JPH0731037Y2 - ガス容器の緊急遮断装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案はガス容器の緊急遮断装置
に係り、特に半導体製造ガスの如く燃焼性ガスを充填し
たガス容器の収納箱に設置した緊急遮断装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より半導体製造ガスではアルシン、
ホスフィン、ジボラン等の燃焼性ガスを用いる為にこれ
らのガスを充填した容器は容器収納箱に収納して外部と
遮断するとともに、配管系のガス漏れや地震その他の災
害時に、前記ガス容器より配管系へのガス供給を遮断す
る緊急遮断装置を設置している。そして該遮断装置では
安全性の向上の為、該ガス容器上端に付設している容器
弁（ビンバルブ）を直接締め付ける構造のものが近年多
く採用されている。

【０００３】図３はかかる緊急遮断装置を付設したガス
容器収納箱の内部構成を示し、１は上端部に容器弁２が
取り付けられたガス容器で収納箱１０内のガイド板７に
当接して直立配置されており、その胴部周囲に鎖８を巻
回し、転倒防止を図っている。２０は緊急遮断装置で、
ガス容器１に固定する為のコの字状の筐体２１上に固設
されたアクチュエータ２２（駆動部）とスイッチボック
ス２３（制御系）とを有し、該アクチュエータ２２の回
転軸２４を下方に垂下し、その先端部に前記容器弁２の
ハンドル２ａを把持する把手２５を取り付けるととも
に、図示しないコントロールユニットより導かれ、スイ
ッチボックス２３内の各種スイッチ等の制御を行う電線
３やアクチュエータ２２を駆動させる為のガス配管４
を、収納箱天井１０ａ部より前記スイッチボックス２３
側に導いている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前記ガ
ス容器１に充填された半導体製造ガスは燃焼性があるた
め、容器収納箱内で漏れがあるとスイッチボックス２３
またはスイッチボックス２３と電気配線との接続部にお
いて引火する危険がある。また、前記従来の緊急遮断装
置ではアクチュエーター２２を取り付けた筐体２１をガ
ス容器１のネックリング部に固定しなければならないの
で、容器交換毎に前記筐体２１を着脱しなければならず
容器交換作業がはなはだ面倒になる。

【０００５】本考案はかかる従来技術の欠点に鑑み、容
器高さのバラツキ又は異なる高さのガス容器を収納した
場合においても前記把手とハンドルとの係合容易化を達
成し得るガス容器の緊急遮断機構を提供する事を目的と
する。又本考案の他の目的とする所は、容器交換作業の
容易化を図り得るガス容器の緊急遮断装置を提供する事
にある。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本考案は、かかる技術的課
題を達成する為に、ガス容器の容器弁の開閉を行う把手
部と、該把手部に回転力を伝達する駆動部と、所定信号
に基づいて該駆動部の回転制御を行う制御系とからな
り、容器収納箱に設置して使用するガス容器の緊急遮断
装置において、前記駆動部と把手部とを連結する回転軸
部を伸縮自在に構成すると共に、前記駆動部の駆動軸に
揺動自在に連結した事を特徴とするガス容器の緊急遮断
装置を提案する。

【０００７】

【作用】かかる技術手段によれば、回転軸部を伸縮自在
にするとともに揺動自在に構成したために、前記回転軸
部の揺動と上下方向の伸縮動作により容器高さのバラツ
キ又は異なる高さの容器を収納した場合においても前記
把手とハンドルとの係合を容易に行う事が出来る。

【０００８】又特に本考案は伸縮可能な回転軸部自体が
揺動自在に構成されている為に、揺動範囲を格段に広く
取る事が出来る。

【０００９】

【実施例】以下、図面に基づいて本考案の実施例を例示
的に詳しく説明する。但しこの実施例に記載されている
構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に
特定的な記載がない限りは、この考案の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。

【００１０】図１乃至図２は本考案の実施例に係るガス
容器１の緊急遮断装置を示し、図１は収納箱の内部構成
を示す正面断面図、図２は図１に示された円筒軸の横断
面図である。容器収納箱１０は、前側の扉１１よりガス
容器１が交換可能に構成され底部中央にガス容器１の充
填ガス量を計る重量測定器が設置され、背面にガス容器
の固定装置が配設されている。容器固定装置は容器収納
箱１０の背面に上下動可能に支持された支持台１４と該
支持台１４に固定されてガス容器１を着脱自在に保持し
て転倒防止を行うと共に保持時に該ガス容器の回転を規
制するバンド１５とから構成される。なお、バンド１５
は後記する緊急遮断装置により容器弁２を開閉してもこ
れに追従してガス容器自体が回転しないようにして容器
弁２の確実な開閉を行うものであるが、例えば４７Ｌ容
器の如く大型、重量容器の場合には底部の接触抵抗が大
きいので必ずしもバンド１５にせず従来の如く鎖８を用
いても良い。また、支持台１４を容器収納箱１０の背面
に上下動可能に支持したのはガス容器１に充填されてい
るガスが液体の場合に使用するものであり気体状のガス
を充填した容器の場合には容器収納箱１０の背面に固定
しても良い。

【００１１】次に本考案の要旨である緊急遮断装置につ
いて説明すると、本装置は前述した通り、容器弁２のハ
ンドル２ａを把持する把手部２５と、該把手部２５を回
転部２６を介して回動させるアクチュエーター２２（駆
動部）と、該アクチュエータ２２の駆動制御を行うスイ
ッチボックス２３（制御系）とからなる。スイッチボッ
クス２３は、容器弁２直上位置の収納箱天井１０ａ部外
壁面上に固設され、外部に設置したコントロールユニッ
ト（図示せず）より導かれた電気配線３やガス配管４を
接続させている。アクチュエータ２２は、収納箱天井１
０ａ内壁面側に前記スイッチボックス２３と対面して配
設され、下方に駆動軸２２ａを突設する。

【００１２】回転軸部２６は、ユニバーサルジョイント
２７ａを介して前記駆動軸２２ａに連結され、図２に示
す如く、軸線方向にキー溝２８１ａを有する貰通孔２８
１を穿孔した円筒軸２８と、該円筒軸２８の貫通孔２８
１内に、キー溝２８１ａに沿って挿設され、その途中位
置にユニバーサルジョイント２７ｂを介在させたキー軸
２９とを有し、該キー軸２９の先端部に把手２５を取り
付ける。この結果、円筒軸２８の貫通孔２８１に挿設さ
れたキー軸２９は、キー溝２８１ａに係合されている為
に、駆動軸２２ａの回転により円筒軸２８を介してキー
軸２９が回転し、これに追従してその先端部の把手２５
の回転を円滑に行う事が出来る。前記回転軸２６の揺動
支点たるユニバーサルジョイント２７ａを、容器収納箱
の天井壁部１０ａに設けたアクチュエータ２２に直接連
結したために、回転軸２６自体の長さを長く出来、結果
として揺動範囲を極めて大きく取る事が出来る。

【００１３】又、前記キー軸２９は円筒軸２８内を軸線
方向に自在に伸縮可能なので、把手２５をハンドル２ａ
より容易に着脱させる事が出来る。更に、回転軸部２６
にユニバーサルジョイント２７ａ，２７ｂを介在させ、
軸線と直交する方向に揺動自在に構成したので、前記回
転軸部２６が揺動でき、前記上下方向の伸縮動作と共働
して把手部２５とハンドル２ａとの着脱動作がより一層
容易になる。

【００１４】更に上記のように把手部２５を上下動自在
にして容器弁２のハンドル２ａに取り付けることが出来
るので、液化ガスを充填した容器の重量を計測する手段
と組み合わせることも出来る。即ちこれを詳述すると、
液化ガスを充填した容器では容器内に液化ガスが存在す
る内はガス容器１の内圧がほぼ一定なので使用量を圧力
によって検知することが出来ない。そして、ガス容器１
内の液化ガスがすべて蒸発すると急速にガス供給が停止
し、半導体製造に大きな影響を与える。そこで液化ガス
を使用する場合には常時ガス容器内の液化ガス充填量を
計測しておく必要があるが、従来の緊急遮断装置では筐
体２１、アクチュエーター２２等の重量物がガス容器１
に荷重され、更にスイッチボックス２３に接続される電
気配線３、ガス配管４がガス容器１の上下動を抑制する
ためたとえ重量計測手段を設けても誤差が大きく実用に
はならなかった。

【００１５】本考案に係る緊急遮断装置では、ガス容器
にかかる重量は把手部２５とこれに接続するキー軸２９
及び支持台１４とこれに固定されるバンド１５で、いず
れも軽量であり、また、スイッチボックス２３を容器収
納箱１０の外部に設置したので従来のような電気配線３
やガス配管４によるガス容器１の上下動の抑制がないの
で容器収納箱１０内で上下動可能な支持台１４と組み合
わせてガス容器１内の残量を計測しながら緊急遮断を行
うことも出来る。

【００１６】

【効果】以上記載した如く本考案によれば、容器高さの
バラツキ又は異なる高さのガス容器を収納した場合にお
いても前記把手とハンドルとの係合容易化とともに、容
器交換作業の容易化を図る事が出来る。等の種々の著効
を有す。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係るガス容器の緊急遮断装置
で、収納箱の内部構成を示す正面断面図である。

【図２】図１に示された円筒軸の横断面図である。

【図３】従来技術に係る収納箱の内部構成を示す正面断
面図である。

【符号の説明】

１０ 収納箱、 １０ａ 天井壁面 １ ガス容器、 ２ 容器弁 ２５ 把手部 ２２ 駆動部（アクチュエ
ータ） ２６ 回転軸部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス容器の容器弁の開閉を行う把手部
   と、該把手部に回転力を伝達する駆動部と、所定信号に
   基づいて該駆動部の回転制御を行う制御系とからなり、
   容器収納箱に設置して使用するガス容器の緊急遮断装置
   において、前記駆動部と把手部とを連結する回転軸部を
   伸縮自在に構成すると共に、前記駆動部の駆動軸に揺動
   自在に連結した事を特徴とするガス容器の緊急遮断装置