JPH0716529A - 厚板状に成形された片状部材のための連続乾燥機及び該連続乾燥機を含む塗装装置 - Google Patents

厚板状に成形された片状部材のための連続乾燥機及び該連続乾燥機を含む塗装装置

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JPH0716529A
JPH0716529A JP6163032A JP16303294A JPH0716529A JP H0716529 A JPH0716529 A JP H0716529A JP 6163032 A JP6163032 A JP 6163032A JP 16303294 A JP16303294 A JP 16303294A JP H0716529 A JPH0716529 A JP H0716529A
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air
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outlet
drying
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JP6163032A
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Diethard Kapp-Schwoerer
カップ−シュヴェーラー ディートハルト
Rainer Krauss
クラウス ライナー
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Ciba Geigy AG
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Publication date
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    • F26—DRYING
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    • F26B15/00—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form
    • F26B15/10—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form with movement in a path composed of one or more straight lines, e.g. compound, the movement being in alternate horizontal and vertical directions
    • F26B15/12—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form with movement in a path composed of one or more straight lines, e.g. compound, the movement being in alternate horizontal and vertical directions the lines being all horizontal or slightly inclined
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 厚板状に成形された片状部材のための連続乾
燥機及び該連続乾燥機を含む塗装装置を提供する。 【構成】 乾燥チャンバー（４）〔この中で、片状部材
は移送路（Ｐ）に沿って移送される間、空気流（Ｌ）に
暴露される〕を含む連続乾燥機であって、移送路（Ｐ）
に沿って赤外線放熱器（９）が配置され、空気流（Ｌ）
は片状部材の移送方向（Ｄ）と反対で且つ移送面（Ｐ）
に平行して乾燥チャンバー（４）内を案内される連続乾
燥機、及び塗装ステーション（２）〔この中で、片状部
材はホトレジスト等で塗装される〕と、隣接する乾燥ス
テーション（３）〔ホトレジストは乾燥され、次いでホ
トレジストに含まれる溶媒は蒸発・除去且つ移送・除去
される〕とからなる塗装装置。 【効果】 小形且つ省エネルギー型であり、安全性が高
く、塗膜の品質を損なうことなく、迅速な乾燥を行なう
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特許請求の範囲の請求
項１に記載された如く、厚板状に成形された片状部材の
ための、特に塗装された積層品又は印刷回路板のための
連続乾燥機に関するものである。本発明は、特許請求の
範囲の請求項１０に記載された如く、前記連続乾燥機を
含む塗装装置にも関するものである。
【０００２】
【従来の技術】印刷回路板上に、又は多層化された印刷
回路板の場合には、いわゆる積層品上に導体を製造する
ために、通常は銅が被着されたエポキシ樹脂ガラス繊維
織物がホトレジストを用いて、又は同様に光感受性で且
つ現像可能ポリマー層を用いて塗装される。導体の望ま
しい構造が乾燥塗膜上で暴露され、次いで塗膜は暴露
（又は、ホトレジストの種類に応じて、非暴露）部位が
現像される。続くエッチング工程において、銅は非被覆
部位がエッチングされて除かれ、他方、被覆部位はエッ
チング効果から保護される。塗膜の残部が除去された場
合に、望ましい導体構造を有する積層品又は印刷回路板
が得られる。
【０００３】積層品又は印刷回路板の塗装又は乾燥は、
塗装装置内で行われる。塗装装置は通常塗装ステーショ
ンを含み、この塗装ステーション内で、積層品又は印刷
回路板はホトレジスト又は同種のものを用いて片側又は
両側が塗装され、次いで少なくとも１箇所の乾燥ステー
ション内で、ホトレジストは乾燥され且つ前記工程中に
蒸発・除去される溶媒（これは水であってよい）は積層
品又は印刷回路板から流出空気中に移送・除去される。
【０００４】望ましい処理量を得るために、積層品又は
印刷回路板は比較的短時間のうちに乾燥されなければな
らない。前記目的のため、乾燥ステーションは通常連続
乾燥機（この中で、塗装された厚板状に成形された片状
部材は、供給開口部から排出開口部まで移送される間に
乾燥される）の形態である。塗膜は通常、熱空気流（こ
れは、前記板の表面を覆って流れる）中で乾燥される。
連続乾燥機〔この中で、塗膜は赤外線（ＩＲ線）の手段
によって乾燥される〕も存在する。通常、塗膜内に存在
する如何なる溶媒も蒸発・除去し、移送・除去するため
に、循環乾燥機が前記赤外線乾燥機の上流に配置され
る。予備的乾燥が無い場合には、赤外線乾燥機に達する
までに蒸発・除去されないであろう溶媒蒸気は、赤外線
放熱器の熱い表面と接触して発火するであろうから、安
全性の観点から慣用の赤外線乾燥機の場合には予備的乾
燥が絶対必要である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】塗膜の乾燥時間を決定
する重要な因子は、連続乾燥機内部の温度である。溶媒
蒸気の発火の危険を包含するであろうから、連続乾燥機
内部の温度は任意に高い水準に設定することができな
い。赤外線乾燥機が使用される場合には、塗膜は気泡
（沸騰気泡）を生じるかもしれないという危険が存在
し、これは塗膜の平滑性及び品質を激しく損ない、且つ
前記方法で塗装された積層品又は印刷回路板を使用不能
にするかも知れない。
【０００６】公知の塗装装置に伴う、及び特に、公知の
慣用の乾燥機にも伴う別の問題は、溶媒蒸気の周囲への
放出である。これらは、個々のステーションの供給開口
部及び排出開口部を通って放出され得、且つ周囲に悪影
響を与える。しかしながら、前記ステーションの供給開
口部及び排出開口部を通って溶媒蒸気がまさに放出され
る場合、それ故、公知塗装装置の場合には汚染物のため
に前記装置を収納することも可能である。これらの汚染
物は、塗膜上に付着し且つその品質を決定的に損なう可
能性がある。例えば、塗膜中の粒子は暴露工程における
分散中心として作用する可能性があり、又は更に個々の
領域を遮蔽し、その結果、導体の特定構造がホトレジス
トに関して完全に画像化されないという可能性がある。
続く加工工程において、銅被着層は次いで不完全にエッ
チングされ、そして使用不能の印刷回路板が製造され
る。
【０００７】それ故、本発明の目的は、従来技術の現況
の上述の欠点を除去することである。同時に塗膜の品質
を損なうことなく、迅速な処理、即ち迅速な乾燥を行な
うことができる連続乾燥機が提供されるべきである。連
続乾燥機は防爆に関する要求を満たすべきであり、そし
て乾燥工程の間に蒸発・除去される溶媒の発火は避ける
べきである。加えて、前記乾燥機に関して、周囲への溶
媒蒸気の望ましくない放出は実質的に避けるべきであ
る。前記乾燥機の設計は、周囲から実質的に閉鎖された
塗装装置を提供することを可能とするようにすべきであ
る。塗装装置は、該装置内部で比較的高いクリーンルー
ム品質を達成し得るようにすべきであり、且つ外部への
望ましくない放出は実質的に妨げられるべきである。前
記乾燥機及び塗装装置は、省エネルギーで運転されるこ
とを可能とすべきである。加えて、連続乾燥機及び塗装
装置は、それらの寸法を小形に且つ設計及び運転に関し
て安価にすべきである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記及び更に別の目的の
全ては、特許請求の範囲の請求項１の特徴付けられた部
分に基づく連続乾燥機によって、及び特許請求の範囲の
請求項１０の特徴付けられた部分における特定の特徴を
有する塗装装置によって解決される。従属する特許請求
の範囲の請求項は各々、とりわけ好ましい及び利点のあ
る態様に関するものである。
【０００９】特に、本発明は、乾燥チャンバーからな
り、該乾燥チャンバーの中で、乾燥すべき厚板状に成形
された片状部材は、該片状部材の好ましくは長手端部に
作用する移送手段によって乾燥チャンバーの供給口から
排出口まで移送路に沿って移送される間、案内された空
気流に暴露される、厚板状に成形された片状部材のため
の、特に塗装された積層品又は印刷回路板のための連続
乾燥機を提供する。前記乾燥チャンバーは、流入空気の
ための入口及び流出空気のための出口を備えている。厚
板状に成形された片状部材の移送路の上方及び下方に配
置されたものは赤外線放熱器であり、該赤外線放熱器の
輻射は塗装された片状部材の上に直接作用し、且つ該赤
外線放熱器は、加えて、案内された空気流のための熱源
を形成する。該乾燥チャンバーの中の空気流は、厚板状
に成形された片状部材の移送方向と反対で且つ実質的に
移送板に平行して案内される。本発明の塗装装置は、前
記連続乾燥機を備えている。
【００１０】
【実施例及び発明の効果】本発明の実施態様を、模式図
及びグラフを参照して以下に詳細に説明するが、ここ
で：図１は、塗装ステーション及び連続乾燥機からなる
塗装装置を示し、図２は、図１に示す塗装ステーション
中の空気流を示し、そして図３ａ−ｃは、（ａ）連続乾
燥機中の３箇所の加熱ゾーンの配置、（ｂ）加熱ゾーン
中の赤外線放熱器の温度の連結されたグラフ、及び
（ｃ）３箇所の加熱ゾーン中の対流の温度の連結された
グラフを示す。
【００１１】厚板状に成形された片状部材のための、特
に塗装された積層品又は印刷回路板のための本発明の塗
装装置の実施態様は、図１及び２中の参照数１を用いて
全て提供される。塗装装置は塗装ステーション２〔塗装
ステーション２の中で、厚板状に成形された片状部材は
ホトレジスト又は同種のものを塗装される〕と、乾燥ス
テーション３〔塗装された片状部材は乾燥される〕とか
らなる。前記乾燥ステーションは、特に、乾燥チャンバ
ー４を有する水平連続乾燥機であり、乾燥チャンバー４
を通って、塗装された片状部材は供給口５から排出口６
まで、移送方向Ｄに、実質的に水平な移送路Ｐに沿って
横たわった位置で通過する。塗装された片状部材を移送
するために、連続乾燥機３は、公知種類の移送手段（図
示せず）を備えている。例えば移送手段は、保持クラン
プ（これは、無限循環移送鎖又はケーブル上に固定さ
れ、且つ通常塗装された厚板状に成形された片状部材を
その長手端部で保持する）であってよい。流入空気Ｚの
ための入口７及び流出空気Ａのための入口８は、前記乾
燥チャンバー中の空気流Ｌの循環を行なう。
【００１２】乾燥チャンバー４中の、塗装された厚板状
に成形された部材の移送路Ｐの上方及び下方に配置され
たものは、赤外線放熱器９（これは、好ましくは移送路
Ｐに平行で且つ移送方向Ｄを横切って延びている）であ
る。移送路Ｐの上方の赤外線放熱器９の数は、該移送路
の下方の数に相当する。特に、各々の上方の赤外線放熱
器は、下方の赤外線放熱器の一つに正確に対向して横た
わっている。赤外線放熱器９は好ましくは移送路Ｐに沿
って互いに等距離に配置されている。２個の隣接する赤
外線放熱器の間の距離は、約７０ｍｍないし１３０ｍ
ｍ、好ましくは約１００ｍｍである。とりわけ簡単な構
造に由来して、赤外線放熱器９は乾燥チャンバー４の上
方及び下方の境界壁に固定される。塗装された片状部材
のための移送手段（図示せず）は、厚板状に成形された
部材の移送路Ｐが乾燥チャンバー４の上方及び下方の境
界壁の間にほぼ中央に延びるように配置されている。前
記方法において、前記乾燥チャンバー内の温度分布は非
常に良好に制御され得る。
【００１３】流入空気Ｚのための入口７は、乾燥チャン
バー４からの排出口６の近傍に配置されており、他方、
流出空気Ａのための入口８は、乾燥チャンバー４への供
給口５の近傍に設けられている。入口７を経由して導入
された流入空気Ｚは、乾燥チャンバー４内を、塗装され
た厚板状に成形された部材の移送方向Ｄと反対に流れ
る。特に、空気流Ｌは乾燥チャンバー４中で移送路Ｐに
ほぼ平行に流れる。前記方法において、塗膜が乾燥する
場合に塗膜から蒸発・除去される溶媒は、乾燥チャンバ
ー４の排出口６から乾燥チャンバー４の供給口５まで空
気流によって取り除かれ、次いで流出空気Ａのための入
口８から取り出される。
【００１４】とりわけ好ましい態様においては、連続乾
燥機３の乾燥チャンバー４は３箇所の領域に分けられ
る。厚板状に成形された部材のための供給口５に直接隣
接して、予備加熱及び混合領域Ｖが設けられている。予
備加熱及び混合領域Ｖに隣接するものは、赤外線放熱器
９を有する加熱領域Ｈである。最後の領域は冷却領域Ｋ
（これは、加熱領域Ｈの末端から乾燥チャンバー４の排
出口６まで延びている）である。これらの３箇所の領域
の機能は、これらの名称から簡単に推論され得る。予備
加熱及び混合領域Ｖ中で、供給口５を経由して供給され
る塗装された片状部材は、加熱領域Ｈから来る空気流Ｌ
によって予備加熱される。加熱領域Ｈ中で、一方では、
赤外線放熱器９の輻射の直接効果により、そして他方で
は、塗装表面を覆って流れる加熱された空気流Ｌによ
り、塗膜の実際の乾燥が行なわれる。空気流Ｌは赤外線
放熱器９の熱放出によってのみ加熱される。加熱領域か
ら離れた場合、乾燥された厚板状に成形された部材は冷
却領域Ｋ中で導入された流入空気（これは、乾燥チャン
バー４の排出口６から排出される前に、通常室温に又は
制御するのであれば約２５℃に保持される）によって冷
却される。
【００１５】とりわけ利点のある態様においては、乾燥
チャンバー４の加熱領域Ｈは別のゾーン（この中で、異
なる温度が設定され得る）に分けられる。前記目的のた
めに、移送路Ｐの上方及び下方に配置された赤外線放熱
器９は、複数のグループとして組付けられる。図３ａの
説明に従って、３箇所の加熱ゾーン（Ｉ，II，III ）は
前記方法で形成される。各々の加熱ゾーンの赤外線放熱
器９は異なる出力で運転され、その結果、図３ｂのグラ
フに示される如く、加熱ゾーンＩ，II，III 中で、赤外
線放熱器９は異なる表面温度ＴIRを有している。赤外線
放熱器９の低い表面温度ＴIRを有する加熱ゾーンＩは、
乾燥チャンバー４に対して供給口５に近接し、そして赤
外線放熱器９の最も高い表面温度ＴIRを有する該加熱ゾ
ーンIIIは排出口６の近傍で且つ冷却領域Ｋに隣接して
横たわる。前記加熱ゾーンＩとIII との間に横たわる加
熱ゾーンII中で、表面温度ＴIRを有する前記赤外線放熱
器は最初の加熱ゾーンＩの赤外線放熱器と最後の加熱ゾ
ーンIII の赤外線放熱器との間に横たわる。３箇所より
も多くの加熱ゾーンが設けられる場合には、各連続加熱
ゾーン中の赤外線放熱器９の表面温度ＴIRは常に前の加
熱ゾーンの表面温度ＴIRよりも高い。
【００１６】図３ｃにおいて、加熱領域Ｈの長さｌにわ
たる空気流Ｌの温度変化ＴL は、グラフの形態で記録さ
れる。前記変化は、加熱領域Ｈの個々のゾーンＩ，II，
III中の赤外線放熱器９の表面温度ＴIRの変化と反対で
あるということを明らかに認めることができる。流入空
気Ｚは約２５℃で供給される。流入空気Ｚが厚板状に成
形された片状部材の移送方向Ｄと反対に加熱領域Ｈを通
って流れる場合、流入空気Ｚは赤外線放熱器９によって
加熱される。最初に、流入空気Ｚは最も高い表面温度を
有する赤外線放熱器９と接触し、そして例えば約１１０
℃ないし１３０℃の必要とされる設定温度に非常に迅速
に加熱される。最初の加熱ゾーン中の赤外線放熱器９の
表面温度ＴIRは前記設定温度よりも高く、そして例えば
１８０℃ないし２２０℃であるので、空気流Ｌは、それ
が加熱領域Ｈを離れるまで前記温度を保持する。
【００１７】赤外線放熱器９の表面温度ＴIRと、加熱領
域Ｈの長さｌにわたる空気流Ｌの温度変化ＴL との反対
の温度分布は、湿潤塗装された厚板状に成形された片状
部材を基本的に穏やかに、且つ同時に、効率良く乾燥さ
せる。厚板状に成形された片状部材が前記乾燥チャンバ
ーを通過する際に、該片状部材が最初の加熱ゾーンＩに
入る時、それは先ず全て、又は全てではないが、所望に
より予備加熱及び混合チャンバーＶ中で予備加熱され
る。前記の最初の加熱ゾーンＩにおいて、赤外線放熱器
９の表面温度ＴIRは比較的低く、反対に加熱領域Ｈを離
れる空気流Ｌの温度変化ＴL はその設定温度を有する。
前記の第一の加熱ゾーンＩにおいて、前記塗膜の最初の
予備乾燥は、厚板状に成形された片状部材の表面を覆っ
て流れる熱い空気Ｌによって基本的に行われる。赤外線
放熱器９の高い輻射放出によって引き起こされる前記塗
膜中の気泡生成は、前記方法で確実に避けられる。第二
の加熱ゾーンIIにおいて、赤外線放熱器９（これは、例
えば、前記加熱ゾーン中で約２４０℃ないし２６０℃の
表面温度ＴIRを有していてよい）の直接輻射放出によっ
て、乾燥はほぼ等しい比率で行われる。最後に、第三の
加熱ゾーンIII において、赤外線放熱器９の輻射放出に
よって、最後の乾燥が事実上独占的に行われる。他方、
流入空気Ｚ（これは、まだ冷たい）は、厚板状に成形さ
れた部材を冷却する。第三の加熱ゾーンIII は、所望に
より冷却ゾーンＫ（この中には、赤外線放熱器は全く配
置されておらず、且つ厚板状に成形された片状部材は比
較的冷たい流入空気Ｚに単に暴露されるのみである）に
よって隣接されている。
【００１８】乾燥チャンバー４中の空気流Ｌは、供給さ
れる流入空気Ｚの量がどの程度多いか及び排除される流
出空気Ａの容積がどの程度多いかによって基本的に決定
される。好ましくは、空気出口８は、入口７において流
入空気として供給されるよりも多くの空気量を排出する
ように設計される。前記空気比は、好ましくは、乾燥チ
ャンバー４内の空気流Ｌが実質的に層流であるように制
御される。層流の空気流Ｌは、同一量の空気が乾燥すべ
き塗装された厚板状に成形された片状部材の表面の全領
域を覆って流れ、且つ前記方法によって、非常に均一な
乾燥が行なわれ得るという利点を有する。層流の空気流
Ｌは、蒸発・除去される溶媒が前記片状部材の表面から
確実に移送・除去され、且つ前記乾燥チャンバー内部の
渦領域中に補足されないということも保証する。
【００１９】流入空気Ｚの供給及び流出空気Ａの排出
は、外部移送手段によって行なわれてよいが、しかし好
ましくは、乾燥チャンバー４の空気入口７及び空気出口
８において空気を供給し及び流出させるために移送手段
１１，１３が各々設けられる。入口７に供給される流入
空気Ｚの品質の安定性、及び出口８から排出される流出
空気Ａの量を確保するために、空気入口７及び空気出口
８に空気のための流速調整器１２及び１４が各々設けら
れる。前記方法において、乾燥チャンバー４中の流量比
を正確に制御することができ、このことは好ましい層流
の空気流Ｌを保持するために非常に利点がある。
【００２０】流入空気Ｚを乾燥チャンバー４に供給する
際にも汚染物、粒子等を阻止するために、流入空気Ｚの
ための入口７内にクリーンルームフィルタ１０を固定す
ることが好ましい。クリーンルームフィルタ１０の種類
は、乾燥チャンバー４内で達成すべきクリーンルーム等
級に依存する。
【００２１】とりわけ積層品又は印刷回路板のための厚
板状に成形された片状部材のための本発明の塗装装置１
は、記載された種類の連続乾燥機３を含み、連続乾燥機
３の中で、塗膜は穏やかな方法で乾燥され、且つ塗膜中
に存在する溶媒は蒸発・除去及び移送・除去される。塗
装装置１の塗装ステーション２は、塗装すべき厚板状に
成形された片状部材のための供給開口部２１を有する塗
装キャビン２０を含む。塗装キャビン２０の反対側に設
けられたものは、排出開口部２２（これは、乾燥チャン
バー４の供給口５と直接接続している）である。空気Ｆ
は、好ましくは塗装キャビン２０の先端被覆領域中に設
けられた入口開口部２３を通って塗装キャビン２０内に
吹き込まれ得る。
【００２２】塗装キャビン２０内部に設けられたもの
は、ローラー塗装装置２４である。ローラー塗装装置２
４は、厚板状に成形された部材の移送路Ｐの上方に配置
された一つの塗装ローラーと下方に配置された一つの塗
装ローラーとからなり、それらの間で、厚板状に成形さ
れた部材はホトレジスト又は同種のものを用いる塗装の
ために移送される。前記塗膜形成において、積層品又は
印刷回路板の両面は同時に平坦に塗装される。前記工程
の間、積層品又は印刷回路板は塗装ステーション２の中
に設けられた移送手段によってその垂直端部を保持され
る。前記移送手段は、乾燥ステーション３中の移送手段
と同様な構造であってよい；即ち、それらは本発明にお
いて特別重要ではなく、図中のそれらの説明は省略し
た。
【００２３】空気入口開口部２３を通って供給され且つ
通常室温又は約２５℃に保持される空気Ｆは、排出開口
部２２を通って乾燥チャンバー４の流出空気として該乾
燥チャンバーの出口８から抜ける。前記方法において、
全体として塗装装置１は、溶媒蒸気と共に供給される流
出空気のための一つの出口８のみを有し、この場合空気
は、一方では乾燥ステーション３から、そして他方で
は、塗装ステーション２から来る。出口開口部８におけ
る排出力は、除去される流出空気Ａの容積が、乾燥チャ
ンバー４を通過する空気Ｌと塗装キャビン２０内に吹き
込む空気Ｆとの空気容積にほぼ相当するような方法で制
御される。
【００２４】乾燥チャンバー４に由来する熱い空気Ｌと
前記塗装キャビンからの冷たい空気Ｆとの空気容積の混
合比は、通常出口８における流出空気Ａが約３０℃ない
し７０℃のみの温度を有し、他方、乾燥チャンバー４中
の乾燥空気の温度はまだ約１１０℃ないし１３０℃であ
るように選択される。従って、溶媒蒸気を含む排出され
た流出空気Ａを自然発火から保護するための特別な処置
は、大幅に削減することができる。
【００２５】塗装キャビン２０からも汚染物、粒子等を
除去するために、空気入口開口部２３内にクリーンルー
ムフィルタ２５が備えられてよい。前記乾燥チャンバー
への流入空気のための入口内へのクリーンルームフィル
タ１０の接続に関して既に述べた如く、選択されるクリ
ーンルームフィルタの種類は、達成すべきクリーンルー
ムの品質に依存する。
【００２６】クリーンルームの品質は、周囲空気から塗
装装置１内の空気を隔離させることにより、また別に改
善され得る。前記目的のために、空気は、供給開口部２
１の領域において塗装キャビン２０の内部で及び排出口
６の領域において乾燥チャンバー４の内部で僅かに加圧
されているような方法で塗装装置内で空気は案内され
る。僅かな加圧は、周囲空気が供給開口部２１及び排出
口６を通って前記塗装装置に供給されることを妨げる。
塗装キャビン２０内に供給される空気Ｆ及び乾燥チャン
バー４内に供給される空気Ｚの少量（供給開口部２１を
通って及び排出口６を通って、各々周囲に放出される）
は、殆ど溶媒蒸気を含まない。前記溶媒蒸気は、勿論、
一方では排出開口部２２を通る塗装キャビン２０内の空
気流によって、そして他方では出口８への乾燥チャンバ
ー４内の好ましくは層流の空気流Ｌによって移送され、
そして除去される。前記方法において、塗装装置１内の
クリーンルームの品質を改善すること及び塗装装置１の
周囲から実質的に溶媒蒸気を除去することの両方が可能
である。
【００２７】本発明の塗装装置及び本発明の連続乾燥機
は、乾燥すべき湿潤塗装された片状部材の非常に短い処
理時間を可能とする。例えば、ホトレジスト（固形分５
０％及び溶媒としてメトキシブタノールを含む）を湿潤
フィルム厚２５μｍで塗装された積層品（銅被着ラミネ
ート）は、５０秒未満で乾燥させることができる。乾燥
チャンバーの長さは、前記の場合において、例えば約
１．６ｍないし２．０ｍ、その幅は約０．９ｍないし約
１．０ｍ、そしてその高さは約０．３０ｍないし０．４
０ｍである。乾燥チャンバーの供給口及び排出口の寸法
は、幅が約０．９２ｍないし約０．９８ｍ、高さが約
０．１３ｍないし約０．１８ｍである。基材からの赤外
線放熱器の距離は、約０．１２ｍないし０．１７ｍであ
る。使用される赤外線放熱器は、例えばヘラウス ノー
ブルライト（Heraeus Noblelight）社製のＳＴＭ二重管
放熱器であり、これは１２００ワットの出力において、
約１２ｋＷ／ｍ2 の輻射密度を有する。赤外線放熱器の
表面温度は、例えば第一の加熱ゾーン中で約２００℃、
第二の加熱ゾーン中で約２５０℃、そして第三の加熱ゾ
ーン中で正に３００℃以下である。乾燥チャンバー中に
及び塗装キャビン中に供給される流入空気は、例えば約
２５℃の温度を有する。乾燥チャンバーへの入口におけ
る空気量は、約２００ｍ3 ／ｈないし約８００ｍ3 ／
ｈ、好ましくは約５００ｍ3 ／ｈに制御される。出口に
おける流出空気の量は、約１５００ｍ3 ／ｈないし約３
０００ｍ3 ／ｈ、好ましくは約２０００ｍ3 ／ｈに制御
される。前記方法において、約４０℃ないし５０℃の流
出空気温度が出口で設けられるけれども、第三の加熱ゾ
ーン中の乾燥空気の温度はまだ約１２０℃である。クリ
ーンルームフィルタは例えば紙様ガラス繊維ウェブであ
り、これは≧０．３μｍの粒子に対して９９．９９％を
越える分離度を有する。前記方法において、クリーンル
ーム等級１００のクリーンルーム品質は、例えば前記塗
装装置中で得ることができる。
【００２８】本発明の塗装装置及びとりわけ本発明の連
続乾燥機は、その寸法が小形であり且つ製造及び運転が
比較的安価である。本発明の塗装装置及び本発明の連続
乾燥機は、積層品又は印刷回路板の非常に迅速な処理を
可能にする。連続乾燥機の設計も安全性、とりわけ防爆
に関する要求を考慮して行なわれる。一方、積層品又は
印刷回路板は、昇温分布を有する乾燥チャンバーを通過
する。乾燥チャンバーへの供給口（ここで、乾燥工程は
開始されるが）において、比較的多量の溶媒が蒸発・除
去され、赤外線放熱器の表面温度は比較的低い。最も高
い表面温度は、乾燥チャンバーからの出口（ここで、溶
媒の少量のみが塗膜中にまだ存在する）の赤外線放熱器
によって示される。乾燥チャンバー中の空気の流れは、
積層品又は印刷回路板の移送方向に対して反対である。
これは、溶媒蒸気は、高い表面温度を持つ赤外線放熱器
を有する加熱ゾーンから移送・除去されるということ保
証する。別の安全処置として、赤外線放熱器の表面温度
が３００℃を越えないように注意が払われてもよい。連
続乾燥機の熱い流出空気は塗装キャビンの冷たい流出空
気と混合される。出口における流出空気の温度はその結
果低く保持され、これは更に前記装置の安全性を増加さ
せる。連続乾燥機及び塗装装置は、非常に高いクリーン
ルーム品質を備え且つ僅かなエネルギー消費のみによっ
て運転することができる。連続オーブンの、及び特に、
塗装装置の換気概念は周囲からの隔離を行なわしめ、そ
して前記方法によって、周囲への溶媒蒸気の放出を実質
的に妨げる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の、塗装ステーション及び連続乾燥機か
らなる塗装装置の一実施例の説明図である。
【図２】図１に示す塗装ステーション中の空気流を示す
説明図である。
【図３】図３ａは連続乾燥機中の３箇所の加熱ゾーンの
配置を示す図、図３ｂは加熱ゾーン中の赤外線放熱器の
温度の連結されたグラフを示す図、及び図３ｃは３箇所
の加熱ゾーン中の対流の温度の連結されたグラフを示す
図である。
【符号の説明】
２ 塗装ステーション ３ 乾燥ステーション又は連続乾燥機 ４ 乾燥チャンバー ５ 供給口 ６ 排出口 ７ 入口 ８ 出口又は出口開口部 ９ 赤外線放熱器 １０ クリーンルームフィルタ １２，１４ 流速調整器 ２０ 塗装キャビン ２１ 供給開口部 ２２ 排出開口部 ２３ 空気入口開口部 ２４ ローラー塗装装置 ２５ クリーンルームフィルタ Ｉ，II，III 加熱ゾーン Ａ 流出空気 Ｄ 移送方向 Ｆ 空気 Ｈ 加熱領域 Ｌ 空気流又は乾燥空気 Ｐ 移送路 Ｖ 混合領域 Ｚ 流入空気

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 乾燥チャンバー（４）からなり、乾燥チ
    ャンバー（４）の中で、乾燥すべき厚板状に成形された
    片状部材は、該片状部材の好ましくは長手方向端部に作
    用する移送手段によって乾燥チャンバー（４）の供給口
    （５）から排出口（６）まで移送路（Ｐ）に沿って移送
    される間、案内された空気流（Ｌ）に暴露され、該乾燥
    チャンバー（４）は空気（Ｌ）のための入口（７）及び
    出口（８）を含む連続乾燥機であって、厚板状に成形さ
    れた片状部材の移送路（Ｐ）の上方及び下方に赤外線放
    熱器（９）が配置され、赤外線放熱器（９）の輻射は塗
    装された片状部材を乾燥させるために該片状部材の上に
    直接作用し、且つ赤外線放熱器（９）は、同時に、案内
    された空気流（Ｌ）のための熱源を形成し、空気流
    （Ｌ）は厚板状に成形された片状部材の移送方向（Ｄ）
    と反対で且つ実質的に移送面（Ｐ）に平行して乾燥チャ
    ンバー（４）内を案内される、厚板状に成形された片状
    部材のための、特に塗装された積層品又は印刷回路板の
    ための連続乾燥機。
  2. 【請求項２】 赤外線放熱器（９）が、２個の赤外線放
    熱器（９）の互いの距離が約７０ｍｍないし約１３０ｍ
    ｍ、好ましくは約１００ｍｍであるように移送路（Ｐ）
    に沿って互いに等距離で配置される、請求項１記載の装
    置。
  3. 【請求項３】 移送路（Ｐ）に沿って移送路（Ｐ）の上
    方及び下方に配置された赤外線放熱器（９）が複数のグ
    ループとして組付けられ、そして下記状態：乾燥チャン
    バー（４）は移送路（Ｐ）に沿った幾つかの、好ましく
    は３箇所の加熱ゾーン（Ｉ，II，III ）からなり、該加
    熱ゾーンの各々は異なる表面温度を有する赤外線放熱器
    （９）からなるグループを含み、赤外線放熱器（９）の
    最も低い表面温度を有する加熱ゾーン（Ｉ）は乾燥チャ
    ンバー（４）の供給口（５）に最も近接し、そして赤外
    線放熱器（９）の最も高い表面温度を有する加熱ゾーン
    （III ）は排出口（６）の前の最後の加熱ゾーンであ
    る：で運転され得る、請求項１記載の装置。
  4. 【請求項４】 空気出口（８）が、空気入口（７）で供
    給される空気量よりも多い空気量を除去するために設計
    される、請求項１記載の装置。
  5. 【請求項５】 乾燥チャンバー（４）内の空気流（Ｌ）
    が実質的に層流である、請求項１記載の装置。
  6. 【請求項６】 流入空気（Ｚ）のための入口（７）が乾
    燥チャンバー（４）の排出口（６）の領域に配置され、
    他方、流出空気（Ａ）のための出口（８）が乾燥チャン
    バー（４）の供給口（５）の領域に配置され、空気のた
    めの流速調整器（１２；１４）が入口（７）及び出口
    （８）に設けられる、請求項５記載の装置。
  7. 【請求項７】 クリーンルームフィルタ（１０）が流入
    空気（Ｚ）のための入口（７）に配置される、請求項６
    記載の装置。
  8. 【請求項８】 乾燥チャンバー（４）内部の厚板状に成
    形された部材の移送路（Ｐ）が実質的に水平に延びてい
    る、請求項１記載の装置。
  9. 【請求項９】 乾燥チャンバー（４）が３箇所の領域に
    分けられ、予備加熱及び混合領域（Ｖ）が供給口（５）
    の直ぐ下流側に配置され、これに加熱領域（Ｈ）が続
    き、加熱領域（Ｈ）が所望により３箇所の加熱ゾーン
    （Ｉ，II，III ）に分けられ、次いで冷却領域が乾燥チ
    ャンバー（４）の排出口（６）の前に配置される、請求
    項１記載の装置。
  10. 【請求項１０】 塗装ステーション（２）〔塗装ステー
    ション（２）の中で、厚板状に成形された片状部材はホ
    トレジスト又は同種のものを用いて片側又は両側が塗装
    される〕と、隣接する乾燥ステーション（３）〔ホトレ
    ジストは乾燥され、次いでホトレジストに含まれる溶媒
    は蒸発・除去且つ移送・除去される〕とからなり、乾燥
    ステーション（３）は請求項１ないし９のうちの何れか
    １項記載の連続乾燥機である、厚板状に成形された片状
    部材のための、特に塗装された積層品又は印刷回路板の
    ための塗装装置。
  11. 【請求項１１】 塗装ステーション（２）が、空気入口
    開口部（２３）並びに塗装すべき厚板状に成形された部
    材のための供給開口部（２１）及び反対側の排出開口部
    （２２）を有する塗装キャビン（２０）からなり、排出
    開口部（２２）は乾燥チャンバー（４）への供給口
    （５）に直接接続する、請求項１０記載の塗装装置。
  12. 【請求項１２】 塗装ステーション（２）にローラー塗
    装装置（２４）が備えられ、ローラー塗装装置（２４）
    は厚板状に成形された部材の移送路（Ｐ）の上方に配置
    された一つの塗装ローラーと下方に配置された一つの塗
    装ローラーとからなり、それらの間で、厚板状に成形さ
    れた部材はホトレジスト又は同種のものを用いる塗装の
    ために移送され得、その間塗装ステーション（２）の中
    に設けられた移送手段によってその長手方向端部を保持
    される、請求項１１記載の塗装装置。
  13. 【請求項１３】 流出空気（Ａ）のために連続乾燥機
    （３）の中に設けられた出口開口部（８）が、同時に、
    塗装キャビン（２０）のための出口開口部である、請求
    項１１記載の塗装装置。
  14. 【請求項１４】 出口開口部（８）において除去される
    流出空気（Ａ）の容積が、乾燥チャンバー（４）を通過
    する乾燥空気（Ｌ）と塗装キャビン（２０）に供給され
    る空気（Ｆ）との空気容積にほぼ相当する、請求項１３
    記載の塗装装置。
  15. 【請求項１５】 塗装キャビン（２０）の空気入口開口
    部（２３）にクリーンルームフィルタ（２５）が備えら
    れる、請求項１４記載の塗装装置。
  16. 【請求項１６】 乾燥チャンバー（４）からの熱い流出
    空気と塗装キャビン（２０）からの冷たい流出空気との
    混合比が、出口開口部（８）における流出空気（Ａ）が
    約３０℃ないし７０℃の温度を有するように選択され
    る、請求項１３記載の塗装装置。
  17. 【請求項１７】 空気が、厚板状に成形された片状部材
    のための供給開口部（２１）の領域において塗装キャビ
    ン（２０）の内部で及び排出口（６）の領域において乾
    燥チャンバー（４）の内部で僅かに加圧されており、そ
    の結果、塗装装置が実質的に周囲の空気から隔離される
    ように塗装装置内で案内される、請求項１３記載の塗装
    装置。
JP6163032A 1993-06-22 1994-06-22 厚板状に成形された片状部材のための連続乾燥機及び該連続乾燥機を含む塗装装置 Pending JPH0716529A (ja)

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