JPH0592598U - ガス容器の緊急遮断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、半導体製造ガスの如く燃焼性ガス
を充填したガス容器の収納箱に設置した緊急遮断装置に
係り、特に異なる高さのガス容器を収納した場合におい
ても前記把手とハンドルとの係合容易化をと容器交換作
業の容易化を達成する。 【構成】 ガス容器の容器弁の開閉を行う把手部と、該
把手部に回転力を伝達する駆動部とを連結する回転軸部
を軸線と直交する方向に揺動自在に構成すると共に、該
揺動自在に構成した回転軸部を回転力を伝達可能に軸線
方向に伸縮可能に構成したガス容器の緊急遮断装置を提
案する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はガス容器の緊急遮断装置に係り、特に半導体製造ガスの如く燃焼性ガ スを充填したガス容器の収納箱に設置した緊急遮断装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来より半導体製造ガスではアルシン、ホスフィン、ジボラン等の燃焼ガスを 用いる為にこれらのガスを充填した容器は容器収納箱に収納して大気と遮断する とともに、配管系のガス漏れや地震その他の災害時に、前記ガス容器より配管系 へのガス供給を遮断する緊急遮断装置を設置している。そして該遮断装置では安 全性の向上の為、該ガス容器上端に付設している容器弁（ビンバルブ）を直接締 め付ける構造のものが近年多く採用されている。

【０００３】 図３はかかる緊急遮断装置を付設したガス容器収納箱の内部構成を示し、１は 上端部に容器弁２が取り付けられたガス容器で収納箱１０内のガイド板７に当接 して直立配置されており、その胴部周囲に鎖８を巻回し、転倒防止を図っている 。２０は緊急遮断装置で、ガス容器１に固定する為のコの字状の筐体２１上に固 設されたアクチュエータ２２（駆動部）とスイッチボックス２３（制御系）とを 有し、該アクチュエータ２２の回転軸２４を下方に垂下し、その先端部に前記容 器弁２のハンドル２ａを把持する把手２５を取り付けるとともに、図示しないコ ントロールユニットより導かれ、スイッチボックス２３内の各種スイッチ等の制 御を行う電線３やアクチュエータ２２を駆動させる為のガス配管４を、収納箱天 井１０ａ部より前記スイッチボックス２３側に導いている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記ガス容器１に充填された半導体製造ガスは燃焼性があるた め、容器収納箱内で漏れがあるとスイッチボックス２３またはスイッチボックス ２３と電気配線との接続部において引火する危険がある。また、前記従来の緊急 遮断装置ではアクチュエーター２２を取り付けた筐体２１をガス容器１のネック リング部に固定しなければならないので、容器交換毎に前記筐体２１を着脱しな ければならず容器交換作業がはなはだ面倒になる。

【０００５】 又前記装置では、アクチュエータ２２と把手２５間を連結する回転軸２４長さ が固定である為に、容器高さのバラツキ又は異なる高さのガス容器１を収納した 場合、前記把手２５とハンドル２ａとの係合が不可能になる。

【０００６】 本考案はかかる従来技術の欠点に鑑み、容器高さのバラツキ又は異なる高さの ガス容器を収納した場合においても前記把手とハンドルとの係合容易化を達成し 得るガス容器の緊急遮断機構を提供する事を目的とする。 又本考案の他の目的とする所は、容器交換作業の容易化を図り得るガス容器の 緊急遮断装置を提供する事にある。

【０００７】

【課題を解決する為の手段】

本考案は、かかる技術的課題を達成する為に、ガス容器の容器弁の開閉を行う 把手部と、該把手部に回転力を伝達する駆動部と、所定信号に基づいて該駆動部 の回転制御を行う制御系とからなり、容器収納箱に設置して使用するガス容器の 緊急遮断装置において、 前記駆動部と把手部を連結する回転軸部を軸線と直交する方向に揺動自在に構 成すると共に、該揺動自在に構成した回転軸部を回転力を伝達可能に軸線方向に 伸縮可能に構成した事を特徴とするガス容器の緊急遮断装置を提案する。

【０００８】

【作用】

かかる技術手段によれば、回転軸部２６自体が、軸線と直交する方向に揺動自 在に構成するとともに回転力を伝達可能に軸線方向に伸縮可能構成したために、 前記回転軸部の揺動と上下方向の伸縮動作により把手部とハンドルとの着脱動作 がより極めて容易になる。

【０００９】 又特に本考案は伸縮可能な回転軸部２６と、軸線と直交する方向に揺動部が別 体に構成されているのではなく、伸縮可能な回転軸部自体が、軸線と直交する方 向に揺動自在に構成されている為に、その揺動範囲を前記別体に構成した場合に 比較して揺動範囲を格段に広く取る事が出来る。

【００１０】 更に本考案によれば、前記回転軸の揺動支点を、容器収納箱の天井壁部に設け た駆動部の連結部に設ける事により、前記揺動範囲を一層拡大させる事が出来、 好ましい。

【００１１】 又収納箱壁面に設置した駆動部と把手部との連結が、回転力を伝達可能に軸線 方向に伸縮可能な回転軸部を介して行われている為に、容器高さのバラツキ又は 異なる高さの容器を収納した場合においても前記把手とハンドルとの係合を容易 に行う事が出来る。

【００１２】

【実施例】

以下、図面に基づいて本考案の実施例を例示的に詳しく説明する。但しこの実 施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特 定的な記載がない限りは、この考案の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく単 なる説明例に過ぎない。

【００１３】 図１乃至図２は本考案の実施例に係るガス容器１の緊急遮断装置を示し、図１ は収納箱の内部構成を示す正面断面図、図２は図１に示された円筒軸の横断面図 である。 容器収納箱１０は、前側の扉１１よりガス容器１が交換可能に構成され底部中 央にガス容器１の充填ガス量を計る重量測定器が設置され、背面にガス容器の固 定装置が配設されている。容器固定装置は容器収納箱１０の背面に上下動可能に 指示された支持台１４と該支持台１４に固定されてガス容器１を着脱自在に保持 して転倒防止を行うと共に保持時に該ガス容器の回転を規制するバンド１５とか ら構成される。 なお、バンド１５は後記する緊急遮断装置により容器弁２を開閉してもこれに 追従してガス容器自体が回転しないようにして容器弁２の確実な開閉を行うもの であるが、例えば４７Ｌ容器の如く大型、重量容器の場合には底部の接触抵抗が 大きいので必ずしもバンド１５にせず従来の如く鎖８を用いても良い。また、支 持台１４を容器収納箱１０の背面に上下動可能に支持したのはガス容器１に充填 されているガスが液体の場合に使用するものであり気体状のガスを充填した容器 の場合には容器収納箱１０の背面に固定しても良い。

【００１４】 次に本考案の要旨である緊急遮断装置について説明すると、本装置は前述した 通り、容器弁２のハンドル２ａを把持する把手部２５と、該把手部２５を回転部 ２６を介して回動させるアクチュエーター２２（駆動部）と、該アクチュエータ ２２の駆動制御を行うスイッチボックス２３（制御系）とからなる。 スイッチボックス２３は、容器弁２直上位置の収納箱天井１０ａ部外壁面上に 固設され、外部に設置したコントロールユニット（図示せず）より導かれた電気 配線３やガス配管４を接続させている。 アクチュエータ２２は、収納箱天井１０ａ内壁面側に前記スイッチボックス２ ３と対面して配設され、下方に駆動軸２２ａを突設する。

【００１５】 回転軸部２６は、図２に示す如く、ユニバーサルジョイント２７ａを介して前 記駆動軸２２ａに連結され、軸線方向にキー溝２８１ａを有する貫通孔２８１を 穿孔した円筒軸２８と、該円筒軸２８の貫通孔２８１内に、キー溝２８１ａに沿 って挿設され、その途中位置にユニバーサルジョイント２７ｂを介在させたキー 軸２９とを有し、該キー軸２９の先端部に把手２５を取り付ける。 この結果、円筒軸２８の貫通孔２８１に挿設されたキー軸２９は、キー溝２８ １ａに係合されている為に、駆動軸２２ａの回転により円筒軸２８を介してキー 軸２９が回転し、これに追従してその先端部の把手２５の回転を円滑に行う事が 出来る。 前記回転軸２６の揺動支点たるユニバーサルジョイント２７ａを、容器収納箱 の天井壁部１０ａに設けたアクチュエータ２２に直接連結したために、回転軸２ ６自体の長さを長く出来、結果として揺動範囲を極めて大きく取る事が出来る。

【００１６】 又、前記キー軸２９は円筒軸２８内を軸線方向に自在に伸縮可能なので、把手 ２５をハンドル２ａより容易に着脱させる事が出来る。更に、回転軸部２６にユ ニバーサルジョイント２７ａ，２７ｂを介在させ、軸線と直交する方向に揺動自 在に構成したので、前記回転軸部２６が揺動でき、前記上下方向の伸縮動作と共 働して把手部２５とハンドル２ａとの着脱動作がより一層容易になる。

【００１７】 更に上記のように把手部２５を上下動自在にして容器弁２のハンドル２ａに取 り付けることが出来るので、液化ガスを充填した容器の重量を計測する手段と組 み合わせることも出来る。即ちこれを詳述すると、液化ガスを充填した容器では 容器内に液化ガスが存在する内はガス容器１の内圧がほぼ一定なので使用量を圧 力によつて検知することが出来ない。そして、ガス容器１内の液化ガスがすべて 蒸発すると急速にガス供給が停止し、半導体製造に大きな影響を与える。そこで 液化ガスを使用する場合には常時ガス容器内の液化ガス充填量を計測しておく必 要があるが、従来の緊急遮断装置では筐体２１、アクチュエーター２２等の重量 物がガス容器１に荷重され、更にスイッチボックス２３に接続される電気配線３ 、ガス配管４がガス容器１の上下動を抑制するためたとえ重量計測手段を設けて も誤差が大きく実用にはならなかった。

【００１８】 本考案に係る緊急遮断装置では、ガス容器にかかる重量は把手部２５とこれに 接続するキー軸２９及び支持台１４とこれに固定されるバンド１５で、いずれも 軽量であり、また、スイッチボックス２３を容器収納箱１０の外部に設置したの で従来のような電気配線３やガス配管４によるガス容器１の上下動の抑制がない ので容器収納箱１０内で上下動可能な支持台１４と組み合わせてガス容器１内の 残量を計測しながら緊急遮断を行うことも出来る。

【００１９】

【効果】

以上記載した如く本考案によれば、容器高さのバラツキ又は異なる高さのガス 容器を収納した場合においても前記把手とハンドルとの係合容易化とともに、容 器交換作業の容易化を図る事が出来る。 等の種々の著効を有す。

【提出日】平成４年９月１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】 【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はガス容器の緊急遮断装置に係り、特に半導体製造ガスの如く燃焼性ガ スを充填したガス容器の収納箱に設置した緊急遮断装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来より半導体製造ガスではアルシン、ホスフィン、ジボラン等の燃焼性ガス を用いる為にこれらのガスを充填した容器は容器収納箱に収納して外部と遮断す るとともに、配管系のガス漏れや地震その他の災害時に、前記ガス容器より配管 系へのガス供給を遮断する緊急遮断装置を設置している。そして該遮断装置では 安全性の向上の為、該ガス容器上端に付設している容器弁（ビンバルブ）を直接 締め付ける構造のものが近年多く採用されている。

【０００３】 図３はかかる緊急遮断装置を付設したガス容器収納箱の内部構成を示し、１は 上端部に容器弁２が取り付けられたガス容器で収納箱１０内のガイド板７に当接 して直立配置されており、その胴部周囲に鎖８を巻回し、転倒防止を図っている 。２０は緊急遮断装置で、ガス容器１に固定する為のコの字状の筐体２１上に固 設されたアクチュエータ２２（駆動部）とスイッチボックス２３（制御系）とを 有し、該アクチュエータ２２の回転軸２４を下方に垂下し、その先端部に前記容 器弁２のハンドル２ａを把持する把手２５を取り付けるとともに、図示しないコ ントロールユニットより導かれ、スイッチボックス２３内の各種スイッチ等の制 御を行う電線３やアクチュエータ２２を駆動させる為のガス配管４を、収納箱天 井１０ａ部より前記スイッチボックス２３側に導いている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記ガス容器１に充填された半導体製造ガスは燃焼性があるた め、容器収納箱内で漏れがあるとスイッチボックス２３またはスイッチボックス ２３と電気配線との接続部において引火する危険がある。また、前記従来の緊急 遮断装置ではアクチュエーター２２を取り付けた筐体２１をガス容器１のネック リング部に固定しなければならないので、容器交換毎に前記筐体２１を着脱しな ければならず容器交換作業がはなはだ面倒になる。

【０００５】 本考案はかかる従来技術の欠点に鑑み、容器高さのバラツキ又は異なる高さの ガス容器を収納した場合においても前記把手とハンドルとの係合容易化を達成し 得るガス容器の緊急遮断機構を提供する事を目的とする。 又本考案の他の目的とする所は、容器交換作業の容易化を図り得るガス容器の 緊急遮断装置を提供する事にある。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】

本考案は、かかる技術的課題を達成する為に、ガス容器の容器弁の開閉を行う 把手部と、該把手部に回転力を伝達する駆動部と、所定信号に基づいて該駆動部 の回転制御を行う制御系とからなり、容器収納箱に設置して使用するガス容器の 緊急遮断装置において、 前記駆動部と把手部とを連結する回転軸部を伸縮自在に構成すると共に、前記 駆動部の駆動軸に揺動自在に連結した事を特徴とするガス容器の緊急遮断装置を 提案する。

【０００７】

【作用】

かかる技術手段によれば、回転軸部を伸縮自在にするとともに揺動自在に構成 したために、前記回転軸部の揺動と上下方向の伸縮動作により容器高さのバラツ キ又は異なる高さの容器を収納した場合においても前記把手とハンドルとの係合 を容易に行う事が出来る。

【０００８】 又特に本考案は伸縮可能な回転軸部自体が揺動自在に構成されている為に、揺 動範囲を格段に広く取る事が出来る。

【０００９】

【実施例】

以下、図面に基づいて本考案の実施例を例示的に詳しく説明する。但しこの実 施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特 定的な記載がない限りは、この考案の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく単 なる説明例に過ぎない。

【００１０】 図１乃至図２は本考案の実施例に係るガス容器１の緊急遮断装置を示し、図１ は収納箱の内部構成を示す正面断面図、図２は図１に示された円筒軸の横断面図 である。 容器収納箱１０は、前側の扉１１よりガス容器１が交換可能に構成され底部中 央にガス容器１の充填ガス量を計る重量測定器が設置され、背面にガス容器の固 定装置が配設されている。容器固定装置は容器収納箱１０の背面に上下動可能に 支持された支持台１４と該支持台１４に固定されてガス容器１を着脱自在に保持 して転倒防止を行うと共に保持時に該ガス容器の回転を規制するバンド１５とか ら構成される。 なお、バンド１５は後記する緊急遮断装置により容器弁２を開閉してもこれに 追従してガス容器自体が回転しないようにして容器弁２の確実な開閉を行うもの であるが、例えば４７Ｌ容器の如く大型、重量容器の場合には底部の接触抵抗が 大きいので必ずしもバンド１５にせず従来の如く鎖８を用いても良い。また、支 持台１４を容器収納箱１０の背面に上下動可能に支持したのはガス容器１に充填 されているガスが液体の場合に使用するものであり気体状のガスを充填した容器 の場合には容器収納箱１０の背面に固定しても良い。

【００１１】 次に本考案の要旨である緊急遮断装置について説明すると、本装置は前述した 通り、容器弁２のハンドル２ａを把持する把手部２５と、該把手部２５を回転部 ２６を介して回動させるアクチュエーター２２（駆動部）と、該アクチュエータ ２２の駆動制御を行うスイッチボックス２３（制御系）とからなる。 スイッチボックス２３は、容器弁２直上位置の収納箱天井１０ａ部外壁面上に 固設され、外部に設置したコントロールユニット（図示せず）より導かれた電気 配線３やガス配管４を接続させている。 アクチュエータ２２は、収納箱天井１０ａ内壁面側に前記スイッチボックス２ ３と対面して配設され、下方に駆動軸２２ａを突設する。

【００１２】 回転軸部２６は、ユニバーサルジョイント２７ａを介して前記駆動軸２２ａに 連結され、図２に示す如く、軸線方向にキー溝２８１ａを有する貰通孔２８１を 穿孔した円筒軸２８と、該円筒軸２８の貫通孔２８１内に、キー溝２８１ａに沿 って挿設され、その途中位置にユニバーサルジョイント２７ｂを介在させたキー 軸２９とを有し、該キー軸２９の先端部に把手２５を取り付ける。 この結果、円筒軸２８の貫通孔２８１に挿設されたキー軸２９は、キー溝２８ １ａに係合されている為に、駆動軸２２ａの回転により円筒軸２８を介してキー 軸２９が回転し、これに追従してその先端部の把手２５の回転を円滑に行う事が 出来る。 前記回転軸２６の揺動支点たるユニバーサルジョイント２７ａを、容器収納箱 の天井壁部１０ａに設けたアクチュエータ２２に直接連結したために、回転軸２ ６自体の長さを長く出来、結果として揺動範囲を極めて大きく取る事が出来る。

【００１３】 又、前記キー軸２９は円筒軸２８内を軸線方向に自在に伸縮可能なので、把手 ２５をハンドル２ａより容易に着脱させる事が出来る。更に、回転軸部２６にユ ニバーサルジョイント２７ａ，２７ｂを介在させ、軸線と直交する方向に揺動自 在に構成したので、前記回転軸部２６が揺動でき、前記上下方向の伸縮動作と共 働して把手部２５とハンドル２ａとの着脱動作がより一層容易になる。

【００１４】 更に上記のように把手部２５を上下動自在にして容器弁２のハンドル２ａに取 り付けることが出来るので、液化ガスを充填した容器の重量を計測する手段と組 み合わせることも出来る。即ちこれを詳述すると、液化ガスを充填した容器では 容器内に液化ガスが存在する内はガス容器１の内圧がほぼ一定なので使用量を圧 力によって検知することが出来ない。そして、ガス容器１内の液化ガスがすべて 蒸発すると急速にガス供給が停止し、半導体製造に大きな影響を与える。そこで 液化ガスを使用する場合には常時ガス容器内の液化ガス充填量を計測しておく必 要があるが、従来の緊急遮断装置では筐体２１、アクチュエーター２２等の重量 物がガス容器１に荷重され、更にスイッチボックス２３に接続される電気配線３ 、ガス配管４がガス容器１の上下動を抑制するためたとえ重量計測手段を設けて も誤差が大きく実用にはならなかった。

【００１５】 本考案に係る緊急遮断装置では、ガス容器にかかる重量は把手部２５とこれに 接続するキー軸２９及び支持台１４とこれに固定されるバンド１５で、いずれも 軽量であり、また、スイッチボックス２３を容器収納箱１０の外部に設置したの で従来のような電気配線３やガス配管４によるガス容器１の上下動の抑制がない ので容器収納箱１０内で上下動可能な支持台１４と組み合わせてガス容器１内の 残量を計測しながら緊急遮断を行うことも出来る。

【００１６】

【効果】

以上記載した如く本考案によれば、容器高さのバラツキ又は異なる高さのガス 容器を収納した場合においても前記把手とハンドルとの係合容易化とともに、容 器交換作業の容易化を図る事が出来る。 等の種々の著効を有す。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係るガス容器の緊急遮断装置
で、収納箱の内部構成を示す正面断面図である。

【図２】図１に示された円筒軸の横断面図である。

【図３】従来技術に係る収納箱の内部構成を示す正面断
面図である。

【符号の説明】

１０ 収納箱、 １０ａ 天井壁面 １ ガス容器、 ２ 容器弁 ２５ 把手部 ２２ 駆動部（アクチュエ
ータ） ２６ 回転軸部

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【手続補正書】

【提出日】平成４年９月１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【考案の名称】 ガス容器の緊急遮断装置

【実用新案登録請求の範囲】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係るガス容器の緊急遮断装置
で、収納箱の内部構成を示す正面断面図である。

【図２】図１に示された円筒軸の横断面図である。

【図３】従来技術に係る収納箱の内部構成を示す正面断
面図である。

【符号の説明】 １０ 収納箱、 １０ａ 天井壁面 １ ガス容器、 ２ 容器弁 ２５ 把手部 ２２ 駆動部（アクチュエ
ータ） ２６ 回転軸部

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス容器の容器弁の開閉を行う把手部
   と、該把手部に回転力を伝達する駆動部と、所定信号に
   基づいて該駆動部の回転制御を行う制御系とからなり、
   容器収納箱に設置して使用するガス容器の緊急遮断装置
   において、 前記駆動部と把手部を連結する回転軸部を軸線と直交す
   る方向に揺動自在に構成すると共に、該揺動自在に構成
   した回転軸部を回転力を伝達可能に軸線方向に伸縮可能
   に構成した事を特徴とするガス容器の緊急遮断装置
2. 【請求項２】 前記回転軸の揺動支点を、容器収納箱の
   天井壁部に設けた駆動部の連結部に設けた事を特徴とす
   る請求項１記載のガス容器の緊急遮断装置