示装置の一
例を示す分解斜視図、第７図は従来の電極の例を示す平
面図、第８図は本発明の方法により形成したカラーフィ
ルタの一実施例の分光特性図である。 １……電極、２……感光性被膜、 3,4……電極露出部、３′……塗膜形成部、 5,8……ガラス基板、6,6′……Ｙ電極、 ７……カラーフィルタ、９……Ｘ電極
面図、第４図及び第５図は本発明の方法により形成した
カラーフィルタを用いて液晶表示装置を構成した例を示
す各平面図と断面図、第６図は従来の液晶表示装置の一
例を示す分解斜視図、第７図は従来の電極の例を示す平
面図、第８図は本発明の方法により形成したカラーフィ
ルタの一実施例の分光特性図である。 １……電極、２……感光性被膜、 3,4……電極露出部、３′……塗膜形成部、 5,8……ガラス基板、6,6′……Ｙ電極、 ７……カラーフィルタ、９……Ｘ電極
Claims (2)
- 【請求項１】電極表面にカラーフィルタを形成するカラ
ーフィルタの形成方法において、少なくとも、 電極表面にポジ型の感光性被膜を形成し、該感光性被膜
をフォトリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し
電極表面を露出する第１の工程と、 該露出された電極表面上に電着塗装法により所定の色相
の塗膜を形成する第２の工程と、 第１の工程で形成された残りの感光性被膜の一部をフォ
トリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し電極表
面を露出する第３の工程と、 該第３の工程により露出された電極表面上に電着塗装法
により前記色相と異なる色相の塗膜を形成する第４の工
程とを有し、 複数の色相の塗膜を形成することを特徴とするカラーフ
ィルタの形成方法。 - 【請求項２】電極表面にカラーフィルタを形成するカラ
ーフィルタの形成方法において、少なくとも、 電極表面にポジ型の感光性被膜を形成し、該感光性被膜
をフォトリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し
電極表面を露出する第１の工程と、 該露出された電極表面上に電着塗装法により所定の色相
の塗膜を形成し、該塗膜を前記感光性被膜が変質しない
程度の低温で焼成する第２の工程と、 第１の工程で形成された残りの感光性被膜の一部をフォ
トリソグラフィ法により所定のパターンに剥離し電極表
面を露出する第３の工程と、 該第３の工程により露出された電極表面上に電着塗装法
により前記色相と異なる色相の塗膜を形成する第４の工
程とを有し、 複数の色相の塗膜を形成することを特徴とするカラーフ
ィルタの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60043570A JPH073485B2 (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | カラ−フイルタの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60043570A JPH073485B2 (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | カラ−フイルタの形成方法 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33112593A Division JP2848510B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | カラーフィルタの形成方法 |
| JP7337325A Division JPH09288207A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | カラーフィルタの形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203403A JPS61203403A (ja) | 1986-09-09 |
| JPH073485B2 true JPH073485B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=12667403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60043570A Expired - Lifetime JPH073485B2 (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | カラ−フイルタの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073485B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727082B2 (ja) * | 1985-05-28 | 1995-03-29 | セイコー電子工業株式会社 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPH02129602A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-17 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH0687514B2 (ja) * | 1989-02-20 | 1994-11-02 | 関西ペイント株式会社 | プリント回路基板の製造方法 |
| JPH0618716A (ja) * | 1992-07-02 | 1994-01-28 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH0661739U (ja) * | 1993-02-05 | 1994-08-30 | 英二 牛山 | チューブ容器 |
| JPH08234020A (ja) * | 1996-03-11 | 1996-09-13 | Seiko Instr Inc | カラーフィルターの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6033507A (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 色フィルタの製造方法 |
| JPS6111703A (ja) * | 1984-06-26 | 1986-01-20 | Citizen Watch Co Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
-
1985
- 1985-03-07 JP JP60043570A patent/JPH073485B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61203403A (ja) | 1986-09-09 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |