JPH072308A

JPH072308A - 基板の配列ピッチ変換装置

Info

Publication number: JPH072308A
Application number: JP2708194A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Sasaki; 浩佐々木; Yasuhiko Ohashi; 泰彦大橋
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-03-26
Filing date: 1994-02-25
Publication date: 1995-01-06
Anticipated expiration: 2014-01-27
Also published as: JP2850191B2

Abstract

(57)【要約】【目的】配列ピッチを一括して変換する際に、基板保
持部材で支持した基板の整列方向が傾斜することのない
配列ピッチ変換装置を提供する。【構成】複数の基板保持部材２１を、ガイド支持部材
２５により基板Ｗの主面と直交する方向へ一列に摺動自
在に拘束する。各基板保持部材２１には、その主面に平
行な方向へ走る被係合部２４を形成する。傾斜揺動部材
２６には複数の係合部材２８を等ピッチで設け、これら
の係合部材２８を各基板保持部材２１の被係合部２４に
係合することにより、複数の基板保持部材２１を整列方
向へ等ピッチに拘束する。上記傾斜揺動部材２６を傾斜
揺動することにより、基板保持部材２１の整列方向は傾
斜することなく配列ピッチＰのみが一括して変換され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えばキャリア方式
による表面処理装置などにおいて、半導体基板等の薄板
状被処理基板（以下単に基板という）を、基板収容カセ
ットから基板移載用ロボットで取り出して配列ピッチの
異なる基板処理用カセットへ差し替える場合等に用いら
れる基板の配列ピッチ変換装置に関する。

【０００２】

【技術の背景】近年、半導体技術の高度化とともに基板
の製造工程における高度な品質が要求されるようにな
り、これに伴って基板を搬送用キャリアから表面処理用
のキャリアへ移し換えて表面処理するキャリアバッチ方
式や、キャリアを用いないキャリアレス方式により基板
を表面処理するようになった。両方式ともに可能な限り
塵埃を表面処理槽内に持ち込まないようにしている。

【０００３】例えば図９は、２個のキャリア１から２群
の基板Ｗ₁・Ｗ₂を取り出して他方の基板処理槽１４へ一
括して移し替える工程を示している。ここで、符号２は
上下・左右方向に移動可能なキャリア載置台、５はキャ
リア１内の各基板Ｗのオリエンテーションフラットを整
合する整合装置、６はキャリア載置台２の水平移動位置
よりも下方に固定配置され、各基板キャリア１内の基板
Ｗを相対的に押し上げて一括保持する基板保持具、１３
は基板保持具６の架台１０を相互に接離自在に連結する
リンク、１５は基板保持具６で保持したキャリア２個分
（５０枚）の基板Ｗを一括保持して搬送する基板チャッ
クである。

【０００４】上記装置によれば、リンク1３で２群の基
板Ｗ₁・Ｗ₂を相互に接近させることにより、全ての基板
を整列方向へ略等ピッチに配列し、基板チャック１５で
一括保持して移し替えることができる。上記基板の一括
移し替えに際して、配列ピッチのより細かい基板処理槽
１４へ基板を移し替えることができれば好都合である。
例えば基板の表面処理においては、基板処理槽１４の容
積が小さくて済み、複数の基板処理槽１４を有する処理
装置では、処理装置全体の設置面積が小さくなる等の利
点があるからである。

【０００５】

【従来の技術】基板の配列ピッチを変換する従来技術と
しては、例えば実公昭５６−３３１４９号に開示された
ものが知られている。それは、図１０に示すように、基
板Ｗを保持するために一列に整列配置された複数の基板
保持部材１２１と、これらの基板保持部材１２１を整列
（上下）方向へ等ピッチＰに拘束する傾斜揺動部材１２
２とを具備して成り、上記傾斜揺動部材１２２を操作バ
ンドル１２３で所要角度θになるように傾斜揺動するこ
とにより、複数の基板保持部材１２１の配列ピッチＰを
一括して変換するように構成されている。なお、符号１
０１は基板を収納するキャリア、１２７は傾斜揺動部材
１２２の揺動支軸である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例は、基板保
持部材１２１が直接傾斜揺動部材１２２に拘束されてい
るため、上記傾斜揺動部材１２２を傾斜揺動すれば、各
基板保持部材１２１の整列方向が傾斜し、この基板保持
部材１２１で支持した基板Ｗの整列方向も傾斜する。こ
のため、基板の移し替えに際して、別のキャリアを介在
させる必要が生じる等、基板の移し替えに手間取るとい
う問題がある。特に図９で示すような基板チャック１５
で基板を一括保持して移し替える場合には実用不可能で
ある。本発明はこのような事情を考慮してなされたもの
で、整列ピッチを一括して変換する際に、基板保持部材
で保持した基板の整列方向が傾斜することのない配列ピ
ッチ変換装置を提供し、もって基板の移し替えを簡便に
することを技術課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明が採用した手段は、基板を保持する
ために一列に整列配置された複数の基板保持部材と、こ
れらの基板保持部材を整列方向へ等ピッチに拘束する傾
斜揺動部材とを具備して成り、上記傾斜揺動部材を傾斜
揺動することにより、複数の基板保持部材の配列ピッチ
を一括して変換するように構成した基板の配列ピッチ変
換装置において、上記複数の基板保持部材を、ガイド支
持部材により基板の主面と直交する方向へ一列に摺動自
在に拘束し、上記各基板保持部材には、その主面と平行
な方向へ走る被係合部を形成するとともに、上記傾斜揺
動部材には複数の係合部材を等ピッチで設け、これらの
係合部材を上記各基板保持部材の被係合部に係合するこ
とにより、複数の基板保持部材を整列方向へ等ピッチに
拘束するように構成したことを特徴とするものである。

【０００８】また、請求項２の発明が採用した手段は、
上記複数の基板保持部材を、ガイド支持部材により基板
の主面と直交する方向へ一列に摺動自在に拘束し、上記
各基板保持部材にはそれぞれ被係止部を設け、各被係止
部は当該基板保持部材の主面方向において相互に等ピッ
チをなすように配置し、上記基板保持部材の主面方向と
交差する方向へ、平行をなすように複数のリンク部材を
設け、上記各被係止部を各リンク部材を介して傾斜揺動
部材にリンクすることにより、複数の基板保持部材を整
列方向へ等ピッチに拘束するように構成したことを特徴
とするものである。

【０００９】

【発明の作用】請求項１の発明は、以下のように作用す
る。複数の基板保持部材は、傾斜揺動部材の係合部材を
各基板保持部材の被係合部に係合することにより、整列
方向へ等ピッチに拘束されている。そして、上記傾斜揺
動部材を整列方向に対して傾斜揺動することにより、複
数の基板保持部材の配列ピッチは一括して変換される。
このとき、複数の基板保持部材はガイド支持部材により
基板の主面と直交する方向へ一列に摺動自在に拘束され
ているので、傾斜揺動部材を傾斜揺動しても、各基板保
持部材の整列方向は傾斜することなく配列ピッチのみを
変換することができる。

【００１０】また、請求項２の発明では、各基板保持部
材の被係止部は当該基板保持部材の主面方向において相
互に等ピッチをなすように配置され、また、基板保持部
材の主面方向と交差する方向へ平行をなすように複数の
リンク部材が設けられ、上記各被係止部は各リンク部材
を介して傾斜揺動部材にリンクされているので、各基板
保持部材は整列方向へ等ピッチに拘束される。従って、
上記傾斜揺動部材を整列方向に対して傾斜揺動すること
により、複数の基板保持部材の配列ピッチは一括して変
換される。このとき、本発明においても、複数の基板保
持部材はガイド支持部材により基板の主面と直交する方
向へ一列に摺動自在に拘束されているので、傾斜揺動部
材を傾斜揺動しても、各基板保持部材の整列方向は傾斜
することなく配列ピッチのみを変換することができる。

【００１１】

【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいてさらに
詳しく説明する。図１は請求項１の発明の第１の実施例
に係る基板の配列ピッチ変換装置の斜視図である。な
お、符号２０は配列ピッチ変換装置全体を示す。この実
施例装置２０は、起立状態で一列に整列配置された複数
の基板保持部材２１と、上記複数の基板保持部材２１を
基板Ｗの主面と直交する水平方向へ一列に摺動自在に拘
束するガイド支持部材２５と、上記基板保持部材２１を
前後整列方向へ等ピッチＰで拘束する傾斜揺動部材２６
とを具備して成る。

【００１２】上記各基板保持部材２１の上端部には、基
板Ｗを起立状態で保持する基板保持溝２２が形成され、
略中央部には角棒状のガイド支持部材２５が貫通する挿
通孔２３が開口形成され、左右両側部には基板Ｗの主面
に平行な方向へ走る被係合凹部２４が形成されている。
なお、符号２３ａはスライドベアリングである。これに
より、各基板保持部材２１は、起立姿勢を維持したまま
ガイド支持部材２５に沿って前後方向へ円滑に移動でき
る。なお、基板保持部材２１をフッ素樹脂材料で製作
し、スライドベアリング２３ａを省略することもでき
る。

【００１３】上記傾斜揺動部材２６は、前後方向に走る
左右一対の揺動杆２６ａ・２６ｂを連結部材２６ｃで連
結して一体揺動可能に構成され、この揺動杆２６ａ・２
６ｂの略中央部が揺動支軸２７により揺動可能に枢支さ
れている。そして、これら左右の揺動杆２６ａ・２６ｂ
の内側面には複数の係合凸部材２８が等ピッチＰで突設
され、これらの各係合凸部材２８を上記各基板保持部材
２１の被係合凹部２４に係入することにより、複数の基
板保持部材２１は前後方向へ等ピッチＰで拘束される。

【００１４】即ち、上記傾斜揺動部材２１を整列方向に
対して所定角度θだけ傾斜揺動することにより、複数の
基板保持部材２１の配列ピッチＰはＰ・COSθに変換され
る。このとき、複数の基板保持部材２１はガイド支持部
材２５により基板Ｗの主面と直交する前後方向へ一列に
摺動自在に拘束されているので、傾斜揺動部材２６を傾
斜揺動しても、各基板保持部材２１の整列方向は傾斜す
ることなく配列ピッチＰのみを変換することができる。
ちなみに、所定角度θが６０゜のときは変換後の配列ピ
ッチは当初の配列ピッチＰの１/２になる。

【００１５】図２は、２個のキャリア１から２群の基板
Ｗ₁・Ｗ₂を取り出し、上記配列ピッチ変換装置２０を適
用して配列ピッチを変換し、それらの基板Ｗを他方の基
板処理槽１４へ一括して移し替える工程を示している。
ここでキャリア載置台２は移動フレーム４に昇降可能に
設けられ、移動フレーム４は左右移動可能に設けられて
いる。また、キャリア載置台２の中央部には後述する基
板保持具６が挿通する挿通孔３が開口形成されている。
そして図２の実線で示すキャリア載置台２の下方には、
整合ローラ５が付設配置されており、この原点位置でキ
ャリア載置台２を下降させ、上記挿通孔３に整合ローラ
５を臨ませて基板Ｗに当接させ、整合ローラ５を回転す
ることにより、基板Ｗのオリエンテーション・フラット
を揃えるように構成されている。

【００１６】上記基板保持具６は、保持具本体７と、保
持具本体７を支える支柱８と、支柱８の下端部を固定支
持する架台１０と、スライダー１１を介して架台１０を
基板整列方向（矢印Ｄ）に合致させてガイドする２本の
ガイドレール１２・１２と、架台１０を相互に接離自在
に連結するリンク１３と、一方の架台１０を矢印Ｄ方向
へ接離駆動するエアシリンダー（図示せず）とを具備し
て成り、エアシリンダーを作動させて一方の架台１０を
矢印Ｄ方向へ相互に接離駆動するように構成されてい
る。また、保持具本体７の上面には、複数の基板Ｗを一
括して保持する基板保持溝が刻設されており、図２中の
仮想線で示すように、キャリア載置台２を下降させるこ
とにより、キャリア１内の基板を一単位として、２群の
基板Ｗ₁・Ｗ₂を各保持具本体７・７で受け取ることがで
きる。

【００１７】一方、２つの基板チャック１５Ａ・１５Ｂ
は、図２で示すように共通の基本構造を有して成り、上
下・水平移動可能に設けられた移動本体１６と、移動本
体１６より前方へ突設された一対のチャック作動杆１７
・１７と、各チャック作動杆１７に固設された一対のチ
ャックアーム１８・１８と、各チャックアーム１８に固
設されたチャックハンド１９とから成り、チャックハン
ド１９で複数の基板Ｗを一括保持するように構成されて
いる。なお、２つの基板チャック１５Ａ・１５Ｂのうち
一方の基板チャック１５Ａのチャックハンド１９ａに
は、キャリア１の基板収納溝（図示せず）と同一ピッチ
Ｐの基板保持溝が刻設され、他方の基板チャック１５Ｂ
のチャックハンド１９ｂには、配列ピッチＰを変換した
基板Ｗを一括保持して移し替えることができるように、
キャリア１の基板収納溝の１/２ピッチの基板保持溝が
刻設されている。

【００１８】以下、図２に基づいて基板Ｗの移し替え動
作について説明する。先ずキャリア載置台２の上に２組
の基板キャリア１を載置し、キャリア載置台２を下降さ
せ、整合ローラ５を回転させて基板Ｗのオリエンテーシ
ョンフラットを揃えて整列させ、次にキャリア載置台２
を基板保持具６の上方に移動させ、このキャリア載置台
２を仮想線で示す位置まで下降させる。このとき、各保
持具本体７・７は相互に離間した状態で各基板キャリア
１・１から各２５枚の基板Ｗを受け取る。従ってこの段
階では２個の保持具本体７・７で保持したキャリア２個
分の基板は、それぞれ前群の基板Ｗ₁と後群の基板Ｗ₂と
に分離した状態になっている。

【００１９】次いで、保持具本体７・７を基板整列方向
へ相互に接近させる。これにより前群Ｗ₁と後群Ｗ₂に分
離していた基板が略等ピッチＰで整列し、基板チャック
１５Ａのチャックハンド１９ａの基板保持溝に対して位
置整合する。従って基板保持具６で保持したキャリア２
個分の合計５０枚の基板Ｗを基板チャック１５Ａで一括
保持することができる。引き続きチャックハンド１９ａ
で基板Ｗを一括挟持して移送し、本発明に係る配列ピッ
チ変換装置２０にそれらの基板Ｗを移載する。

【００２０】配列ピッチ変換装置２０の傾斜揺動部材２
６を所定角度θだけ傾斜揺動することにより、複数の基
板保持部材２１の配列ピッチは一括して変換される。な
お、複数の基板保持部材２１は、前記のようにガイド支
持部材２５により基板Ｗの主面と直交する前後方向へ一
列に摺動自在に拘束されているので、傾斜揺動部材２６
を傾斜揺動しても、各基板保持部材２１の整列方向は傾
斜することなく配列ピッチのみが変換される。これによ
り、配列ピッチが変換されたキャリア２個分の基板Ｗを
他方の基板チャック１５Ｂのチャックハンド１９ｂで一
括挟持することができる。引き続きチャックハンド１９
ｂで基板Ｗを一括挟持して移送し、処理槽１４内に浸漬
する。

【００２１】なお、処理槽１４内には変換された配列ピ
ッチと等ピッチの基板支持溝を切設した基板支持具（図
示せず）が固設されており、基板チャック１５Ｂより一
括して受け取った基板Ｗを当該溝に差し込んで処理液中
に浸漬した状態で保持し得るようになっている。従って
配列ピッチが小さくなる分だけ処理槽１４自体の容積を
小型化でき、この処理槽１４の小型化により必要な表面
処理液の総量の少量化が図られる。また、これに伴って
処理液の温度管理、濃度管理等をより容易に行うことが
できる。さらに処理槽１４内の各基板Ｗ間では処理液の
均一な上昇流が形成される。これにより基板Ｗの均一な
表面処理をすることができる。

【００２２】図３は請求項１の発明の第２の実施例を示
す配列ピッチ変換装置の斜視図である。この実施例装置
２０は、第１の実施例装置（図１）と以下の点で異な
る。各基板保持部材２１の被係合部２４は、上下方向へ
走る長孔形状で、かつ、基板保持部材２１を左右に貫通
する状態で形成されている。また、ガイド支持部材２５
は基板保持部材２１の上方寄り部と下方寄り部を貫通す
る２本のガイドロッド２５ａ・２５ｂから成り、２本の
ガイドロッド２５ａ・２５ｂで基板保持部材２１を前後
方向へ一列に摺動自在に拘束する。なお、符号２３ａは
スライドベアリングである。

【００２３】上記傾斜揺動部材２６は、各揺動杆２６ａ
・２６ｂの一端部が揺動支軸２７で揺動可能に枢支され
ている。そして複数の係合部材２８は、左右の揺動杆２
６ａ・２６ｂに等ピッチＰで、かつ、回動自在に架着さ
れ、これらの各係合部材２８は各基板保持部材２１の被
係合部２４に挿通されている。これにより、複数の基板
保持部材２１を前後方向へ等ピッチＰで拘束する。な
お、図４で示すように、各基板保持部材２１の左右両側
部には、上下方向へ走る凸条部で被係合部２４を形成
し、左右の揺動杆２６ａ・２６ｂの内側面には、図示の
係合部材２８を回動可能に付設し、この係合部材２８の
凹部２８ａを凸条部２４に係合させるようにしても良
い。その他の点は、第１の実施例と同様に構成され、上
記傾斜揺動部材２１を整列方向に対して所定角度θだけ
傾斜揺動することにより、複数の基板保持部材２１は傾
斜することなく、基板Ｗの配列ピッチＰのみを変換する
ことができる。

【００２４】図５は請求項１の発明の第３の実施例を示
す配列ピッチ変換装置の斜視図である。この実施例装置
２０は、水平状態の基板Ｗを一括保持してキャリアに収
納する場合を想定したもので、第２の実施例装置（図
３）と以下の点で異なる。即ち、この実施例では複数の
基板保持部材２１が水平状態で上下一列に整列配置さ
れ、各基板保持部材２１の一端部には、基板Ｗを水平状
態で保持する基板保持部２２が段差状に形成されてい
る。その他の点は、第２の実施例と同様に構成されてい
る。

【００２５】図６は請求項１の発明の第４の実施例を示
す配列ピッチ変換装置の斜視図である。この実施例装置
２０は、第２の実施例（図３）と以下の点で異なる。こ
の実施例では傾斜揺動部材２６は、２連の各揺動杆２６
ａ・２６ａ／２６ｂ・２６ｂをそれぞれ左右に設け、こ
れらを連結具２６ｃで連結して成り、各揺動杆２６ａ・
２６ａは、それぞれ揺動支軸２７・２７で並行揺動可能
に枢支されている。そして棒状の係合部材２８は、左右
の揺動杆２６ａ・２６ｂにわたって架着され、これらの
各係合部材２８は各基板保持部材２１に形成された長孔
状の被係合部２４に挿通されている。その他の点は、第
２の実施例と同様に構成されている。

【００２６】図７は請求項２の発明の第１の実施例を示
す配列ピッチ変換装置の斜視図である。この実施例装置
２０は、前記請求項１の発明と同様の基本構造を備え
る。即ち、起立状態で一列に整列配置された複数の基板
保持部材２１と、上記複数の基板保持部材２１を矩形基
板Ｗの主面と直交する前後方向へ一列に摺動自在に拘束
するガイド支持部材２５と、上記基板保持部材２１を前
後整列方向へ等ピッチＰで拘束する傾斜揺動部材２６と
を具備して成る。

【００２７】上記各基板保持部材２１は、図７に示すよ
うに、上向きコの字状に形成され、その内面に矩形基板
Ｗを起立状態で保持する基板保持溝２２が形成されてい
る。なお、基板保持部材２１の基板保持溝２２は矩形基
板Ｗを保持するものに限らず、円形基板を保持するもの
についても同様に実施可能である。また、各基板保持部
材２１は、その両側下部にあけた挿通孔２３ａ・２３ｂ
を介して左右一対のガイド支持部材２５ａ・２５ｂによ
り摺動自在に支持され、各基板保持部材２１は、起立姿
勢を維持したままガイド支持部材２５ａ・２５ｂに沿っ
て前後方向へ円滑に移動できる。なお、ガイド支持部材
２５ａ・２５ｂは左右一対の支柱３０ａ・３０ｂに固設
されている。

【００２８】上記各基板保持部材２１の両側部には、左
右一対の被係止部２４ａ・２４ｂが横向きに突設され、
各被係止部２４ａ・２４ｂにはそれぞれリンク部材２９
の一端部が連結されている。なお、各被係止部２４ａ・
２４ｂは当該基板保持部材２１の主面の方向（ここでは
垂直方向）において相互に等ピッチｐをなすように配置
されている。上記各リンク部材２９は、上記支柱３０ａ
・３０ｂに前記等ピッチｐをなすようにあけた挿通孔３
１に挿通自在に貫通され、基板保持部材２１の主面方向
と交差する方向（ここでは前後方向）へ相互に平行をな
すように設けられている。各リンク部材２９の他端部
は、それぞれ連結具３２を介して傾斜揺動部材２６にリ
ンクされている。

【００２９】上記傾斜揺動部材２６は、左右一対の各揺
動板２６ａ・２６ｂを連結杆２６ｃで連結し、それぞれ
揺動支軸２７・２７で並行揺動可能に枢支されている。
そしてエアシリンダ３４で連結杆２６ｃを押し引きする
ことにより、各揺動板２６ａ・２６ｂを所要角度θだけ
揺動するように構成されている。上記各リンク部材２９
の連結具３２は、各揺動板２６ａ・２６ｂにその揺動半
径に沿ってあけたスリット状の長孔３３に摺動自在に架
着されている。これにより、各基板保持部材２１は前後
方向へ等ピッチに拘束され、上記揺動板２６ａ・２６ｂ
を傾斜揺動することにより、各基板保持部材２１の配列
ピッチは一括して変換される。

【００３０】図８は請求項２の発明の第２の実施例を示
す配列ピッチ変換装置の斜視図である。この実施例装置
２０は、上記第１の実施例（図７）と以下の点で異な
る。この実施例では、各リンク部材２９は支柱３０ａ・
３０ｂにあけたスリット状の挿通長孔３１ａに遊動自在
に挿通され、各リンク部材２９の連結具３２は、各揺動
板２６ａ・２６ｂにその揺動半径に沿って等ピッチｐに
架着されている。なお、各リンク部材２９の両端部は、
いずれも回動自在に連結されており、その他の点は上記
第１の実施例（図７）と同様に構成されている。

【００３１】

【発明の効果】請求項１及び請求項２の発明は、それぞ
れ上記のように構成され、傾斜揺動部材を整列方向に対
して所定角度だけ傾斜揺動することにより、複数の基板
保持部材は傾斜することなく、基板の配列ピッチのみを
変換することができる。これにより、従来例のように基
板の移し替えに手間取ることもなく至便である。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１の発明の第１の実施例を示す斜視図で
ある。

【図２】請求項１の発明の配列ピッチ変換装置を適用し
て基板の配列ピッチを変換して移し替える工程を示す斜
視図である。

【図３】請求項１の発明の第２の実施例を示す斜視図で
ある。

【図４】図３中の要部の変形例を示す斜視図である。

【図５】請求項１の発明の第３の実施例を示す斜視図で
ある。

【図６】請求項１の発明の第４の実施例を示す斜視図で
ある。

【図７】請求項２の発明の第１の実施例を示す斜視図で
ある。

【図８】請求項２の発明の第２の実施例を示す斜視図で
ある。

【図９】基板の移し替え工程を示す斜視図である。

【図１０】従来例に係る基板の配列ピッチ変換装置の概
要図である。

【符号の説明】

Ｗ…基板、Ｐ…配列ピッチ、２０…配列
ピッチ変換装置、２１…基板保持部材、２４…被係合
部、２４ａ…係止部、２５…ガイド支持部材、２６
…傾斜揺動部材、２８…係合部材、２９…リンク部材。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を保持するために一列に整列配置さ
れた複数の基板保持部材と、これらの基板保持部材を整
列方向へ等ピッチに拘束する傾斜揺動部材とを具備して
成り、上記傾斜揺動部材を傾斜揺動することにより、複
数の基板保持部材の配列ピッチを一括して変換するよう
に構成した基板の配列ピッチ変換装置において、上記複数の基板保持部材を、ガイド支持部材により基板
の主面と直交する方向へ一列に摺動自在に拘束し、上記各基板保持部材には、その主面と平行な方向へ走る
被係合部を形成するとともに、上記傾斜揺動部材には複
数の係合部材を等ピッチで設け、これらの係合部材を上
記各基板保持部材の被係合部に係合することにより、複
数の基板保持部材を整列方向へ等ピッチに拘束するよう
に構成したことを特徴とする基板の配列ピッチ変換装
置。
【請求項２】基板を保持するために一列に整列配置さ
れた複数の基板保持部材と、これらの基板保持部材を整
列方向へ等ピッチに拘束する傾斜揺動部材とを具備して
成り、上記傾斜揺動部材を傾斜揺動することにより、複
数の基板保持部材の配列ピッチを一括して変換するよう
に構成した基板の配列ピッチ変換装置において、上記複数の基板保持部材を、ガイド支持部材により基板
の主面と直交する方向へ一列に摺動自在に拘束し、上記各基板保持部材にはそれぞれ被係止部を設け、各被
係止部は当該基板保持部材の主面方向において相互に等
ピッチをなすように配置し、上記基板保持部材の主面方向と交差する方向へ、平行を
なすように複数のリンク部材を設け、上記各被係止部を各リンク部材を介して傾斜揺動部材に
リンクすることにより、複数の基板保持部材を整列方向
へ等ピッチに拘束するように構成したことを特徴とする
基板の配列ピッチ変換装置。