JPH11325973A

JPH11325973A - エンコーダ

Info

Publication number: JPH11325973A
Application number: JP13475398A
Authority: JP
Inventors: Hideo Maeda; 英男前田; Koichi Kudo; 宏一工藤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1998-05-18
Filing date: 1998-05-18
Publication date: 1999-11-26
Anticipated expiration: 2018-05-18
Also published as: JP3636888B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で移動物体の移動量を検出する。【解決手段】光源２から固定スリット３に照射された光
は固定スリット３の透過部を透過して、明暗が縞状に分
布した光をレンズ４に入射し、レンズ４により収斂して
移動スリット６に照射する。移動スリット６に入射した
光は移動スリット６のスケールピッチに応じて反射して
固定スリット３に入射する。固定スリット３に入射した
光は回折されて受光素子７に入射する。受光素子７は入
射した光により移動スリット６のスケールピッチに応じ
た信号をカウンタ８に出力する。カウンタ７は入力した
信号を計数し、計数した値と移動スリット６のスケール
ピッチから移動スリット６の移動量を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、各種の工作機械
や複写機などの移動する物体の移動量を検出する測長機
器や計測装置に使用するエンコーダに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】スケールの移動距離を光学的に検出する
の装置としては、例えば特開昭５９−１６３５１７号公
報に示されているように各種の装置は使用されている。
従来の光学的スケール読取装置は、図１５に示すよう
に、光源４１からの光を偏光ビームスプリッタ４２によ
って直交する２つの直線偏光に分離し、分離した直線偏
光をそれぞれ１／４波長板４３，４４を通して円偏光と
し、ミラー４５，４６を介して回折格子のスケール４７
に照射する。スケール４７に照射された光をそれぞ回折
してレンズ４８に入射してレンズ４８と一体化されたミ
ラー４９で反射し、同じ光路を通って１／４波長板４
３，４４まで戻す。そこで入射の際とは９０度傾きの異
なる直線偏光に変換され、偏光ビームスプリッタ４２に
より光源４１の方向と異なる方向へ出射する。偏光ビー
ムスプリッタ４２から出射した光は１／２波長板５０を
通り偏光面を４５度回転して偏光ビームスプリッタ５１
に入射し２つの直線偏光に分けられる。偏光ビームスプ
リッタ５１で分離された直線偏光はそれぞれ偏光板５
２，５３を通り、偏光面が４５度異なる偏光をフォトダ
イオード５４，５５に入射する。この２つフォトダイオ
ード５４，５５から出力する４５度位相が異なる信号か
らスケール４７の移動距離を検出している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の装
置で高い分解能を得るためには、偏光ビームスプリッタ
や偏光子等を多くの部品点数を必要とし、コスト高にな
るという短所があった。この発明はかかる短所を改善
し、簡単な構成で高い分解能を得ることができるエンコ
ーダを提供することを目的とするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明に係るエンコー
ダは、光の反射率と透過率が周期的に変化する固定スリ
ットに光源から光を投射し、固定スリットを透過した光
を移動物体に取り付けた光の反射率と透過率が周期的に
変化する移動スリットに照射し、移動スリットから反射
して固定スリットにより回折された光を受光素子で受光
し、受光素子の出力から移動物体の移動量を検出するこ
とを特徴とする。

【０００５】上記固定スリットと移動スリットの間に収
斂レンズを設けることが望ましい。また、固定スリット
の光源側又は移動物体側に受光素子に光を導くための回
折格子を設けても良い。

【０００６】この発明に係る第２のエンコーダは、中心
部に光の透過部を有し、透過部を除いた部分は周期的に
光の反射率が変化する固定スリットの透過部に光源から
光を投射し、固定スリットの透過部を透過した光を移動
物体に取り付けた光の反射率と透過率が周期的に変化す
る移動スリットに照射し、移動スリットから反射して固
定スリットの透過部を除いた部分で反射した光を受光素
子で受光し、受光素子の出力から移動物体の移動量を検
出することを特徴とする。

【０００７】上記光源と固定スリットの間あるいは固定
スリットと移動スリットの間又は固定スリットと受光素
子の間に収斂レンズを設けると良い。

【０００８】この発明に係る第３のエンコーダは、移動
物体に取り付けた光の反射率と透過率が周期的に変化す
る移動スリットに光源から光を投射し、移動スリットに
よる透過光と回折光をレンズで収斂させ、移動スリット
による透過光と回折光の像がほぼ等ピッチで重なる位置
に設けられ、移動スリットのピッチの１／ｎピッチを有
する固定スリットに入射し、固定スリットを透過した光
を受光素子で受光し、受光素子の出力から移動物体の移
動量を検出することを特徴とする。この回折光は１次回
折光を利用すると良い。

【０００９】また、上記固定スリットは１／４ピッチず
らせた２つの領域を有し、各領域からの光をそれぞれ受
光素子で検出したり、固定スリットに１／４ピッチずら
した３つの領域を設け、各々の領域からの透過する光を
それぞれ受光素子で検出し、相隣合う二つの受光素子か
らの出力の差を２組演算したり、固定スリットに第１の
領域の透過部と反射部と１／４ピッチ位相が異なる透過
部と反射部を有する第２の領域と、第２の領域の透過部
と反射部と１／２ピッチ位相が異なる透過部と反射部を
有する第３の領域と、第３の領域の透過部と反射部と１
／４ピッチ位相が異なり、第１の領域の透過部と反射部
と１／２ピッチ位相が異なる透過部と反射部を有する第
４の領域を設け、各領域からの光をそれぞれ受光素子で
検出し、第１の領域からの光を受光した受光素子の出力
と第２の領域からの光を受光した受光素子の出力の差を
演算し、第３の領域からの光を受光した受光素子の出力
と第４の領域からの光を受光した受光素子の出力の差を
演算したりすると良い。

【００１０】

【発明の実施の形態】この発明のエンコーダは、光源と
固定スリットとレンズと移動スリットと受光素子及びカ
ウンタを有する。固定スリットは一定ピッチで光を透過
する透過部と反射する反射部が多数平行に設けられてい
る。移動スリットも光の反射する部分と透過する部分が
一定ピッチで周期的に設けられている。

【００１１】上記のように構成されたエンコーダで移動
スリットの移動量を測定するとき、光源から固定スリッ
トに光を照射する。固定スリットに照射された光は固定
スリットの透過部を透過して、明暗が縞状に分布した光
をレンズに入射し、レンズにより収斂して移動スリット
上に照射される。この移動スリットに光を照射するとき
に、移動スリットに照射される光の断面分布の明暗のピ
ッチが移動スリットのスケールピッチと同じになるよう
に移動スリットとレンズの位置を適切に設定しておく。

【００１２】移動スリットに照射された光は、明暗の縞
の明部が移動スリットの一定ピッチで設けられている反
射部に入射したときに反射してレンズを通して固定スリ
ットに戻る。また、明暗の縞の明部が移動スリットの透
過部に入射したとき、移動スリットに入射した光は移動
スリットを透過し、固定スリットには移動スリットのス
ケールピッチに応じて反射した光が入射する。この固定
スリットは光の透過部と反射部が一定ピッチで多数設け
られていて光を回折する機能を有し、移動スリットから
の反射光は固定スリットで回折され受光素子に入射す
る。この受光素子に入射する光は移動スリットのスケー
ルピッチに応じて強弱が変化している。そこで受光素子
は入射した光の強弱に応じた信号をカウンタに出力し、
カウンタは入力した信号を計数し、計数した値と移動ス
リットのスケールピッチから移動スリットの移動量を検
出する。

【００１３】

【実施例】図１はこの発明の一実施例の構成図である。
図に示すように、エンコーダ１は光源２と固定スリット
３とレンズ４と移動物体５に取り付けた移動スリット６
と受光素子７及びカウンタ８を有する。固定スリット３
は、図２の斜視図に示すように、一定ピッチＰで光を透
過する透過部３Ｔと反射する反射部３Ｒが多数平行に設
けられている。移動スリット６も光の反射する部分と透
過する部分が一定ピッチＰｓで周期的に設けられてい
る。

【００１４】上記のように構成されたエンコーダ１で移
動物体５の移動を測定するとき、光源２から固定スリッ
ト３に光を照射する。固定スリット３に照射された光は
固定スリット３の透過部３Ｔを透過して、図２の斜視図
に示すように、明暗が縞状に分布した光９をレンズ４に
入射し、レンズ４により収斂して移動スリット６上に照
射される。この移動スリット６に光を照射するときに、
移動スリット６に照射される光の断面分布の明暗のピッ
チが移動スリット６のスケールピッチＰｓと同じになる
ように光学諸元を設定しておく。この設定は、光源２か
ら照射する光がコリメート光でないので、移動スリット
６とレンズ４の位置を適切に設定することにより容易に
実現することができる。

【００１５】移動物体５により移動している移動スリッ
ト６に照射された光は、明暗の縞の明部が移動スリット
６の一定ピッチで設けられている反射部に入射したとき
に反射してレンズ４を通して固定スリット３に戻る。ま
た、明暗の縞の明部が移動スリット６の透過部に入射し
たとき、移動スリット６に入射した光は移動スリット６
を透過して固定スリット３側には戻らず、固定スリット
３には移動スリット６のスケールピッチＰｓに応じて移
動スリット６から反射した光が入射する。この固定スリ
ット３は光の透過部３Ｔと反射部３Ｒが一定ピッチで多
数設けられていて光を回折する機能を有すから、移動ス
リット６からの反射光は固定スリット３で回折され受光
素子７に入射する。この受光素子７には、図３に示すよ
うに、移動スリット６のスケールピッチＰｓに応じて強
弱が変化する光が入射する。受光素子６は入射した光の
強弱に応じた信号をカウンタ８に出力する。カウンタ８
は入力した信号を計数し、計数した値と移動スリット６
のスケールピッチＰｓから移動スリット６の移動量を算
出して表示する。このようにして簡単な構成で移動スリ
ット６の移動量すなわち移動物体５の移動量を検出する
ことができる。

【００１６】上記実施例は、固定スリット３と移動スリ
ット６の間にレンズ４を設けて、レンズ４で光を収斂さ
せる場合について説明したが、図４に示すように、レン
ズ４を使用しなくても良い。この場合、受光素子７には
発散光が進行して一部は受光素子７に入射しないが、受
光素子７に入射する光は全体として移動スリット６のス
ケールピッチＰｓに応じて強度が変調されるので、受光
素子７から移動スリット６のスケールピッチＰｓに応じ
た信号を出力することができる。

【００１７】次に、移動スリット６の移動量とともに移
動方向を検出する実施例について説明する。この場合
は、固定スリット３に、図５（ａ）に示すように、固定
スリット３に一定ピッチＰで光の透過部３Ｔと反射部３
Ｒを多数平行に設けた第１の領域３１と、第１の領域３
１の透過部３Ｔと反射部３Ｒと１／４ピッチ位相が異な
る透過部３Ｔと反射部３Ｒを有する第２の領域３２を設
け、受光素子７には、図５（ｂ）に示すように、固定ス
リット３の第１の領域３１からの光を受光する第１の受
光部７１と固定スリット３の第２の領域３２からの光を
受光する第２の受光部７２を設けておく。そして光源２
から固定スリット３に光を照射し、第１の領域３１と第
２の領域３２を透過した光を移動物体５により移動して
いる移動スリット６上に照射し、移動スリット６からの
反射光を固定スリット３の第１の領域３１と第２の領域
３２を介して受光素子７に入射する。受光素子７には、
図６に示すように、第１の受光部７１に固定スリット３
の第１の領域３１からの光Ａが入射し、第２の受光部７
２には固定スリット３の第２の領域３２からの光Ｂが入
射する。この受光素子７の第２の受光部７２に入射する
光Ｂは光Ａより位相が移動スリット６のスケールピッチ
Ｐｓの１／４だけずれている。そこで第１の受光部７１
から出力するＡ相の信号と第２の受光部７２から出力す
るＢ相の信号の順序から移動スリット６の移動方向を検
出することができる。この第１の受光部７１から出力す
るＡ相の信号と第２の受光部７２から出力するＢ相の信
号にはバイアス成分Ｃを有し、信号処理上のノイズとな
る。そこでＡ相の信号とＢ相の信号の差をとり、バイア
ス成分Ｃのない単相の信号により移動スリット６の移動
量を検出する。

【００１８】上記実施例は固定スリット３に１／４ピッ
チ位相が異なる第１の領域３１と第２の領域３２を設け
て、Ａ相の信号とＢ相の信号の差をとり、バイアス成分
Ｃのない単相の信号により移動スリット６の移動量を検
出する場合について説明したが、図７（ａ）に示すよう
に、第１の領域３１の透過部３Ｔと反射部３Ｒと１／４
ピッチ位相が異なる透過部３Ｔと反射部３Ｒを有する第
２の領域３２と、第２の領域３２の透過部３Ｔと反射部
３Ｒと１／４ピッチ位相が異なる透過部３Ｔと反射部３
Ｒを有する第３の領域３３を設け、受光素子７には、図
７（ｂ）に示すように、第１の領域３１からの光を受光
する第１の受光部７１と、第２の領域３２からの光を受
光する第２の受光部７２及び第３の領域３３からの光を
受光する第３の受光部７３を設け、第１の受光部７１の
出力信号と第２の受光部７２の出力信号の差と、第２の
受光部７２の出力信号と第３の受光部７３の出力信号の
差を求めることにより、バイアス成分Ｃがなくスケール
ピッチＰｓの１／４だけ位相がずれた２つの信号を得る
ことができる。したがつて移動スリット６の移動量と移
動方向をより確実に検出することができる。

【００１９】上記実施例は固定スリット３に３つの領域
３１〜３３を設けた場合について説明したが、図８
（ａ）に示すように、固定スリット３に第１の領域３１
の透過部３Ｔと反射部３Ｒと１／４ピッチ位相が異なる
透過部３Ｔと反射部３Ｒを有する第２の領域３２と、第
２の領域３２の透過部３Ｔと反射部３Ｒと１／２ピッチ
位相が異なる透過部３Ｔと反射部３Ｒを有する第３の領
域３３と、第３の領域３３の透過部３Ｔと反射部３Ｒと
１／４ピッチ位相が異なり、第１の領域３１の透過部３
Ｔと反射部３Ｒと１／２ピッチ位相が異なる透過部３Ｔ
と反射部３Ｒを有する第４の領域３４を設け、受光素子
７には、図８（ｂ）に示すように、第１の領域３１から
の光を受光する第１の受光部７１と、第２の領域３２か
らの光を受光する第２の受光部７２と、第３の領域３３
からの光を受光する第３の受光部７３及び第４の領域３
３からの光を受光する第４の受光部７４を設け、第１の
受光部７１の出力信号と第２の受光部７２の出力信号の
差と、第３の受光部７２の出力信号と第４の受光部７４
の出力信号の差を求めることにより、バイアス成分Ｃが
なく位相がずれた２つの信号を得ることができる。

【００２０】また、上記各実施例の固定スリット３は周
期的に設けられた透過部３Ｔと反射部３Ｒで回折格子の
役割をして、移動スリット７から反射した光を受光素子
７の方向に導くが、固定スリット３による回折効率は低
い。そこで、図９に示すように、固定スリット３の受光
素子７側に効率の高い回折格子１０を設けたり、固定ス
リット３の移動スリット６側に回折格子１０を設けるこ
とにより、受光素子７の受光量を増やしてノイズ成分の
少ない信号を得ることができる。この回折格子１０とし
ては表面レリーフ回折格子や体積型の回折格子を使用す
ると、受光素子７の受光量効率良く増やすことができ
る。

【００２１】また、例えば図１０（ａ）に示すように、
基板１１の一方の面に回折格子部１２を設け、他方の面
にスリット部１３を設けで固定スリット３を構成した
り、図１０（ｂ）に示すように、固定スリット３の透過
部３Ｔに回折格子部１２を設けて、固定スリット３と回
折格子１０を一体にすることにより小型化を図ることが
できる。図１０（ａ）に示すように、基板１１の両面に
回折格子部１２とスリット部１３を設ける場合、スリッ
ト部１３はクロムマスクやアルミマスクやエマルジョン
タイプのマスクにより形成し、このマスクの反対側の面
に、光ディスクの基板の作製などで使用されているスタ
ンパを用いて回折格子部１２を複製することができる。
また、図１０（ｂ）に示した、透過部３Ｔに回折格子部
１２を有する固定スリット３は、クロムマスクやアルミ
マスクによりスリット部を作製する。例えばフォトリソ
グラフィの方法でアルミマスクを作成し、このマスク上
にネガ型レジストをスピンコート法などで塗布してから
アルミマスクの裏面より紫外線照射した後、ウエットや
ドライの現像をする。この現像により残ったネガ型レジ
ストの未露光部を回折格子のパターンをもつマスクを用
いて露光し、現像することにより作製することができ
る。

【００２２】上記各実施例は光源２からの光を固定スリ
ット３により明暗が縞状に分布した断面を有する光９を
移動スリットに照射する場合について説明したが、図１
１に示すように、固定スリット３の中心部に一定面積を
有する光の透過部３０を設け、図１２に示すように、光
源２からの光を透過部３０を通して移動スリット６に照
射し、移動スリット６から反射した明暗が縞状に分布し
た断面を有する光を固定スリット３の透過部３０の周囲
にある反射部３Ｒで反射して受光素子７に入射するよう
にしても、受光素子７に移動スリット６のスケールピッ
チＰｓに応じて強弱が変化する光を入射することがで
き、受光素子６の出力信号により移動スリット６の移動
量を検出することができる。この場合も、固定スリット
３に反射部３Ｒと透過部３Ｔの位相が異なるが２つから
４つの領域３１〜３４を設けることにより、移動スリッ
ト６の移動量と移動方向を検出することができる。さら
に、図１３（ａ）〜（ｃ）に示すように、固定スリット
３と受光素子７の間や、固定スリット３と移動スリット
の間または固定スリット３と受光素子７の間と固定スリ
ット３と移動スリットの間にレンズ４を設けて受光素子
７に入射する光を収斂させることにより、受光素子７に
効率良く光を導くことができ、移動スリット６の移動量
と移動方向をより確実に検出することができる。

【００２３】また、上記各実施例は移動スリット６から
の反射光を利用して移動スリット６の移動量と移動方向
を検出する場合について説明したが、移動スリット６か
らの回折光を利用して移動スリット６の移動量と移動方
向を検出するようにしても良い。例えば図１４に示すよ
うに、光源２から光を移動物体５に設けた移動スリット
６に照射し、移動スリット６からの回折光をレンズ４で
収斂して固定スリット３を介して受光素子７で受光す
る。この移動スリット６からの回折光の回折次数は移動
スリット６のスリットピッチＰｓと光の波長で定まり、
１次の回折光の強度を高めることは容易にできる。そこ
で例えば図１３に示すように、移動スリット６からの透
過光と１次の回折光をレンズ４で固定スリット３に重ね
合わせる。このとき、重ね合わせた各光による移動スリ
ット６の像１４が等間隔になるようにレンズ４と固定ス
リット３の位置を調整しておく。また、固定スリット３
の透過部３Ｔと反射部３ＲのピッチＰは移動スリット６
のスリットピッチＰｓの１／ｎ、例えば１／３にしてお
く。この場合、移動スリット６が１ピッチ移動すると、
固定スリット３上の像１４は固定スリット３の３ピッチ
分だけ移動する。したがって固定スリット３を透過した
光は移動スリット６が１ピッチ移動するたびに３周期変
化して受光素子７に入射する。この受光素子７からの出
力信号により移動スリット６の移動量を検出することに
より、３倍の分解能で移動スリット６の移動量を検出す
ることができる。

【００２４】この場合も、固定スリット３に反射部３Ｒ
と透過部３Ｔの位相が異なるが２つから４つの領域３１
〜３４を設けることにより、移動スリット６の移動量と
移動方向を検出することができる。

【００２５】

【発明の効果】この発明は以上説明したように、固定ス
リットを透過して明暗の縞のある光を移動物体に取り付
けた光の反射率と透過率が周期的に変化する移動スリッ
トに照射し、移動スリットから反射して固定スリットに
より回折された光を受光素子で受光するようにして、受
光素子に移動スリットのスケールピッチに応じて強弱が
変化している光を入射するようにしたから、簡単な構成
で移動物体の移動量を精度良く検出することができる。

【００２６】また、固定スリットと移動スリットの間に
収斂レンズを設け、受光素子に入射する光を収斂させ
て、受光素子で受光する光の強度を高めることができ、
ノイズの少ない信号を受光素子から出力することがで
き、移動物体の移動量の検出精度の信頼性を高めること
ができる。

【００２７】また、固定スリットの中心部に光の透過部
を設けることにより、移動スリットに入射する光の強度
を高めることができ、移動物体の移動量を安定して検出
することができる。

【００２８】また、光源から移動スリットに光を直接照
射し、移動スリットによる透過光と回折光をレンズによ
り収斂させ固定スリットに入射し、固定スリットを透過
した光を受光素子で受光することにより、簡単な構成で
移動物体の移動量を検出することができる。また、移動
スリットによる透過光と回折光の１次光を移動スリット
のピッチの１／ｎピッチを有する固定スリットに入射す
ることにより、高分解能で移動物体の移動量を検出する
ことができる。

【００２９】さらに、固定スリットは透過部と反射部の
位相が異なる領域を設け、各領域からの光を受光素子で
受光することにより、移動物体の移動量とともに移動方
向も検出することができる。また、各領域からの光を受
光した受光素子の出力の差を演算することによりバイア
ス成分をなくした信号を得ることができ、ノイズに対し
て強くすることができ、移動物体の移動量と移動方向を
安定して検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例の構成図である。

【図２】固定スリットの構成を示す斜視図である。

【図３】受光素子に入射するする光の強度分布図であ
る。

【図４】第２の実施例の構成図である。

【図５】第３の実施例の固定スリットと受光素子の構成
図である。

【図６】第３の実施例の受光素子に入射するする光の強
度分布図である。

【図７】第４の実施例の固定スリットと受光素子の構成
図である。

【図８】第５の実施例の固定スリットと受光素子の構成
図である。

【図９】第６の実施例の構成図である。

【図１０】第６の実施例における他の固定スリットの構
成図である。

【図１１】第７の実施例の固定スリットの構成図であ
る。

【図１２】第７の実施例の構成図である。

【図１３】第７の実施例の他の構成図である。

【図１４】第８の実施例の構成図である。

【図１５】従来例の構成図である。

【符号の説明】

１エンコーダ２光源３固定スリット４レンズ５移動物体６移動スリット７受光素子８カウンタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光の反射率と透過率が周期的に変化する
固定スリットに光源から光を投射し、固定スリットを透
過した光を移動物体に取り付けた光の反射率と透過率が
周期的に変化する移動スリットに照射し、移動スリット
から反射して固定スリットにより回折された光を受光素
子で受光し、受光素子の出力から移動物体の移動量を検
出することを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】上記固定スリットと移動スリットの間に
収斂レンズを設けた請求項１記載のエンコーダ。
【請求項３】中心部に光の透過部を有し、透過部を除
いた部分は周期的に光の反射率が変化する固定スリット
の透過部に光源から光を投射し、固定スリットの透過部
を透過した光を移動物体に取り付けた光の反射率と透過
率が周期的に変化する移動スリットに照射し、移動スリ
ットから反射して固定スリットの透過部を除いた部分で
反射した光を受光素子で受光し、受光素子の出力から移
動物体の移動量を検出することを特徴とするエンコー
ダ。
【請求項４】上記光源と固定スリットの間あるいは固
定スリットと移動スリットの間又は固定スリットと受光
素子の間に収斂レンズを設けた請求項３記載のエンコー
ダ。
【請求項５】移動物体に取り付けた光の反射率と透過
率が周期的に変化する移動スリットに光源から光を投射
し、移動スリットによる透過光と回折光をレンズで収斂
させ、移動スリットによる透過光と回折光の像がほぼ等
ピッチで重なる位置に設けられ、移動スリットのピッチ
の１／ｎピッチを有する固定スリットに入射し、固定ス
リットを透過した光を受光素子で受光し、受光素子の出
力から移動物体の移動量を検出することを特徴とするエ
ンコーダ。
【請求項６】上記回折光の１次光を利用する請求項５
記載のエンコーダ。
【請求項７】上記固定スリットは１／４ピッチずらせ
た２つの領域を有し、各領域からの光をそれぞれ受光素
子で検出する請求項１から６のいずれかに記載のエンコ
ーダ。
【請求項８】上記固定スリットは１／４ピッチずらし
た３つの領域を有し、各々の領域からの透過する光をそ
れぞれ受光素子で検出し、相隣合う二つの受光素子から
の出力の差を２組演算する請求項１から６のいずれかに
記載のエンコーダ。
【請求項９】上記固定スリットは第１の領域の透過部と
反射部と１／４ピッチ位相が異なる透過部と反射部を有
する第２の領域と、第２の領域の透過部と反射部と１／
２ピッチ位相が異なる透過部と反射部を有する第３の領
域と、第３の領域の透過部と反射部と１／４ピッチ位相
が異なり、第１の領域の透過部と反射部と１／２ピッチ
位相が異なる透過部と反射部を有する第４の領域を設
け、各領域からの光をそれぞれ受光素子で検出し、第１
の領域からの光を受光した受光素子の出力と第２の領域
からの光を受光した受光素子の出力の差を演算し、第３
の領域からの光を受光した受光素子の出力と第４の領域
からの光を受光した受光素子の出力の差を演算する請求
項１から６のいずれかに記載のエンコーダ。
【請求項１０】上記固定スリットの光源側又は移動物
体側に受光素子に光を導くための回折格子を設けた請求
項１記載のエンコーダ。