JP2007298522A5

JP2007298522A5 -

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Publication number: JP2007298522A5
Application number: JP2007121437A
Authority: JP
Filing date: 2007-05-02
Publication date: 2010-05-20
Anticipated expiration: 2027-05-02

Claims

走査ユニット、ならびにこれに対して少なくとも一つの測定方向で可動な反射測定尺の相対位置を捕捉するための位置測定装置であって、この場合、走査ユニットが光源と検出平面内の検出器を備えている位置測定位置測定装置において、
走査ユニット（２０；２００）内において、さらに少なくとも一つの反射部材（２５；２５’；２５０；ＲＥ）が走査光路内に設けられており、この反射部材が、一方における仮想の光源と反射測定尺（１０；１００）の間の間隔（ｕ）と、他方における反射測定尺（１０；１００）と検出平面（Ｄ）の間の間隔（ｖ）が同一であるように走査光路への光学的作用を有しており、これにより光源（２４，２４０）が検出平面（Ｄ）内で仮想的に配置されていることを特徴とする位置測定位置測定装置。
反射部材（２５；２５’；２５０；ＲＥ）が、光源（２４，２４０）と反射測定尺（１０；１００）の間に設けられていることを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。
反射部材（２５；２５’；２５０；ＲＥ）が、屈折性の光学部材として形成されていることを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。
反射部材（２５；２５’；２５０；ＲＥ）が、回析性の光学部材として形成されていることを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。
走査ユニット（２０；２００）が透明な担持基体（２３；２３０）を備えており、
−担持基体の反射測定尺（１０；１００）に向いた第一の側（上側）には、光源（２４，２４０）が設けられており、
−担持基体の反射測定尺（１０；１００）と反対に向いた第二の側（下側）には、反射部材（２５；２５’；２５０；ＲＥ）が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか記載の位置測定装置。
光源（２４；２４’）の光線を放出する面が、担持基体（２３；２３０）の第一側の方向に設けられており、光源（２４；２４０）が光線を担持基体（２３；２３０）の第二の側の方向に放出する構成されていることを特徴とする請求項５記載の位置測定装置。
反射部材（２５；２５’；２５０；ＲＥ）が担持基体（２３；２３０）の第二の側で一体化された光学的構成部品として形成されていることを特徴とする請求項５記載の位置測定装置。
担持基体（２３；２３０）が光源（２４；２４０）および反射部材（２５；２５’；２５０；ＲＥ）と一緒に少なくとも一つの検出部（２２．１，２２．２；２２１．２２２）を備えた検出ユニット（２２；２２０）の上方に設けられており、この場合検出ユニット（２２；２２０）が走査ユニット（２０；２００）内の担持プリント基板（２１；２１０）上に配置されていることを特徴とする請求項５記載の位置測定装置。
走査ユニット、ならびにこれに加えて少なくとも一つの測定方向で可動な反射測定尺の相対位置を捕捉するための位置測定装置であって、この場合、走査ユニットが光源と検出平面内の検出器を備えている位置測定位置測定装置において、
走査ユニット（３００）内において、さらに少なくとも一つの光学的透過部材（３６０）が走査光路内に設けられており、
この透過部材が、一方における光源（３４０）と反射測定尺（１００）の間の間隔（ｕ）と、他方における反射測定尺（１００）と仮想の検出平面（Ｄ_ＶＩＲＴ）内の検出部（３２１，３２２）の間の間隔（ｖ）が同一であるように、走査光路への光学的作用を有しており、従って走査ユニット（３００）と反射測定尺（１００）が相対運動する際に、移動量に依存して変調される縞模様が仮想の検出平面（Ｄ_ＶＩＲＴ）内で生じることを特徴とする位置測定装置。
光学的透過部材（３６０）が反射測定尺（１００）と走査光路内の検出部（３２１，３２２）の間に設けられていることを特徴とする請求項９記載の位置測定装置。
光学的透過部材（３６０）が屈折性の光学部材として形成されていることを特徴とする請求項９記載の位置測定装置。
光学的透過部材（３６０）が、一定の肉厚（ｄ）を備えた平行平面のガラス板として形成されていることを特徴とする請求項１１記載の位置測定装置。
走査ユニット（３００）が担持プリント基板（３１０）を備えており、この担持プリント基板上に少なくとも一つの検出部（３２１，３２２）を備えた走査ユニット（３２０）が設けられており、この場合検出部（３２１，３２２）を介して光学的透過部材（３６０）が設けられていることを特徴とする請求項９〜１２のいずれか一つに記載の位置測定装置。
光学的透過部材（３６０）が、光学的要素を備えており、この光学的要素により、光が検出部にただ垂直に入射することが保障されることを特徴とする請求項９〜１３のいずれか一つに記載の位置測定装置。
光源（２４，２４０，３４０）が点光源として形成されていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一つに記載の位置測定装置。