JP2006145466A5 - - Google Patents
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- インクリメンタル信号と基準位置信号を生成する光学式スケールを備える光学式エンコーダであって、
前記光学式スケールは前記インクリメンタル信号を生成する回折格子が表面に形成された基板を有し、
該基板の裏面には前記回折格子と同一光軸上に設けた前記基準位置信号を生成するパターンが形成され、
該パターンに前記回折格子に照射した光束のうち、前記インクリメンタル信号の生成に使用しない透過光又は反射光を入射させることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記回折格子は、反射膜の有無による振幅格子であることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
- 前記回折格子からの反射回折光同士を干渉させて前記インクリメンタル信号を得て、
前記回折格子からの透過０次光を前記基準位置信号を生成するパターンを透過させて、基準位置信号検出センサで検出することにより前記基準位置信号を得ることを特徴とする請求項２に記載の光学式エンコーダ。 - 前記基準位置信号を生成するパターンは透孔又はレンズであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１つの請求項に記載の光学式エンコーダ。
- 前記基準位置信号を生成するパターンはフレネルレンズであることを特徴とする請求項項１〜３の何れか１つの請求項に記載の光学式エンコーダ。
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