JPH0743430A - Ｉｃテスタ用校正装置 - Google Patents
Ｉｃテスタ用校正装置Info
- Publication number
- JPH0743430A JPH0743430A JP5205794A JP20579493A JPH0743430A JP H0743430 A JPH0743430 A JP H0743430A JP 5205794 A JP5205794 A JP 5205794A JP 20579493 A JP20579493 A JP 20579493A JP H0743430 A JPH0743430 A JP H0743430A
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- Japan
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- tester
- calibration
- reference resistance
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- voltage
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 実際のデバイス測定と同一の印加点で正確な
校正を行うことのできるＩＣテスタ用校正装置を提供す
る。 【構成】 ＩＣテスタ１の試料用電源から基準抵抗３に
所定の電流（又は電圧）を印加し、基準抵抗３の両端電
圧（又は通過電流）を測定することによりＩＣテスタ１
を校正するＩＣテスタ用校正装置において、ＩＣテスタ
１のテストヘッド６に装着され、テストヘッド６からの
校正用信号を受けるテストボード７と、テストボード７
と配線により接続され、前記校正用信号を搭載された基
準抵抗３に印加する校正用ボード５と、ＩＣテスタ１に
ＧＰ−ＩＢ接続され、基準抵抗３に印加された前記校正
用信号に基づいて測定を行う計測器４とを設ける。
校正を行うことのできるＩＣテスタ用校正装置を提供す
る。 【構成】 ＩＣテスタ１の試料用電源から基準抵抗３に
所定の電流（又は電圧）を印加し、基準抵抗３の両端電
圧（又は通過電流）を測定することによりＩＣテスタ１
を校正するＩＣテスタ用校正装置において、ＩＣテスタ
１のテストヘッド６に装着され、テストヘッド６からの
校正用信号を受けるテストボード７と、テストボード７
と配線により接続され、前記校正用信号を搭載された基
準抵抗３に印加する校正用ボード５と、ＩＣテスタ１に
ＧＰ−ＩＢ接続され、基準抵抗３に印加された前記校正
用信号に基づいて測定を行う計測器４とを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＩＣテスタ用校正装置
についてのものであり、特にＩＣテスタの試料用電源又
は直流特性測定器（以下、試料用電源という）の出力値
を校正するために用いられるＩＣテスタ用校正装置につ
いてのものである。
についてのものであり、特にＩＣテスタの試料用電源又
は直流特性測定器（以下、試料用電源という）の出力値
を校正するために用いられるＩＣテスタ用校正装置につ
いてのものである。
【０００２】
【従来の技術】通常、ＩＣテスタには測定試料に直流電
圧を供給するための試料用電源が備えられており、この
試料用電源の電圧又は電流の出力値を校正するための校
正装置が内蔵されている。
圧を供給するための試料用電源が備えられており、この
試料用電源の電圧又は電流の出力値を校正するための校
正装置が内蔵されている。
【０００３】つぎに、従来の内蔵校正装置の概略構成図
を図２に示す。図２で、ＩＣテスタ１の本体内には試料
用電源としてＤＣ（直流特性測定）ユニット２が内蔵さ
れており、このＤＣユニット２内に校正のための基準抵
抗３が組み込まれている。そしてＩＣテスタ１の校正時
にはＩＣテスタ１内のＤＣユニット２から所定の出力値
（電圧又は電流）が基準抵抗３に印加され、ＤＣユニッ
ト２によって測定が行われる。通常は基準抵抗３に所定
の電流を流してその両端電圧を測定するか、あるいは所
定の電圧を印加してその通過電流を測定するかによって
出力値の校正を行う。
を図２に示す。図２で、ＩＣテスタ１の本体内には試料
用電源としてＤＣ（直流特性測定）ユニット２が内蔵さ
れており、このＤＣユニット２内に校正のための基準抵
抗３が組み込まれている。そしてＩＣテスタ１の校正時
にはＩＣテスタ１内のＤＣユニット２から所定の出力値
（電圧又は電流）が基準抵抗３に印加され、ＤＣユニッ
ト２によって測定が行われる。通常は基準抵抗３に所定
の電流を流してその両端電圧を測定するか、あるいは所
定の電圧を印加してその通過電流を測定するかによって
出力値の校正を行う。
【０００４】このように従来の校正装置ではＩＣテスタ
内で出力値の校正を行っていた。
内で出力値の校正を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の校正装置では、
テスタ内に内蔵されるＤＣユニット内で校正が行われる
ため、ＩＣテスタの使用時にテストヘッド上でデバイス
に印加される状態での校正を行ったことにはならず、校
正した状態と実際にＩＣテスタを使用した状態とではズ
レが生ずるという問題がある。また、従来の校正装置は
ＩＣテスタ内に内蔵されている基準抵抗により校正を行
っているため、実際のデバイス測定と同じ印加点での校
正が困難であり、基準抵抗に電流を印加してその両端電
圧を測定するような場合には電流印加側と電圧測定側の
両方の誤差が積み重なるため、校正のズレや不具合の発
見ができないという問題がある。
テスタ内に内蔵されるＤＣユニット内で校正が行われる
ため、ＩＣテスタの使用時にテストヘッド上でデバイス
に印加される状態での校正を行ったことにはならず、校
正した状態と実際にＩＣテスタを使用した状態とではズ
レが生ずるという問題がある。また、従来の校正装置は
ＩＣテスタ内に内蔵されている基準抵抗により校正を行
っているため、実際のデバイス測定と同じ印加点での校
正が困難であり、基準抵抗に電流を印加してその両端電
圧を測定するような場合には電流印加側と電圧測定側の
両方の誤差が積み重なるため、校正のズレや不具合の発
見ができないという問題がある。
【０００６】この発明は、実際のデバイス測定と同一の
印加点で正確な校正を行うことのできるＩＣテスタ用校
正装置を提供することを目的とする。
印加点で正確な校正を行うことのできるＩＣテスタ用校
正装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明は、ＩＣテスタ１の試料用電源から基準抵
抗３に所定の電流（又は電圧）を印加し、基準抵抗３の
両端電圧（又は通過電流）を測定することによりＩＣテ
スタ１を校正するＩＣテスタ用校正装置において、ＩＣ
テスタ１のテストヘッド６に装着され、テストヘッド６
からの校正用信号を受けるテストボード７と、このテス
トボード７と配線により接続され、前記校正用信号を搭
載された基準抵抗３に印加する校正用ボード５と、ＩＣ
テスタ１にＧＰ−ＩＢ（Ｇｅｎｅｒａｌ Ｐｕｒｐｏｓ
ｅ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｂｕｓ：汎用インターフェイ
スバス）接続され、基準抵抗３に印加された前記校正用
信号に基づいて測定を行う計測器４とを設けたものであ
る。
に、この発明は、ＩＣテスタ１の試料用電源から基準抵
抗３に所定の電流（又は電圧）を印加し、基準抵抗３の
両端電圧（又は通過電流）を測定することによりＩＣテ
スタ１を校正するＩＣテスタ用校正装置において、ＩＣ
テスタ１のテストヘッド６に装着され、テストヘッド６
からの校正用信号を受けるテストボード７と、このテス
トボード７と配線により接続され、前記校正用信号を搭
載された基準抵抗３に印加する校正用ボード５と、ＩＣ
テスタ１にＧＰ−ＩＢ（Ｇｅｎｅｒａｌ Ｐｕｒｐｏｓ
ｅ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｂｕｓ：汎用インターフェイ
スバス）接続され、基準抵抗３に印加された前記校正用
信号に基づいて測定を行う計測器４とを設けたものであ
る。
【０００８】
【作用】この発明では校正用信号が供給されるテストボ
ードと、校正のための校正用ボードとが配線により接続
されて外部に設けられている。そしてこの校正用ボード
に搭載された基準抵抗に校正用の信号がテストボードを
介して印加される。そして測定はＩＣテスタ本体との間
でＧＰ−ＩＢ接続されたデジタル・マルチ・メータ（Ｄ
ＭＭ）等の計測器を用いて行う。これにより実際のデバ
イス測定と同一条件で校正が可能となる。
ードと、校正のための校正用ボードとが配線により接続
されて外部に設けられている。そしてこの校正用ボード
に搭載された基準抵抗に校正用の信号がテストボードを
介して印加される。そして測定はＩＣテスタ本体との間
でＧＰ−ＩＢ接続されたデジタル・マルチ・メータ（Ｄ
ＭＭ）等の計測器を用いて行う。これにより実際のデバ
イス測定と同一条件で校正が可能となる。
【０００９】
【実施例】つぎに、この発明の一実施例の概略構成図を
図１に示す。図１で、ＤＣユニット２はＩＣテスタ１の
テストヘッド６に装着されており、テストヘッド６から
の校正用信号を受け取る。校正用ボード５は基準抵抗３
を搭載しており、テストボード７と配線により接続され
てＩＣテスタ１の外部に設けられている。そして校正用
信号はテストボード７から校正用ボード５へこの配線を
通して供給される。校正用信号は校正用ボード５の基準
抵抗３に供給され、その両端電圧あるいは通過電流は計
測器４により測定される。
図１に示す。図１で、ＤＣユニット２はＩＣテスタ１の
テストヘッド６に装着されており、テストヘッド６から
の校正用信号を受け取る。校正用ボード５は基準抵抗３
を搭載しており、テストボード７と配線により接続され
てＩＣテスタ１の外部に設けられている。そして校正用
信号はテストボード７から校正用ボード５へこの配線を
通して供給される。校正用信号は校正用ボード５の基準
抵抗３に供給され、その両端電圧あるいは通過電流は計
測器４により測定される。
【００１０】計測器４はＩＣテスタ１にＧＰ−ＩＢ接続
され、ＩＣテスタ１からの制御のもとに校正用ボード５
の測定を行い、その測定結果をＩＣテスタ１に転送す
る。これにより実際のデバイス測定と同じ条件でテスト
ボード７から校正用ボード５へ出力された校正用信号に
基づいて測定が行われ、その測定結果が計測器４を介し
てＩＣテスタ１に伝達される。この結果を見ながら必要
に応じてＩＣテスタ１内に内蔵されている校正用電源の
調整を行って校正を行う。
され、ＩＣテスタ１からの制御のもとに校正用ボード５
の測定を行い、その測定結果をＩＣテスタ１に転送す
る。これにより実際のデバイス測定と同じ条件でテスト
ボード７から校正用ボード５へ出力された校正用信号に
基づいて測定が行われ、その測定結果が計測器４を介し
てＩＣテスタ１に伝達される。この結果を見ながら必要
に応じてＩＣテスタ１内に内蔵されている校正用電源の
調整を行って校正を行う。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明では、テス
トヘッドからテストボードを通して校正用ボードに印加
される校正用信号をＩＣテスタとの間でＧＰ−ＩＢ接続
された計測器で測定して校正を行うようにしたため、実
際のデバイス測定と同じ条件で校正が行われる。また外
部の計測器を用いて校正を行うためテスタ毎の器差がな
くなるという利点もある。
トヘッドからテストボードを通して校正用ボードに印加
される校正用信号をＩＣテスタとの間でＧＰ−ＩＢ接続
された計測器で測定して校正を行うようにしたため、実
際のデバイス測定と同じ条件で校正が行われる。また外
部の計測器を用いて校正を行うためテスタ毎の器差がな
くなるという利点もある。
【図１】この発明の一実施例を示す構成ブロック図であ
る。
る。
【図２】従来の出力電圧補正回路の構成ブロック図であ
る。
る。
１ ＩＣテスタ ３ 基準抵抗 ４ 計測器 ５ 校正用ボード ６ テストヘッド ７ テストボード
Claims (1)
- 【請求項１】 ＩＣテスタ(1) の試料用電源から基準抵
抗(3) に所定の電流（又は電圧）を印加し、基準抵抗
(3) の両端電圧（又は通過電流）を測定することにより
ＩＣテスタ(1) を校正するＩＣテスタ用校正装置におい
て、 ＩＣテスタ(1) のテストヘッド(6) に装着され、テスト
ヘッド(6) からの校正用信号を受けるテストボード(7)
と、 テストボード(7) と配線により接続され、前記校正用信
号を搭載された前記基準抵抗(3) に印加する校正用ボー
ド(5) と、 ＩＣテスタ(1) にＧＰ−ＩＢ接続され、基準抵抗(3) に
印加された前記校正用信号に基づいて測定を行う計測器
(4) を設ける事を特徴とするＩＣテスタ用校正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5205794A JPH0743430A (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Ｉｃテスタ用校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5205794A JPH0743430A (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Ｉｃテスタ用校正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743430A true JPH0743430A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16512797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5205794A Pending JPH0743430A (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Ｉｃテスタ用校正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743430A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100352113B1 (ko) * | 2000-10-13 | 2002-09-12 | 주식회사 케이이씨 | 트랜지스터 테스트용 캘리브레이션 키트 |
| WO2003021277A3 (en) * | 2001-08-30 | 2003-07-10 | Teradyne Inc | Method and apparatus for calibration and validation of high performance dut power supplies |
| JP2006270063A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-10-05 | Seiko Instruments Inc | 半導体ウェハおよびそれを用いた半導体検査装置の校正方法 |
| JP2015055516A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 日置電機株式会社 | 基板検査装置、及び標準器 |
| KR102013644B1 (ko) * | 2018-11-13 | 2019-08-23 | 한국항공우주연구원 | 계측기 자동교정장비의 오차저감 장치 |
-
1993
- 1993-07-28 JP JP5205794A patent/JPH0743430A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100352113B1 (ko) * | 2000-10-13 | 2002-09-12 | 주식회사 케이이씨 | 트랜지스터 테스트용 캘리브레이션 키트 |
| WO2003021277A3 (en) * | 2001-08-30 | 2003-07-10 | Teradyne Inc | Method and apparatus for calibration and validation of high performance dut power supplies |
| JP2006270063A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-10-05 | Seiko Instruments Inc | 半導体ウェハおよびそれを用いた半導体検査装置の校正方法 |
| JP2015055516A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 日置電機株式会社 | 基板検査装置、及び標準器 |
| KR102013644B1 (ko) * | 2018-11-13 | 2019-08-23 | 한국항공우주연구원 | 계측기 자동교정장비의 오차저감 장치 |
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