JPH07223151A

JPH07223151A - 金属電解用母板研磨機

Info

Publication number: JPH07223151A
Application number: JP1196394A
Authority: JP
Inventors: Yuji Tosa; 雄二土佐; Hiroshi Tanaka; 浩田中; Fumihiko Shimizu; 文彦清水; Nobukazu Niitsuma; 遵一新妻
Original assignee: Onahama Smelting and Refining Co Ltd; Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Onahama Smelting and Refining Co Ltd; Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1994-02-03
Filing date: 1994-02-03
Publication date: 1995-08-22

Abstract

(57)【要約】【目的】研磨むらを減少させるとともに、研磨の作業
環境を向上させる。【構成】上下シリンダ３１によって、サンダ２１を、
母板１の表面に押圧して研磨する。研磨作業中におい
て、走行シリンダ７３および横行シリンダ６３により、
サンダ２１を、母板１に対して相対的に移動させる。こ
れにより、母板１の所定範囲を研磨することができる。
ついで、回転軸５４を中心として、母板１を９０゜回転
させる。これにより、少なくとも２方向から母板１をサ
ンダ２１によって研磨でき、研磨ムラを減少させること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、銅、亜鉛、ニッケル、
金、銀などの金属の電解精錬工程において、陰極として
用いられている金属電解用母板（以下母板と略称す
る。）の研磨機に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】こうした母板は、主に、ステンレス、
銅、チタン、アルミニウム等の材質で構成されている。
母板は、電解槽中にある程度以上の間浸漬されている
と、良く知られているように、その表面が酸性の電解液
で腐食したり、また、その表面に、電解液に添加された
有機物の添加剤等が付着してくる。この状態を放置する
と、電着物（目的金属）の剥離性が低下し、電解工程の
操業効率が悪化する。このため、通常は、母板の両面を
定期的に研磨している。こうした研磨作業は、現在、人
手によって行なわれている。

【０００３】ところで、従来では、人手によって研磨作
業を行なっているために、研磨むらを生じやすく、電着
物の剥離などにおける問題を生じていた。また、研磨に
伴う粉塵等が生じるため、所定の安全対策は講じている
ものの、作業環境が悪いという問題があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した事
情に鑑みてなされたもので、研磨作業を機械化し、研磨
むらを減少させ、作業環境を向上させることができる金
属電解用母板研磨機を提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る金属電解
用母板研磨機は、支持体または研磨機構のいずれか一方
に、他方に対して、互いに離間接近させる離間接近機構
を取り付け、支持体または研磨機構のいずれか一方に、
他方に対して、支持体に支持されるべき金属電解用母板
の面方向における少なくとも一方向に相対移動させる移
動機構を取り付け、支持体または研磨機構のいずれか一
方に、他方に対して、金属電解用母板の面方向に水平な
面内において相対的に回転させる回転機構を取り付ける
構成とした。

【０００６】請求項２に係る金属電解用母板研磨機は、
請求項１記載の研磨機において、研磨機構に、支持体に
支持されるべき金属電解用母板にほぼ平行な軸を中心と
して少なくとも一方向に前記研磨機構を回動させる回動
機構を取り付ける構成とした。

【０００７】請求項３に係る金属電解用母板研磨機は、
請求項１または２記載の研磨機において、移動機構によ
る、支持体または研磨機構の移動ストロークを可変とす
る構成とした。

【０００８】

【作用】離間接近機構によって、研磨機構を、母板の表
面に押圧して研磨する。研磨作業中において、移動機構
により、研磨機構を、母板に対して相対的に移動させ
る。これにより、母板の所定範囲を研磨することができ
る。一方向の研磨が終了した後、回転機構により、所定
角度だけ、母板を、その面内において回転させる。する
と、少なくとも２方向から母板を研磨でき、研磨ムラを
減少させることができる。

【０００９】

【実施例】本発明の一実施例に係る金属電解用母板研磨
機を添付の図面に基づいて説明する。まず、本例の装置
によって研磨される母板１について、図８に基づいて説
明する。この母板１は、良く知られているように、矩形
板状の本体１ａと、この本体１ａに取り付けられたクロ
スバー１ｂと、クロスバー１ｂに対向する側縁を除く本
体１ａの周囲に嵌め込まれたゴム製のプロテクタ１ｃと
を主体として構成されている。プロテクタ１ｃは、本体
１ａに対して脱着可能となっている。プロテクタ１ｃを
外した母板１を図６に示す。

【００１０】本例の装置は、床面上に設置された主フレ
ーム１０と、この主フレーム１０によって所定の高さに
支持され、かつ、研磨されるべき母板１を支持する支持
体５０と、この支持体５０の上方に、これと対向して配
置されて、母板１を研磨する研磨機構２０と、この研磨
機構２０を上下動させて、支持体５０に対して離間接近
させる離間接近機構３０と、前記研磨機構２０を所定の
角度範囲で正逆方向に回動させる回動機構４０と、支持
体５０を、これに支持された母板１の面方向に沿う一方
向に移動させる横行機構（移動機構）６０と、この横行
機構６０による母板１の移動方向と直交する方向に支持
体５０を移動させる走行機構７０とを主体として構成さ
れている。

【００１１】研磨機構２０は、離間接近機構５０によっ
て上下動されるフレーム２２（図１および図２参照）
と、このフレーム２２によって支持された５つの保持体
２３（図４参照）と、各保持体２３に保持されたサンダ
２１と、各保持体２３の上部に２本づつ取り付けられ、
かつ、前記フレーム２２の内部に軸方向に移動自在に挿
通されたガイドロッド２４（図５参照）と、各ガイドロ
ッド２４の側方にそれぞれ２本づつ配置され、下端が前
記保持体２３の上部に取り付けられ、上端がフレーム２
２の内部に軸方向に移動自在に挿通されたガイドピン２
５と、ガイドピン２５の外周側に配置された圧縮バネ
（弾性部材）としてのコイルスプリング２６とを主体と
して構成されている。サンダ２１は、その底面（図３お
よび図４中下面）にエメリー紙（サンドペーパ）を取り
付けて使用するもので、具体的には、日立工機株式会社
製「オービタルサンダ（商品名）」が用いられている。
サンダ２１は、その底面に取り付けられたエメリー紙を
振動させて、母板１の研磨を行なえるようになってい
る。サンダ２１は、本例の装置における各アクチュエー
タ（シリンダ等）の動作を制御している制御盤（図示せ
ず）に接続されており、制御盤によって、始動および停
止が制御されるようになっている。サンダ２１に取り付
けられたエメリー紙どうしの離間間隔は、各サンダ２１
の配列方向における幅（横幅）よりも小さく設定されて
いる。サンダ２１は、Ｕ字状に形成された取付具２３ａ
および２３ｂ（図５参照）によって、保持体２３に取り
付けられている。フレーム２２の両端（図２中左右方向
における両端）には、後述するガイドシャフト３３が挿
通されたスライダ２２ａが設けられている。ガイドロッ
ド２４の上端には、このガイドロッド２４の、フレーム
２２からの脱落を防止する抜け止め用リング２４ａ（図
５参照）が取り付けられている。

【００１２】離間接近機構３０は、後述する回動フレー
ム４１の上部に、ロッドを下方に向けて取り付けられた
上下シリンダ３１と、この上下シリンダ３１の下端にヒ
ンジ結合され、かつ、フレーム２２に取り付けられたブ
ラケット３２と、回動フレーム４１の内側面に、上下方
向に延長され、かつ、前記フレーム２２のスライダ２２
ａが挿通されたガイド部材としてのガイドシャフト３３
とから構成されている。前記上下シリンダ３１として
は、エアシリンダが用いられており、ブラケット３２を
介して研磨機構２０を上下動させることができるように
なっている。

【００１３】回動機構４０は、前記した回動フレーム４
１と、回動フレーム４１に取り付けられた回動軸４１ａ
を回動自在に支持する、主フレーム１０側に取り付けら
れたピローブロック（軸受）４２と、一端（図３中下
端）が主フレーム１０側にヒンジ結合され、他端（図３
中上端）が回動フレーム４１側にヒンジ結合された回動
シリンダ４３とから構成されている。回動シリンダ４３
としては、エアシリンダが用いられている。

【００１４】支持体５０は、平面視して矩形状に構成さ
れて、上面に母板１を載置させる本体５１（図２および
図６参照）と、この本体５１の上面の隣接する２つの側
縁にそれぞれ立設されたガイド５２（図６参照）と、各
ガイド５２に対向する位置に２つづつ配設された位置決
めシリンダ（エアシリンダ）５３と、本体５１の下面に
取り付けられ、下方に向けて突出された回転軸５４と、
後述する上部基台６２の上面に取り付けられて本体５１
の下面を支持する４つの支持具（図２中では２つのみ示
す。）５５とから構成されている。本体５１の所定の箇
所には、下端が主フレーム１０側に挿通されたピン（図
示せず）が、脱着可能な状態で挿入されており、運転中
における本体５１の不意の回転を防止している。各位置
決めシリンダ５３は、本体５１の上面に載置された母板
１の側縁を、対向するガイド５２に向けて押圧して母板
１を所定位置に位置決めするようになっている。回転軸
５４の位置は、前記本体５１における所定位置に位置決
めされた母板１の一隅部１ｄ１（図７参照）が、隣接す
る他の隅部１ｄ２と、回転軸５４を中心とする回転軌跡
上においてほぼ同一回転軌跡を通る位置に設定されてお
り、回転前の隅部１ｄ１と、回転後の隅部１ｄ２とが、
研磨装置２０の位置制御における原点位置Ｏ（後述）近
傍を通るようになっている。支持具５５は、上部基台６
２側に取り付けられたケーシングの上面に球体が回転自
在に保持されており、この球体によって本体５１の下面
を支持する周知の構成のものである。

【００１５】横行機構６０は、後述する下部基台７２の
上面に取り付けられ、前記サンダ２１の配列方向（図２
中左右方向）に延長された４つのスライドガイド６１
と、このスライドガイド６１によって、サンダ２１の配
列方向に移動可能な状態で支持された前記上部基台６２
と、下部基台７２の上面に支持されて、上部基台６２
を、スライドガイド６１の延長方向に沿って往復動させ
る横行シリンダ６３とを主体として構成されている。横
行シリンダ６３のロッドの先端は、上部基台６２の下面
にブラケットを介してヒンジ結合されている。横行シリ
ンダ６３としては、そのロッドの突出ストロークが、制
御盤によって予め設定された範囲で可変とされた周知の
エアシリンダが用いられている。

【００１６】走行機構７０は、機構的には、横行機構６
０とほぼ同様の構成を有するものであって、主フレーム
１０側に取り付けられた２つのスライドガイド７１と、
このスライドガイド７１によって、前記スライドガイド
６１の延長方向（すなわち、サンダ２１の配列方向）に
直交する方向に移動可能な状態で支持された下部基台７
２と、主フレーム１０側に支持され、下部基台７２およ
び横行機構６０全体を、スライドガイド７１の延長方向
に沿って移動させる走行シリンダ７３とを主体として構
成されている。走行シリンダ７３のロッドの先端は、下
部基台７２の下面にブラケットを介してヒンジ結合され
ている（図１参照）。走行シリンダ７３としては、その
ロッドの突出ストロークが、制御盤によって予め設定さ
れた範囲で可変とされた周知のエアシリンダが用いられ
ている。

【００１７】つぎに、前記のように構成された本例の研
磨機の動作の動作について説明する。まず、本体１ａか
らプロテクタ１ｃを取り外した状態の母板１を研磨する
動作を、主に図７および図８に基づいて説明する。始め
に、プロテクタ１ｃが取り外された母板１を、支持体５
０の本体５１の上面に水平に載置する。ついで、支持体
５０の位置決めシリンダ５３を伸長させ、対向するガイ
ド５２に向けて母板１を押し付ける。これにより母板１
を所定位置に位置決めすることができる。この状態にお
ける母板１の状態を図７に示す。

【００１８】つづいて、制御盤が各サンダ２１の電源を
オン状態とし、各サンダ２１に取り付けられたエメリー
紙を細かく振動させる。ついで、離間接近機構３０の上
下シリンダ３１のロッドを伸長させてフレーム２２を下
降させ、フレーム２２に取り付けられているサンダ２１
の下面を母板１の本体１ａの表面に押圧する。この状態
における、各サンダ２１の当接領域を、図７において符
号Ｓｓで示している。このとき、サンダ２１の配列方向
における一端側（図７中上端側）のサンダ２１は、母板
１の本体１ａの一隅部１ｄ１の近傍に位置している。ま
た、この状態における、一端側のサンダ２１の図中右上
隅部の位置を、以下における説明の便宜上、Ｘ−Ｙ平面
の座標系（水平面内における、主フレーム１０側に対し
て固定された座標系）における原点Ｏと定義しておく。
一方、サンダ２１の配列方向における他端側（図７中下
端側）のサンダ２１と、母板１の本体１ａとの間には、
距離Ｑ１ＣＯの間隙が形成されている。この距離Ｑ１Ｃ
Ｏは、１つのサンダ２１の横幅よりも小さい距離に設定
されている。また、各サンダ２１と、クロスバー１ｂ側
における本体１ａの端部との距離を、図７において符号
Ｑ１ＲＯを用いて示している。

【００１９】以上の動作により、領域Ｓｓにおける、母
板１の本体１ａの表面を、サンダ２１によって研磨する
ことができる。ここで、本例の装置では、サンダ２１
を、保持体２３を介して、コイルスプリング２６によっ
て弾性的に支持しているので、本体１ａの凹凸に沿って
サンダ２１を移動させることが可能であり、したがっ
て、研磨ムラを減少させることができるという利点があ
る。

【００２０】つづいて、走行機構７０の走行シリンダ７
１のロッドを伸長させ、下部基台７２をスライドガイド
７１に沿って移動させる。これにより、横行機構６０の
上部基台６２および支持体５０の本体５１を介して、母
板１を、サンダ２１の配置方向に直交する方向（図７に
おける右方）に移動させる。ここで、走行シリンダ７１
のロッドの往復ストロークは、制御盤により、前記距離
Ｑ１ＲＯとほぼ等しく設定されている。このため、本例
の装置によれば、各サンダ２１を、クロスバー１ｂ側に
おける本体１ａの端部近傍まで相対的に移動させること
ができる。また、各サンダ２１の移動経路における本体
１ａの表面を、各サンダ２１の移動中において研磨する
ことができる。

【００２１】ついで、横行シリンダ６３のロッドを伸長
させる。これにより、上部基台６２および本体５１を介
して、母板１の本体１ａを、サンダ２１の配列方向に沿
う方向（図７中上方）に移動させることができる。ここ
で、横行シリンダ６３の移動ストロークは、前記距離Ｑ
１ＣＯに等しく設定されている。これにより、母板１に
おける、図７中下端の側縁を、サンダ２１の下方に位置
させることができる。同時に、この移動により、初期位
置におけるサンダ２１どうしの間の領域に、各サンダ２
１の底面を対向させることができる。

【００２２】ついで、走行シリンダ７３のロッドを初期
位置まで収縮させる。これにより、研磨領域Ｓ１_O（図
７参照）内を全て研磨することができる。つづいて、横
行シリンダ６３を初期位置まで収縮させ、サンダ２１を
処置位置に戻す。ここまでの動作が１つのサイクルとな
る。このサイクルを、必要回数繰り返すことにより、必
要な程度まで、母板１の本体１ａの表面を研磨すること
ができる。

【００２３】以上の研磨が終了した後、つづいて、つぎ
の動作を行なう。すなわち、支持体５０の本体５１と主
フレーム１０とを固定していたピン（図示せず）を取り
外した後、回転軸５４を中心として、本体５１を、初期
位置に対して水平面内において９０゜回転させる（図８
参照）。この状態で、本体５１を、主フレーム１０側に
対して再度固定する。この状態では、サンダ２１の配列
方向における一端側（図８中上端側）のサンダ２１は、
母板１の本体１ａの一隅部１ｄ２の近傍に位置してい
る。本例では、回転軸５４の位置を予め所定の位置に設
定しているので、一隅部１ｄ２の位置を、前記した原点
Ｏの近傍に位置させることができる。これにより、本例
の装置では、回転の前後におけるサンダ２１と母板１と
の原点位置を再調整することなく、研磨動作を行なうこ
とができ、装置構成を簡略化することができるという利
点がある。

【００２４】サンダ２１の配列方向における他端側（図
８中下端側）のサンダ２１と、母板１の本体１ａの側縁
との間には、距離Ｑ１ＣＲの間隙が形成されている。こ
の距離Ｑ１ＣＲは、１つのサンダ２１の横幅よりも小さ
い距離に設定されている。また、各サンダ２１と、サン
ダ２１から離間した側における本体１ａの端部との距離
を、図８において符号Ｑ１ＲＲを用いて示している。

【００２５】つづいて、前記と同様にして、サンダ２１
による、母板１の本体１ａの研磨動作を行なう。この動
作においては、走行シリンダ７３のロッド７３の突出ス
トロークを、前記した研磨動作における距離Ｑ１ＲＯか
ら、距離Ｑ１ＲＲに変更しておく。また、横行シリンダ
６３の突出ストロークを、前記した研磨動作における距
離Ｑ１ＣＯから、距離Ｑ１ＣＲに変更しておく。母板１
の回転後における研磨動作のサイクルは、前記と同様な
ので、詳細についての説明を省略する。

【００２６】以上の動作により、母板１の本体１ａの表
面を、縦横の方向から研磨することができる。通常、本
体１ａの表面は、使用を重ねるにつれて、次第に、振幅
は小さいものの、波打ってくる。このため、本体１ａを
一方向からのみ研磨した場合には、研磨ムラが大きいと
いう不都合が生じる。これに対し、本例の装置によれ
ば、本体１ａの表面を、縦横から研磨することができる
ので、研磨ムラを減少させることができ、一層適正な表
面に仕上げることができるという利点がある。

【００２７】以上の動作により、母板１の本体１ａにお
ける２つの表面のうちの一方を研磨した後、上下シリン
ダ３１のロッドを収縮させ、さらに、サンダ２１の運転
を一旦停止させる。ついで、支持体５０の本体５１を、
回転軸５４を中心として、前回の回転とは逆方向に回転
させ、初期位置まで戻す。ついで、ホイストなどの任意
の吊り上げ手段によって母板１を吊り上げ、母板１の表
裏を反転させて、支持体５０の本体５１の上面に、前記
と同様にして載置する。これにより、本体１ａにおける
未研磨の面を上方に向けることができる。続いて、前記
と同様に、走行シリンダ７３や横行シリンダ６３等を駆
動することにより、サンダ２１を用いて本体１ａの研磨
作業を行なうことができる。この作業も、既に前記した
通りなので詳細の説明を省略する。

【００２８】つぎに、プロテクタ１ｃを取り付けた状態
の母板１の本体１ａを研磨する動作について、図９およ
び図１０を参照して説明する。この場合には、プロテク
タ１ｃとサンダ２１とが干渉しないように、支持体５０
の本体５１における、母板１の位置決めがなされる。本
体５１上に位置決めされた母板１を図９に示す。この状
態においては、サンダ２１の配列方向における他端側
（図９中下端側）のサンダ２１と、母板１の本体１ａの
側縁との間に、距離Ｑ２ＣＯの間隙が形成されている。
この距離Ｑ２ＣＯは、１つのサンダ２１の横幅よりも小
さい距離に設定されている。また、各サンダ２１と、サ
ンダ２１から離間した側における本体１ａの端部との距
離を、図９において符号Ｑ２ＲＯを用いて示している。

【００２９】ついで、走行シリンダ７３および横行シリ
ンダ６３のロッドを順次突出させて、本体１ａの研磨動
作を行なう。ここで、走行シリンダ７３のロッドの突出
ストロークは、距離Ｑ２ＲＯに変更されており、横行シ
リンダ６３の突出ストロークは、距離Ｑ２ＣＯに変更さ
れている。これにより、サンダ２１とプロテクタ１ｃと
の干渉を防止することができ、プロテクタ１ｃを装着し
たままでの母板１の研磨が可能となり、研磨作業の効率
を向上させることができる。

【００３０】図９に示した状態での研磨作業が終了した
後、支持体５０の回転軸５４を中心として、前記と同様
に、母板１を９０゜回転させる。回転後の状態を図１０
に示す。この状態では、サンダ２１の配列方向における
他端側（図１０中下端側）のサンダ２１と、母板１の本
体１ａの側縁との間に、距離Ｑ２ＣＲの間隙が形成され
ている。この距離Ｑ２ＣＲは、１つのサンダ２１の横幅
よりも小さい距離に設定されている。また、各サンダ２
１と、サンダ２１から離間した側における本体１ａの端
部との距離を、図９において符号Ｑ２ＲＲを用いて示し
ている

【００３１】ついで、走行シリンダ７３および横行シリ
ンダ６３のロッドを順次突出させて、本体１ａの研磨動
作を行なう。ここで、走行シリンダ７３のロッドの突出
ストロークは、距離Ｑ２ＲＲに変更されており、横行シ
リンダ６３の突出ストロークは、距離Ｑ２ＣＲに変更さ
れている。その他の動作は、既に前記したところと同様
なので詳細の説明を省略する。

【００３２】以上の研磨作業により、サンダ２１に取り
付けたエメリー紙を交換するか、目詰りを除去する必要
が生じた場合には、つぎの作業を行なう。すなわち、上
下シリンダ３１を収縮させてサンダ２１を初期位置まで
上昇させた後、回動機構４０の回動シリンダ４３を収縮
させ、回動フレーム４１を、回動軸４１ａを中心とし
て、図３中時計方向に回動させる。したがって、サンダ
２１の底面を側方に向けることができる。これにより、
エメリー紙の交換または目詰り除去作業を効率良く行な
うことができるという利点がある。また、これにより、
サンダ２１自体の交換作業も容易となる。

【００３３】本例の装置によれば、前記したように、横
行機構６０および走行機構７０によって移動させられる
サンダ２１によって母板１の表面を研磨する構成とした
ので、研磨作業の労力を軽減することができ、また、研
磨時に作業者が付近に居る必要がないので、粉塵の影響
を未然に防止することができる。

【００３４】さらに、本例の装置によれば、前記のよう
に、上下シリンダ３１によって母板１の本体１ａに押圧
されるサンダ２１によって研磨作業を行なっているの
で、エメリー紙の荒さを適切に選択することにより、母
板１を目的の荒さに精度良く研磨することが可能であ
り、したがって、電着物の剥離工程における、剥離不良
等の問題を確実に低減させることができるという利点が
ある。

【００３５】なお、前記実施例において用いた各種のエ
アシリンダは、リニアモータなどの他の種類のアクチュ
エータであっても良い。

【００３６】

【発明の効果】請求項１に係る金属電解用母板研磨機
は、支持体または研磨機構のいずれか一方に、他方に対
して、互いに離間接近させる離間接近機構を取り付け、
支持体または研磨機構のいずれか一方に、他方に対し
て、支持体に支持されるべき金属電解用母板の面方向に
おける少なくとも一方向に相対移動させる移動機構を取
り付け、支持体または研磨機構のいずれか一方に、他方
に対して、金属電解用母板の面方向に水平な面内におい
て相対的に回転させる回転機構を取り付ける構成とした
ので、離間接近機構によって、研磨機構を、母板の表面
に押圧して、母板を研磨することができる。また、研磨
作業中において、移動機構により、研磨機構を、母板に
対して相対的に移動させることにより、母板の所定範囲
を研磨することができる。さらに、一方向の研磨が終了
した後、回転機構により、所定角度だけ、母板を、その
面内において回転させることにより、少なくとも２方向
から母板を研磨でき、研磨ムラを減少させることができ
る。これにより、母板の表面を適切に仕上げることがで
き、母板からの電着物の剥離工程における問題を減少さ
せることができる。さらに、各機構によって母板を自動
的に研磨することが可能なので、作業者への粉塵の影響
を未然に防止することができ、作業の安全確保が容易で
あるという効果もある。

【００３７】請求項２に係る金属電解用母板研磨機は、
請求項１記載の研磨機において、研磨機構に、支持体に
支持されるべき金属電解用母板にほぼ平行な軸を中心と
して少なくとも一方向に前記研磨機構を回動させる回動
機構を取り付ける構成としたので、研磨機構における目
詰りの除去や、研磨部分の交換等の作業を容易に行なう
ことができる。

【００３８】請求項３に係る金属電解用母板研磨機は、
請求項１または２記載の研磨機において、移動機構によ
る、支持体または研磨機構の移動ストロークを可変とす
る構成としたので、プロテクタの有無に拘らず、母板を
研磨することができる。したがって、研磨作業を効率的
に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る金属電解用母板研磨機
の概要を示す斜視図である。

【図２】図１のＡ方向矢視における要部の一部切り欠き
拡大図である。

【図３】図２のＢ方向矢視における要部の概略図であ
る。

【図４】図１のＡ方向矢視における、研磨機構の要部拡
大図である。

【図５】図４のＣ方向矢視図である。

【図６】本発明の一実施例において用いる支持体および
走行機構の概要を示す平面図である。

【図７】本発明の一実施例に用いる金属電解用母板の平
面図である。

【図８】本発明の一実施例に用いる金属電解用母板の平
面図である。

【図９】本発明の一実施例に用いる金属電解用母板の平
面図である。

【図１０】本発明の一実施例に用いる金属電解用母板の
平面図である。

【符号の説明】

１金属電解用母板２０研磨装置３０離間接近機構４０回動機構５０支持体５４回転軸（回転機構）６０横行機構（移動機構）７０走行機構（移動機構）

フロントページの続き (72)発明者田中浩東京都千代田区大手町一丁目５番１号三菱マテリアル株式会社内 (72)発明者清水文彦福島県いわき市小名浜字渚１−１小名浜製錬株式会社小名浜製錬所内 (72)発明者新妻遵一福島県いわき市小名浜字渚１−１小名浜製錬株式会社小名浜製錬所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体に支持された金属電解用母板を、
前記金属電解用母板に対向して設置された研磨機構によ
って研磨する金属電解用母板研磨機であって、前記支持
体または前記研磨機構のいずれか一方には、他方に対し
て、互いに離間接近させる離間接近機構が取り付けら
れ、前記支持体または前記研磨機構のいずれか一方に
は、他方に対して、前記支持体に支持されるべき金属電
解用母板の面方向における少なくとも一方向に相対移動
させる移動機構が取り付けられ、前記支持体または前記
研磨機構のいずれか一方には、他方に対して、前記金属
電解用母板の面方向に水平な面内において相対的に回転
させる回転機構が取り付けられていることを特徴とする
金属電解用母板研磨機。
【請求項２】前記研磨機構には、前記支持体に支持さ
れるべき金属電解用母板にほぼ平行な軸を中心として少
なくとも一方向に前記研磨機構を回動させる回動機構が
取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の金
属電解用母板研磨機。
【請求項３】前記移動機構による、前記支持体または
前記研磨機構の移動ストロークは可変とされていること
を特徴とする請求項１または２記載の金属電解用母板研
磨機。