JP3216171B2 - Ｉｃ試験装置の較正方法 - Google Patents
Ｉｃ試験装置の較正方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＩＣ試験装置の較正方
法に関し、特に較正の作業性の向上と較正確度の向上と
に関する。
法に関し、特に較正の作業性の向上と較正確度の向上と
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ試験装置１には図２に示すように、
電圧、電流、抵抗測定機能を有する標準器２を有し、電
圧、電流、抵抗の測定機能をもった２次標準器３，被試
験ＩＣ４の各端子に所定の電圧または電流を印加する複
数の電圧、電流発生器５及び各部の動作を制御するコン
トローラ６等が搭載される。
電圧、電流、抵抗測定機能を有する標準器２を有し、電
圧、電流、抵抗の測定機能をもった２次標準器３，被試
験ＩＣ４の各端子に所定の電圧または電流を印加する複
数の電圧、電流発生器５及び各部の動作を制御するコン
トローラ６等が搭載される。
【０００３】ＩＣ試験装置１のトレサビリティの保障、
つまり国家標準を基準とした確度を保障するには標準器
２を装置１より取外して、室温が一定に保たれた較正室
において、外部標準器を用いて較正し、その較正された
標準器２を装置１に取付け、その標準器２で２次標準器
３を測定して、２次標準器を較正する。それらの較正に
は、例えば公称１０００Ωの基準抵抗は実際には１００
１Ωであるとする所謂値付けや、例えば公称１Ｖの基準
電圧の誤差が所定範囲になるように調整するなど種々の
場合が含まれる。
つまり国家標準を基準とした確度を保障するには標準器
２を装置１より取外して、室温が一定に保たれた較正室
において、外部標準器を用いて較正し、その較正された
標準器２を装置１に取付け、その標準器２で２次標準器
３を測定して、２次標準器を較正する。それらの較正に
は、例えば公称１０００Ωの基準抵抗は実際には１００
１Ωであるとする所謂値付けや、例えば公称１Ｖの基準
電圧の誤差が所定範囲になるように調整するなど種々の
場合が含まれる。
【０００４】このようにして較正された２次標準器３を
用いて、電圧、電流発生器５を較正する。トレサビリテ
ィを保障するためには前記の一連の較正を定期的に行う
必要がある。
用いて、電圧、電流発生器５を較正する。トレサビリテ
ィを保障するためには前記の一連の較正を定期的に行う
必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣ試験装置１
の定期的な較正には、標準器２の取外し、取付けを必要
とするため、作業性がよくない欠点があった。また、取
外した標準器２が置かれる較正室の周囲温度と、ＩＣ試
験装置内の周囲温度との間に差があるため、標準器２の
有する温度依存性によってＩＣ試験装置１に取付けた場
合に較正誤差が発生し、トレサビリティの保障が不充分
となる恐れがあった。
の定期的な較正には、標準器２の取外し、取付けを必要
とするため、作業性がよくない欠点があった。また、取
外した標準器２が置かれる較正室の周囲温度と、ＩＣ試
験装置内の周囲温度との間に差があるため、標準器２の
有する温度依存性によってＩＣ試験装置１に取付けた場
合に較正誤差が発生し、トレサビリティの保障が不充分
となる恐れがあった。
【０００６】この発明の目的は、これら従来の欠点を解
決して、較正の作業性を向上させると共に、較正室内と
ＩＣ試験装置内の温度差によって標準器２に較正誤差が
発生しないようにすることである。
決して、較正の作業性を向上させると共に、較正室内と
ＩＣ試験装置内の温度差によって標準器２に較正誤差が
発生しないようにすることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、電圧、電
流、抵抗測定機能を有する標準器と、基準抵抗、基準電
圧群を有する２次標準器と、被試験ＩＣに印加するため
の電圧、電流発生器と、各部を制御するコントローラと
を具備するＩＣ試験装置の較正方法に関する。この発明
では、最初に、電圧、電流、抵抗測定機能を有する外部
標準器を前記２次標準器に接続して、その２次標準器の
基準となる電圧、電流、抵抗を測定する。次に、前記標
準器を前記２次標準器に接続し、前記外部標準器で測定
された２次標準器の測定値を真値として前記標準器を較
正する。
流、抵抗測定機能を有する標準器と、基準抵抗、基準電
圧群を有する２次標準器と、被試験ＩＣに印加するため
の電圧、電流発生器と、各部を制御するコントローラと
を具備するＩＣ試験装置の較正方法に関する。この発明
では、最初に、電圧、電流、抵抗測定機能を有する外部
標準器を前記２次標準器に接続して、その２次標準器の
基準となる電圧、電流、抵抗を測定する。次に、前記標
準器を前記２次標準器に接続し、前記外部標準器で測定
された２次標準器の測定値を真値として前記標準器を較
正する。
【０００８】
【実施例】この発明では、図１示すように、はじめに電
圧電流、抵抗測定機能を有する外部標準器７をＩＣ試験
装置１の２次標準器３に接続して、その２次標準器の基
準となる電圧、電流、抵抗を測定する。外部標準器７と
しては従来、較正室で使用していたものを用いてもよ
い。
圧電流、抵抗測定機能を有する外部標準器７をＩＣ試験
装置１の２次標準器３に接続して、その２次標準器の基
準となる電圧、電流、抵抗を測定する。外部標準器７と
しては従来、較正室で使用していたものを用いてもよ
い。
【０００９】次に、標準器２を２次標準器３に接続し、
先に外部標準器７で測定した２次標準器３の測定値を真
値として、標準器２を較正する。また、電圧、電流発生
器５は従来と同様に、較正された２次標準器３を用いて
較正される。標準器２としては、外部標準器７で測定し
た２次標準器３の測定値（真値）を較正値として標準器
２に書き込めば、標準器内で自動的に自己較正動作が行
われるタイプのものが便利である。しかし、標準器２で
２次標準器３を測定した測定値が、前記真値に一致する
ようにコントローラ６より標準器２を較正するようなタ
イプであってもよい。
先に外部標準器７で測定した２次標準器３の測定値を真
値として、標準器２を較正する。また、電圧、電流発生
器５は従来と同様に、較正された２次標準器３を用いて
較正される。標準器２としては、外部標準器７で測定し
た２次標準器３の測定値（真値）を較正値として標準器
２に書き込めば、標準器内で自動的に自己較正動作が行
われるタイプのものが便利である。しかし、標準器２で
２次標準器３を測定した測定値が、前記真値に一致する
ようにコントローラ６より標準器２を較正するようなタ
イプであってもよい。
【００１０】なお、スイッチＳ1 〜Ｓ7 は装置の較正時
及び被試験ＩＣ４を試験する時に使用するものである
が、詳しい説明は省略する。
及び被試験ＩＣ４を試験する時に使用するものである
が、詳しい説明は省略する。
【００１１】
【発明の効果】この発明によれば、ＩＣ試験装置１の較
正の際に、従来のように標準器２を取外したり、取付け
たりする必要はなく、各部を装置に実装したまゝ較正す
ることができるので、作業性がきわめてよい。また、較
正室内の温度とＩＣ試験装置内の標準器２の周囲温度と
の間に温度差があるために較正誤差が発生すると言った
従来の欠点も自動的に除去される。
正の際に、従来のように標準器２を取外したり、取付け
たりする必要はなく、各部を装置に実装したまゝ較正す
ることができるので、作業性がきわめてよい。また、較
正室内の温度とＩＣ試験装置内の標準器２の周囲温度と
の間に温度差があるために較正誤差が発生すると言った
従来の欠点も自動的に除去される。
【００１２】２次標準器３は定期的に行われる一連の較
正作業中の安定度があればよく、絶対精度や長期安定性
は不要であるので、従来より安価に得られる。
正作業中の安定度があればよく、絶対精度や長期安定性
は不要であるので、従来より安価に得られる。
【図１】この発明の実施例を説明するためのブロック
図。
図。
【図２】従来のＩＣ試験装置のブロック図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 G01R 31/28 G01R 19/00 - 19/32 G01R 35/00 H01L 21/66
Claims (1)
- 【請求項１】 電圧、電流、抵抗測定機能を有して２次
標準器を較正する標準器と、基準抵抗、基準電圧群を有
して電圧、電流発生器を較正する前記２次標準器と、被
試験ＩＣに印加するための前記電圧、電流発生器と、各
部を制御するコントローラとを具備するＩＣ試験装置の
較正方法であって、 電 圧、電流、抵抗測定機能を有する外部標準器を前記２
次標準器に接続して、前記２次標準器の基準となる電
圧、電流、抵抗を前記外部標準器で測定する工程と、 前 記標準器を前記２次標準器に接続して、前記２次標準
器の基準となる電圧、電流、抵抗を前記標準器で測定す
る工程と、 前 記外部標準器の測定値を真値として前記標準器を較正
する工程とを有することを特徴とする、 ＩＣ試験装置の較正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29471191A JP3216171B2 (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | Ｉｃ試験装置の較正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29471191A JP3216171B2 (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | Ｉｃ試験装置の較正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05133997A JPH05133997A (ja) | 1993-05-28 |
| JP3216171B2 true JP3216171B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=17811323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29471191A Expired - Fee Related JP3216171B2 (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | Ｉｃ試験装置の較正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3216171B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4645083B2 (ja) * | 2004-07-13 | 2011-03-09 | 横河電機株式会社 | 校正システム |
| JP2009047690A (ja) * | 2007-08-14 | 2009-03-05 | Agilent Technol Inc | 異なるパスを選択するスイッチを備える、被試験デバイスを試験する試験デバイス |
| JP4874419B1 (ja) | 2010-12-03 | 2012-02-15 | 株式会社アドバンテスト | スイッチ装置および試験装置 |
| JP6536781B2 (ja) * | 2015-01-27 | 2019-07-03 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 基準源モジュール、電気・電子機器、遠隔校正方法 |
| CN109375126A (zh) * | 2018-09-30 | 2019-02-22 | 中国船舶重工集团公司第七0九研究所 | 基于数模转换器的集成电路测试系统自动校准装置及方法 |
| CN113552525B (zh) * | 2021-07-23 | 2024-04-02 | 南方科技大学 | 电压互感器的误差估算方法、装置、设备及存储介质 |
| CN116609642B (zh) * | 2023-07-18 | 2023-09-19 | 上海孤波科技有限公司 | 芯片测试误差的补偿方法、装置、电子设备及存储介质 |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP29471191A patent/JP3216171B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05133997A (ja) | 1993-05-28 |
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