JP2007036177A5

JP2007036177A5 -

Info

Publication number: JP2007036177A5
Application number: JP2005369029A
Authority: JP
Filing date: 2005-12-22
Publication date: 2009-02-05
Anticipated expiration: 2025-12-22

Claims

レーザ発生源からのレーザ光の少なくとも一部を受光し、干渉縞を生じさせる光学素子と、
上記干渉縞が並ぶ方向に２つのディテクタが配列され、各ディテクタが上記干渉縞の光量を検出する第１の２分割ディテクタと、
上記干渉縞が並ぶ方向に２つのディテクタが配列され、各ディテクタが上記干渉縞の光量を検出すると共に、上記干渉縞の光の光路と直交する面上で、上記第１の２分割ディテクタと上記干渉縞のほぼ１／４周期の奇数倍の間隔でもって配置された第２の２分割ディテクタと、
上記第１の２分割ディテクタが有する２つのディテクタの検出信号の第１の差信号を演算する演算手段と、
上記第２の２分割ディテクタが有する２つのディテクタの検出信号の第２の差信号を演算する演算手段と、
上記第１および第２の差信号の一方の差信号を選択する選択手段と、
選択された上記第１および第２の差信号の一方の差信号の値に基づいて、上記レーザ光の波長の判定を行う判定手段とを備えたレーザ装置。
請求項１において、
上記レーザ発生源は半導体レーザであり、
上記半導体レーザと上記光学素子との間に、上記半導体レーザからのレーザ光を受光し、所定の波長の１次回折光を上記半導体レーザに向けて出射し、０次光を出力光として反射する回折格子とをさらに備えたレーザ装置。
請求項１において、
上記レーザ発生源は半導体レーザであり、
上記半導体レーザからのレーザ光を受光し、所定の波長の１次回折光を上記半導体レーザに向けて出射し、０次光を反射する回折格子と、
上記回折格子によって反射された０次光を反射するミラーと、
上記回折格子と上記ミラーの開き角を一定に維持した状態で、上記回折格子及びミラーを支持すると共に、上記回折格子の表面の延長線と上記ミラーの表面の延長線との交点を支点として、回転自在に上記回折格子と上記ミラーを支持する支持手段とをさらに備えたレーザ装置。
請求項１、請求項２、または請求項３において、
上記光学素子と上記第１および第２の２分割ディテクタの間で、上記干渉縞の間隔を変更するようにしたレーザ装置。
請求項１、請求項２、または請求項３において、
上記干渉縞の光の光路に対して傾いた面上に上記第１および第２の２分割ディテクタが配置されたレーザ装置。
請求項３において、
上記ミラーが半透過ミラーとされ、上記半透過ミラーの透過光が入射され、波長を検出する他の波長検出手段をさらに有するレーザ装置。
レーザ発生源からのレーザ光の少なくとも一部を受光し、干渉縞を生じさせる光学素子と、
上記干渉縞が並ぶ方向に順に第１の間隔で配列された第１および第２のディテクタと、
上記干渉縞が並ぶ方向に順に第２の間隔で配列された第２および第３のディテクタと、
上記第１のディテクタの検出信号と上記第２のディテクタの検出信号の第１の差信号を演算する演算手段と、
上記第２のディテクタの検出信号と上記第３のディテクタの検出信号の第２の差信号を演算する演算手段と、
上記第１および第２の差信号の一方の差信号を選択する選択手段と、
選択された上記第１および第２の差信号の一方の差信号の値に基づいて、上記レーザ光の波長の判定を行う判定手段とを備え、
上記干渉縞の１周期２πに対して、上記干渉縞の光の光路と直交する面上における、上記第１の間隔および上記第２の間隔がほぼ（２π／３，π／３）、またはほぼ（２π／３，２π／３）とされたレーザ装置。
請求項７において、
上記レーザ発生源は半導体レーザであり、
上記半導体レーザと上記光学素子との間に、上記半導体レーザからのレーザ光を受光し、所定の波長の１次回折光を上記半導体レーザに向けて出射し、０次光を出力光として反射する回折格子とをさらに備えたレーザ装置。
請求項７において、
上記レーザ発生源は半導体レーザであり、
上記半導体レーザからのレーザ光を受光し、所定の波長の１次回折光を上記半導体レーザに向けて出射し、０次光を反射する回折格子と、
上記回折格子によって反射された０次光を反射するミラーと、
上記回折格子と上記ミラーの開き角を一定に維持した状態で、上記回折格子及びミラーを支持すると共に、上記回折格子の表面の延長線と上記ミラーの表面の延長線との交点を支点として、回転自在に上記回折格子と上記ミラーを支持する支持手段とをさらに備えたレーザ装置。
請求項７、請求項８、または請求項９において、
上記光学素子と上記第１および第２の２分割ディテクタの間で、上記干渉縞の間隔を変更するようにしたレーザ装置。
請求項７、請求項８、または請求項９において、
上記干渉縞の光の光路に対して傾いた面上に上記第１および第２の２分割ディテクタが配置されたレーザ装置。
請求項９において、
上記ミラーが半透過ミラーとされ、上記半透過ミラーの透過光が入射され、波長を検出する他の波長検出手段をさらに有するレーザ装置。