JPH07122657B2 - 回路基板検査装置における良否判定用比較基準値及び許容差の補正方法 - Google Patents
回路基板検査装置における良否判定用比較基準値及び許容差の補正方法Info
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- JPH07122657B2 JPH07122657B2 JP63281772A JP28177288A JPH07122657B2 JP H07122657 B2 JPH07122657 B2 JP H07122657B2 JP 63281772 A JP63281772 A JP 63281772A JP 28177288 A JP28177288 A JP 28177288A JP H07122657 B2 JPH07122657 B2 JP H07122657B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、特に回路基板検査装置における良否判定用
比較基準値及び許容差等の補正方法に関するものであ
る。
比較基準値及び許容差等の補正方法に関するものであ
る。
電子部品等が実装された回路基板の検査にインサーキッ
トテスタと称される回路基板検査装置が利用されてい
る。
トテスタと称される回路基板検査装置が利用されてい
る。
この種の従来装置は、一般に、測定用信号源として直流
及び交流の電流、電圧源を備え、測定項目によりそれら
を適宜使い分けるようにしている。
及び交流の電流、電圧源を備え、測定項目によりそれら
を適宜使い分けるようにしている。
第６図にその一例が示されているが、例えばインピーダ
ンスを測定するような場合には信号源１から被測定体２
に交流電圧Ｖを加え、そのインピーダンスZxの大きさに
逆比例して流れる電流Ixを測定部３にて測定し、演算器
４によりＶ÷Ix＝Zxを計算してインピーダンスZxを求め
る。この場合、例えば基準値設定器６には良品範囲を定
めた基準データがあらかじめ設定されており、上記イン
ピーダンス測定値Zxは比較器５においてこの基準データ
と比較され、所定の許容差内にあるか否かによりその良
否が判定される。この判定結果や測定データなどは表示
器７に表示される。なお、上記基準データは通常、部品
規格などに規定されている値、もしくはそれに基づいて
計算により求めた値が用いられるようになっている。
ンスを測定するような場合には信号源１から被測定体２
に交流電圧Ｖを加え、そのインピーダンスZxの大きさに
逆比例して流れる電流Ixを測定部３にて測定し、演算器
４によりＶ÷Ix＝Zxを計算してインピーダンスZxを求め
る。この場合、例えば基準値設定器６には良品範囲を定
めた基準データがあらかじめ設定されており、上記イン
ピーダンス測定値Zxは比較器５においてこの基準データ
と比較され、所定の許容差内にあるか否かによりその良
否が判定される。この判定結果や測定データなどは表示
器７に表示される。なお、上記基準データは通常、部品
規格などに規定されている値、もしくはそれに基づいて
計算により求めた値が用いられるようになっている。
上記従来のインピーダンス測定による検査方法は、被測
定体が単体部品の場合には好適である。
定体が単体部品の場合には好適である。
しかしながら、実装基板の場合には多種多様の部品が回
路パターンを介して直列的又は並列的、もしくは直、並
列的に接続されているので、それらを個別に測定するこ
とは極めて繁雑となり、検査終了までに長時間を要す
る。
路パターンを介して直列的又は並列的、もしくは直、並
列的に接続されているので、それらを個別に測定するこ
とは極めて繁雑となり、検査終了までに長時間を要す
る。
この発明は上記の事情に鑑みなされたもので、その目的
は、あらかじめ良品と確認されている基板のインピーダ
ンスを回路網単位で測定して良否判定用の基準データを
作成し、同様に被検査回路基板のインピーダンスを測定
して上記基準データと比較するこのにより簡単に基板検
査ができるようにするとともに、特に、検査ロットによ
り周囲温度が異なるなど測定条件が変わった場合におけ
る上記良否判定用基準データの補正方法を提供すること
にある。
は、あらかじめ良品と確認されている基板のインピーダ
ンスを回路網単位で測定して良否判定用の基準データを
作成し、同様に被検査回路基板のインピーダンスを測定
して上記基準データと比較するこのにより簡単に基板検
査ができるようにするとともに、特に、検査ロットによ
り周囲温度が異なるなど測定条件が変わった場合におけ
る上記良否判定用基準データの補正方法を提供すること
にある。
この発明の実施例が示されている第１図を参照すると、
上記の課題を解決するため下記イないしヘの手段を備え
ている。
上記の課題を解決するため下記イないしヘの手段を備え
ている。
イ．第１生産ロット内から抽出された複数（ｎ個）の良
品基板12′に信号源11から測定用交流電圧Ｖを加え、上
記各良品基板の同一パターンの同一測定点に流れる電流
Isi（ｉ＝1,2,…ｎ）を測定する測定部13。
品基板12′に信号源11から測定用交流電圧Ｖを加え、上
記各良品基板の同一パターンの同一測定点に流れる電流
Isi（ｉ＝1,2,…ｎ）を測定する測定部13。
ロ．この測定電流Isiから各良品基板12′の上記測定点
におけるインピーダンスZsiを計算してその平均値Zuを
求めるとともに、その平均値Zuに対する上記インピーダ
ンスZsiのばらつきの標準偏差の３倍、すなわち±３σ
を求める演算手段14と、 ハ．上記平均値Zuをインピーダンスの比較基準値として
設定する基準値設定手段16および上記±３σをインピー
ダンスのばらつきの許容差として設定する許容差設定手
段17。
におけるインピーダンスZsiを計算してその平均値Zuを
求めるとともに、その平均値Zuに対する上記インピーダ
ンスZsiのばらつきの標準偏差の３倍、すなわち±３σ
を求める演算手段14と、 ハ．上記平均値Zuをインピーダンスの比較基準値として
設定する基準値設定手段16および上記±３σをインピー
ダンスのばらつきの許容差として設定する許容差設定手
段17。
ニ．上記良品基板と同様の方法にて上記第１生産ロット
の被検査回路基板（以下、「生産ロット基板」と言
う。）12から、そのインピーダンスZxを演算手段14にて
求め、上記インピーダンス比較基準値Zuと比較して許容
差±３σ内にあるか否かにより同生産ロット基板の良否
を判定する比較手段15。
の被検査回路基板（以下、「生産ロット基板」と言
う。）12から、そのインピーダンスZxを演算手段14にて
求め、上記インピーダンス比較基準値Zuと比較して許容
差±３σ内にあるか否かにより同生産ロット基板の良否
を判定する比較手段15。
ホ．上記良品基板から収集したインピーダンス比較基準
値Zuおよび許容差±３σからなる第１の良否判定用基準
データを保持するメモリ18。
値Zuおよび許容差±３σからなる第１の良否判定用基準
データを保持するメモリ18。
ヘ．異なる条件下で生産された第２生産ロットの基板検
査時には、同第２次生産ロット内の良品実装基板から得
られた当該第２次生産ロットの被検査回路基板に対する
インピーダンス比較基準値および許容差からなる第２の
良否判定用基準データと、上記メモリ18に保持されてい
る上記第１の良否判定用基準データとを比較し、同第２
の良否判定用基準データが上記第１の良否判定用基準デ
ータの許容範囲を超える場合には、同第２の良否判定用
基準データに基づいて上記第１の良否判定用基準データ
に所定量の修正を加え、この修正された良否判定用基準
データにて当該第２次生産ロットの被検査回路基板を検
査するとともに、上記メモリの内容を上記修正された良
否判定用基準データに書き替える補正手段19。
査時には、同第２次生産ロット内の良品実装基板から得
られた当該第２次生産ロットの被検査回路基板に対する
インピーダンス比較基準値および許容差からなる第２の
良否判定用基準データと、上記メモリ18に保持されてい
る上記第１の良否判定用基準データとを比較し、同第２
の良否判定用基準データが上記第１の良否判定用基準デ
ータの許容範囲を超える場合には、同第２の良否判定用
基準データに基づいて上記第１の良否判定用基準データ
に所定量の修正を加え、この修正された良否判定用基準
データにて当該第２次生産ロットの被検査回路基板を検
査するとともに、上記メモリの内容を上記修正された良
否判定用基準データに書き替える補正手段19。
以後、異なる条件下で生産された同一種類の被検査回路
基板の各生産ロットについて、これが繰り返えされるの
であるが、それを繰り返すにしても、例えば第３生産ロ
ット以降については、まず、前回の生産ロットで用いら
れた前回の良否判定用基準データで検査した後、その不
良品とされたものの中に良品が含まれていることが判明
した場合にのみ、その生産ロットから良品基板を抽出し
て良品基板データを得、それによって上記のように前回
の良否判定用基準データを修正するようにしてもよい。
基板の各生産ロットについて、これが繰り返えされるの
であるが、それを繰り返すにしても、例えば第３生産ロ
ット以降については、まず、前回の生産ロットで用いら
れた前回の良否判定用基準データで検査した後、その不
良品とされたものの中に良品が含まれていることが判明
した場合にのみ、その生産ロットから良品基板を抽出し
て良品基板データを得、それによって上記のように前回
の良否判定用基準データを修正するようにしてもよい。
上記の手段を備えることにより、良品基板から収集した
比較基準値Ｚμとばらつきの許容差±３σを用いて生産
ロット基板の検査ができ、更に、ロットにより測定条件
等が変わった場合には先行ロットのデータ類を参照し、
基準値Ｚμと許容差±３σを必要により修正して当該ロ
ットの検査に適用することが可能となる。
比較基準値Ｚμとばらつきの許容差±３σを用いて生産
ロット基板の検査ができ、更に、ロットにより測定条件
等が変わった場合には先行ロットのデータ類を参照し、
基準値Ｚμと許容差±３σを必要により修正して当該ロ
ットの検査に適用することが可能となる。
この実施例においては上記したようにまず良品と確認さ
れている複数の基板のインピーダンスを測定して比較基
準値とインピーダンスのばらつきの許容差を作成し、し
かるのち生産ロット基板のインピーダンスを測定して上
記基準値と比較し、所定の許容差内にあるか否かにより
良否判定を行うようになっている。また、ロットにより
周囲温度が異なるなど測定条件が変わった場合には、当
該ロットの検査に適用する基準値、許容差等に対して必
要により修正を加えるようになっている。
れている複数の基板のインピーダンスを測定して比較基
準値とインピーダンスのばらつきの許容差を作成し、し
かるのち生産ロット基板のインピーダンスを測定して上
記基準値と比較し、所定の許容差内にあるか否かにより
良否判定を行うようになっている。また、ロットにより
周囲温度が異なるなど測定条件が変わった場合には、当
該ロットの検査に適用する基準値、許容差等に対して必
要により修正を加えるようになっている。
以下、再び第１図を参照すると、信号源11からは例えば
周波数1kHzの測定用交流電圧Ｖが１サイクル発せられ、
良品基板12′の所定測定点に加えられる。これにより当
該測定点のインピーダンスZsの大きさに逆比例した電流
Isが流れ、測定部13により測定される。
周波数1kHzの測定用交流電圧Ｖが１サイクル発せられ、
良品基板12′の所定測定点に加えられる。これにより当
該測定点のインピーダンスZsの大きさに逆比例した電流
Isが流れ、測定部13により測定される。
演算手段14はこの測定電流IsによりＶ÷Is＝Zsを計算
し、上記良品基板のインピーダンスZs1を求める。以
下、同様にして他の良品基板のインピーダンスZs2,Zs3,
……Zsnを測定し、それらの平均値Ｚμとこの平均値Ｚ
μに対する測定インピーダンスZs1〜Zsnばらつきの標準
偏差の３倍すなわち３σを求める。この場合供試基板数
ｎを適当な数にするとインピーダンス測定データZsの分
布状態は第２図に示されるように、平均値Ｚμに対して
ほぼ左右対称の正規分布に近似し、基板数ｎの99％強が
上記±３σの範囲内に入ることが知られている。
し、上記良品基板のインピーダンスZs1を求める。以
下、同様にして他の良品基板のインピーダンスZs2,Zs3,
……Zsnを測定し、それらの平均値Ｚμとこの平均値Ｚ
μに対する測定インピーダンスZs1〜Zsnばらつきの標準
偏差の３倍すなわち３σを求める。この場合供試基板数
ｎを適当な数にするとインピーダンス測定データZsの分
布状態は第２図に示されるように、平均値Ｚμに対して
ほぼ左右対称の正規分布に近似し、基板数ｎの99％強が
上記±３σの範囲内に入ることが知られている。
よって、この実施例においては例えば基準値設定手段16
が上記平均値Ｚμを比較基準値として保持し、許容差設
定手段17は上記±３σをインピーダンスのばらつきの許
容差として保持するようになっている。他の測定点にお
ける平均値Ｚμと許容差±３σについても同様に保持さ
れる。
が上記平均値Ｚμを比較基準値として保持し、許容差設
定手段17は上記±３σをインピーダンスのばらつきの許
容差として保持するようになっている。他の測定点にお
ける平均値Ｚμと許容差±３σについても同様に保持さ
れる。
このようにして良品基板からのデータが収集が終わると
生産ロット基板12のインピーダンス測定に入り、その測
定データZxが比較手段15において上記基準値と比較され
る。この場合、例えば Ｚμ−３σZxＺμ＋３σ であれば「良」と判定され、 ZxＺμ−３σ 又は ZxＺμ＋３σ ならば「不良」と判定される。なお、測定データや判定
結果等はフロッピー等のメモリ18に保持されるととも
に、表示部20へ表示されるようになっている。
生産ロット基板12のインピーダンス測定に入り、その測
定データZxが比較手段15において上記基準値と比較され
る。この場合、例えば Ｚμ−３σZxＺμ＋３σ であれば「良」と判定され、 ZxＺμ−３σ 又は ZxＺμ＋３σ ならば「不良」と判定される。なお、測定データや判定
結果等はフロッピー等のメモリ18に保持されるととも
に、表示部20へ表示されるようになっている。
次に、基準値Ｚμと許容差±３σの補正について第３図
を参照しながら説明する。同図には、例えば周囲温度に
より基板のインピーダンスが変化した場合の一例が示さ
れている。
を参照しながら説明する。同図には、例えば周囲温度に
より基板のインピーダンスが変化した場合の一例が示さ
れている。
いま、周囲温度がＴのときｎ個の良品基板の同一測定点
におけるインピーダンスを測定したら、そのデータの分
布状態が例えば同図のＡに示すように平均値をＺμと
し、±３σの範囲にあったとする。次に、温度T1におい
て同様の測定を行ったら同図のＢに示すように測定デー
タの平均値はＺμ１で、そのばらつきの分布状態はほぼ
上記Ａと同じであったとする。この場合、平均値をＺμ
からＺμ１に補正し、上記Ａの許容差±３σをそのまま
利用して温度T1における生産ロット基板の検査を行うこ
とができる。
におけるインピーダンスを測定したら、そのデータの分
布状態が例えば同図のＡに示すように平均値をＺμと
し、±３σの範囲にあったとする。次に、温度T1におい
て同様の測定を行ったら同図のＢに示すように測定デー
タの平均値はＺμ１で、そのばらつきの分布状態はほぼ
上記Ａと同じであったとする。この場合、平均値をＺμ
からＺμ１に補正し、上記Ａの許容差±３σをそのまま
利用して温度T1における生産ロット基板の検査を行うこ
とができる。
しかしながら、同図Ｂ′に示すように平均値とばらつき
範囲の両方が変化する場合には、例えば平均値ＺμをＺ
μ１′に補正しただけでは被検査基板中の良品基板を不
良と誤判定するおそれがあるから、許容差±３σについ
ても補正を加える必要がある。
範囲の両方が変化する場合には、例えば平均値ＺμをＺ
μ１′に補正しただけでは被検査基板中の良品基板を不
良と誤判定するおそれがあるから、許容差±３σについ
ても補正を加える必要がある。
同様に、周囲温度がT2に変化したとき、例えば同図のＣ
に示すように平均値はＺμ２に変わったがばらつき範囲
は上記Ａとほぼ同様である場合、あるいはＣ′に示すよ
うに平均値が上記Ｃと同じＺμ２で、ばらつき範囲が狭
くなるなど、良品基板であっても回路網により変化の状
態は必ずしも一様ではなく、生産ロット基板についても
同様である。この場合、ロットの検査ごとに逐次補正を
加えるようにすると、検査担当者に特に負担をかけずに
信頼度の高い良否判定基準が比較的速く得られるので好
ましい。
に示すように平均値はＺμ２に変わったがばらつき範囲
は上記Ａとほぼ同様である場合、あるいはＣ′に示すよ
うに平均値が上記Ｃと同じＺμ２で、ばらつき範囲が狭
くなるなど、良品基板であっても回路網により変化の状
態は必ずしも一様ではなく、生産ロット基板についても
同様である。この場合、ロットの検査ごとに逐次補正を
加えるようにすると、検査担当者に特に負担をかけずに
信頼度の高い良否判定基準が比較的速く得られるので好
ましい。
よって、まず良品基板のインピーダンス測定データから
平均値（比較基準値）と許容差を設定する際の補正方法
を第４図により説明し、次に、第５図により生産ロット
基板検査時におけるそれらの補正方法を説明する。第４
図において、 ステップP1,P2:n個の良品基板の各測定点におけるイン
ピーダンスを測定する。
平均値（比較基準値）と許容差を設定する際の補正方法
を第４図により説明し、次に、第５図により生産ロット
基板検査時におけるそれらの補正方法を説明する。第４
図において、 ステップP1,P2:n個の良品基板の各測定点におけるイン
ピーダンスを測定する。
ステップP3:測定が終了したならば各測定点ごとにイン
ピーダンスの平均値（比較基準値）Ｚμと許容差±３σ
を計算する。
ピーダンスの平均値（比較基準値）Ｚμと許容差±３σ
を計算する。
ステップP4,P5:あらかじめ良品基板であることを確認し
たときのデータ等を参照し、計算で求めた上記良品範囲
（Ｚμ±３σ）を所定量拡大しても良い場合にはその量
を補正手段19（第１図）により加算する。
たときのデータ等を参照し、計算で求めた上記良品範囲
（Ｚμ±３σ）を所定量拡大しても良い場合にはその量
を補正手段19（第１図）により加算する。
また、必要により例えば恒温槽を用いて高、低の温度試
験を行い、室温時の良品範囲（Ｚμ±３σ）から所定量
超えた範囲内でも良品として機能することがわかったよ
うな場合には、上記同様にその量を加算する。
験を行い、室温時の良品範囲（Ｚμ±３σ）から所定量
超えた範囲内でも良品として機能することがわかったよ
うな場合には、上記同様にその量を加算する。
ステップP6:良品基板から得られた上記Ｚμ，±３σ、
インピーダンス測定データ等をフロッピーなどの外部メ
モリ18（第１図）に入れて保持する。
インピーダンス測定データ等をフロッピーなどの外部メ
モリ18（第１図）に入れて保持する。
第５図において、 ステップP7:フロッピー等の外部メモリ18から各データ
を補正手段19に取り込む。
を補正手段19に取り込む。
ステップP8,P9,P10,P11:例えば温度等の周囲条件を考慮
し、上記メモリから取り込んだ良品基板のＺμ，±３σ
に補正を加えるための新規データが必要となった場合に
は、これから検査しようとする生産ロットから良品とし
て抽出された基板に対して上記良品基板と同様に各測定
点のインピーダンスを測定し、その平均インピーダンス
Ｚμ′とばらつきの範囲±３σ′を計算する。
し、上記メモリから取り込んだ良品基板のＺμ，±３σ
に補正を加えるための新規データが必要となった場合に
は、これから検査しようとする生産ロットから良品とし
て抽出された基板に対して上記良品基板と同様に各測定
点のインピーダンスを測定し、その平均インピーダンス
Ｚμ′とばらつきの範囲±３σ′を計算する。
ステップP12,P13,:例えばメモリから取り込んだ上記先
行ロットの良品範囲データＺμ±３σと計算値Ｚμ′±
３σ′とをを比較し、補正の必要があると認められた場
合にはＺμ±３σに所定量を加算する。
行ロットの良品範囲データＺμ±３σと計算値Ｚμ′±
３σ′とをを比較し、補正の必要があると認められた場
合にはＺμ±３σに所定量を加算する。
ステップP14:この所定量を加算した新規の値にて当該生
産ロット基板の良否を検査したのち、これを最新の良品
範囲データ（Ｚμ±３σ）としてこの検査ロット基板の
インピーダンス測定データなどとともにメモリ18に入れ
て保持する。
産ロット基板の良否を検査したのち、これを最新の良品
範囲データ（Ｚμ±３σ）としてこの検査ロット基板の
インピーダンス測定データなどとともにメモリ18に入れ
て保持する。
このように、まず良品基板のインピーダンス測定データ
から良品範囲（Ｚμ±３σ）を求め、これを毎回の生産
ロット基板検査時に逐次補正を加えてゆけば、およそ数
ロット後には実用上十分に信頼できる良品範囲データが
得られる。
から良品範囲（Ｚμ±３σ）を求め、これを毎回の生産
ロット基板検査時に逐次補正を加えてゆけば、およそ数
ロット後には実用上十分に信頼できる良品範囲データが
得られる。
なお、上記第３図において、Ａは例えば周囲温度Ｔが標
準温度20℃のときのインピーダンス分布特性、Ｂ及び
Ｂ′は周囲温度T1が40℃、Ｃ及びＣ′は周囲温度T2が５
℃におけるインピーダンス分布特性をそれぞれ表すもの
とすると、厳密には、特性Ｂについては平均値をＺμか
らＺμ１に補正し、特性Ｂ′については平均値をＺμか
らＺμ１′に補正するとともに、許容差も±３σから±
３σ１′（複雑化するので図示を省略）に補正すること
になる。
準温度20℃のときのインピーダンス分布特性、Ｂ及び
Ｂ′は周囲温度T1が40℃、Ｃ及びＣ′は周囲温度T2が５
℃におけるインピーダンス分布特性をそれぞれ表すもの
とすると、厳密には、特性Ｂについては平均値をＺμか
らＺμ１に補正し、特性Ｂ′については平均値をＺμか
らＺμ１′に補正するとともに、許容差も±３σから±
３σ１′（複雑化するので図示を省略）に補正すること
になる。
平均値が大幅にずれる場合にそのような補正も必要とな
るが、比較的小幅の変化であって特に支障が無いと判断
された場合には、例えば応用例として特性Ｂについては
特性Ａから外れた範囲−α１を下限値に加算し、 Ｚμ−３σ−α１ZxＺμ＋３σ 特性Ｂ′については Ｚμ−３σ−α１′ZxＺμ＋３σ を実用上の良品範囲として設定するようにしてもよい。
この場合、後ロットの検査で特性Ｂの下限値を特性Ｂ′
の下限値まで拡大しても支障が無いとわかったときは、
良品範囲を特性Ｂ′のそれに１本化する。なお、上限値
Ｚμ＋３σは特性B,B′にとって余裕があるが一応その
ままにしておき、後ロットの検査で必要があれば逐次補
正を加えるようにしてもよい。
るが、比較的小幅の変化であって特に支障が無いと判断
された場合には、例えば応用例として特性Ｂについては
特性Ａから外れた範囲−α１を下限値に加算し、 Ｚμ−３σ−α１ZxＺμ＋３σ 特性Ｂ′については Ｚμ−３σ−α１′ZxＺμ＋３σ を実用上の良品範囲として設定するようにしてもよい。
この場合、後ロットの検査で特性Ｂの下限値を特性Ｂ′
の下限値まで拡大しても支障が無いとわかったときは、
良品範囲を特性Ｂ′のそれに１本化する。なお、上限値
Ｚμ＋３σは特性B,B′にとって余裕があるが一応その
ままにしておき、後ロットの検査で必要があれば逐次補
正を加えるようにしてもよい。
周囲温度T2が例えば５℃の場合における特性Ｃについて
も同様に応用例として、例えば標準温度Ｔ＝20℃のとき
の特性Ａから外れた範囲＋α２を上限値に加算し、 Ｚμ−３σZxＺμ＋３σ＋α２ 特性Ｃ′については Ｚμ−３σZxＺμ＋３σ＋α２′ を実用上の良品範囲として設定するようにしてもよい。
なお、特性Ｃ′について支障が無ければ特性Ｃの良品範
囲を適用して１本化することができる。
も同様に応用例として、例えば標準温度Ｔ＝20℃のとき
の特性Ａから外れた範囲＋α２を上限値に加算し、 Ｚμ−３σZxＺμ＋３σ＋α２ 特性Ｃ′については Ｚμ−３σZxＺμ＋３σ＋α２′ を実用上の良品範囲として設定するようにしてもよい。
なお、特性Ｃ′について支障が無ければ特性Ｃの良品範
囲を適用して１本化することができる。
このように応用例を利用して良品範囲を設定すると、ロ
ットにより検査時の周囲温度が異なる場合、標準温度に
おける特性Ａから外れた範囲−α1,−α１′，＋α２等
のみ着目すればよいから補正が簡単となる。また、周囲
温度が５〜40℃の範囲で例えば良品範囲を Ｚμ−（３σ＋α１′）ZxＺμ＋（３σ＋α２） とすることが可能であれば、以後のロットのインピーダ
ンス測定については特に室温等による補正を考慮する必
要が無くなり、極めて好ましい。
ットにより検査時の周囲温度が異なる場合、標準温度に
おける特性Ａから外れた範囲−α1,−α１′，＋α２等
のみ着目すればよいから補正が簡単となる。また、周囲
温度が５〜40℃の範囲で例えば良品範囲を Ｚμ−（３σ＋α１′）ZxＺμ＋（３σ＋α２） とすることが可能であれば、以後のロットのインピーダ
ンス測定については特に室温等による補正を考慮する必
要が無くなり、極めて好ましい。
上記は説明をわかりやすくするため周囲温度により良品
範囲を表す基準データＺμ，±３σの値を補正する場合
について述べたが、温度以外に基板のインピーダンス測
定に比較的大きい影響を及ぼす要因があれば、それも考
慮して補正が行われることは当然である。
範囲を表す基準データＺμ，±３σの値を補正する場合
について述べたが、温度以外に基板のインピーダンス測
定に比較的大きい影響を及ぼす要因があれば、それも考
慮して補正が行われることは当然である。
以上、詳細に説明したように、この発明においてはあら
かじめ良品と確認されている実装基板のインピーダンス
を回路網単位で測定して良品範囲設定用の基準データＺ
μ，±３σ等を収集し、生産ロット基板のインピーダン
ス測定データを上記基準データと比較するようにしてい
る。したがって、短時間で簡単に基板の良否を検査する
ことができる。
かじめ良品と確認されている実装基板のインピーダンス
を回路網単位で測定して良品範囲設定用の基準データＺ
μ，±３σ等を収集し、生産ロット基板のインピーダン
ス測定データを上記基準データと比較するようにしてい
る。したがって、短時間で簡単に基板の良否を検査する
ことができる。
更に、検査ロットにより例えば周囲温度が異なって測定
条件が変わった場合には、メモリに積み上げた先行ロッ
トのデータ類を参照し、必要により上記良品範囲設定用
の基準データを容易に補正することができる。このため
誤判定が防止され、正確な基板検査が可能となる。
条件が変わった場合には、メモリに積み上げた先行ロッ
トのデータ類を参照し、必要により上記良品範囲設定用
の基準データを容易に補正することができる。このため
誤判定が防止され、正確な基板検査が可能となる。
第１図ないし第５図はこの発明の実施例に係り、第１図
はその装置構成を示すブロック線図、第２図は良品範囲
説明用のインピーダンス分布図、第３図は温度変化に伴
うインピーダンスの変化と基準データ補正方法の説明
図、第４図は良品基板から収集した基準データの補正手
順の一例を示すフローチャート、第５図は生産ロット基
板検査時における基準データの補正手順の一例を示すフ
ローチャート、第６図は従来装置のブロック線図であ
る。 図中、12は被検査回路基板、12′は良品基板、15は比較
手段、16は基準値設定手段、17は許容差設定手段、19は
補正手段である。
はその装置構成を示すブロック線図、第２図は良品範囲
説明用のインピーダンス分布図、第３図は温度変化に伴
うインピーダンスの変化と基準データ補正方法の説明
図、第４図は良品基板から収集した基準データの補正手
順の一例を示すフローチャート、第５図は生産ロット基
板検査時における基準データの補正手順の一例を示すフ
ローチャート、第６図は従来装置のブロック線図であ
る。 図中、12は被検査回路基板、12′は良品基板、15は比較
手段、16は基準値設定手段、17は許容差設定手段、19は
補正手段である。
Claims (1)
- 【請求項１】異なる条件下で生産された同一種類の被検
査回路基板を検査する際に適用される回路基板検査装置
における良否判定用比較基準値および許容差の補正方法
であって、 第１次生産ロット内からあらかじめ良品と確認された良
品実装基板の所定測定点におけるインピーダンスを回路
基板検査装置により測定して当該第１次生産ロットの被
検査回路基板に対するインピーダンス比較基準値および
許容差からなる第１の良否判定用基準データを作成し
て、当該第１次生産ロットの被検査回路基板の検査を行
なうとともに、同第１の良否判定用基準データをメモリ
に記憶させ、次に、上記第１次生産ロットと異なる第２
次生産ロット内の被検査回路基板を検査するにあたって
は、同第２次生産ロット内から良品として抽出した良品
実装基板の上記第１次生産ロットの良品実装基板と同一
の測定点におけるインピーダンスを上記回路基板検査装
置により測定して当該第２次生産ロットの被検査回路基
板に対するインピーダンス比較基準値および許容差から
なる第２の良否判定用基準データを作成し、しかる後、
上記第１の良否判定用基準データと上記第２の良否判定
用基準データとを比較し、同第２の良否判定用基準デー
タが上記第１の良否判定用基準データの許容範囲を超え
る場合には、同第２の良否判定用基準データに基づいて
上記第１の良否判定用基準データに所定量の修正を加
え、この修正された良否判定用基準データにて当該第２
次生産ロットの被検査回路基板を検査するとともに、上
記メモリの内容を上記修正された良否判定用基準データ
に書き替えることを特徴とする回路基板検査装置におけ
る良否判定用比較基準値および許容差の補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63281772A JPH07122657B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 回路基板検査装置における良否判定用比較基準値及び許容差の補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63281772A JPH07122657B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 回路基板検査装置における良否判定用比較基準値及び許容差の補正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02128171A JPH02128171A (ja) | 1990-05-16 |
| JPH07122657B2 true JPH07122657B2 (ja) | 1995-12-25 |
Family
ID=17643761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63281772A Expired - Fee Related JPH07122657B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 回路基板検査装置における良否判定用比較基準値及び許容差の補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122657B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007248200A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Nec Electronics Corp | 半導体試験装置の保守システムおよび保守方法 |
| JP5137359B2 (ja) * | 2006-09-05 | 2013-02-06 | 株式会社鶴見製作所 | 排水ポンプの異常診断方法およびその装置 |
| WO2020194524A1 (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 三菱電機株式会社 | 基板解析装置 |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63281772A patent/JPH07122657B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02128171A (ja) | 1990-05-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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