JPH07234171A - 反射効率測定装置および回折効率測定装置 - Google Patents
反射効率測定装置および回折効率測定装置Info
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- JPH07234171A JPH07234171A JP6026597A JP2659794A JPH07234171A JP H07234171 A JPH07234171 A JP H07234171A JP 6026597 A JP6026597 A JP 6026597A JP 2659794 A JP2659794 A JP 2659794A JP H07234171 A JPH07234171 A JP H07234171A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 回折格子２に光ビームが入射したときの該光
ビーム入射方向の回折効率ηθ を測定する回折効率測
定装置であって、光ビーム入射方向の回折光強度を入射
光強度と同一タイミングで検出可能な構成として、レー
ザ１２に出力変動が生じた場合であっても上記回折効率
ηθ を正確に測定できるようにする。 【構成】 レーザ１２と回折格子２とを結ぶ光路内にハ
ーフプリズム１４を設け、レーザ１２から射出された光
ビームのうちハーフプリズム１４において分割された
（反射された）光ビームの強度Ｉ1 を第１光検出器１６
で検出する一方、回折格子２で光ビーム入射方向へ回折
した光ビームのうちハーフプリズム１４において分割さ
れた（反射された）光ビームの強度Ｉ2 を第２光検出器
１８で検出し、両検出値の比Ｉ2 ／Ｉ1 に基づいて回折
効率ηθ を算出する。
ビーム入射方向の回折効率ηθ を測定する回折効率測
定装置であって、光ビーム入射方向の回折光強度を入射
光強度と同一タイミングで検出可能な構成として、レー
ザ１２に出力変動が生じた場合であっても上記回折効率
ηθ を正確に測定できるようにする。 【構成】 レーザ１２と回折格子２とを結ぶ光路内にハ
ーフプリズム１４を設け、レーザ１２から射出された光
ビームのうちハーフプリズム１４において分割された
（反射された）光ビームの強度Ｉ1 を第１光検出器１６
で検出する一方、回折格子２で光ビーム入射方向へ回折
した光ビームのうちハーフプリズム１４において分割さ
れた（反射された）光ビームの強度Ｉ2 を第２光検出器
１８で検出し、両検出値の比Ｉ2 ／Ｉ1 に基づいて回折
効率ηθ を算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、反射体被検面に光ビ
ームが入射したときの該光ビーム入射方向の反射効率を
測定する反射効率測定装置と、回折格子あるいはホログ
ラムに光ビームが入射したときの該光ビーム入射方向の
回折効率を測定する回折効率測定装置とに関するもので
ある。
ームが入射したときの該光ビーム入射方向の反射効率を
測定する反射効率測定装置と、回折格子あるいはホログ
ラムに光ビームが入射したときの該光ビーム入射方向の
回折効率を測定する回折効率測定装置とに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】回折格子やホログラムにおいて、該回折
格子等に光ビーム（レーザビーム等の可干渉光ビーム）
が入射したとき該光ビーム入射方向へ回折光が戻る場合
がある。例えば、金属基板上に感光材料を塗布したもの
に回折格子やホログラムを制作した場合、あるいはリッ
プマンホログラムにおいて物体光と参照光とが１８０゜
の角度をなして感光材料に入射される場合等には、回折
光は光ビーム入射方向へ戻る現象が生じる。このような
場合、光ビーム入射方向の回折効率を知っておく必要が
生じることがある。
格子等に光ビーム（レーザビーム等の可干渉光ビーム）
が入射したとき該光ビーム入射方向へ回折光が戻る場合
がある。例えば、金属基板上に感光材料を塗布したもの
に回折格子やホログラムを制作した場合、あるいはリッ
プマンホログラムにおいて物体光と参照光とが１８０゜
の角度をなして感光材料に入射される場合等には、回折
光は光ビーム入射方向へ戻る現象が生じる。このような
場合、光ビーム入射方向の回折効率を知っておく必要が
生じることがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来、
光ビーム入射方向の回折効率そのものを測定することが
できる装置は存在せず、光ビーム入射方向からある程度
角度が振られた方向の回折効率を測定することができる
装置が存在するのみであった。
光ビーム入射方向の回折効率そのものを測定することが
できる装置は存在せず、光ビーム入射方向からある程度
角度が振られた方向の回折効率を測定することができる
装置が存在するのみであった。
【０００４】すなわち、例えば回折格子の回折効率を測
定する従来の装置は、図４に示すように、光射出手段１
０２により回折格子２へ向けて所定の入射角度θで光ビ
ームを射出した状態で、この光ビームの光路内に第１光
検出手段１０４をセットして該光ビームの強度を検出し
た後、該第１光検出手段１０４を上記光路から外し、そ
の後、上記光ビームのうち回折格子２へ入射して光ビー
ム入射方向と所定角度αをなす方向へ回折した回折光の
強度を第２光検出手段１０６により検出し、これら第１
および第２光検出手段１０４、１０６における検出値の
比に基づいて回折格子２における上記所定角度αをなす
方向の回折効率を算出するように構成されていた。
定する従来の装置は、図４に示すように、光射出手段１
０２により回折格子２へ向けて所定の入射角度θで光ビ
ームを射出した状態で、この光ビームの光路内に第１光
検出手段１０４をセットして該光ビームの強度を検出し
た後、該第１光検出手段１０４を上記光路から外し、そ
の後、上記光ビームのうち回折格子２へ入射して光ビー
ム入射方向と所定角度αをなす方向へ回折した回折光の
強度を第２光検出手段１０６により検出し、これら第１
および第２光検出手段１０４、１０６における検出値の
比に基づいて回折格子２における上記所定角度αをなす
方向の回折効率を算出するように構成されていた。
【０００５】ここに上記所定角度αは、第２光検出手段
１０６が回折格子２に入射する光ビームを遮らないよう
にするために必要な角度であり、ある程度以下の値にす
ることは物理的に不可能である。このため従来、上記光
ビーム入射方向への回折効率を正確に測定することがで
きない、という問題があった。
１０６が回折格子２に入射する光ビームを遮らないよう
にするために必要な角度であり、ある程度以下の値にす
ることは物理的に不可能である。このため従来、上記光
ビーム入射方向への回折効率を正確に測定することがで
きない、という問題があった。
【０００６】また、上記従来の装置では、第１光検出手
段１０４による入射光強度検出タイミングに対して、第
２光検出手段１０６による回折光強度検出タイミングが
遅れるため、その間に光射出手段１０２の出力変動が生
じると、両光検出手段１０４、１０６における検出の基
準値が異なったものとなり、これら検出値の比に基づく
回折効率算出値も不正確な値になり、このことによって
も、上記光ビーム入射方向への回折効率を正確に測定す
ることができない、という問題があった。
段１０４による入射光強度検出タイミングに対して、第
２光検出手段１０６による回折光強度検出タイミングが
遅れるため、その間に光射出手段１０２の出力変動が生
じると、両光検出手段１０４、１０６における検出の基
準値が異なったものとなり、これら検出値の比に基づく
回折効率算出値も不正確な値になり、このことによって
も、上記光ビーム入射方向への回折効率を正確に測定す
ることができない、という問題があった。
【０００７】このような問題は、ホログラムの回折効率
を測定する装置についても同様に存在する問題であり、
さらに、一般的な反射体被検面の反射効率を測定する装
置についても同様に存在する問題である。
を測定する装置についても同様に存在する問題であり、
さらに、一般的な反射体被検面の反射効率を測定する装
置についても同様に存在する問題である。
【０００８】本願発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたものであって、光射出手段に出力変動が生じた場合
であっても、反射体被検面における光ビーム入射方向の
反射効率を正確に測定することができる反射効率測定装
置、および回折格子・ホログラムにおける光ビーム入射
方向の回折効率を正確に測定することができる回折効率
測定装置を提供することを目的とするものである。
れたものであって、光射出手段に出力変動が生じた場合
であっても、反射体被検面における光ビーム入射方向の
反射効率を正確に測定することができる反射効率測定装
置、および回折格子・ホログラムにおける光ビーム入射
方向の回折効率を正確に測定することができる回折効率
測定装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願発明は、光ビーム入
射方向の反射光あるいは回折光の強度を正確に検出可能
な構成とすることにより、しかもこれを入射光の強度と
同一タイミングで検出可能な構成とすることにより、上
記目的達成を図るようにしたものである。
射方向の反射光あるいは回折光の強度を正確に検出可能
な構成とすることにより、しかもこれを入射光の強度と
同一タイミングで検出可能な構成とすることにより、上
記目的達成を図るようにしたものである。
【００１０】すなわち、本願発明に係る反射効率装置
は、請求項１に記載したように、反射体被検面に光ビー
ムが入射したときの該光ビーム入射方向の反射効率を測
定する反射効率測定装置であって、前記光ビームを射出
する光射出手段と、この光射出手段と前記反射体被検面
とを結ぶ光路内に設けられた第１および第２光分割手段
と、前記光射出手段から射出された光ビームのうち前記
第１光分割手段において分割された光ビームの強度を検
出する第１光検出手段と、前記反射体被検面で前記光ビ
ーム入射方向へ反射した光ビームのうち前記第２光分割
手段において分割された光ビームの強度を検出する第２
光検出手段と、これら第１および第２光検出手段におけ
る検出値の比に基づいて前記反射効率を算出する反射効
率算出手段と、を備えてなることを特徴とするものであ
る。
は、請求項１に記載したように、反射体被検面に光ビー
ムが入射したときの該光ビーム入射方向の反射効率を測
定する反射効率測定装置であって、前記光ビームを射出
する光射出手段と、この光射出手段と前記反射体被検面
とを結ぶ光路内に設けられた第１および第２光分割手段
と、前記光射出手段から射出された光ビームのうち前記
第１光分割手段において分割された光ビームの強度を検
出する第１光検出手段と、前記反射体被検面で前記光ビ
ーム入射方向へ反射した光ビームのうち前記第２光分割
手段において分割された光ビームの強度を検出する第２
光検出手段と、これら第１および第２光検出手段におけ
る検出値の比に基づいて前記反射効率を算出する反射効
率算出手段と、を備えてなることを特徴とするものであ
る。
【００１１】また、本願発明に係る回折格子の回折効率
測定装置は、請求項２に記載したように、回折格子に光
ビームが入射したときの該光ビーム入射方向の回折効率
を測定する回折効率測定装置であって、前記光ビームを
射出する光射出手段と、この光射出手段と前記回折格子
とを結ぶ光路内に設けられた第１および第２光分割手段
と、前記光射出手段から射出された光ビームのうち前記
第１光分割手段において分割された光ビームの強度を検
出する第１光検出手段と、前記回折格子で前記光ビーム
入射方向へ回折した光ビームのうち前記第２光分割手段
において分割された光ビームの強度を検出する第２光検
出手段と、これら第１および第２光検出手段における検
出値の比に基づいて前記回折効率を算出する回折効率算
出手段と、を備えてなることを特徴とするものである。
測定装置は、請求項２に記載したように、回折格子に光
ビームが入射したときの該光ビーム入射方向の回折効率
を測定する回折効率測定装置であって、前記光ビームを
射出する光射出手段と、この光射出手段と前記回折格子
とを結ぶ光路内に設けられた第１および第２光分割手段
と、前記光射出手段から射出された光ビームのうち前記
第１光分割手段において分割された光ビームの強度を検
出する第１光検出手段と、前記回折格子で前記光ビーム
入射方向へ回折した光ビームのうち前記第２光分割手段
において分割された光ビームの強度を検出する第２光検
出手段と、これら第１および第２光検出手段における検
出値の比に基づいて前記回折効率を算出する回折効率算
出手段と、を備えてなることを特徴とするものである。
【００１２】さらに、本願発明に係るホログラムの回折
効率測定装置は、請求項３に記載したように、ホログラ
ムに光ビームが入射したときの該光ビーム入射方向の回
折効率を測定する回折効率測定装置であって、前記光ビ
ームを射出する光射出手段と、この光射出手段と前記ホ
ログラムとを結ぶ光路内に設けられた第１および第２光
分割手段と、前記光射出手段から射出された光ビームの
うち前記第１光分割手段において分割された光ビームの
強度を検出する第１光検出手段と、前記ホログラムで前
記光ビーム入射方向へ回折した光ビームのうち前記第２
光分割手段において分割された光ビームの強度を検出す
る第２光検出手段と、これら第１および第２光検出手段
における検出値の比に基づいて前記回折効率を算出する
回折効率算出手段と、を備えてなることを特徴とするも
のである。
効率測定装置は、請求項３に記載したように、ホログラ
ムに光ビームが入射したときの該光ビーム入射方向の回
折効率を測定する回折効率測定装置であって、前記光ビ
ームを射出する光射出手段と、この光射出手段と前記ホ
ログラムとを結ぶ光路内に設けられた第１および第２光
分割手段と、前記光射出手段から射出された光ビームの
うち前記第１光分割手段において分割された光ビームの
強度を検出する第１光検出手段と、前記ホログラムで前
記光ビーム入射方向へ回折した光ビームのうち前記第２
光分割手段において分割された光ビームの強度を検出す
る第２光検出手段と、これら第１および第２光検出手段
における検出値の比に基づいて前記回折効率を算出する
回折効率算出手段と、を備えてなることを特徴とするも
のである。
【００１３】上記「第１および第２光分割手段」は、各
々独立した光分割手段で構成するようにしてもよいし、
あるいは請求項４、５に記載したように、単一の光分割
手段で構成するようにしてもよい。また、上記「第１お
よび第２光分割手段」を各々独立した光分割手段で構成
するようにした場合、光路内における配置順序は、第１
光分割手段、第２光分割手段の順であってもよいし、そ
の逆の順序であってもよい。
々独立した光分割手段で構成するようにしてもよいし、
あるいは請求項４、５に記載したように、単一の光分割
手段で構成するようにしてもよい。また、上記「第１お
よび第２光分割手段」を各々独立した光分割手段で構成
するようにした場合、光路内における配置順序は、第１
光分割手段、第２光分割手段の順であってもよいし、そ
の逆の順序であってもよい。
【００１４】
【発明の作用および効果】上記構成に示すように、請求
項１記載の発明においては、第１および第２光分割手段
が共に光射出手段と反射体被検面とを結ぶ光路内に設け
られており、これら各光分割手段で分割された光ビーム
の強度を第１および第２光検出手段で検出するようにな
っているので、反射体被検面への入射光の強度および光
ビーム入射方向への反射光の強度を正確に検出すること
ができ、しかも、これら入射光強度および反射光強度を
同一タイミングで検出することができ、これにより両検
出値の比に基づく反射効率も正確に算出することができ
る。
項１記載の発明においては、第１および第２光分割手段
が共に光射出手段と反射体被検面とを結ぶ光路内に設け
られており、これら各光分割手段で分割された光ビーム
の強度を第１および第２光検出手段で検出するようにな
っているので、反射体被検面への入射光の強度および光
ビーム入射方向への反射光の強度を正確に検出すること
ができ、しかも、これら入射光強度および反射光強度を
同一タイミングで検出することができ、これにより両検
出値の比に基づく反射効率も正確に算出することができ
る。
【００１５】したがって、請求項１記載の発明によれ
ば、光射出手段に出力変動が生じた場合であっても、反
射体被検面における光ビーム入射方向の反射効率を正確
に測定することができる。
ば、光射出手段に出力変動が生じた場合であっても、反
射体被検面における光ビーム入射方向の反射効率を正確
に測定することができる。
【００１６】また、請求項２記載の発明においては、第
１および第２光分割手段が共に光射出手段と回折格子と
を結ぶ光路内に設けられており、これら各光分割手段で
分割された光ビームの強度を第１および第２光検出手段
で検出するようになっているので、回折格子への入射光
の強度および光ビーム入射方向への回折光の強度を正確
に検出することができ、しかも、これら入射光強度およ
び回折光強度を同一タイミングで検出することができ、
これにより両検出値の比に基づく回折効率も正確に算出
することができる。
１および第２光分割手段が共に光射出手段と回折格子と
を結ぶ光路内に設けられており、これら各光分割手段で
分割された光ビームの強度を第１および第２光検出手段
で検出するようになっているので、回折格子への入射光
の強度および光ビーム入射方向への回折光の強度を正確
に検出することができ、しかも、これら入射光強度およ
び回折光強度を同一タイミングで検出することができ、
これにより両検出値の比に基づく回折効率も正確に算出
することができる。
【００１７】したがって、請求項２記載の発明によれ
ば、光射出手段に出力変動が生じた場合であっても、回
折格子における光ビーム入射方向の回折効率を正確に測
定することができる。
ば、光射出手段に出力変動が生じた場合であっても、回
折格子における光ビーム入射方向の回折効率を正確に測
定することができる。
【００１８】同様に、請求項３記載の発明においては、
第１および第２光分割手段が共に光射出手段とホログラ
ムとを結ぶ光路内に設けられており、これら各光分割手
段で分割された光ビームの強度を第１および第２光検出
手段で検出するようになっているので、ホログラムへの
入射光の強度および光ビーム入射方向への回折光の強度
を正確に検出することができ、しかも、これら入射光強
度および回折光強度を同一タイミングで検出することが
でき、これにより両検出値の比に基づく回折効率も正確
に算出することができる。
第１および第２光分割手段が共に光射出手段とホログラ
ムとを結ぶ光路内に設けられており、これら各光分割手
段で分割された光ビームの強度を第１および第２光検出
手段で検出するようになっているので、ホログラムへの
入射光の強度および光ビーム入射方向への回折光の強度
を正確に検出することができ、しかも、これら入射光強
度および回折光強度を同一タイミングで検出することが
でき、これにより両検出値の比に基づく回折効率も正確
に算出することができる。
【００１９】したがって、請求項３記載の発明によれ
ば、光射出手段に出力変動が生じた場合であっても、ホ
ログラムにおける光ビーム入射方向の回折効率を正確に
測定することができる。
ば、光射出手段に出力変動が生じた場合であっても、ホ
ログラムにおける光ビーム入射方向の回折効率を正確に
測定することができる。
【００２０】上記各発明の構成において、第１および第
２光分割手段を請求項４あるいは５に記載したように単
一の光分割手段で構成するようにすれば、測定装置をコ
ンパクトに構成することができる。
２光分割手段を請求項４あるいは５に記載したように単
一の光分割手段で構成するようにすれば、測定装置をコ
ンパクトに構成することができる。
【００２１】
【実施例】以下、本願発明に係る回折効率測定装置の第
１実施例について説明する。
１実施例について説明する。
【００２２】図１は、本実施例に係る回折効率測定装置
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【００２３】この回折効率測定装置１０は、回折格子
（反射回折格子）２に光ビームが所定の入射角度θで入
射したときの該光ビーム入射方向の回折効率ηθ を測
定する装置であって、光ビーム（レーザビーム）を上記
入射角度θで回折格子２へ入射するように所定方向から
射出するレーザ１２と、このレーザ１２と回折格子２と
を結ぶ光路内に設けられたハーフプリズム（プリズム形
のビームスプリッタ）１４と、レーザ１２から射出され
た光ビームのうちハーフプリズム１４において分割され
た（反射された）光ビームの強度Ｉ1 を検出する第１光
検出器１６と、回折格子２で光ビーム入射方向へ回折し
た光ビームのうちハーフプリズム１４において分割され
た（反射された）光ビームの強度Ｉ2 を検出する第２光
検出器１８と、これら第１および第２光検出器１６、１
８における検出値の比Ｉ2 ／Ｉ1 に基づいて光ビーム入
射方向の回折効率ηθ を算出する回折効率算出回路
（図示せず）とを備えてなっている。
（反射回折格子）２に光ビームが所定の入射角度θで入
射したときの該光ビーム入射方向の回折効率ηθ を測
定する装置であって、光ビーム（レーザビーム）を上記
入射角度θで回折格子２へ入射するように所定方向から
射出するレーザ１２と、このレーザ１２と回折格子２と
を結ぶ光路内に設けられたハーフプリズム（プリズム形
のビームスプリッタ）１４と、レーザ１２から射出され
た光ビームのうちハーフプリズム１４において分割され
た（反射された）光ビームの強度Ｉ1 を検出する第１光
検出器１６と、回折格子２で光ビーム入射方向へ回折し
た光ビームのうちハーフプリズム１４において分割され
た（反射された）光ビームの強度Ｉ2 を検出する第２光
検出器１８と、これら第１および第２光検出器１６、１
８における検出値の比Ｉ2 ／Ｉ1 に基づいて光ビーム入
射方向の回折効率ηθ を算出する回折効率算出回路
（図示せず）とを備えてなっている。
【００２４】上記回折効率算出回路における上記回折効
率ηθ の算出過程は以下のとおりである。すなわち、
レーザ１２から射出される光ビームの強度をＩ0 、ハー
フプリズム１４の透過率をｔとすると、 光ビーム強度Ｉ1 （第１光検出器１６の検出値）は、 Ｉ1 ＝Ｉ0 ・（１−ｔ） 光ビーム強度Ｉ2 （第２光検出器１８の検出値）は、 Ｉ2 ＝Ｉ0 ・ｔ・ηθ ・（１−ｔ） で表される。したがって、 Ｉ2 ／Ｉ1 ＝Ｉ0 ・ｔ・ηθ ・（１−ｔ）／｛Ｉ0 ・
（１−ｔ）｝ ＝ｔ・ηθ となり、回折効率ηθ は、次式 ηθ ＝Ｉ2 ／（Ｉ1 ・ｔ） により算出される。
率ηθ の算出過程は以下のとおりである。すなわち、
レーザ１２から射出される光ビームの強度をＩ0 、ハー
フプリズム１４の透過率をｔとすると、 光ビーム強度Ｉ1 （第１光検出器１６の検出値）は、 Ｉ1 ＝Ｉ0 ・（１−ｔ） 光ビーム強度Ｉ2 （第２光検出器１８の検出値）は、 Ｉ2 ＝Ｉ0 ・ｔ・ηθ ・（１−ｔ） で表される。したがって、 Ｉ2 ／Ｉ1 ＝Ｉ0 ・ｔ・ηθ ・（１−ｔ）／｛Ｉ0 ・
（１−ｔ）｝ ＝ｔ・ηθ となり、回折効率ηθ は、次式 ηθ ＝Ｉ2 ／（Ｉ1 ・ｔ） により算出される。
【００２５】このように、本実施例においては、レーザ
１２と回折格子２とを結ぶ光路内に設けられたハーフプ
リズム１４で分割された光ビームの強度Ｉ1 、Ｉ2 を第
１および第２光検出器１６、１８で検出するようになっ
ているので、回折格子２への入射光の強度および光ビー
ム入射方向への回折光の強度を（これら入射光強度およ
び回折光強度に既知係数を掛けた値として）正確に検出
することができ、しかも、これら入射光強度および回折
光強度を同一タイミングで検出することができ、これに
より両検出値の比Ｉ2 ／Ｉ1 に基づく回折効率ηθ も
正確に算出することができる。
１２と回折格子２とを結ぶ光路内に設けられたハーフプ
リズム１４で分割された光ビームの強度Ｉ1 、Ｉ2 を第
１および第２光検出器１６、１８で検出するようになっ
ているので、回折格子２への入射光の強度および光ビー
ム入射方向への回折光の強度を（これら入射光強度およ
び回折光強度に既知係数を掛けた値として）正確に検出
することができ、しかも、これら入射光強度および回折
光強度を同一タイミングで検出することができ、これに
より両検出値の比Ｉ2 ／Ｉ1 に基づく回折効率ηθ も
正確に算出することができる。
【００２６】したがって、本実施例によれば、レーザ１
２に出力変動が生じた場合であっても、回折格子２にお
ける光ビーム入射方向の回折効率ηθ を正確に測定す
ることができる。
２に出力変動が生じた場合であっても、回折格子２にお
ける光ビーム入射方向の回折効率ηθ を正確に測定す
ることができる。
【００２７】しかも、本実施例においては、光ビームの
強度Ｉ1 、Ｉ2 を検出するための光分割手段が単一の光
分割手段（ハーフプリズム１４）で構成されているの
で、回折効率測定装置をコンパクトに構成することがで
きる。
強度Ｉ1 、Ｉ2 を検出するための光分割手段が単一の光
分割手段（ハーフプリズム１４）で構成されているの
で、回折効率測定装置をコンパクトに構成することがで
きる。
【００２８】図２は、第１実施例に係る回折効率測定装
置の変形例を示す構成図である。
置の変形例を示す構成図である。
【００２９】本変形例は、第１実施例に対して回折効率
測定装置１０の構成要素の配置を変化させたものであ
る。
測定装置１０の構成要素の配置を変化させたものであ
る。
【００３０】本変形例においても、第１実施例と同様に
して光ビーム入射方向の回折効率ηθ を測定すること
ができるが、上記構成要素の配置の相違に伴い、上記回
折効率ηθ の算出式が異なったものとなる。すなわ
ち、 光ビーム強度Ｉ1 （第１光検出器１６の検出値）は、 Ｉ1 ＝Ｉ0 ・ｔ 光ビーム強度Ｉ2 （第２光検出器１８の検出値）は、 Ｉ2 ＝Ｉ0 ・（１−ｔ）・ηθ ・ｔ で表される。したがって、 Ｉ2 ／Ｉ1 ＝Ｉ0 ・（１−ｔ）・ηθ ・ｔ／（Ｉ0 ・
ｔ）＝（１−ｔ）・ηθ となり、回折効率ηθ は、次式 ηθ ＝Ｉ2 ／｛Ｉ1 ・（１−ｔ）｝ により算出される。
して光ビーム入射方向の回折効率ηθ を測定すること
ができるが、上記構成要素の配置の相違に伴い、上記回
折効率ηθ の算出式が異なったものとなる。すなわ
ち、 光ビーム強度Ｉ1 （第１光検出器１６の検出値）は、 Ｉ1 ＝Ｉ0 ・ｔ 光ビーム強度Ｉ2 （第２光検出器１８の検出値）は、 Ｉ2 ＝Ｉ0 ・（１−ｔ）・ηθ ・ｔ で表される。したがって、 Ｉ2 ／Ｉ1 ＝Ｉ0 ・（１−ｔ）・ηθ ・ｔ／（Ｉ0 ・
ｔ）＝（１−ｔ）・ηθ となり、回折効率ηθ は、次式 ηθ ＝Ｉ2 ／｛Ｉ1 ・（１−ｔ）｝ により算出される。
【００３１】次に、本願発明に係る回折効率測定装置の
第２実施例について説明する。
第２実施例について説明する。
【００３２】図３は、本実施例に係る回折効率測定装置
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【００３３】本実施例に係る回折効率測定装置１０は、
基本的構成は第１実施例と同様であるが、第１実施例の
ハーフプリズム１４に代えて２枚のハーフミラー２０、
２２がレーザ１２と回折格子２とを結ぶ光路内に設けら
れている点が異なっている。
基本的構成は第１実施例と同様であるが、第１実施例の
ハーフプリズム１４に代えて２枚のハーフミラー２０、
２２がレーザ１２と回折格子２とを結ぶ光路内に設けら
れている点が異なっている。
【００３４】すなわち、本実施例においては、レーザ１
２から射出された光ビームのうち第１ハーフミラー２０
において分割された（反射された）光ビームの強度Ｉ1
が第１光検出器１６で検出され、回折格子２で光ビーム
入射方向へ回折した光ビームのうち第２ハーフミラー２
２において分割された（反射された）光ビームの強度Ｉ
2 が第２光検出器１８で検出されるようになっている。
２から射出された光ビームのうち第１ハーフミラー２０
において分割された（反射された）光ビームの強度Ｉ1
が第１光検出器１６で検出され、回折格子２で光ビーム
入射方向へ回折した光ビームのうち第２ハーフミラー２
２において分割された（反射された）光ビームの強度Ｉ
2 が第２光検出器１８で検出されるようになっている。
【００３５】本実施例においても、第１実施例と同様、
上記第１および第２光検出器１６、１８における検出値
の比Ｉ2 ／Ｉ1 に基づいて回折効率算出回路（図示せ
ず）により回折効率ηθ を算出するようになっている
が、上記構成の相違に伴い、上記回折効率ηθ の算出
式が異なったものとなる。すなわち、光ビーム強度Ｉ1
（第１光検出器１６の検出値）は、第１ハーフミラー２
０の透過率をｔ1 ，第２ハーフミラー２２の透過率をｔ
2 とすると、 Ｉ1 ＝Ｉ0 ・（１−ｔ1 ） 光ビーム強度Ｉ2 （第２光検出器１８の検出値）は、 Ｉ2 ＝Ｉ0 ・ｔ1 ・ｔ2 ・ηθ ・（１−ｔ2 ） で表される。したがって、 Ｉ2 ／Ｉ1 ＝Ｉ0 ・ｔ1 ・ｔ2 ・ηθ ・（１−ｔ2 ） ／｛Ｉ0 ・（１−ｔ1 ）｝ ＝ｔ1 ・ｔ2 ・（１−ｔ2 ）・ηθ ／（１−ｔ2 ） となり、回折効率ηθ は、次式 ηθ ＝Ｉ2 ・（１−ｔ2 ）／｛Ｉ1 ・ｔ1 ・ｔ2 ・
（１−ｔ2 ）｝ により算出される。
上記第１および第２光検出器１６、１８における検出値
の比Ｉ2 ／Ｉ1 に基づいて回折効率算出回路（図示せ
ず）により回折効率ηθ を算出するようになっている
が、上記構成の相違に伴い、上記回折効率ηθ の算出
式が異なったものとなる。すなわち、光ビーム強度Ｉ1
（第１光検出器１６の検出値）は、第１ハーフミラー２
０の透過率をｔ1 ，第２ハーフミラー２２の透過率をｔ
2 とすると、 Ｉ1 ＝Ｉ0 ・（１−ｔ1 ） 光ビーム強度Ｉ2 （第２光検出器１８の検出値）は、 Ｉ2 ＝Ｉ0 ・ｔ1 ・ｔ2 ・ηθ ・（１−ｔ2 ） で表される。したがって、 Ｉ2 ／Ｉ1 ＝Ｉ0 ・ｔ1 ・ｔ2 ・ηθ ・（１−ｔ2 ） ／｛Ｉ0 ・（１−ｔ1 ）｝ ＝ｔ1 ・ｔ2 ・（１−ｔ2 ）・ηθ ／（１−ｔ2 ） となり、回折効率ηθ は、次式 ηθ ＝Ｉ2 ・（１−ｔ2 ）／｛Ｉ1 ・ｔ1 ・ｔ2 ・
（１−ｔ2 ）｝ により算出される。
【００３６】このように、本実施例によれば、上記回折
効率ηθ の算出式が多少複雑になるが、第１実施例と
同様、レーザ１２に出力変動が生じた場合であっても、
回折格子２における光ビーム入射方向の回折効率ηθ
を正確に測定することができる。
効率ηθ の算出式が多少複雑になるが、第１実施例と
同様、レーザ１２に出力変動が生じた場合であっても、
回折格子２における光ビーム入射方向の回折効率ηθ
を正確に測定することができる。
【００３７】上記各実施例および変形例においては、回
折格子２に光ビームが所定の入射角度θで入射したとき
の該光ビーム入射方向の回折効率ηθ を測定する回折
効率測定装置１０について説明したが、上記回折格子２
をホログラム（反射ホログラム）に置き換えれば、該ホ
ログラムに光ビームが所定の入射角度θで入射したとき
の該光ビーム入射方向の回折効率ηθ を、上記各実施
例あるいは変形例と全く同様の構成により、正確に測定
することができる。
折格子２に光ビームが所定の入射角度θで入射したとき
の該光ビーム入射方向の回折効率ηθ を測定する回折
効率測定装置１０について説明したが、上記回折格子２
をホログラム（反射ホログラム）に置き換えれば、該ホ
ログラムに光ビームが所定の入射角度θで入射したとき
の該光ビーム入射方向の回折効率ηθ を、上記各実施
例あるいは変形例と全く同様の構成により、正確に測定
することができる。
【００３８】さらに、上記回折格子２を反射体被検面に
置き換えれば、該反射体被検面に光ビームが所定の入射
角度θで入射したときの該光ビーム入射方向の反射効率
ρθを正確に測定する反射効率測定装置を、上記各実施
例あるいは変形例と全く同様の構成により構成すること
ができる。なお、回折格子あるいはホログラムの回折効
率測定装置においては、上記光ビームとしてレーザビー
ム等の可干渉光を用いる必要があるが、反射効率測定装
置においてはこのような制約はない。
置き換えれば、該反射体被検面に光ビームが所定の入射
角度θで入射したときの該光ビーム入射方向の反射効率
ρθを正確に測定する反射効率測定装置を、上記各実施
例あるいは変形例と全く同様の構成により構成すること
ができる。なお、回折格子あるいはホログラムの回折効
率測定装置においては、上記光ビームとしてレーザビー
ム等の可干渉光を用いる必要があるが、反射効率測定装
置においてはこのような制約はない。
【図１】本願発明に係る回折効率測定装置の第１実施例
を示す構成図
を示す構成図
【図２】第１実施例の変形例を示す構成図
【図３】本願発明に係る回折効率測定装置の第２実施例
を示す構成図
を示す構成図
【図４】回折効率測定装置の従来例を示す構成図
２ 回折格子 １０ 回折効率測定装置 １２ レーザ １４ ハーフプリズム １６ 第１光検出器 １８ 第２光検出器 ２０ 第１ハーフミラー ２２ 第２ハーフミラー
Claims (5)
- 【請求項１】 反射体被検面に光ビームが入射したとき
の該光ビーム入射方向の反射効率を測定する反射効率測
定装置であって、 前記光ビームを射出する光射出手段と、 この光射出手段と前記反射体被検面とを結ぶ光路内に設
けられた第１および第２光分割手段と、 前記光射出手段から射出された光ビームのうち前記第１
光分割手段において分割された光ビームの強度を検出す
る第１光検出手段と、 前記反射体被検面で前記光ビーム入射方向へ反射した光
ビームのうち前記第２光分割手段において分割された光
ビームの強度を検出する第２光検出手段と、 これら第１および第２光検出手段における検出値の比に
基づいて前記反射効率を算出する反射効率算出手段と、
を備えてなることを特徴とする反射効率測定装置。 - 【請求項２】 回折格子に光ビームが入射したときの該
光ビーム入射方向の回折効率を測定する回折効率測定装
置であって、 前記光ビームを射出する光射出手段と、 この光射出手段と前記回折格子とを結ぶ光路内に設けら
れた第１および第２光分割手段と、 前記光射出手段から射出された光ビームのうち前記第１
光分割手段において分割された光ビームの強度を検出す
る第１光検出手段と、 前記回折格子で前記光ビーム入射方向へ回折した光ビー
ムのうち前記第２光分割手段において分割された光ビー
ムの強度を検出する第２光検出手段と、 これら第１および第２光検出手段における検出値の比に
基づいて前記回折効率を算出する回折効率算出手段と、
を備えてなることを特徴とする回折効率測定装置。 - 【請求項３】 ホログラムに光ビームが入射したときの
該光ビーム入射方向の回折効率を測定する回折効率測定
装置であって、 前記光ビームを射出する光射出手段と、 この光射出手段と前記ホログラムとを結ぶ光路内に設け
られた第１および第２光分割手段と、 前記光射出手段から射出された光ビームのうち前記第１
光分割手段において分割された光ビームの強度を検出す
る第１光検出手段と、 前記ホログラムで前記光ビーム入射方向へ回折した光ビ
ームのうち前記第２光分割手段において分割された光ビ
ームの強度を検出する第２光検出手段と、 これら第１および第２光検出手段における検出値の比に
基づいて前記回折効率を算出する回折効率算出手段と、
を備えてなることを特徴とする回折効率測定装置。 - 【請求項４】 前記第１および第２光分割手段が単一の
光分割手段からなる、ことを特徴とする請求項１記載の
反射効率測定装置。 - 【請求項５】 前記第１および第２光分割手段が単一の
光分割手段からなる、ことを特徴とする請求項２または
３記載の回折効率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6026597A JPH07234171A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | 反射効率測定装置および回折効率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6026597A JPH07234171A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | 反射効率測定装置および回折効率測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07234171A true JPH07234171A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12197946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6026597A Pending JPH07234171A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | 反射効率測定装置および回折効率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07234171A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100359299C (zh) * | 2003-11-03 | 2008-01-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光路对称分布的光栅衍射效率测试仪 |
| CN102243137A (zh) * | 2011-06-21 | 2011-11-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法 |
| WO2013138960A1 (zh) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于瞬态光栅效应的飞秒激光脉冲测量方法与装置 |
-
1994
- 1994-02-24 JP JP6026597A patent/JPH07234171A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100359299C (zh) * | 2003-11-03 | 2008-01-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光路对称分布的光栅衍射效率测试仪 |
| CN102243137A (zh) * | 2011-06-21 | 2011-11-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法 |
| WO2013138960A1 (zh) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于瞬态光栅效应的飞秒激光脉冲测量方法与装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021024 |