JPH07212012A - 光重合性混合物およびソルダレジストマスクの製造方法 - Google Patents

光重合性混合物およびソルダレジストマスクの製造方法

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JPH07212012A
JPH07212012A JP6265859A JP26585994A JPH07212012A JP H07212012 A JPH07212012 A JP H07212012A JP 6265859 A JP6265859 A JP 6265859A JP 26585994 A JP26585994 A JP 26585994A JP H07212012 A JPH07212012 A JP H07212012A
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photopolymerizable mixture
silica gel
photopolymerizable
solder resist
resist mask
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JP6265859A
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Manfred Dr Schober
ショーバー マンフレッド
Dieter Dr Bartmann
バートマン ディーター
Thomas Dr Fey
フェイ トーマス
Gabriele Mann
マン ガブリエレ
Lucyna Hinz
ヒンツ ルシナ
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EIDP Inc
Original Assignee
EI Du Pont de Nemours and Co
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    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/285Permanent coating compositions
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 良好な膜形成を可能とし、かつ安定な半田工
程を可能とする光重合性混合物および該混合物を用いた
ソルダレジストマスクの製造方法を提供することを目的
とする。 【構成】 光重合性混合物は、バインダ、光重合性モノ
マー、光重合開始剤、熱反応性基を2つ持つ化合物、フ
ィラー、塗膜補助剤、および艶消剤を含むもので、さら
に該艶消剤として、所定の給油度、粒子径、孔隙量、お
よび表面pH値を持つシリカゲルを含む。またソルダレ
ジストマスクの製造方法は、そのような光重合性混合物
を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光重合性混合物および
該光重合性混合物を用いたソルダレジストマスクの製造
方法に関する。特に本発明は、バインダ、光重合性モノ
マー、光重合開始剤、熱反応性基を2つ持つ化合物、フ
ィラー、塗膜補助剤、および艶消剤として所定の給油
度、粒子径、孔隙量、および表面pH値を持つシリカゲ
ルを含む光重合性混合物および該混合物を用いたソルダ
レジストマスクの製造方法に関する。
【0002】なお、本明細書の記述は本件出願の優先権
の基礎たるドイツ国特許出願第4336 901.4号
の明細書の記載に基づくものであって、当該ドイツ国特
許出願の番号を参照することによって当該ドイツ国特許
出願の明細書の記載内容が本明細書の一部分を構成する
ものとする。
【0003】
【従来の技術】一般に知られているように、一端または
両端に純銅回路部品、あるいはまた、せん孔が形成され
た回路板を半田工程へ送る前に、回路板にソルダレジス
トマスクを塗布する。このソルダレジストマスクは、半
田工程の間、プリント回路を保護し、かつ完成した回路
板の半永久的保護層となる。したがって、このようなソ
ルダレジストの需要はたいへん高い。また、ソルダレジ
ストは、高温に強く、また製造工程での薬品による浸食
に対しても高い抵抗性を持つのみならず、湿気に対して
も強くなければならない。一方で、機械的な圧力による
破損を生ずることなく、かつ基板から分離しない程度の
柔軟性を持つものでなければならない。
【0004】ソルダレジストマスクを回路板上に乾燥膜
として積層することができる。また、ソルダレジストマ
スクをスクリーン印刷工程あるいはカーテンコーティン
グで耐水膜(liquid resit)として塗布することができ
る。この耐水膜はたいへん有益である。なぜなら、耐水
膜は、減圧下で積層する必要がなく、またプリント回路
のエバーファイナーライン(ever finer lines)をより
一層正確に覆うからである。欧州特許EP−B0 00
2 040号に開示されているように、耐水膜の塗布
は、特にカーテンコーティング工程のために行われる。
適当な光重合性混合物がEP B 0 075 537, DE-A 39 3146
7, EP-A 0 549 946, EP-A 0 424 866 および EP-A 0 23
3 623 に開示されている。上記フィラーとして、通常、
タルク、または熱分解法シリカおよび沈降シリカが用い
られる。 EP-A 0 384 226 の特定の方法によって作られ
たシリカも紫外線硬化する層で用いることができる。
【0005】EP-B 0 073 444 および EP-B 0 063 304
は、現像後ソルダレジストマスクが硬化するように、バ
インダのカルボキシ基に架橋結合する2つのエポキシ基
または他の熱反応基を含む光重合性混合物を開示してい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のソ
ルダレジストマスク用光重合性混合物は、塗膜中にウエ
ッティングフロー(wetting flaws )が生ずることであ
る。その結果、レジスト層が不均一に被覆されてしまう
という問題が生ずる。このような問題は、特別な塗膜補
助剤を用いることによってのみ回避できる。しかし、こ
のような補助剤は新たな問題を引き起こす。例えば、高
温時での添加物の浸出またはガス放出である。したがっ
て、仕上がったソルダレジスト層は気泡が認められ、か
つ「オレンジスキン(orange skin )」と呼ばれる状態
となる。
【0007】したがって、本発明は上記問題点を解決
し、良好な膜形成を可能とし、かつ安定な半田工程を可
能とする光重合性混合物および該混合物を用いたソルダ
レジストの製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明にもとづく光重合性混合物(photopolymeriz
abe mixture )は、(a)少なくとも一つの高分子バイ
ンダ(polymeric binder)と、(b)少なくとも一つの
エチレン的に不飽和な基(ethylenicall unsaturated g
roup)を持つ少なくとも一つの光重合性モノマー(phot
opolymerizablemonomer)と、(c)少なくとも一つの
フォトイニシエータ(photoinitiator)と、(d)少な
くとも2つの熱反応性基(thermally reactive group)
を持つ少なくとも一つの化合物と、(e)少なくとも一
つのフィラー(filler)と、(f)少なくとも一つの塗
膜補助剤(coating aid )と(g)酸化シリコンを含む
少なくとも一つの艶消剤(matte agent )とを含有する
光重合性混合物において、上記艶消剤は、少なくとも一
種類のシリカゲルを含むもので、該少なくとも一種類の
シリカゲルは、給油価(oil absorption number )が2
00g/100gないし360g/100g、平均粒子
径(average particle size )が1μmないし10μ
m、孔隙量(pore volume )が1.2ml/gないし
2.0ml/g、および表面pH(surface pH)の値が
2ないし8であることを特徴とする。
【0009】好ましくは、上記シリカゲルの使用量は、
上記光重合性混合物に含まれる非揮発性成分中、0.1
重量%ないし5重量%である。
【0010】好ましくは、上記シリカゲルの給油価は、
300g/100gないし340g/100gである。
【0011】好ましくは、上記シリカゲルの平均粒子径
は、2μmないし8μmである。
【0012】好ましくは、上記シリカゲルの孔隙量は、
1.8ml/gである。
【0013】好ましくは、上記シリカゲルの表面pHの
値は3ないし7である。
【0014】好ましくは、上記高分子バインダは、アク
リレートまたはメタクリレート共重合体である。
【0015】好ましくは、上記モノマーは、酸およびア
ルコールからなる少なくとも一つのエステルを含むもの
で、上記酸はアクリル酸およびメタクリル酸からなる群
から選択され、また上記アルコールはビスフェノール−
A−ビスヒドロキシエチルエーテル、ジペンタエリスリ
トール、トリメチロールプロパン、直鎖状C4 〜C12
ルカノールおよび分岐状C4 〜C12アルカノールからな
る群から選択され、さらに上記直鎖状C4 〜C12アルカ
ノールおよび分岐状C4 〜C12アルカノールのエステル
は、H2 Sによりオリゴマー化(origomerize )されて
いる。
【0016】好ましくは、上記フィラーはタルクであ
る。
【0017】好ましくは、一つ以上のポリシロキサンが
上記塗膜剤として用いれる。
【0018】好ましくは、上記フォトイニシエータは、
ビスグリシジルエーテルであり、ビスフェノールAの少
なくとも2つの熱反応性基、ビスフェノールAのポリプ
ロピレングリコールエーテルまたはポリエチレングリコ
ールエーテルを持つ。
【0019】つぎに、本発明にもとづくソルダレジスト
マスクの製造方法は、(a)少なくとも一つの高分子バ
インダと、(b)少なくとも一つのエチレン的に不飽和
な基を持つ少なくとも一つの光重合性モノマーと、
(c)少なくとも一つのフォトイニシエータと、(e)
少なくとも一つのフィラーと、(f)少なくとも一つの
塗膜補助剤とをまず始めに混合し、つぎに(d)少なく
とも2つの熱反応性基を持つ少なくとも一つの化合物を
加え、さらに(g)二酸化シリコンを含む少なくとも一
つの艶消剤を加えることによって光重合性混合物からな
る溶液を調製する工程と、上記溶液を印刷回路板の表面
に塗布して乾燥し、上記光重合性混合物からなる層を設
ける工程と、上記層に、像を形成するようにして化学線
を照射することによりソルダのバリを取り除き、上記化
学線による照射を受けなかった領域を現像液で洗い流
し、かつ上記層を乾燥させてソルダレジストマスクを得
る工程と、上記ソルダレジストマスクを必要に応じた順
序で熱的に後処理し、化学線を照射する工程とを有し、
さらに上記艶消剤は、少なくとも一種類のシリカゲルを
含むもので、該少なくとも一種類のシリカゲルは、給油
価が200g/100gないし360g/100g、平
均粒子径が1μmないし10μm、孔隙量が1.2ml
/gないし2.0ml/g、および表面pHの値が2な
いし8であることを特徴とする。
【0020】
【作用】光重合性混合物は、艶消剤として所定の給油
度、粒子径、孔隙量、および表面pH値を持つシリカゲ
ルを含むので、良好な膜形成が達成可能となり、かつ安
定な半田工程が可能となる。
【0021】
【実施例】本発明で有用な高分子バインダの好適な例
は、ペンダントカルボキシまたはカルボン酸無水物基で
ある。特に、より好ましい例は、アクリルまたはメタク
リル酸エステル、スチレン、アクリロニトリル、メタク
リロニトリル、アクリルアミド、メタクリルアミド、ま
たはビニルヘテロ環をコモノマー(comonomer )として
含むアクリルおよびメタクリル酸共重合体である。アル
キル基の炭素数が好ましくは1〜10、より好ましくは
1〜7のアルキルエステルを、メタクリル酸エステルと
して用いる。高分子バインダが混合物中で占める割合
は、混合物中の非揮発性成分に対して、一般に15〜5
0、好ましくは20〜40重量%である。
【0022】光重合性モノマーは、少なくとも一つのエ
チレン的に不飽和の基を含むもので、一般にアクリルま
たはメタクリル酸のエステルからなる。モノマーの好ま
しい等級は、酸とアルコールとからなる少なくとも一つ
のエステルから形成される。好ましい酸は、アクリル酸
およびメタクリル酸から選択されるもので、一方好まし
いアルコールは、ビスフェノール−A−ビスヒドロキシ
ルエチルエーテル、ジペンタエリスリトール、トリメチ
ロールプロパン、直鎖状C4 〜C12アルカノール、およ
び分岐状C4 〜C12アルカノールから選択されるもの
で、上記直鎖状および分岐状C4 〜C12アルカノールの
エーテルは、H2 Sによってオリゴマー化されている。
Quizらの米国特許4,340,707に開示された
方法は、H2 Sによるオリゴマー化によってオリゴマー
化エステルを合成するのに好適である。
【0023】好ましいモノマーは、ヒドロキシル基を2
つ含まなければならない。なぜなら、必要とする架橋効
果が多数の不飽和結合によって達成されるからである。
また、上記混合物に少量の一価アルコールを含ませるこ
とができる。例えば、好ましいアルコールは、エチレン
グリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジ
オール、ジエチレングリコール、オリゴプロピレングリ
コール、トリメチルプロパン、ジペンタエリスリトー
ル、ジペンタエスリトールおよびビスフェノールAビス
ヒドロキシエチルエーテルである。特に有益なものは、
ジペンタエリストリトール、ビスフェノールA、ビスヒ
ドロキシエチルエーテル、トリメチロールプロパンおよ
びエステルを有するメタクリレートとアクリレートで、
硫化水素によりオリゴマー化された直鎖状または分岐状
の脂肪族、多価アルコール、特にトリメチロールプロパ
ンである。モノマーは、上記混合物の非揮発性成分に対
して一般に10〜35、特に15〜30重量%の量で用
いられる。
【0024】上記混合物はフォトイニシエータを含むも
ので、例えば該イニシエータはアルファ・ハロアセトフ
ェノン、ベンジル、ベンゾインまたはそれらのエステ
ル、ベンゾフェノン、ベンジルアセタール、アンスラキ
ノン、チオケトン、チオキサントン、アクリジン等であ
る。また、ブロモフォルム、2,4−ジニトロトルエン
およびトリフェニルメタン染料等のセパレートセンシタ
イザ(separate sensitezrs )も用いることができる。
このフォトイニシエータの添加量は、上記混合物の非揮
発性成分に対して通常0.1〜15、好ましくは0.5
〜10重量%である。
【0025】上記混合物は、熱反応性基を少なくとも2
つ有する1つ以上の化合物も含む。この熱反応性基は、
例えばエポキシ基、イソシアネート基または、直鎖また
は環状酸性アミドの窒素原子または芳香族炭素原子と結
合する基であり、そのような基は、例えば一般式
【0026】
【化1】CH2 −O−R (式中、Rは水素原子、または低級アルキル、アシル、
またヒドロキシアルキル基)で表される。二価または多
価エポキシ化合物が好ましい。好ましい例として、特
に、二価アルコールまたはフェノールのビスグリシジル
エーテルであり、例えばビスフェノールA、およびビス
フェノールAのポリエチレングリコールエーテルまたは
ポリプロピレングリコールエーテルである。三価のアル
コールからなるビスグリシジルエーテル、例えばグリセ
リンも用いることができよう。ここで熱硬化剤とも呼ば
れるこれらの化合物の混合物中に占める量は、上記混合
物の非揮発性成分に対して、約5〜30、好ましくは1
0〜20重量%である。
【0027】光重合性混合物の他の成分は、フィラーで
ある。このフィラーは、例えばマイカ、炭酸カルシウ
ム、ケイ酸アルミニウム、酸化アルミニウム、タルク、
二酸化チタニウム、硫酸バリウム、または三酸化アンチ
モンである。タルクが好ましい。フィラーの量は、上記
混合物の非揮発性成分に対して、通常は5〜40、好ま
しくは15〜30重量%である。
【0028】上記光重合性混合物は、塗膜補助剤も含
む。この塗膜補助剤は、例えばポリカルボン酸、ポリア
ミド、ポリシロキサン、またはポリウレタンを含む。ポ
リシロキサンが好ましい。塗膜補助剤の含有量は、上記
混合物の非揮発性成分に対して、通常0.01〜1重量
%、好ましくは0.01〜0.1重量%である。
【0029】艶消剤の重要な判定基準は、シリカゲルの
みを使用することである。沈降シリカおよび熱分解法シ
リカでは満足できない。なぜなら、それらは本発明のシ
リカゲルと同様の仕様を有するものであったとしても、
塗膜および湿潤に関した欠陥が生ずる。
【0030】艶消剤として用いられるシリカゲルは、給
油価が200〜360/100g、好ましくは300〜
340g/100gである。給油価は、100gのピグ
メント(この場合シリカゲル)を、まさにガラスを汚さ
ない程度の、粘着性のあるパテ状の塊に変換するのに必
要とされる油の量を意味する。給油価の測定は、DIN
標準ISO787に基づいて行う。
【0031】シリカゲルに関する他のパラメータは平均
粒子径であり、これは1〜10μm、好ましくは2〜8
μmである。
【0032】孔隙量も重要であり、これは1.2〜2.
0ml/g、好ましくは1.8ml/gである。
【0033】シリカゲルに関して他の重要な点は、表面
pHの値であり、これは2〜8、好ましくは3〜7であ
る。
【0034】また、シリカゲルは有機化合物で処理する
ことができる。シリカゲルの使用量は、上記混合物の非
揮発性成分に対して、0.1〜5、好ましくは0.5〜
2重量%である。
【0035】上記混合物は、任意に他の慣用添加剤を加
えることができる。例えば、染料、安定剤、ピグメン
ト、可塑剤、センシタイザ、難燃剤、および硬化剤であ
る。
【0036】塗膜溶液を調製するのに好ましい溶剤は、
例えばジエチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロヘ
キサノン、グリコールおよびプロピレングリコールエー
テル、エステルおよびエーテルエステル、そしてそれぞ
れに対応するポリエチレングリコールまたはポリプロピ
レングリコール化合物であり、例えばメチルグリコー
ル、トリエチレングリコールモノエチルまたはモノブチ
ルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、
エチレングリコールモノアセテートまたはプロピレング
リコールメチルエーテルアセテートである。溶剤の使用
量は、塗膜混合物の粘度に関係している。該粘度は、好
ましくは200〜1,200、特に500〜800、そ
してもっとも好ましくは400〜600mPaである。
【0037】上記混合物は、使用可能な形状で限定され
た安定性のみを有するため、限定された安定性の場合、
通常3つの部分に保存される。好ましい方法では、熱反
応性化合物および艶消剤を除くすべての成分からなる主
混合物を持つ。プロセスを実行する直前に、第一および
熱硬化剤を加え、つづいて艶消剤を加える。混合物を回
路板に塗布する。塗布するための手段としては、カーテ
ンコーテイング、スプレイ静電スプレイ、またはスクリ
ーン印刷が用いられる。
【0038】光重合性混合物は、好ましくは市販のカー
テンコータにより塗布されるもので、欧州特許EP−B
00 02 040に記載されているように、連続
し、縦断し、かつ液状の膜を、この膜の下をベルトを進
めることによって搬送される回路板上に塗布する。これ
によって得られる塗膜は、乾燥することによって溶媒か
ら取り除かれる。つぎに、塗膜回路板を、半田工程の影
響を受けてはならないプレートのパーツを保護する透明
部材を介して露光する。
【0039】適当な重合開始剤を刺激するのに十分なエ
ネルギーを有するいっさいの電磁放射線を化学線として
使用した。特に、可視および紫外光、X線、および電子
ビームが適当である。短波長、可視、かつ近紫外光が好
ましい。像が露光された層は、水溶液、好ましはアルカ
リ水溶液によって現像される。つづいて、現像されたソ
ルダレジストマスクを熱処理にかける。この熱処理は、
80〜180℃で10〜120分間実施する。その後、
当業者に既知の方法によいってソルダを伝導性を有し、
かつ磨かれていない領域に塗布する。
【0040】このようにして得られた印刷回路は、要求
を満たす保護塗膜を有する。また、この層は塗膜の欠陥
がないマット面を有する。電気的特性の劣化は認められ
ず、また半田槽のなかでも高い安定性を示す。
【0041】以下、具体的な実施例にもとづいて本発明
を詳細に説明する。なお、パーセントおよび部は重量%
および重量部である。
【0042】実施例1 光重合性混合物を、酸価が110のポリメチルメタクリ
レートからなる共重合体30.2g、ジペンタエリスリ
トールペンタアクリレート、硫化水素によりオリゴマー
化されたトリメチロールトリアクリレート、およびビス
フェノールAジグリシジルエーテルのジアクリレートか
らなるモノマー混合物33.2g、フォトイニシエータ
混合物6.7g、タルク20g、グリーンピグメント
0.4g、ポリシロキサン0.3g、およびビスフェノ
ールAジグリシジルエーテル9.2gを含むプロピレン
グリコールメチルエーテルアセテートから調製した。ジ
グリシルエーテルは最後に加えた。塗膜溶液の粘度は、
600mPaであった。
【0043】この溶液を市販のカーテンコータを用い、
かつ標準的な状態で回路板に塗装し、さらに80℃で2
0分間乾燥した。膜形成は満足いくものでなく、膜表面
に光沢が得られた(90%)。
【0044】このようにして得られた光重合性層を透過
膜を介して露光し、水溶性アルカリ現像液で洗った。
【0045】そして、このソルダレジストマスクを有す
る回路板を従来の半田工程に供した。このソルダレジス
トマスクは、半田槽内で安定であり、要求される絶縁特
性を達成した。
【0046】実施例2 有機的処理がなされたシリカゲル(給油価300g/1
00g、平均粒子径4μm、孔隙量1.8ml/g、お
よび表面pH3)1.5gを、実施例1にもとづいて調
製された塗膜溶液に加えた。そして、実施例1と同様に
して、この光重合性混合物を回路板に塗装した。膜形成
は良好で、ベナードのセルや気泡は発生しなかった。ま
た、マット面(45%反射)を有するソルダレジストマ
スクが得られた。これは、必要とされる絶縁特性を示
し、また半田工程で安定であった。
【0047】実施例3 シリカゲル(給油価320g/100g、平均粒子径5
μm、孔隙量1.8ml/g、および表面pH7)2g
を、実施例1にもとづいて調製された塗膜溶液に加え
た。そして、実施例1と同様にして、この光重合性混合
物を回路板に塗装した。膜形成は良好で、ベナードのセ
ルや気泡は発生しなかった。また、マット面(55%反
射)を有するソルダレジストマスクが得られた。これ
は、必要とされる絶縁特性を示し、また半田工程で安定
であった。
【0048】実施例4 シリカゲル(給油価320g/100g、平均粒子径3
μm、孔隙量1.8ml/g、および表面pH7)1g
を、実施例1にもとづいて調製された塗膜溶液に加え
た。そして、実施例1と同様にして、この光重合性混合
物を回路板に塗装した。膜形成はたいへん良好で、ベナ
ードのセルや気泡は発生しなかった。また、マット面
(60%反射)を有するソルダレジストマスクが得られ
た。これは、必要とされる絶縁特性を示し、また半田工
程で安定であった。
【0049】実施例5 シリカゲル(給油価300g/100g、平均粒子径4
μm、孔隙量1.8ml/g、および表面pH3)1.
5gを、実施例1にもとづいて調製された塗膜溶液に加
えた。そして、実施例1と同様にして、この光重合性混
合物を回路板に塗装した。膜形成は良好で、ベナードの
セルや気泡は発生しなかった。また、マット面(50%
反射)を有するソルダレジストマスクが得られた。これ
は、必要とされる絶縁特性を示し、また半田工程で安定
であった。
【0050】実施例6 熱分解法シリカ(給油価360g/100g、平均粒子
径4μm、および表面pH6〜7)1.5gを、実施例
1にもとづいて調製された塗膜溶液に加えた。そして、
実施例1と同様にして、この光重合性混合物を回路板に
塗装した。マット面(55%反射)を有するソルダレジ
ストマスクが得られた。しかし、膜形成は不完全であっ
た。
【0051】実施例7 沈降シリカ(給油価230g/100g、平均粒子径3
μm、および表面pH5〜7)1.5gを、実施例1に
もとづいて調製された塗膜溶液に加えた。そして、実施
例1と同様にして、この光重合性混合物を回路板に塗装
した。マット面(60%反射)を有するソルダレジスト
マスクが得られた。しかし、膜形成は満足できるもので
はなかった。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にもとづく
光重合性混合物は、バインダ、光重合性モノマー、光重
合開始剤、熱反応性基を2つ持つ化合物、フィラー、塗
膜補助剤、および艶消剤として所定の給油度、粒子径、
孔隙量、および表面pH値を持つシリカゲルを含むもの
であり、また本発明にもとづくソルダレジストマスクの
製造方法は、そのような光重合性混合物を用いるので、
良好な膜形成を可能とし、かつ安定な半田工程を可能と
する。
フロントページの続き (72)発明者 ディーター バートマン ドイツ 63065 オッフェンバッハ カイ ザーシュトラーセ 23 (72)発明者 トーマス フェイ ドイツ 55128 マインツ ドライザーシ ュトラーセ 131 (72)発明者 ガブリエレ マン ドイツ 63263 ノイ−アイゼンブルグ タウナスシュトラーセ 56 (72)発明者 ルシナ ヒンツ ドイツ 63303 ドライエイヒ ロイター ファド 41

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (a)少なくとも一つの高分子バインダ
    と、 (b)少なくとも一つのエチレン的に不飽和な基を持つ
    少なくとも一つの光重合性モノマーと、 (c)少なくとも一つのフォトイニシエータと、 (d)少なくとも2つの熱反応性基を持つ少なくとも一
    つの化合物と、 (e)少なくとも一つのフィラーと、 (f)少なくとも一つの塗膜補助剤と、 (g)酸化シリコンを含む少なくとも一つの艶消剤とを
    含有する光重合性混合物において、 前記艶消剤は、少なくとも一種類のシリカゲルを含むも
    ので、該少なくとも一種類のシリカゲルは、給油価が2
    00g/100gないし360g/100g、平均粒子
    径が1μmないし10μm、孔隙量が1.2ml/gな
    いし2.0ml/g、および表面pHの値が2ないし8
    であることを特徴とする光重合性混合物。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の光重合性混合物におい
    て、 前記シリカゲルの使用量は、前記光重合性混合物に含ま
    れる非揮発性成分中、0.1重量%ないし5重量%であ
    ることを特徴とすることを特徴とする光重合性混合物。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の光重合性混合物
    において、 前記シリカゲルの給油価は、300g/100gないし
    340g/100gであることを特徴とする光重合性混
    合物。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれか1項記載の
    光重合性混合物において、 前記シリカゲルの平均粒子径は、2μmないし8μmで
    あることを特徴とする光重合性混合物。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれか1項記載の
    光重合性混合物において、 前記シリカゲルの孔隙量は、1.8ml/gであること
    を特徴とする光重合性混合物。
  6. 【請求項6】 請求項1ないし5のいずれか1項記載の
    光重合性混合物において、 前記シリカゲルの表面pHの値は3ないし7であること
    を特徴とする光重合性混合物。
  7. 【請求項7】 請求項1ないし6のいずれか1項記載の
    光重合性混合物において、 前記高分子バインダは、アクリレートまたはメタクリレ
    ート共重合体であることを特徴とする光重合性混合物。
  8. 【請求項8】 請求項1ないし7のいずれか1項記載の
    光重合性混合物において、 前記モノマーは、酸およびアルコールからなる少なくと
    も一つのエステルを含むもので、前記酸はアクリル酸お
    よびメタクリル酸からなる群から選択され、また前記ア
    ルコールはビスフェノール−A−ビスヒドロキシエチル
    エーテル、ジペンタエリスリトール、トリメチロールプ
    ロパン、直鎖状C4 〜C12アルカノールおよび分岐状C
    4 〜C12アルカノールからなる群から選択され、さらに
    前記直鎖状C4 〜C12アルカノールおよび分岐状C4
    12アルカノールのエステルは、H2 Sによりオリゴマ
    ー化されていることを特徴とする光重合性混合物。
  9. 【請求項9】 請求項1ないし8のいずれか一項記載の
    光重合性混合物において、前記フィラーはタルクである
    ことを特徴とする光重合性混合物。
  10. 【請求項10】 請求項1ないし9のいずれか一項記載
    の光重合性混合物において、一つ以上のポリシロキサン
    が前記塗膜剤として用いれることを特徴とする光重合性
    混合物。
  11. 【請求項11】 請求項1ないし10のいずれか一項記
    載の光重合性混合物において、前記フォトイニシエータ
    は、ビスグリシジルエーテルであり、ビスフェノールA
    の少なくとも2つの熱反応性基、ビスフェノールAのポ
    リプロピレングリコールエーテルまたはポリエチレング
    リコールエーテルを持つことを特徴とする光重合性混合
    物。
  12. 【請求項12】 ソルダレジストマスクの製造方法にお
    いて、 (a)少なくとも一つの高分子バインダと、(b)少な
    くとも一つのエチレン的に不飽和な基を持つ少なくとも
    一つの光重合性モノマーと、(c)少なくとも一つのフ
    ォトイニシエータと、(e)少なくとも一つのフィラー
    と、(f)少なくとも一つの塗膜補助剤とをまず始めに
    混合し、つぎに(d)少なくとも2つの熱反応性基を持
    つ少なくとも一つの化合物を加え、さらに(g)二酸化
    シリコンを含む少なくとも一つの艶消剤を加えることに
    よって光重合性混合物からなる溶液を調製する工程と、 前記溶液を印刷回路板の表面に塗布して乾燥し、前記光
    重合性混合物からなる層を設ける工程と、 前記層に、像を形成するようにして化学線を照射するこ
    とによりソルダのバリを取り除き、前記化学線による照
    射を受けなかった領域を現像液で洗い流し、かつ前記層
    を乾燥させてソルダレジストマスクを得る工程と、 前記ソルダレジストマスクを必要に応じた順序で熱的に
    後処理し、化学線を照射する工程とを有し、さらに前記
    艶消剤は、少なくとも一種類のシリカゲルを含むもの
    で、該少なくとも一種類のシリカゲルは、給油価が20
    0g/100gないし360g/100g、平均粒子径
    が1μmないし10μm、孔隙量が1.2ml/gない
    し2.0ml/g、および表面pHの値が2ないし8で
    あることを特徴とするソルダレジストマスクの製造方
    法。
JP6265859A 1993-10-28 1994-10-28 光重合性混合物およびソルダレジストマスクの製造方法 Pending JPH07212012A (ja)

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EP0651601A1 (de) 1995-05-03
DE4336901A1 (de) 1995-05-04
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