JPS63142630A

JPS63142630A - 移載装置

Info

Publication number: JPS63142630A
Application number: JP61288855A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Ito; 伊藤　秋一; Kiyoyuki Miyata; 宮田　清之; Tetsuya Kishida; 哲也岸田
Original assignee: Hitachi Device Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd; Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Consumer Electronics Co Ltd; Japan Display Inc
Priority date: 1986-12-05
Filing date: 1986-12-05
Publication date: 1988-06-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は半導体ウェハ製造工程における熱処理等の装置
に半導体ウェハを正確に移載可能な移載装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程の一つとして、半導体ウェハに不
純物を拡散する等の熱処理工程がある。

この熱処理に際しては、通常複数枚の半導体ウェハを石
英ポート上に整列配置し、この石英ボートを所要温度に
加熱した炉内に装填させる方法がとられている。

この半導体ウェハを炉内に装填する場合、炉と石英ボー
トとの摩耗による異物の発生を防止する等の理由から、
従来特開昭５８−６２４８９号公報に示すようなソフト
ランデインク装置が用いられる。

このソフトランデインク装置は、石英ボートを乗せるフ
ォークを片持支持し、このフォークを上下、左右に方向
を変化調整してその姿勢を炉に正対させ、石英ボートが
炉と干渉しないように炉内への装填を可能としている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、従来の熱処理装置では、熱処理効率を高める
ために複数個の炉（プロセスチューブ）を配設しており
、各炉に対して夫々前記したようなソフトランデインク
装置を対応させ、これら複数台のソフトランデインク装
置を同時に動作させている。このため、半導体ウェハの
供給部には半導体ウェハ移載装置を配設し、各ソフトラ
ンデインク装置のフォークに対して石英ボートの搭載。

降載等の移載を行っている。

しかしながら、各ソフトランデインク装置では、対応す
る炉の軸心が微妙に相違しているため、これに対応して
設定した各フォークの姿勢も夫々異なっている。したが
って、移載装置で石英ボートをフォークに移載するのみ
では、各フォーク上に正しい姿勢で石英ボートを搭載さ
せることができず、炉への装填時に石英ボートと炉とが
干渉して種々の不具合が生じるという問題がある。

本発明の目的は、各フォークに対して石英ボートを移載
する際に、石英ボートの向きを各フォークに対応して変
化調整して炉との干渉を防止することのできる移載装置
を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の移載装置は、複数のソフトランデインク装置に
沿って上下動されるエレベータと、このエレベータに支
持されて水平方向に平行移動可能な可動アームと、この
可動アームに支持されて水平方向に微小角度で回動可能
な移載アームとを備えた構成としている。

〔作用〕

エレベータ及び可動アームの上下及び水平移動により石
英ボートをソフトランデインク装置に対して搭載及び降
載でき、しかも水平方向に微小角度で回動される移載ア
ームによって各ソフトランデインク装置に対する石英ボ
ートの姿勢を調整でき、これによりソフトランデインク
装置への石英ボートの移載を良好に行うことができ、ソ
フトランデインク装置の機能を十分に発揮させて良好な
処理を実現できる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例の全体概略図であり、ここで
は炉を上下方向に配列した４本のプロセスチューブ１ａ
〜１ｄで構成し、各プロセスチューブ１ａ〜１ｄに対し
て夫々ソフトランデインク装置２ａ〜２ｄを対向配置し
た拡散装置に適用している。

各ソフトランデインク装置２ａ〜２ｄは、夫々石英製の
フォーク３ａ〜３ｄを有し、各フォーク３ａ〜３ｄには
石英ボート４を搭載できる。各フォーク３ａ〜３ｄは図
外の駆動機構によって前後進動作でき、前進してプロセ
スチューブ１ａ〜ｌｄ内に侵入して石英ボート４をプロ
セスチューブ内に載置させ、かつこれから取り出すこと
ができる。また、各フォーク３ａ〜３ｄは図外のソフト
ランデインク機構によって先端を上下、左右に揺動でき
、プロセスチューブ１ａ〜１ｄに対して搭載した石英ボ
ート４の姿勢を正対するように調整できる。

なお、石英ボート４は、第２図に示すように両端に把手
４ａ、４ａを有する長方形の枠状に形成し、その中間部
４ｂに複数枚の半導体ウェハＷを立てた状態で整列支持
させる構成となっている。

移載装置１０は、前記ソフトランデインク装置２ａ〜２
ｄに隣接する位置に配設している。この移載装置１０は
、第３図（ａ）及び（ｂ）に併せて示すように、ソフト
ランデインク装置２ａ〜２ｄに沿って上下方向に延設し
たレール１１にエレベータ１２を支持させており、この
エレベータ１２をレール１１に沿って上下方向に往復移
動させることができる。

このエレベータ１２の一側には固定アーム１３を突出さ
せ、この固定アーム１３には一対の平行リンク１４．１
４を介して可動アーム１５を連結支持している。そして
、詳細は省略するリンク駆動機構により前記平行リンク
１４．１４を水平方向に揺動させ、これにより前記可動
アーム１５を前記固定アーム１３に対して平行移動させ
ることができる。

この可動アーム１５の下面には、第４図＜ａ＞及び（ｂ
）に示すような回動機構１６を配設し、この回動機構１
６には下側位置に移載アーム１７を水平方向に微小角度
範囲で回動できるように支持している。即ち、前記回動
機構１６はモータ１８及び減速歯車列１９を備え、この
モータ１８の回転力を歯車列１９により減速し、この歯
車列１９の大径セクタ歯車軸２０に中心固定した前記移
載アーム１７を微小角度で水平回動させる。

更に、前記移載アーム１７の両端部には夫々その長さ方
向に伸縮シリンダ２１．２１を取着し、このシリンダ２
１．２１の可動ロッドにはボート受け２２．２２を取着
している。このボート受け２２．２２は側方に突出され
た先端部２２ａ、２２ａを断面凹状に形成し、第２図に
示すように石英ボート４の前後端に夫々設けた把手部４
ａ、４ａに下側から嵌合してこれを支持することができ
る。

この構成によれば、半導体ウェハＷを配列支持した石英
ボート４が第１図の石英ボート供給部５にセットされる
と、移載装置１０は伸縮シリンダ２１．２１がボート受
け２２．２２を移動させて夫々の相互幅寸法を調節し石
英ボート４の把手４ａ、４ａに下側にボート受け２２．
２２を位置させる。そして、エレベータ１２が上動する
ことにより、ボート受け２２．２２が第２図に仮想線で
示すように把手４ａ、４ａを支持し石英ボート４を持ち
上げる。

そして、エレベータ１２が対応するソフトランデインク
装置２３〜２ｄのいずれかに対応する高さまで移動され
ると、対応するフォーク３ａ〜３ｄの水平方向の向きに
対応するように石英ボート４の水平方向を調整する。即
ち、回動機構１６のモータ１８により移載アーム１７を
第３図（ｂ）に矢印Ａで示すように水平方向に微小角度
で回動させる。

その上で、今度は図外の揺動機構により平行リンク１４
．１４とともに可動アーム１５を第３図（ｂ）に矢印Ｂ
で示すように平行移動させ、これとともに移載アーム１
７を一体的に平行移動させる。これにより、移載アーム
１７上の石英ボート４は対応するフォークの上にまで移
動される。

以下、エレベータ１２の下動により石英ボート４をフォ
ーク上に搭載し、ボート受け２２．２２を石英ボート４
の把手４ａ、４ａから外すことにより搭載を完了する。

以後、移ｉ５！装置１０は元の位置にまで戻り、同様に
して次の石英ボートを石英ボート供給部５から次のソフ
トランデインク装置のフォークにまで移載する。この動
作を繰り返すことにより、石英ボートを夫々のフォーク
に移載できる。

この場合、移載アーム１７の微小回動角は角フォークの
水平方向位置に対応して変化調整することは言うまでも
ない。

一方、上述と全く逆の動作により、拡散処理後の半導体
ウェハを搭載している石英ボート４を各フォーク３ａ〜
３ｄから降載し、石英ボート回収部（図示せず）にまで
搬送させることができる。

したがって、この移載装置では、複数のソフトランデイ
ンク装置の各フォークの方向が相違している場合でも、
各フォークに対応して夫々正しい姿勢で石英ボートを搭
載させることができ、ソフトランデインク装置の機能を
十分に発揮させて良好な熱処理を実現させることができ
る。

ここで、本発明は前記した拡散処理装置のみならずソフ
トランデインク装置を有する種々の処理装置に適用する
ことができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明は、複数のソフトランデインク装置
に沿って上下動されるエレベータ及び水平方向に平行移
動される可動アームを備え、かつ水平方向に微小角度で
回動される移載アームとを備えているので、エレベータ
及び可動アームの上下及び水平移動により石英ボートを
ソフトランデインク装置に対して搭載及び降載でき、し
かも水平方向に微小角度で回動される移載アームによっ
て各ソフトランデインク装置に対する石英ポートの姿勢
を調整でき、これによりソフトランデインク装置への石
英ボートの移載を良好に行うことができ、ソフトランデ
インク装置の機能を十分に発揮させて良好な処理を実現
できる

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の全体構成を示す概略斜視図、第２図は石英ボートの斜視図、第３図（ａ）及び（ｂ）は夫々移載装置の要部の平面図
及び正面図、第４図（ａ）及び（ｂ）は夫々回動機構の破断下面図及
び破断正面図である。 ■ａ〜１ｄ・・・プロセスチューブ、２ａ〜２ｄ・・・
ソフトランデインク装置、３３〜３ｄ・・・フォーク、
４・・・石英ボート、４ａ・・・把手、５・・・石英ボ
ート供給部、１０・・・移載装置、１１・・・レール、
１２・・・エレベータ、１３・・・固定アーム、１４・
・・平行リンク、１５・・・可動アーム、１６・・・回
動機構、１７・・・移載アーム、１８・・・モータ、１
９・・・減速歯車列、２０・・・大径セクタ歯車軸、２
１・・・伸縮シリンダ、２２・・・ボート受け、Ｗ・・
・半導体ウェハ。第４図（ａ）（ｂ）１８・・・モータ１９・・・減速歯車列２０・・・大径セクタ歯車軸

Claims

【特許請求の範囲】１、上下方向に配列した複数のプロセスチューブ及びこ
れらプロセスチューブに夫々対応配置した複数個のソフ
トランデインク装置を備える処理装置に付設されて、半
導体ウェハを搭載した石英ボートをこれらソフトランデ
インク装置に対して搭載、降載させる移載装置であって
、前記複数のソフトランデインク装置に沿って上下動さ
れるエレベータと、このエレベータに支持されて水平方
向に平行移動される可動アームと、この可動アームに支
持されて水平方向に微小角度で回動されかつその一部で
前記石英ボートを支持可能な移載アームとを備えたこと
を特徴とする移載装置。２、可動アームには回動機構を取着し、この回動機構に
移載アームを支持させてなる特許請求の範囲第１項記載
の移載装置。３、移載アームには伸縮シリンダを取着し、このシリン
ダの可動ロッドに石英ボート受けを取着してなる特許請
求の範囲第２項記載の移載装置。