JP2008129022A5

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Publication number: JP2008129022A5
Application number: JP2007299739A
Authority: JP
Filing date: 2007-11-19
Publication date: 2010-12-09
Anticipated expiration: 2027-11-19

Claims

インクリメンタル信号（ＩＮＣ_Ａ，ＩＮＣ_Ｂ）と少なくとも１つの基準位置（Ｘ_ＲＥＦ）における基準パルス信号（ＲＩ）とを生成するためのエンコーダであって、走査ユニット（１０；３１０）とそれに相対して少なくとも１つの測定方向（ｘ）に可動な基準尺（３０；３０’；３３０）とからなり、
−該基準尺（３０；３３０）が、周期的なインクリメンタル目盛（３３．１；３３．２；３３．１’；３３．２’；３３３．１；３３３．２）を具備する、測定方向（４）に平行に延びる２つのインクリメンタル目盛トラックを含み、該インクリメンタル目盛トラックの間に基準マークトラックが配置されており、該基準マークトラックが、少なくとも１つの基準位置（Ｘ_ＲＥＦ）に基準マーク（３１；３１’；３３１）を有し、かつ、
−前記走査ユニット（１０；３１０）が、
−基準パルス信号（ＲＩ）を生成するための第１の走査手段を含み、かつ、
−インクリメンタル信号（ＩＮＣ_Ａ，ＩＮＣ_Ｂ）を生成するための第２の走査手段を含み、その際、インクリメンタル信号（ＩＮＣ_Ａ，ＩＮＣ_Ｂ）を生成するために、前記インクリメンタル目盛（３３．１；３３．２；３３．１’；３３．２’；３３３．１；３３３．２）のそれぞれに対して、走査線束が１つのインクリメンタル信号走査フィールド（５３．１；５３．２；５３．１’；５３．２’）に少なくとも１回印加されるエンコーダ。
前記基準マーク（３１；３１’；３３１）が複数の構造要素（３１．１，３１．２）を有し、該構造要素が、基準尺平面において測定方向（ｘ）対して垂直方向である対称軸（Ｓｙ）に対して、鏡面対称に配置されている請求項１に記載のエンコーダ。
さらに、前記基準マーク（３１；３１’；３３１）の前記構造要素（３１．１，３１．２）が、基準尺平面において測定方向（ｘ）に対して平行に延びる対称軸（Ｓｘ）に対して、鏡面対称に配置されている請求項２に記載のエンコーダ。
基準パルス信号（ＲＩ）を生成するための、前記走査ユニット（１０；３１０）内の前記第１の走査手段を介して、基準尺（３０；３０’；３３０）上の前記基準マーク（３１；３１’；３３１）に対して、１つの基準パルス走査フィールド（５１；５１’）に１回印加が行われる、請求項１〜３のいずれか１項に記載のエンコーダ。
前記基準マーク（３１）が基準位置（Ｘ_ＲＥＦ）において、
−少なくとも１組の第１の構造要素（３１．１）を有し、該構造要素が、基準尺（３０）の平面に、測定方向（ｘ）に対して垂直方向に第１の横周期性（Ｔ１）でもって周期的に配置されており、かつ、
−少なくとも１組の第２の構造要素（３１．２）を有し、該構造要素が、基準尺（３０）の平面に、測定方向（ｘ）に対して垂直方向に第２の横周期性（Ｔ２）でもって周期的に配置されており、その際、該第１の横周期性と第２の横周期性（Ｔ１，Ｔ２）が互いに異なっており、かつ、
−前記構造要素（３１．１，３１．２）が、回折構造要素として構成されており、該回折構造要素が、測定方向（ｘ）において、光学的に所定の焦点距離を有する円柱レンズと同様の働きをし、測定方向（ｘ）に対して垂直方向に、前記第１または第２の横周期性（Ｔ１，Ｔ２）を有する偏向格子と同様の働きをし、かつ、
−その際、前記構造要素（３１．１，３１．２）が、測定方向（ｘ）に虚焦点または実焦点を反射基準尺（３０）から焦点距離ｆだけ離れた位置に有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のエンコーダ。
基準パルス信号（ＲＩ）を生成するための、走査ユニット（１０；３１０）内の前記第１の走査手段が、
−複数の光学素子を含み、その中に少なくとも１つの結像光学系（１２）と、絞り面に配置され、それぞれ複数のアパーチャを有する少なくとも２つの絞り構造（１３．１，１３．２）とが含まれており、かつ、
−少なくとも２つの基準パルス検出素子（１５．２）を含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載のエンコーダ。
インクリメンタル信号（ＩＮＣ_Ａ，ＩＮＣ_Ｂ）と少なくとも１つの基準位置（Ｘ_ＲＥＦ）における基準パルス信号（ＲＩ）とを生成するためのエンコーダであって、走査ユニット（４１０）とそれに相対して少なくとも１つの測定方向（ｘ）に可動な基準尺（４３０）とからなり、
−該基準尺（４３０）が、測定方向（ｘ）に平行に延びる２つの基準マークトラックを含み、該基準マークトラックが、それぞれ少なくとも１つの基準位置（Ｘ_ＲＥＦ）に基準マーク（４３１．１；４３１．２）を有し、該基準マークが対称軸（Ｓｘ）に対して対称に測定方向（ｘ）に構成されており、また、前記基準マークトラックの間に、周期的なインクリメンタル目盛（４３３）を具備するインクリメンタル目盛トラックが配置されており、かつ、
−前記走査ユニットが、
−基準パルス信号（ＲＩ）を生成するための第１の走査手段を含み、その際、基準パルス信号（ＲＩ）を生成するために、前記基準マーク（４３１．１，４３１．２）の基準マークトラックに対して、走査線束が１つの基準パルス走査フィールド（４５１．１，４５１．２）に少なくとも１回印加され、かつ
−インクリメンタル信号（ＩＮＣ_Ａ，ＩＮＣ_Ｂ）を生成するための第２の走査手段を含み、その際、インクリメンタル信号（ＩＮＣ_Ａ，ＩＮＣ_Ｂ）を生成するために、前記インクリメンタル目盛（４３３）に対して、走査線束が２つのインクリメンタル信号走査フィールド（４５３．１；４５３．２）にそれぞれ少なくとも１回印加されるエンコーダ。
さらに、前記基準マーク（４３１．１，４３１．２）が、基準尺平面において測定方向（ｘ）に対して垂直方向である対称軸（Ｓｙ）に対して、鏡面対称に構成されている請求項７に記載のエンコーダ。
前記両インクリメンタル信号走査フィールド（４５３．１；４５３．２）の中心が、測定方向（ｘ）に対して垂直方向である、基準尺平面における第１の直線（Ｇｙ１）上に位置し、前記基準パルス走査フィールド（４５１．１，４５１．２）の中心が、基準尺平面における第２の直線（Ｇｙ２）上に位置しており、該両直線（Ｇｙ１、Ｇｙ２）が基準尺（４３０）上において測定方向（ｘ）に互いにずれた位置に配置されている請求項７に記載のエンコーダ。
基準パルス信号（ＲＩ）を生成するための、走査ユニット（４１０）内の前記第１の走査手段が、
−複数の光学素子を含み、その中に、複数の走査格子（４１８．１から４１８．４）と反射素子（４１３．１，４１３．２）とが含まれており、該反射素子を介して、前記第１の基準マークトラックの第１の基準パルス走査フィールド（４５１．１）から来る線束が、前記第２の基準マークトラックの第２の基準パルス走査フィールド（４５１．２）内へ後方反射され、かつ、
−単数または複数の基準パルス検出素子（４１５）を含む、請求項７〜９のいずれか１項に記載のエンコーダ。
インクリメンタル信号（ＩＮＣ_Ａ，ＩＮＣ_Ｂ）を生成するための、前記走査ユニット（４１０）内の第２の走査手段が、
−複数の光学素子を含み、その中に複数の走査格子（４１８．５から４１８．８）、およびオプションとしての結合格子、ならびに少なくとも２つの反射素子（４１３．１，４１３．２）が含まれており、かつ、
−複数のインクリメンタル検出素子を含む、請求項７〜９のいずれか１項に記載のエンコーダ。