JPH07253334A - 光学式エンコーダ - Google Patents

光学式エンコーダ

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JPH07253334A
JPH07253334A JP6070037A JP7003794A JPH07253334A JP H07253334 A JPH07253334 A JP H07253334A JP 6070037 A JP6070037 A JP 6070037A JP 7003794 A JP7003794 A JP 7003794A JP H07253334 A JPH07253334 A JP H07253334A
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JP
Japan
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signal
phase
phase difference
phase signal
optical encoder
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Application number
JP6070037A
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English (en)
Inventor
Norio Tsuburaya
寛夫 圓谷
Yasuo Suzuki
康夫 鈴木
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 検出した2つの信号の位相差を所定の位相差
に電気的に調整することのできる光学式エンコーダを提
供する。 【構成】 光学式エンコーダの位相電調手段は、A相信
号(0度)の反転信号であるC相信号(180度)を生
成するための反転オペアンプOPを備え、直列に接続さ
れた固定抵抗器Rと可変抵抗器Sの両端にはA相信号お
よびB相信号が接続されている。可変抵抗器Sの抵抗値
を調整することにより、A相信号およびB相信号に基づ
いて、5度の位相を有するD相信号すなわちa相信号
(5°)を生成する。可変抵抗器Uの抵抗値を調整する
ことにより、B相信号およびC相信号に基づいて、a相
信号に対して90度の位相を有するE相信号すなわちb
相信号(95°)を生成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光学式エンコーダに関す
る。
【0002】
【従来の技術】2相正弦波信号を発生する光学式エンコ
ーダは、連続したパターンが形成されたメインスケール
と、このメインスケールを照明するLEDのような光源
と、2つのパターンが形成されたインデックススケール
と、2つの受光センサとを備えている。光源、インデッ
クススケールおよび受光センサは、メインスケールに対
して一体的に相対移動(走査)され、メインスケールの
パターンとインデックススケールの一方のパターンとを
透過した光を受光した第1のセンサからA相信号を、メ
インスケールのパターンとインデックススケールの他方
のパターンとを透過した光を受光した第2のセンサから
B相信号を検出する。
【0003】メインスケールのパターンおよびインデッ
クススケールのパターンは、検出されたA相信号および
B相信号の波形が互いに位相の90度異なる2つの正弦
波信号になるように構成されている。しかしながら、実
際には、光源であるLEDの光束が完全な平行光束でな
かったり、光束の強度の分布が一様でなかったりする場
合、位相差の誤差が発生する。また、メインスケールと
インデックススケールとが互いに平行に取り付けられて
いないような場合にも、位相差の誤差が発生する。
【0004】このように2相正弦波信号の場合、検出し
たA相信号とB相信号との位相差が正確に90度にはな
らず、数度乃至20度の誤差が発生することがある。そ
して、この位相差誤差は、走査範囲に亘って変動する。
光学式エンコーダでは、検出したA相信号およびB相信
号がゼロレベルと交差する位置をカウントして位置検出
するので、位相差の誤差はそのまま位置検出誤差の原因
となる。そこで、比較的高い位置検出精度が要求される
ような場合には、2つの信号の位相差が走査範囲に亘っ
て90度に近づくように、光源のような光学系やメイン
スケールおよびインデックススケールのような機械系の
調節を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
光学式エンコーダにおいては、2つの信号の位相差が走
査範囲に亘って90度に近づくように、光学系や機械系
の調節を行っていた。しかしながら、光学系や機械系の
調節は、人の経験や感に頼る部分が多く、位相差を所望
の位相差に調整するのに時間がかかるという不都合があ
った。特に高い位置検出精度が要求されるような場合に
は、位相差の許容誤差が小さいので、位相差の調整に多
大の時間がかかるという不都合があった。
【0006】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、検出した2つの信号の位相差を所定の位相差
に電気的に調整することのできる光学式エンコーダを提
供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、メインスケールに対するインデ
ックススケールの相対移動に応じて位相の異なる2つ以
上の信号を発生する光学式エンコーダにおいて、各信号
の位相差を所定の位相差に電気的に調整するための位相
電調手段を備え、該位相電調手段は、第1の信号および
該第1の信号に対して第1の位相差を有する第2の信号
に基づいて、前記所定位相差より小さい位相差を有する
第3の信号を生成するための第1の信号生成手段と、前
記第1の信号および前記第2の信号に基づいて、前記所
定位相差より大きい位相差を有する第4の信号を生成す
るための第2の信号生成手段と、前記第3の信号および
前記第4の信号に基づいて、前記第1の信号に対して前
記所定位相差を有する第5の信号を生成する第3の信号
生成手段とを備え、前記第1の信号および前記第5の信
号により、前記メインスケールと前記インデックススケ
ールとの相対移動量を算出することを特徴とする光学式
エンコーダを提供する。
【0008】本発明の好ましい態様によれば、前記第3
の信号生成手段は少なくとも1つの可変抵抗器を備え、
前記第3の信号と前記第4の信号とを前記可変抵抗器を
介して可変抵抗分割して、前記第1の信号に対して前記
所定位相差を有する前記第5の信号を生成する。また、
前記第1の信号生成手段は一対の固定抵抗器を備え、2
相正弦波信号である前記第1の信号と前記第2の信号と
を前記一対の固定抵抗器を介して抵抗分割して、前記第
1の信号に対して0より大きく且つ前記第1の位相差よ
り小さい位相差を有する前記第3の信号を生成するのが
好ましい。
【0009】
【作用】本発明では、検出した各信号の位相差を所定の
位相差に電気的に調整するための位相電調手段を備えて
いる。したがって、従来の光学系または機械系の調節に
よる位相差調整よりも迅速且つ正確な位相調整が可能で
ある。たとえば2相正弦波信号の場合について説明する
と、位相電調手段は抵抗分割を利用するものであって、
検出したA相信号とB相信号とからその中間の位相を有
するD相信号を生成する。さらに、A相信号の反転信号
であるC相信号とB相信号とからその中間の位相を有す
るE相信号を生成する。
【0010】仮に、実際に検出したA相信号とB相信号
との位相差を80度とすると、生成されたD相信号のA
相信号に対する位相差は40度であり、E相信号のA相
信号に対する位相差は130度である。換言すれば、D
相信号のA相信号に対する位相差は所定の位相差である
90度よりも小さく、E相信号のA相信号に対する位相
差は所定の位相差である90度よりも大きい。このよう
に生成されたD相信号とE相信号とを可変抵抗器を介し
て可変抵抗分割することによって、A相信号(a相信
号)に対して所定の位相差を有するb相信号を生成する
ことができる。
【0011】可変抵抗分割における位相差の調整方法と
して、オシロスコープでリサージュ波形が円形になるよ
うに調整する方法や、位相測定器によって位相差が90
度になるように調整する方法がある。いずれの方法も、
光学系や機械系を調節することなく迅速且つ正確に位相
差調整をすることができる。以上のように、本発明で
は、固定抵抗器、可変抵抗器等の比較的安価な電気部品
を付設するだけで、位相差誤差の少ないエンコーダ信号
を発生させることができ、高精度な位置検出が可能にな
る。
【0012】
【実施例】本発明の実施例を、添付図面に基づいて説明
する。図1は、本発明の第1の実施例にかかる光学式エ
ンコーダの位相電調手段の構成を示す図である。図2
は、実際の位相差が80度であるA相信号およびB相信
号を位相調整して、90度の所定位相差を有するa相信
号およびb相信号を生成する様子を示す図である。この
ように、第1の実施例は、本発明を2相正弦波信号に適
用したものである。以下の説明において、実際に検出さ
れたA相信号の位相を基準の0度とし、B相信号の位相
を80度とし、生成される各信号の位相を括弧内に示
す。
【0013】図1を参照すると、第1実施例の光学式エ
ンコーダの位相電調手段は、A相信号(0度)の反転信
号であるC相信号(180度)を生成するための反転オ
ペアンプOPを備えている。図示の位相電調手段は、直
列に接続された固定抵抗器Rと可変抵抗器Sとを備え、
その両端にはA相信号およびB相信号が接続されてい
る。A相信号およびB相信号は、固定抵抗器Rおよび可
変抵抗器Sを介して可変抵抗分割され、たとえば5度の
位相を有するD相信号(5°)が生成される。すなわ
ち、可変抵抗器Sの抵抗値を調整することにより、A相
信号およびB相信号に基づいて、5度の位相を有するD
相信号すなわちa相信号(5°)を生成する。
【0014】図示の位相電調手段はさらに、直列に接続
された固定抵抗器Tと可変抵抗器Uとを備え、その両端
にはB相信号およびC相信号(180度)が接続されて
いる。B相信号およびC相信号は、固定抵抗器Tおよび
可変抵抗器Uを介して可変抵抗分割され、後述するよう
にa相信号(5°)に対して90度の位相を有するE相
信号(95°)が生成される。すなわち、可変抵抗器U
の抵抗値を調整することにより、B相信号およびC相信
号に基づいて、a相信号に対して90度の位相を有する
E相信号すなわちb相信号(95°)を生成する。
【0015】図3は、オシロスコープのリサージュ波形
による位相調整を説明する図である。位相差が80度で
あるA相信号およびB相信号をオシロスコープに入力す
るとそのリサージュ波形は図示のように楕円形状にな
る。一方、位相差が90度である2つの信号のリサージ
ュ波形は図示のように円形になる。したがって、a相信
号およびb相信号をオシロスコープに入力し、そのリサ
ージュ波形が円形になるように、可変抵抗器Uを作動さ
せる。すなわち、リサージュ波形を参照しながら可変抵
抗器Uを適宜作動させることによって、位相差がほぼ9
0度異なるa相信号およびb相信号を得ることができ
る。
【0016】しかしながら、第1実施例のエンコーダで
は、信号処理に使用されるa相信号およびb相信号が検
出したA相信号およびB相信号に対して位相差を有する
(換言すれば、基準であるA相信号とa相信号との位相
が同一ではない)。したがって、第1実施例のエンコー
ダをたとえばステージの移動量測定に使用する場合、1
ストロークでの移動量に誤差が生じる可能性がある。こ
のため、たとえばレーザ測長器で測定した1ストローク
の移動量と、第1実施例のエンコーダで測定した1スト
ロークの移動量とを比較し、その差に基づいてa相信号
およびb相信号を補正する必要がある。
【0017】図4は、本発明の第2の実施例にかかる光
学式エンコーダの位相電調手段の構成を示す図である。
第2の実施例も、本発明を2相正弦波信号に適用したも
のである。以下の説明において、実際に検出されたA相
信号の位相を基準の0度とし、B相信号の位相を80度
とし、生成される各信号の位相を括弧内に示す。図4を
参照すると、第2実施例の光学式エンコーダの位相電調
手段は、A相信号(0度)の反転信号であるC相信号
(180度)を生成するための反転オペアンプOPを備
えている。図示の位相電調手段は、互いに同じ抵抗値を
有し直列に接続された2つの抵抗器R1を備え、一対の
抵抗器R1の両端にはA相信号およびB相信号が接続さ
れている。A相信号およびB相信号は、各抵抗器R1を
介して抵抗分割されA相信号の位相とB相信号の位相と
の中間の位相を有するD相信号(40度)が生成され
る。このように、一対の抵抗器R1は、第1の抵抗分割
器を構成している。
【0018】図示の位相電調手段はさらに、互いに同じ
抵抗値を有し直列に接続された2つの抵抗器R2を備
え、一対の抵抗器R2の両端にはB相信号およびC相信
号(180度)が接続されている。B相信号およびC相
信号は、各抵抗器R2を介して抵抗分割されB相信号の
位相とC相信号の位相との中間の位相を有するE相信号
(130度)が生成される。このように、一対の抵抗器
R2は、第2の抵抗分割器を構成している。
【0019】このように、互いに90度の位相差を有す
る2つの信号として、D相信号(40度)すなわちa相
信号およびE相信号(130度)すなわちb相信号が得
られる。しかしながら、第2実施例のエンコーダにおい
ても、信号処理に使用されるa相信号およびb相信号が
検出したA相信号およびB相信号に対して位相差を有す
るので、第1実施例と同様の補正が必要になる。
【0020】図5は、本発明の第3の実施例にかかる光
学式エンコーダの位相電調手段の構成を示す図である。
第3の実施例も、本発明を2相正弦波信号に適用したも
のである。以下の説明において、実際に検出されたA相
信号の位相を基準の0度とし、B相信号の位相を80度
とし、生成される各信号の位相を括弧内に示す。図5を
参照すると、第3実施例の光学式エンコーダの位相電調
手段は、A相信号(0度)の反転信号であるC相信号
(180度)を生成するための反転オペアンプOPを備
えている。図示の位相電調手段は、互いに同じ抵抗値を
有し直列に接続された2つの抵抗器R1を備え、一対の
抵抗器R1の両端にはA相信号およびB相信号が接続さ
れている。A相信号およびB相信号は、各抵抗器R1を
介して抵抗分割されA相信号の位相とB相信号の位相と
の中間の位相を有するD相信号(40度)が生成され
る。このように、一対の抵抗器R1は、第1の抵抗分割
器を構成している。
【0021】図示の位相電調手段はさらに、互いに同じ
抵抗値を有し直列に接続された2つの抵抗器R2を備
え、一対の抵抗器R2の両端にはB相信号およびC相信
号(180度)が接続されている。B相信号およびC相
信号は、各抵抗器R2を介して抵抗分割されB相信号の
位相とC相信号の位相との中間の位相を有するE相信号
(130度)が生成される。このように、一対の抵抗器
R2は、第2の抵抗分割器を構成している。
【0022】生成されたD相信号(40度)およびE相
信号(130度)は、それぞれ互いに同じ抵抗値を有す
る抵抗器R3を介して可変抵抗器VRに接続されてい
る。D相信号およびE相信号は、各抵抗器R3および可
変抵抗器VRを介して可変抵抗分割されD相信号の位相
とE相信号の位相との間の任意の位相を有するb相信号
(40〜130度)が生成される。このように、一対の
抵抗器R3および可変抵抗器VRは、可変抵抗分割器を
構成している。
【0023】こうして、A相信号(a相信号)およびb
相信号をオシロスコープに入力し、そのリサージュ波形
が円形になるように、可変抵抗器VRを作動させる。す
なわち、リサージュ波形を参照しながら可変抵抗器VR
を適宜作動させることによって、位相差がほぼ90度異
なるa相信号およびb相信号を得ることができる。な
お、第1実施例では位相調整のための可変抵抗器を2つ
設ける必要があるのに対し、第3実施例では1つの可変
抵抗器だけで位相調整すればよい。また、第1実施例お
よび第2実施例では1ストロークでの補正が必要である
のに対し、第3実施例では上記補正をする必要がない。
【0024】図6は、本発明の第4の実施例にかかる光
学式エンコーダの位相電調手段の構成を示す図である。
第4の実施例は、本発明を3相正弦波信号に適用したも
のである。3相正弦波信号の場合、各信号間の所定の位
相差は120度である。以下の説明において、実際に検
出されたA相信号の位相を基準の0度とし、B相信号の
位相を110度とし、C相信号の位相を230度とし、
生成される各信号の位相を括弧内に示す。
【0025】図6を参照すると、第4実施例の光学式エ
ンコーダの位相電調手段は、互いに同じ抵抗値を有し直
列に接続された2つの抵抗器R1を備え、一対の抵抗器
R1の両端にはA相信号およびB相信号が接続されてい
る。A相信号およびB相信号は、各抵抗器R1を介して
抵抗分割されA相信号の位相とB相信号の位相との中間
の位相を有するD相信号(55度)が生成される。この
ように、一対の抵抗器R1は、第1の抵抗分割器を構成
している。
【0026】図示の位相電調手段はさらに、互いに同じ
抵抗値を有し直列に接続された2つの抵抗器R2を備
え、一対の抵抗器R2の両端にはB相信号およびC相信
号が接続されている。B相信号およびC相信号は、各抵
抗器R2を介して抵抗分割されB相信号の位相とC相信
号の位相との中間の位相を有するE相信号(170度)
が生成される。このように、一対の抵抗器R2は、第2
の抵抗分割器を構成している。
【0027】図示の位相電調手段はさらに、互いに同じ
抵抗値を有し直列に接続された2つの抵抗器R3を備
え、一対の抵抗器R3の両端にはC相信号およびA相信
号が接続されている。C相信号およびA相信号は、各抵
抗器R3を介して抵抗分割されC相信号の位相とA相信
号(360度)の位相との中間の位相を有するF相信号
(295度)が生成される。このように、一対の抵抗器
R3は、第3の抵抗分割器を構成している。
【0028】生成されたD相信号(55度)およびE相
信号(170度)は、それぞれ互いに同じ抵抗値を有す
る抵抗器R4を介して可変抵抗器VR1に接続されてい
る。D相信号およびE相信号は、各抵抗器R4および可
変抵抗器VR1を介して可変抵抗分割されD相信号の位
相とE相信号の位相との間の任意の位相を有するb相信
号(55〜170度)が生成される。このように、一対
の抵抗器R4および可変抵抗器VR1は、第1の可変抵
抗分割器を構成している。
【0029】一方、生成されたE相信号(170度)お
よびF相信号(295度)は、それぞれ互いに同じ抵抗
値を有する抵抗器R5を介して可変抵抗器VR2に接続
されている。E相信号およびF相信号は、各抵抗器R5
および可変抵抗器VR2を介して可変抵抗分割されE相
信号の位相とF相信号の位相との間の任意の位相を有す
るc相信号(170〜295度)が生成される。このよ
うに、一対の抵抗器R5および可変抵抗器VR2は、第
2の可変抵抗分割器を構成している。
【0030】こうして、A相信号(すなわちa相信
号)、b相信号およびc相信号をオシロスコープに入力
し、そのリサージュ波形が円形になるように、可変抵抗
器VR1およびVR2をそれぞれ作動させる。すなわ
ち、リサージュ波形を参照しながら可変抵抗器VR1お
よびVR2をそれぞれ適宜作動させることによって、位
相差がほぼ120度異なるa相信号、b相信号およびc
相信号を得ることができる。
【0031】なお、上述の各実施例では位相差の調整に
ついてのみ説明したが、位相差が調整された信号はその
中心レベルおよび振幅等についても調整された後、不図
示の信号処理手段により、メインスケールとインデック
ススケールとの相対移動量を示す具体的な数値に信号処
理される。また、上述の第2乃至第4実施例では、抵抗
分割器を互いに同じ抵抗値を有する一対の固定抵抗器で
構成する例を示したが、異なる抵抗値を有する一対の固
定抵抗器で構成してもよいし、他の適当な構成の適用を
妨げるものではない。さらに、上述の第3および第4実
施例では、可変抵抗分割器を互いに同じ抵抗値を有する
一対の固定抵抗器および可変抵抗器で構成する例を示し
たが、異なる抵抗値を有する一対の固定抵抗器および可
変抵抗器で構成してもよいし、可変抵抗器のみで構成し
てもよい。
【0032】
【効果】以上説明したように、本発明の光学式エンコー
ダでは、検出した各信号の位相差を電気的に調整するた
めの位相電調手段を備えているので、従来の光学系また
は機械系の調節による位相差調整よりも迅速且つ正確な
位相調整が可能である。また、本発明の位相電調手段を
固定抵抗器、可変抵抗器等の電気部品で構成すれば、比
較的安価な構成で高精度な位置検出が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例にかかる光学式エンコー
ダの位相電調手段の構成を示す図である。
【図2】実際の位相差が80度であるA相信号およびB
相信号を位相調整して、90度の所定位相差を有するa
相信号およびb相信号を生成する様子を示す図である。
【図3】オシロスコープのリサージュ波形による位相調
整を説明する図である。
【図4】本発明の第2の実施例にかかる光学式エンコー
ダの位相電調手段の構成を示す図である。
【図5】本発明の第3の実施例にかかる光学式エンコー
ダの位相電調手段の構成を示す図である。
【図6】本発明の第4の実施例にかかる光学式エンコー
ダの位相電調手段の構成を示す図である。
【符号の説明】
R 固定抵抗器 VR 可変抵抗器 OP 反転オペアンプ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メインスケールに対するインデックスス
    ケールの相対移動に応じて位相の異なる2つ以上の信号
    を発生する光学式エンコーダにおいて、 各信号の位相差を所定の位相差に電気的に調整するため
    の位相電調手段を備え、該位相電調手段は、 第1の信号および該第1の信号に対して第1の位相差を
    有する第2の信号に基づいて、前記所定位相差より小さ
    い位相差を有する第3の信号を生成するための第1の信
    号生成手段と、 前記第1の信号および前記第2の信号に基づいて、前記
    所定位相差より大きい位相差を有する第4の信号を生成
    するための第2の信号生成手段と、 前記第3の信号および前記第4の信号に基づいて、前記
    第1の信号に対して前記所定位相差を有する第5の信号
    を生成する第3の信号生成手段とを備え、 前記第1の信号および前記第5の信号により、前記メイ
    ンスケールと前記インデックススケールとの相対移動量
    を算出することを特徴とする光学式エンコーダ。
  2. 【請求項2】 前記第3の信号生成手段は少なくとも1
    つの可変抵抗器を備え、前記第3の信号と前記第4の信
    号とを前記可変抵抗器を介して可変抵抗分割して、前記
    第1の信号に対して前記所定位相差を有する前記第5の
    信号を生成することを特徴とする請求項1に記載の光学
    式エンコーダ。
  3. 【請求項3】 前記第1の信号生成手段は一対の固定抵
    抗器を備え、2相正弦波信号である前記第1の信号と前
    記第2の信号とを前記一対の固定抵抗器を介して抵抗分
    割して、前記第1の信号に対して0より大きく且つ前記
    第1の位相差より小さい位相差を有する前記第3の信号
    を生成することを特徴とする請求項1または2に記載の
    光学式エンコーダ。
  4. 【請求項4】 前記第2の信号生成手段は一対の固定抵
    抗器を備え、2相正弦波信号である前記第1の信号の反
    転信号と前記第2の信号とを前記一対の固定抵抗器を介
    して抵抗分割して、前記第1の信号に対して前記第1の
    位相差より大きく且つ180度より小さい位相差を有す
    る前記第4の信号を生成することを特徴とする請求項1
    乃至3のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
  5. 【請求項5】 前記第1の信号生成手段の一対の固定抵
    抗器は互いに同じ抵抗値を有し、前記第1の信号に対し
    て前記第1の位相差の半分の位相差を有する前記第3の
    信号を生成することを特徴とする請求項3に記載の光学
    式エンコーダ。
  6. 【請求項6】 前記第2の信号生成手段の一対の固定抵
    抗器は互いに同じ抵抗値を有し、前記第1の信号に対し
    て前記第1の位相差に180度を加算した位相差の半分
    の位相差を有する前記第4の信号を生成することを特徴
    とする請求項4に記載の光学式エンコーダ。
  7. 【請求項7】 メインスケールに対するインデックスス
    ケールの相対移動に応じて位相の異なる2つ以上の信号
    を発生する光学式エンコーダにおいて、 各信号の位相差を所定の位相差に電気的に調整するため
    の位相電調手段を備え、該位相電調手段は、 第1の信号と、該第1の信号に対して第1の位相差を有
    する第2の信号とに基づいて、第3の信号を生成するた
    めの第1の信号生成手段と、 前記第1の信号と前記第2の信号とに基づいて、前記第
    3の信号に対して所定の位相差を有する第4の信号を生
    成するための第2の信号生成手段とを備え、 前記第3の信号および前記第4の信号により、前記メイ
    ンスケールと前記インデックススケールとの相対移動量
    を算出することを特徴とする光学式エンコーダ。
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