JP2015055516A - 基板検査装置、及び標準器 - Google Patents

Abstract

【課題】可動ユニット側にプローブを切り換える接続切換部が設けられていても、基板の検査時に近い測定系で計測部の校正を行うことができる基板検査装置を提供する。【解決手段】基板検査装置１は、複数のプローブＰを備えるテストヘッド１４と、テストヘッド１４を移動させ、複数のプローブＰを検査対象の基板１００に接触させる移動機構４と、電気的特性の測定を行う計測部５と、複数のプローブＰの中から任意のプローブＰを計測部５に接続する接続切換部１１と、移動機構４の移動制御、接続切換部１１の切換制御、及び計測部５の計測制御を行う制御部６とを備え、移動機構４によって移動する可動ユニット３に、テストヘッド１４、及び接続切換部１１が備えられていると共に、計測部５の校正に用いられる標準器部１５、及び、接続切換部１１を介して計測部５に接続するための校正用切換部１２が備えられている。【選択図】図１

Description

本発明は、テストヘッドに固定された複数のプローブを検査対象の基板に接触させて検査を行う基板検査装置に関するものである。

導体パターンの形成された基板（プリント基板、又は回路基板とも呼ばれる）の良否を検査するために、基板検査装置が用いられている。基板検査装置は、導体パターン上の検査ポイントにプローブを接触させて、例えば導体パターンの抵抗やインダクタンス、導体パターン間の静電容量などの電気的特性を測定し、その値が許容範囲内であるか否かを判定して、基板の検査を行う。検査ポイントは、部品実装用のランドやビアなど、レジストが表面に形成されておらず、プローブを接触させることができる導体パターン上の部位に、予め設定される。

治具タイプと呼ばれる基板検査装置は、検査ポイントの数に相当する多数のプローブを備えている。これら多数のプローブは、テストヘッド（ピンヘッド）に固定されている。テストヘッドは、各プローブを各検査ポイントに一緒に接触させることができるように、各検査ポイントの位置に対応するように位置合わせして各プローブを支持している。基板の片面に検査ポイントが設定されている場合、テストヘッドは基板の片面側に配置され、基板の両面に検査ポイントが設定されている場合、対向する一対のテストヘッドが基板を挟むように基板の両面側に配置される。基板検査装置は、移動機構によってテストヘッドを基板に近づけて、各検査ポイントに各プローブを一緒に接触させる。

このような基板検査装置には、複数のプローブと、電気的特性を測定する計測部との間に、接続切換部が備えられている。基板検査装置は、接続切換部を制御して、計測部に電気的に接続するプローブを任意に切り換える（選択する）。基板検査装置は、予め決められた検査項目の順番に従い、各検査項目に対応するプローブの組を順番に計測部に電気的に接続し、各検査項目（各検査ポイント）に対する測定を順次実施していく。

例えば特許文献１には、プローブ（接触端子）を支持するテストヘッド（接触端子支持部）が移動機構によって移動する可動ユニット（可動部）に備えられていると共に、接続切換部（接続切換装置）も可動ユニットに備えられたプリント基板の検査装置が記載されている。同装置の計測部は、固定ユニット（固定部）に備えられている。接続切換部と多数のプローブとを接続するためには、プローブの数と同数の多くの数の配線が必要になる。そのため、接続切換部が固定ユニットに備えられている場合、固定ユニットと可動ユニットとを接続するために、多数の長い配線が必要であった。一方、特許文献１の装置のように、接続切換部を可動ユニットに備えることで、可動ユニット内で接続切換部と各プローブとが接続されるので、接続切換部とプローブとを接続する配線の長さを短くできると共に、固定ユニットと可動ユニットとを接続する配線の数を大幅に少なくすることができる。

特許第４３３８０５１号公報

計測部に対しては、測定値の信頼性を保つために、校正を行う必要がある。校正とは、例えばＪＩＳ Ｚ ８１０３規格によれば、計器又は測定系の示す値、若しくは実量器又は標準物質の表す値と、標準によって実現される値との間の関係を確定する一連の作業である。例えば計測部に標準器（測定標準）を接続し、計測部が標準器の値を示すように計測部を校正（設定）する。

計測部の校正は、基板検査時に近い測定系で行うことが測定値の信頼性の観点から好ましい。そのため、プローブまで含めて校正を行うことができればよいが、プローブは測定対象の基板の検査ポイントに対応させて配置されているため、基板の形態が変わるとプローブの配置される位置や数が変わってしまう。プローブの配置に合わせた標準器を基板の形態ごとに製作すると、標準器が高価なものになってしまうため、プローブを通して校正することは現実的でない。

特許文献１の背景技術に記載のように、接続切換部を可動ユニットに備えるようにする以前では、接続切換部は固定ユニットに備えられていた。そのため、接続切換部まで含めて計測部を校正することは、固定ユニット側だけで実施できるので、スペースの広い固定ユニットに標準器をコネクタ接続することで、簡便に行うことができた。一方、特許文献１の装置のように、接続切換部を可動ユニットに設けると、固定ユニットの計測部単体で校正を行わざるを得ない。

本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、可動ユニットにプローブを切り換える接続切換部が設けられていても、基板の検査時に近い測定系で計測部の校正を行うことができる基板検査装置を提供することを目的とする。

可動ユニットは移動すると共にスペースが狭い。そのため、可動ユニットの切換接続部を含めて計測部の校正を行うことは従来考えられていなかった。本発明者は、固定ユニット側だけで校正を行うという従来の発想を転換して、可動ユニットに標準器接続手段を設け、可動ユニットの接続切換部まで含めて計測部の校正を行うことに至った。

前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載された基板検査装置は、複数のプローブを備えるテストヘッドと、前記テストヘッドを移動させ、前記複数のプローブを検査対象の基板に接触させる移動機構と、電気的特性の測定を行う計測部と、前記複数のプローブの中から任意の前記プローブを前記計測部に接続する接続切換部と、前記移動機構の移動制御、前記接続切換部の切換制御、及び前記計測部の計測制御を行う制御部とを備え、前記移動機構によって移動する可動ユニットに、前記テストヘッド、及び前記接続切換部が備えられている基板検査装置であって、前記計測部の校正に用いられる標準器を、前記接続切換部を介して前記計測部に接続するための標準器接続手段が、前記可動ユニットに備えられていることを特徴とする。

請求項２に記載された基板検査装置は、請求項１に記載のものであり、前記標準器接続手段として、前記標準器と、前記接続切換部に前記プローブを接続するか前記標準器を接続するかを切り換える校正用切換部とが、前記可動ユニットに備えられていることを特徴とする。

請求項３に記載された基板検査装置は、請求項１に記載のものであり、前記標準器接続手段として、前記接続切換部に前記標準器を着脱可能に接続する着脱機構が前記可動ユニットに備えられていることを特徴とする。

請求項４に記載された基板検査装置は、請求項３に記載のものであり、前記着脱機構が、前記テストヘッドを前記可動ユニットに着脱可能に取り付けるものを兼ねており、前記テストヘッドに換えて、前記標準器が前記可動ユニットに着脱可能に取り付けられることを特徴とする。

請求項５に記載された基板検査装置は、請求項３に記載のものであり、前記着脱機構が、前記テストヘッドを前記可動ユニットに着脱可能に取り付けるものを兼ねており、前記テストヘッドに換えて、前記標準器に電気的に接続される中継器が前記可動ユニットに着脱可能に取り付けられることを特徴とする。

請求項６に記載された標準器は、複数のプローブを備えるテストヘッドと、前記テストヘッドを移動させ、前記複数のプローブを検査対象の基板に接触させる移動機構と、電気的特性の測定を行う計測部と、前記複数のプローブの中から任意の前記プローブを前記計測部に接続する接続切換部と、前記移動機構の移動制御、前記接続切換部の切換制御、及び前記計測部の計測制御を行う制御部と、前記テストヘッドを着脱可能に取り付けるための着脱機構、及び前記接続切換部が設けられていて前記移動機構によって移動する可動ユニットとを、備えている基板検査装置に対して、前記計測部の校正を行うときに用いられる標準器であって、前記着脱機構に着脱可能に形成されていることを特徴とする。

請求項７に記載された標準器は、請求項６に記載のものであり、前記標準器が配線ケーブルを介して接続される中継器を備え、前記中継器が前記着脱機構に着脱可能に形成されていることを特徴とする。

請求項８に記載された標準器は、請求項７に記載のものであり、前記標準器、及び／又は前記中継器が、前記配線ケーブルに着脱可能に接続されるコネクタを備えていることを特徴とする。

本発明の基板検査装置によれば、プローブを切り換える接続切換部、及びプローブを支持するテストヘッドを備える可動ユニットに、切換制御部を介して計測部に標準器を接続するための標準器接続手段を備えることで、計測部単体で校正を行う場合よりも、基板の検査時に近い測定系で計測部の校正を行うことができる。

標準器接続手段として、可動ユニット内に、標準器、及び、標準器を接続切換部に接続するための校正用切換部を備える場合、可動ユニット外の標準器を配線ケーブルで接続するときよりも、標準器を接続するための配線長が短くなり、配線抵抗や配線間の静電容量の影響を小さくできるため、基板の検査時に一層近い測定系で計測部の校正を行うことができる。又、校正時に標準器を準備して可動ユニットに繋げる必要が無いため、簡便、迅速に校正を行うことができる。

標準器接続手段として、接続切換部に標準器を着脱可能に接続するための着脱機構を可動ユニットに備える場合、校正時に標準器を取り付けることで、接続切換部を介して校正を行うことができる。

着脱機構が、テストヘッドを可動ユニットに着脱可能に取り付けるものを兼ねており、テストヘッドに換えて、標準器が可動ユニットに着脱可能に取り付けられる場合、標準器を取り付けるための着脱機構を別に設ける必要がないため、可動ユニットのサイズに全く影響しない。テストヘッドと同じ位置に標準器が取り付けられるので、測定時に一層近い測定系で校正を行うことができる。

着脱機構が、テストヘッドを可動ユニットに着脱可能に取り付けるものを兼ねており、テストヘッドに換えて、標準器に電気的に接続される中継器が可動ユニットに着脱可能に取り付けられる場合、標準器を取り付けるための着脱機構を別に設ける必要がないため、可動ユニットのサイズに全く影響しない。又、標準器の形状は着脱機構に影響されないので、標準器の形状の自由度が高くなる。

本発明の標準器は、テストヘッドの着脱機構に取り付けることができるので、基板の検査時に近い構成で、校正を行うことができる。テストヘッドの着脱機構に、標準器に配線ケーブルで接続される中継器を取り付ける場合、標準器の形状等の自由度を高くしつつ、基板の検査時に近い構成で、校正を行うことができる。標準器、及び／又は中継器が配線ケーブルに着脱可能に接続されるコネクタを備えている場合、配線ケーブルを取り外すことで、保管時に標準器や中継器が嵩張らなくなる。

本発明を適用する基板検査装置を示すブロック図である。 本発明を適用する基板検査装置の計測部を示すブロック図である。 本発明を適用する基板検査装置の可動ユニットを示すブロック図である。 本発明を適用する基板検査装置の接続切換部を示すブロック図である。 本発明を適用する基板検査装置の校正時の可動ユニットの要部を示すブロック図である。 本発明を適用する基板検査装置の校正時の可動ユニットの要部を示すブロック図である。 本発明を適用する基板検査装置の測定時の可動ユニットを示すブロック図である。 本発明を適用する基板検査装置のプローブのピン数を増設可能な可動ユニットを示すブロック図である。 本発明を適用する別の基板検査装置を示すブロック図である。 本発明を適用する別の基板検査装置の校正時の状態を示すブロック図である。 本発明を適用する別の基板検査装置の校正時の可動ユニットを示すブロック図である。 本発明を適用する別の基板検査装置の可動ユニットに着脱可能に取り付けられる標準器部（標準器）の外観を示す斜視図である。 図１２に示すＫ方向から見た標準器部（標準器）を示す平面図である。 本発明を適用するさらに別の基板検査装置の校正時の状態を示すブロック図である。 本発明を適用するさらに別の基板検査装置の校正時の可動ユニット示すブロック図である。 本発明を適用するさらに別の基板検査装置の可動ユニットに着脱可能に取り付けられる中継器の外観を示す斜視図である。 本発明を適用するさらに別の基板検査装置のプローブのピン数を増設可能な可動ユニットと、中継器の接続された標準器部とを示すブロック図である。

以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの例に限定されるものではない。

図１に、本発明を適用する基板検査装置１を示す。基板検査装置１は、基板固定機構２、可動ユニット３、移動機構４、計測部５、制御部６、表示部７、及び操作部８を備え、検査対象の基板１００の検査を実施するものである。

基板固定機構２、及び移動機構４は基板１００の検査ステージ（検査場所）に備え付けられている。計測部５、制御部６、表示部７、及び操作部８は、固定された固定ユニット（固定部）に備えられている。固定ユニットは複数の筐体を有して構成されている場合もある。

基板固定機構２は、公知のものであり、基板１００を所定の検査位置に位置決めして固定するものである。基板固定機構２は、後述するプローブＰに干渉しない位置に設けられている。基板固定機構２は、例えばモータ（不図示）を備え、基板１００の対向し合う１対又は２対の辺や角の縁を掴み、基板１００が撓まないようにテンションを掛けつつ対向する縁同士を適度に引っ張り合って、基板１００を所定の検査位置に固定する。

可動ユニット３は、テストヘッド１４、着脱機構１３、接続切換部１１、校正用切換部１２、及び標準器部１５を備えている。

テストヘッド１４は、複数のプローブＰを備えている。着脱機構１３は、テストヘッド１４を可動ユニット３に着脱可能に取り付けるものである。接続切換部１１は、複数のプローブＰの中から測定に用いるための任意のプローブＰを計測部５に電気的に接続するものである。接続切換部１１は、校正用切換部１２を介して、テストヘッド１４の各プローブＰに接続されている。校正用切換部１２は、接続切換部１１にテストヘッド１４のプローブＰを接続するか、接続切換部１１に標準器部１５を接続するかを切り換えるものである。標準器部１５は、計測部５の校正に用いられる標準器を備えている。

移動機構４は、可動ユニット３（テストヘッド１４）を移動させて、テストヘッド１４の複数のプローブＰを基板１００に接触させるものである。移動機構４は、公知のものであり、駆動用動力源となるモータ（不図示）をＸＹＺ軸（各移動軸）ごとに備え、同図に示すＸＹＺ軸方向にテストヘッド１４を移動可能に構成されている。

同図では、基板１００の片面（図の上側）に検査ポイントＴが設けられていて、可動ユニット３及び移動機構４が基板１００の片面側（図の上側）に設けられている例を示しているが、基板１００の両面に検査ポイントＴが設けられている場合には、一対の可動ユニット３及び移動機構４が、基板１００を挟み込むように、基板１００の両面側（図の上側及び下側）に設けられる。

計測部５は、従来の基板検査装置の計測部と同様のものであり、例えば抵抗、インダクタンス、静電容量などの電気的特性を測定するものである。計測部５は、接続切換部１１に接続されている。

制御部６は、基板検査装置１の各部の動作の制御や演算処理を実行するものであり、図示しないがＣＰＵ（中央演算処理装置）、記憶部、及び各部とのインタフェース回路などを備えている。記憶部は、書き換え可能な不揮発性メモリであり、一例として、フラッシュメモリなどの半導体メモリやハードディスクである。記憶部には、動作用のプログラムや、校正手順、校正結果、基板の固定位置、検査項目、検査項目の測定順番、検査項目に対する検査ポイント及びその位置、検査のための測定値の許容範囲、標準器の電気的特性の値などが予め記録されていると共に、検査時に測定値や検査結果が記録される。制御部６は、基板固定機構２の固定制御、移動機構４の移動制御、接続切換部１１の切換制御、校正用切換部１２の切換制御、及び計測部５の計測制御を行う。又、制御部６は、測定結果から基板の良否の判定処理を行う。更に、制御部６は、表示部７に表示する表示画面の表示処理や操作部８からの入力を判別する入力処理を行う。制御部６が汎用的なコンピュータを備えて構成されていてもよく、専用のハードウエアで構成されていてもよい。

表示部７は、画像を表示可能な表示画面を有する例えば液晶パネル、プラズマパネル、ＣＲＴ（陰極線管）などである。操作部８は、オペレータの操作で基板検査装置１に入力するためのものであり、例えばキーボードやマウスである。表示部７及び操作部８がタッチパネルで構成されている場合もある。

この基板検査装置１は、本発明における標準器接続手段の一例として、校正用切換部１２及び標準器部１５（標準器）を備えている。可動ユニット３に備えられた標準器接続手段（校正用切換部１２及び標準器部１５）は、計測部５の校正に用いられる標準器を、プローブＰを介さずに、接続切換部１１を介して計測部５に接続可能としている。

図２に、計測部５の具体例を示す。計測部５には、一例として、検査に必要な複数（２回路）の計測用回路２０（２０_１、２０_２）が備えられている。なお、必要性に応じて、計測部５に、計測用回路２０が１回路だけ備えられていてもよいし、３回路以上備えられていてもよい。計測用回路２０が複数備えられる場合、同種の計測用回路２０を備えてもよいし、異種の計測用回路２０を備えてもよい。同図の計測用回路２０_１、２０_２は、例えば、計測用回路２０_１が小抵抗測定用、計測用回路２０_２が大抵抗測定用の回路であったり、計測用回路２０_１が直流信号測定用、計測用回路２０_２が交流信号測定用の回路であったり、冗長性を持たせて計測用回路２０_１が現用で、計測用回路２０_２が予備用の回路であったり、計測用回路２０_１が抵抗測定用（電気的特性測定用）、計測用回路２０_２が静電容量測定用（他の電気的特性測定用）の回路であったりしてもよい。検査項目の必要性により、計測部５に設けられる計測用回路２０の種類や数が決められる。計測部５に同種の計測用回路２０_１と計測用回路２０_２とを備え、検査速度を高めるために検査順に交互に使用してもよい。

計測用回路２０_１は、一例として、４端子法で電気的特性を測定可能な回路であると共に、ガード電圧を出力可能な回路である。計測用回路２０_１は、例えば小抵抗測定用の計測回路であり、測定用信号を出力する信号源２１_１、信号源２１_１の出力する電流を測定する電流計２２_１、電圧を測定する電圧計２３_１、及びガード用アンプ２４_１を備えている。信号源２１_１は、電流計２２_１を介して一端が端子Ｈｃ１に、他端が端子Ｌｃ１に接続されている。電圧計２３_１は、一端が端子Ｈｐ１に、他端が端子Ｌｐ１に接続されている。ガード用アンプ２４_１は、非反転入力端子が端子Ｈｐ１に接続され、反転入力端子が端子Ｇｐ１に接続され、出力端子が端子Ｇｃ１に接続されている。信号源２１_１は、制御部６の制御によって、出力する電流（又は電圧）の値が制御される。電流計２２_１は、測定した電流の値をアナログ／デジタル変換してデジタル信号で制御部６に出力する。電圧計２３_１は、測定した電圧の値をアナログ／デジタル変換してデジタル信号で制御部６に出力する。各端子Ｈｐ１、Ｈｃ１、Ｌｐ１、Ｌｃ１、Ｇｐ１、Ｇｃ１は、可動ユニット３の接続切換部１１に配線ケーブルで接続されている。

計測用回路２０_２は、一例として、４端子法で電気的特性を測定可能な回路であると共に、ガード電圧を出力可能な回路である。計測用回路２０_２は、例えば計測用回路２０_１よりも大抵抗測定用の計測回路であり、同図に示すように、信号源２１_２、電流計２２_２、電圧計２３_２、及びガード用アンプ２４_２を備えている。これらの接続は、計測用回路２０_１と同様に接続されている。信号源２１_２は制御部６に制御される。電流計２２_２及び電圧計２３_２の測定値はデジタル信号で制御部６に各々出力される。計測用回路２０_２は、端子Ｈｐ２、Ｈｃ２、Ｌｐ２、Ｌｃ２、Ｇｐ２、Ｇｃ２を備え、これらは、可動ユニット３の接続切換部１１に配線ケーブルで接続されている。

なお、計測用回路２０がガード電圧用の回路（ガード用アンプ２４）を備えていなくてもよいし、計測用回路２０が２端子法で測定を行う回路であってもよい。計測用回路２０は検査に必要な電気的特性を測定するものであれば、どのような回路であってもよい。

図３に、可動ユニット３の具体例を示す。前述したように、可動ユニット３は、接続切換部１１、校正用切換部１２、着脱機構１３、及び標準器部１５を備えると共に、着脱可能なテストヘッド１４を備えている。同図は、テストヘッド１４が着脱機構１３に取り付けられる前の状態を示している。

接続切換部１１の詳細な回路例を、図４に示す。接続切換部１１は、切換制御回路３１、及びスイッチ回路３２を備えている。切換制御回路３１は、制御部６（図１参照）に接続されていて、制御部６の出力する指示信号Ｃｎｔ１に従い、スイッチ回路３２の切り換えを制御する。

スイッチ回路３２は、任意のプローブＰを計測部５（図２参照）に繋げるように、プローブＰを選択的に切り換えるための多数のスイッチＳ１_１〜Ｓ１_６、Ｓ２_１〜Ｓ２_６、Ｓ３_１〜Ｓ３_３、Ｓ_Ｐ１−１〜Ｓ_{Ｐ６４−３}を備えている。可動ユニット３を小型化するために、各スイッチＳ１_１〜Ｓ１_６、Ｓ２_１〜Ｓ２_６、Ｓ３_１〜Ｓ３_３、Ｓ_Ｐ１−１〜Ｓ_{Ｐ６４−３}は、小型のものであることが好ましく、例えば半導体スイッチを用いることが好ましい。

スイッチ回路３２には、計測部５の端子Ｈｐ１、Ｈｃ１、Ｌｐ１、Ｌｃ１、Ｇｐ１、Ｇｃ１、及び端子Ｈｐ２、Ｈｃ２、Ｌｐ２、Ｌｃ２、Ｇｐ２、Ｇｃ２が接続されている。計測部５の計測用回路２０_１（図２参照）を使って測定する場合、端子Ｈｐ１〜Ｇｃ１の繋がるスイッチＳ１_１〜Ｓ１_６がオン（接）、端子Ｈｐ２〜Ｇｃ２の繋がるスイッチＳ２_１〜Ｓ２_６がオフ（断）に制御される。計測用回路２０_２（図２参照）を使って測定する場合、スイッチＳ１_１〜Ｓ１_６がオフ、スイッチＳ２_１〜Ｓ２_６がオンに制御される。計測用回路２０_１、２０_２によって４端子法で測定する場合、スイッチＳ３_１、Ｓ３_２はオフに制御され、２端子法で測定する場合、スイッチＳ３_１、Ｓ３_２はオンに制御される。ガード電圧を使う場合、スイッチＳ３_３がオフに制御され、ガード電圧を使わない場合、スイッチＳ３_３がオンに制御される。

計測部５の計測用回路２０_１、２０_２が４端子法で測定する場合、基板１００の１つの検査ポイントＴに、近接配置された２本の組のプローブＰ、Ｐ（図７参照）を接触させる必要がある。そのため、スイッチ回路３２は、同じ検査ポイントＴに接触させる必要のある組の端子Ｈｐ１、Ｈｃ１を任意の組のプローブＰ、Ｐに接続切換し、組の端子Ｌｐ１、Ｌｃ１を任意の組のプローブＰ、Ｐに接続切換し、組の端子Ｇｐ１、Ｇｃ１を任意の組のプローブＰ、Ｐに接続切換できるように、同図に示すようなスイッチＳ_ｐ１−１〜Ｓｐ_６４−３が接続されている。例えば、計測用回路２０_１を使って、端子Ｈｐ１を端子Ａ４（プローブＰ４）に接続し、端子Ｈｃ１を端子Ａ３（プローブＰ３）に接続し、端子Ｌｐ１を端子Ａ２（プローブＰ２）に接続し、端子Ｌｃ１を端子Ａ１（プローブＰ１）に接続する場合、スイッチＳ１_１〜Ｓ１_４、Ｓ_ｐ４−１、Ｓ_ｐ３−１、Ｓ_ｐ２−２、Ｓ_ｐ１−２をオンに制御し、他をオフに制御する。

図３に戻って校正用切換部１２について説明する。校正用切換部１２は、校正制御回路４１、及びスイッチ回路４２を備えている。校正制御回路４１は、制御部６に接続されていて、制御部６の出力する指示信号Ｃｎｔ２に従い、スイッチ回路４２の切り換えを制御する。

スイッチ回路４２は、接続切換部１１にプローブＰが電気的に接続されるか、接続切換部１１に標準器部１５（標準器）が電気的に接続されるかを切り換えるための複数のスイッチＳ４_１〜Ｓ４_８を備えている。可動ユニット３を小型化するために、各スイッチＳ４_１〜Ｓ４_８は、小型のものであることが好ましく、例えば半導体スイッチを用いることが好ましい。

スイッチ回路４２には、一例として、接続切換部１１の端子Ａ（Ａ１〜Ａ６４）の内、標準器部１５（標準器）に接続するのに必要な数の端子Ａ（Ａ１〜Ａ８）が接続されている。これら端子Ａ（Ａ１〜Ａ８）は、スイッチ回路４２のスイッチＳ４（Ｓ４_１〜Ｓ４_８）の共通端子に接続されている。各々のスイッチＳ４は、２接点を有し、スイッチＳ４の一方の接点は、付勢端子Ｂに接続され、他方の接点は標準器部１５に接続されている。

なお、校正用切換部１２に汎用性を持たせるため、全ての端子Ａ（Ａ１〜Ａ６４）の接続を標準器部１５側に切り換えられるように、スイッチ回路４２に端子Ａの数と同数のスイッチＳ４（Ｓ４_１〜Ｓ４_６４）を備えるようにしてもよい。

標準器部１５は、計測部５の校正に用いる標準器を備えている。計測部５の校正を行うために、複数の標準器が必要である場合、標準器部１５は、計測部５の校正に必要な複数の標準器を全て備えていることが好ましい。同図では、標準器部１５が、標準器の一例である抵抗Ｒ１、及び他の標準器の一例である抵抗Ｒ２を備えている例を示している。一例として、抵抗Ｒ１は、計測用回路２０_１（図２参照）用の標準器であり、抵抗Ｒ２は、計測用回路２０_２（図２参照）用の標準器である。計測用回路２０_１（２０_２）が測定レンジを切り換え可能な回路であり、校正時に測定レンジに対応する複数の異なる標準器が必要である場合、図示しないが、標準器部１５には、各測定レンジに対応する複数の異なる標準器を全て設けるようにする。

標準器（抵抗Ｒ１、Ｒ２）には、校正に必要な電気的特性（特性値の精度や温度特性など）を有するものを用いる。例えば、抵抗Ｒ１は１．００００Ω、抵抗Ｒ２は１００．００ｋΩのものである。

標準器は、校正に用いられるものであれば、どのようなものであってもよい。例えば、標準器として、抵抗、コイル、コンデンサ、ダイオードなどの電気素子や、定電圧回路（定電圧源）、定電流回路（定電流源）などの電気回路が例示できる。校正に解放（オープン）、短絡（ショート）が必要であれば、標準器として、開放状態の配線、短絡状態の配線を設けてもよい。標準器の電気的特性が温度で変動しないように、容器内を一定の温度に保つ恒温容器を可動ユニット３に設け、この恒温容器に標準器部１５（標準器）を収容してもよい。又、標準器の電気的特性が温度変動する場合、標準器部１５に温度センサを備えると共に、温度に対する標準器の電気的特性を予め測定しておき、制御部６が温度センサの検出温度で標準器の電気的特性を換算するようにしてもよい。

同図の例では、計測部５（図２参照）が４端子法で測定可能なものなので、抵抗Ｒ１の電気的特性（抵抗）を４端子法で測定するように、抵抗Ｒ１の一方の端子にスイッチＳ４_４及びスイッチＳ４_３の他方の接点が接続され、抵抗Ｒ１の他方の端子にスイッチＳ４_２及びスイッチＳ４_１の他方の接点が接続される。同様に、抵抗Ｒ２の一方の端子にスイッチＳ４_８及びスイッチＳ４_７の他方の接点が接続され、抵抗Ｒ２の他方の端子にスイッチＳ４_６及びスイッチＳ４_５の他方の接点が接続される。

接続切換部１１、校正用切換部１２、及び標準器部１５は、一例として、１枚の基板上に実装されて形成されている。このように１枚の基板で形成すると、小型化できるため好ましい。

着脱機構１３は、テストヘッド１４を着脱可能に可動ユニット３に取り付ける機構である。着脱機構１３は、テストヘッド１４を物理的に可動ユニット３に着脱可能に取り付けるための固定部材４６、及び、テストヘッド１４と可動ユニット３とを着脱可能に電気的に接続するためのコネクタになる付勢端子Ｂ（Ｂ１〜Ｂ６４）を備えている。

固定部材４６は、テストヘッド１４を可動ユニット３に着脱可能に取り付けることができれば、どのような構造であってもよいが、テストヘッド１４を簡便に取り付けでき、簡便に取り外しできる構造であることが好ましい。例えば、固定部材４６は、テストヘッド１４を溝に差し込んだり、同図に示すような固定用のレバーを掛けたりするだけで、ワンタッチで取り付けられる構造であることが好ましい。なお、着脱性は良くないが、固定部材４６が、ねじ、ナット、ボルトなどの締め付けでテストヘッド１４を可動ユニット３に固定する構造であってもよい。

付勢端子Ｂは、先端を出すように外筒に入れられた導電性の棒状部材が、外筒内に設けられたスプリングでテストヘッド１４方向に付勢されているものである。付勢端子Ｂは、先端が付勢力に対抗して押されると、外筒内に押し込まれる。付勢端子Ｂの外筒は、付勢端子支持基材４５に支持されている。付勢端子支持基材４５は、絶縁性樹脂製の平板である。この付勢端子支持基材４５に、付勢端子Ｂの外筒が丁度通る径の孔を等間隔で開け、各孔に付勢端子Ｂを貫通させて、接着等により付勢端子Ｂが固定されている。

テストヘッド１４は、複数のピン端子Ｃ（Ｃ１〜Ｃ６４）、ピン端子支持基材５１、複数のプローブＰ（Ｐ１〜Ｐ６４）、及びプローブ支持基材５２を備え、これらが例えばアルミニウム等の金属、又は樹脂で形成されたフレームや容器に備えられている。

ピン端子Ｃは、導電性の金属棒である。ピン端子Ｃは、付勢端子Ｂに接続されるコネクタになっている。各ピン端子Ｃは、着脱機構１３の付勢端子Ｂと接触するように、付勢端子Ｂに丁度対向する位置に配置されている。ピン端子Ｃの上部（図の上部）は、平坦な皿頭状に形成されていて、付勢端子Ｂの先端が接触し易くなっている。ピン端子支持基材５１は、絶縁樹脂製の平板である。このピン端子支持基材５１に、ピン端子Ｃが丁度通る径の孔を等間隔で開け、各孔にピン端子Ｃを貫通させて、接着等によりピン端子Ｃが固定されている。ピン端子支持基材５１は、ピン端子Ｃの皿頭状部分がテストヘッド１４の上方（図の上方）に表出するように、テストヘッド１４に固定されている。なお、付勢端子Ｂ及びピン端子Ｃは、電気的に接続可能な端子であれば、どのような構造のものであってもよい。

プローブＰは、導電性の金属棒である。プローブＰは、検査ポイントＴ（図７参照）に確実に接触して導通するために、基板１００（図７参照）に押圧されたときに若干撓む弾性を有している。プローブ支持基材５２は、絶縁性樹脂製の平板である。このプローブ支持基材５２に、プローブＰが丁度通る径の孔を、基板１００の検査ポイントＴの位置及び数に対応させて開け、各孔にプローブＰを貫通させて、接着等によりプローブＰが固定されている。プローブ支持基材５２は、プローブＰの先端がテストヘッド１４の下方（図の下方）に突出するように、テストヘッド１４に固定されている。

各ピン端子Ｃ（Ｃ１〜Ｃ６４）と、各プローブＰ（Ｐ１〜Ｐ６４）とは、各々対応するように、テストヘッド１４内で配線接続されている。

次に、基板検査装置１の校正時の動作について説明する。

校正は、テストヘッド１４が可動ユニット３に取り付けられていても、取り外されていても行うことができる。図７に示すように、テストヘッド１４のプローブＰが基板１００に接触した状態であっても、校正を行うことができる。

オペレータは、図１に示す操作部８を操作して、校正の実行を指示する。制御部６は、操作部８の操作により、校正の実行が指示されると、予め決められた校正手順に従って校正を開始する。又、制御部６は、校正が開始されたことを、表示部７（図１参照）に表示する。ここでは、一例として、制御部６は、先ず、図２に示す計測部５の計測用回路２０_１の校正を実行し、次に、計測用回路２０_２の校正を実行するものとして説明する。

図５に、計測用回路２０_１の校正を実行するときの可動ユニット３の状態を、等価的に示す。計測用回路２０_１の校正を実行するために、制御部６は、指示信号Ｃｎｔ１を接続切換部１１に出力して、スイッチ回路３２を切換制御する。この切換制御により、同図に示すように、スイッチ回路３２は、端子Ｈｐ１と端子Ａ４とを接続し、端子Ｈｃ１と端子Ａ３とを接続し、端子Ｌｐ１と端子Ａ２とを接続し、端子Ｌｃ１と端子Ａ１とを接続する。又、制御部６は、指示信号Ｃｎｔ２を校正用切換部１２に出力して、スイッチ回路４２を切換制御する。この切換制御により、抵抗Ｒ１に繋がるスイッチＳ４（Ｓ４_１〜Ｓ４_４）が、抵抗Ｒ１側に切り換えられる。校正時に、全てのスイッチＳ４（Ｓ４_１〜Ｓ４_８）を、標準器部１５側に切り換えてもよい。この制御により、端子Ａ４、Ａ３が、抵抗Ｒ１の一方の端子に接続され、端子Ａ２、Ａ１が抵抗Ｒ１の他方の端子に接続される。従って、計測部５の端子Ｈｐ１、Ｈｃ１が抵抗Ｒ１の一方の端子に接続され、端子Ｌｐ１、Ｌｃ１が抵抗Ｒ１の他方の端子に接続されて、４端子法で抵抗Ｒ１の抵抗値の測定が可能になる。

制御部６は、図２に示す計測用回路２０_１の信号源２１_１に計測用信号を出力させ、電流計２２_１、電圧計２３_１から電流、電圧の値を得て、電気的特性の一例としてオームの法則から抵抗値を算出する。制御部６は、算出した抵抗値と、抵抗Ｒ１の既知の抵抗値との差を求めて記憶し、この差を考慮して計測用回路２０_１の測定結果が得られるように、校正する。測定が終了したときに、制御部６は、計測用回路２０_１の出力を停止する。

次に、制御部６は、計測用回路２０_２の校正を実行する。

図６に、計測用回路２０_２の校正を実行するときの可動ユニット３の状態を、等価的に示す。計測用回路２０_２の校正を実行するために、制御部６は、指示信号Ｃｎｔ１を接続切換部１１に出力すると共に、指示信号Ｃｎｔ２を校正用切換部１２に出力して、同図の接続になるように、スイッチ回路３２及びスイッチ回路４２を切り換える。これにより、計測用回路２０_２の端子Ｈｐ２、Ｈｃ２が抵抗Ｒ２の一方の端子に接続され、端子Ｌｐ２、Ｌｃ２が抵抗Ｒ２の他方の端子に接続されて、４端子法で抵抗Ｒ２の抵抗値の測定が可能になる。

制御部６は、図２に示す計測用回路２０_２の信号源２１_２に計測用信号を出力させ、電流計２２_２、電圧計２３_２から電流、電圧の値を得て、抵抗値を算出する。制御部６は、算出した抵抗値と、抵抗Ｒ２の既知の抵抗値との差を求めて記憶し、この差を考慮して計測用回路２０_２の測定結果が得られるように校正する。測定が終了したときに、制御部６は、計測用回路２０_２の出力を停止する。

以上で、計測部５（計測用回路２０_１、２０_２）の校正が完了する。制御部６は、校正が終了したことを、表示部７に表示させる。校正は接続切換部１１を通して行われるため、基板１００の検査時に近い測定系で校正を行うことができる。又、校正用切換部１２及び標準器部１５は、電気回路的にさほど大きくないので省スペースであり、可動ユニット３のサイズに殆ど影響しない。

次に、基板検査装置１の検査時の動作について説明する。

図７に、検査状態の基板固定機構２及び可動ユニット３を示す。同図に示すように、基板固定機構２は、制御部６（図１参照）の制御により、基板１００を所定の検査位置に固定する。なお、基板固定機構２を、制御部６の制御によらず、例えばオペレータの手動操作で所定の検査位置に固定するようにしてもよい。

可動ユニット３の着脱機構１３には、テストヘッド１４が取り付けられる。付勢端子Ｂは、ピン端子Ｃに押し上げられている。オペレータがテストヘッド１４を取り付けるときは、制御部６の制御により、移動機構４が可動ユニット３を基板固定機構２の上空に移動させる。

オペレータが操作部８（図１参照）を操作して、検査を開始させると、制御部６は、移動機構４を制御して可動ユニット３を移動させ、同図に示すように、基板１００の検査ポイントＴ（Ｔ１〜Ｔ３２）に、プローブＰ（Ｐ１〜Ｐ６４）を接触させる。

検査を行うときには、制御部６は、指示信号Ｃｎｔ２を校正用切換部１２に出力して、同図に示すように、スイッチ回路４２の全てのスイッチＳ４（Ｓ４_１〜Ｓ４_８）の接点を、プローブＰ側に接続するように切り換える。これにより、接続切換部１１の全ての端子Ａ１〜Ａ６４に、それぞれプローブＰが電気的に接続される。制御部６は、接続切換部１１に指示信号Ｃｎｔ１を出力して、計測部５に接続されるプローブＰを検査項目の順番に従って順次切り換え、各検査項目（検査ポイントＴ）に対する電気的特性を順次測定し、各々の測定結果が許容範囲内にあるか否かを判別して、基板１００の検査を実行する。計測部５は接続切換部１１を含めて校正されているので、測定結果は正確である。従って、正確な検査結果が得られる。

全ての検査項目に対する検査が終了すると、制御部６は、基板１００の検査結果を表示部７に表示する。以上で、検査が終了する。

なお、標準器部１５を可動ユニット３内に配置せずに、可動ユニット３に標準器部１５を着脱可能に取り付ける着脱機構（例えばコネクタ）を、着脱機構１３とは別に設けてもよい。又、着脱機構１３を設けずに、可動ユニット３にテストヘッド１４が固定されていてもよい。

次に、プローブＰの数を簡便に増設可能な可動ユニット３について説明する。

検査ポイントＴの数は検査対象の基板の態様によって異なり、基板によっては数百〜数千個の検査ポイントＴが設定される場合もある。検査ポイントＴの数に対応させて、図３〜図７に示したスイッチやプローブＰの数を適宜増減すればよいが、この増減を簡便に行えるようにすることが好ましい。

図８に、プローブＰ（検査ポイントＴ）の数の増減に簡便に対応することができる可動ユニット３のブロック図を示す。この可動ユニット３には、ｎ枚のボード（基板）ＢＤを収容可能な収容棚（不図示）が設けられている。

同図に示すボードＢＤ（ＢＤ１〜ＢＤｎ）は、各々同様に構成されたものであり、所定数（例えば６４本）のプローブＰに対応可能な接続切換部１１、校正用切換部１２、及び標準器部１５を備えている。これらの各部１１、１２、１５は、図３〜図７のものと同様である。各ボードＢＤには、各々に、計測部５の端子Ｈｐ１、Ｈｃ１、Ｌｐ１、Ｌｃ１、Ｇｐ１、Ｇｃ１、端子Ｈｐ２、Ｈｃ２、Ｌｐ２、Ｌｃ２、Ｇｐ２、Ｇｃ２が接続されている。又、各ボードＢＤには、制御部６から指示信号Ｃｎｔ１、Ｃｎｔ２が接続されている。制御部６は、何れのボードＢＤに対する指示かを判別可能に、指示信号Ｃｎｔ１、Ｃｎｔ２を出力する。例えば、各ボードＢＤを収容したときに、各ボードＢＤに接続されるコネクタが可動ユニット３に実装されていて、このコネクタを介して、計測部５及び制御部６の各端子が接続されるようになっている。

ボードＢＤ１には、付勢端子Ｂ１〜Ｂ６４が接続され、ボードＢＤ２には、付勢端子Ｂ６５〜Ｂ１２８が接続され、ボードＢＤｎには、付勢端子Ｂ[６４×（ｎ−１）＋１]〜Ｂ[６４×ｎ]が接続されている。ボードＢＤを増設するときに、対応する付勢端子Ｂを増設してもよいし、付勢端子Ｂ１〜Ｂ[６４×ｎ]を最初から全て設けておき、ボードＢＤだけを増設するようにしてもよい。この可動ユニット３に着脱されるテストヘッド（図示せず）には、付勢端子Ｂに対応する端子Ｃが設けられる。ボードＢＤに繋がる端子Ｃに、プローブＰが接続される。

このような可動ユニット３を用いることで、１枚〜ｎ枚の任意の数のボードＢＤを装着することで、ボードＢＤ単位でプローブＰの数を簡便に増設することができる。全てのボードＢＤが、接続切換部１１、校正用切換部１２及び標準器部１５を備えているので、いずれのボードＢＤを用いても、計測部５を校正することができる。

又、いずれかのボードＢＤを用いて計測部５を校正した後には、各ボードＢＤの標準器は全て同様の既知の値で測定されるはずである。そのため、計測部５を校正した後に、計測部５が各々のボードＢＤの有している標準器部１５（標準器）の電気的特性を測定し、その測定結果が標準器の既知の値として測定されるか否かを制御部６が判別することで、各ボードＢＤが正常か否かをセルフチェックするようにしてもよい。この場合、制御部６は、標準器の電気的特性が既知の値で測定されたボードＢＤを正常であると判定し、標準器の電気的特性が既知の値で測定されないボードＢＤを異常であると判定する。

なお、少なくとも１枚のボードＢＤが校正用切換部１２及び標準器部１５を備えていれば、計測部５の校正を行うことができる。そのため１枚のボードＢＤ（例えばボードＢＤ１）が、接続切換部１１、校正用切換部１２及び標準器部１５を備え、残りの他のボードＢＤ（例えばボードＢＤ２〜ＢＤｎ）が、校正用切換部１２及び標準器部１５を備えずに接続切換部１１だけを備えるようにしてもよい。このようにすると他のボードＢＤの構成が簡便になる。

又、複数のボードＢＤに、標準器を分散して配置してもよい。例えば、ボードＢＤ１に標準器となる抵抗Ｒ１を備え、ボードＢＤ２に標準器となる抵抗Ｒ２を備えるようにしてもよい。

次に、本発明を適用する別の基板検査装置１ｂについて説明する。なお、既に説明した同様の構成については同じ符号を付して、詳細な説明を省略すする。

図９に示す基板検査装置１ｂは、基板固定機構２、可動ユニット３ｂ、移動機構４、計測部５、制御部６ｂ、表示部７、及び操作部８を備えている。可動ユニット３ｂには、接続切換部１１、着脱機構１３、及びテストヘッド１４が備えられている。制御部６ｂは、移動機構４を制御して可動ユニット３ｂを移動させ、プローブＰを基板１００に接触させて、基板１００の検査を行う。

着脱機構１３は、前述した基板検査装置１で詳述したように、テストヘッド１４を着脱可能に可動ユニット３ｂに取り付けるものである。又、図１０に示すように、着脱機構１３は、本発明における標準器接続手段になっていて、標準器部１６を着脱可能に可動ユニット３ｂに取り付けるものである。つまり、着脱機構１３は、テストヘッド１４の着脱機構と、標準器部１６の着脱機構とを兼ねている。言い換えると、テストヘッド１４の形状が着脱機構１３に着脱可能な形状で形成されていると共に、標準器部１６（標準器）の形状が着脱機構１３に着脱可能な形状で形成されている。テストヘッド１４が着脱機構１３に取り付けられると、テストヘッド１４のプローブＰと接続切換部１１とが電気的に接続され、標準器部１６が着脱機構１３に取り付けられると、標準器部１６の標準器と接続切換部１１とが電気的に接続される。

図１１に、可動ユニット３ｂ及び標準器部１６の具体例を示す。可動ユニット３ｂは、接続切換部１１の端子Ａ（Ａ１〜Ａ６４）が、対応する付勢端子Ｂ（Ｂ１〜Ｂ６４）に接続されている。

標準器部１６は、テストヘッド１４（図３参照）と同様に、ピン端子Ｃ（Ｃ１〜Ｃ６４）を備えている。ピン端子Ｃは、標準器部１６が着脱機構１３に取り付けられたときに、付勢端子Ｂと接触するように、等間隔にピン端子支持基材５１に固定されている。標準器部１６内には、一例として、標準器となる抵抗Ｒ１、及び他の標準器となる抵抗Ｒ２が配置されている。抵抗Ｒ１の一方の端子には、ピン端子Ｃ４、Ｃ３が接続され、抵抗Ｒ１の他方の端子には、ピン端子Ｃ２、Ｃ１が接続されている。抵抗Ｒ２の一方の端子には、ピン端子Ｃ８、Ｃ７が接続され、抵抗Ｒ２の他方の端子には、ピン端子Ｃ６、Ｃ５が接続されている。

次に、基板検査装置１ｂの校正時の動作について説明する。

校正を行うときに、オペレータが標準器部１６を着脱機構１３に取り付ける。続いて、オペレータが操作部８（図１０参照）を操作して、校正を開始させる。制御部６ｂ（図１０参照）は、校正を開始すると、接続切換部１１を制御して、計測部５の計測用回路２０_１（図２参照）に抵抗Ｒ１を接続し、抵抗Ｒ１の抵抗を測定して抵抗Ｒ１の既知の抵抗値との差を演算し、計測用回路２０_１の校正を行う。続いて、制御部６ｂは、接続切換部１１を制御して、計測部５の計測用回路２０_２（図２参照）に抵抗Ｒ２を接続し、抵抗Ｒ２の抵抗を測定して抵抗Ｒ２の既知の抵抗値との差を演算し、計測用回路２０_２の校正を行う。以上で、校正が終了する。

図１２に、標準器部１６の外観例として斜視図を示す。標準器部１６は、一例として、アルミニウム合金製のフレーム６１に、金属製のカバー６３がねじ止めされている。フレーム６１及びカバー６３は、内部に収容された標準器を覆ってシールドしている。フレーム６１には、着脱機構１３に係合して取り付けられるための係合部６２が形成されている。また、フレーム６１には、可搬性を向上するために、取っ手６４が形成されている。フレーム６１は、テストヘッド１４と共通のものであることが好ましい。

図１３に、図１２に示すＫ方向から見た標準器部１６の平面図を示す。この平面図は、図示しないが、テストヘッド１４の平面図と同様である。同図に示すように、グループＵ（Ｕ１〜Ｕ６）ごとにピン端子支持基材５１に端子Ｃが固定されていて、グループＵ単位でピン端子Ｃの増設が可能になっている。一例として、１つのグループＵには、ピン端子Ｃが縦６４ピン×横３２ピン＝２０４８ピン設けられている。グループＵ１〜Ｕ６を全て実装すると、２０４８ピン×６グループ＝１２２８８ピンまで増設できる。可動ユニット３ｂ（図１７の可動ユニット３ｂ参照）が、ボード（基板）ＢＥ（図１７参照）を増設することで、６４ピン分に対応する接続切換部１１をボードＢＥ単位で増設可能な場合、１つのグループＵが３２枚のボードＢＥに対応している。つまり、可動ユニット３は、１つのグループＵに対し、３２枚までボードＢＥを増設できるようになっている。グループＵ１〜Ｕ６の全てを使う場合、可動ユニット３ｂに、３２枚×６グループ＝１９２枚のボードＢＥを増設できるようになっている。

図１３に示す標準器部１６には、少なくとも１枚のボードＢＥ（図１７参照）を使用して計測部５の校正が行えるように、少なくとも何れか１枚のボードＢＥに繋がるように１つ（１組）の標準器（例えば抵抗Ｒ１、Ｒ２）を設けてもよい。また、使用する複数のボードＢＥに繋がるように、ボードＢＥの数と同数（同数の組）の標準器を設けてもよい。又、汎用性を持たせるため、ｎ枚の全てのボードＢＥに繋がるように、ｎ個（ｎ組）の標準器を設けておいても良い。例えば、１９２枚の全てのボードＢＥの各々に標準器を接続する場合、標準器部１６に、標準器（抵抗Ｒ１、Ｒ２）をボードＢＥの数に相当する１９２組設ける。

基板検査装置１ｂとして、テストヘッド１４を着脱可能な従来の基板検査装置を用い、標準器部１６として、テストヘッド１４の着脱機構に取り付け可能な形状に、標準器を形成してもよい。この場合、従来の基板検査装置に設けられた制御部の動作用プログラムを、校正時に接続切換部を制御して、標準器部１６の標準器が計測部に接続されるように変更する。

次に、本発明を適用する別の基板検査装置１ｃについて説明する。

基板検査装置１ｃは、図９に示した基板検査装置１ｂと同様の構成を有しているが、標準器を接続する形態が基板検査装置１ｂと異なっている。

図１４に示すように、基板検査装置１ｃでは、標準器部１８が中継器１７を備えている。標準器部１８（標準器）に配線ケーブル１９で電気的に接続されている中継器１７を着脱機構１３に取り付けることによって、標準器部１８（標準器）が接続切換部１１に電気的に接続される。中継器１７は、着脱機構１３に着脱可能に取り付けられる形状に形成されている。着脱機構１３が、本発明における標準器接続手段になっている。

図１５に、可動ユニット３ｂ、中継器１７、及び標準器部１８の具体例を示す。

中継器１７は、テストヘッド１４（図３参照）と同様に、ピン端子Ｃ（Ｃ１〜Ｃ６４）を備えている。ピン端子Ｃは、中継器１７が着脱機構１３に取り付けられたときに、付勢端子Ｂと接触するように、等間隔にピン端子支持基材５１に固定されている。中継器１７の上側（図の上側）にピン端子Ｃが設けられ、一例として、他の側（一例として下側）に標準器部１８を電気的に接続するためのコネクタ７１が設けられている。各ピン端子Ｃとコネクタ７１の各端子は、配線接続されている。

標準器部１８には、標準器となる抵抗Ｒ１、Ｒ２が設けられている。抵抗Ｒ１、Ｒ２は、標準器部１８に設けられたコネクタ７４に、４端子法で測定可能に、各端子から２本ずつ、配線接続されている。中継器１７と標準器部１８とは、配線ケーブル１９によって着脱可能に接続される。配線ケーブル１９は、例えば６４芯の平形ケーブル（リボンケーブル）であり、一端にコネクタ７２が接続されおり、他端にコネクタ７３が接続されている。中継器１７のコネクタ７１に配線ケーブル１９のコネクタ７２が差し込まれ、標準器部１８のコネクタ７４に配線ケーブル１９のコネクタ７３が差し込まれて、中継器１７と標準器部１８とが連結される。これらコネクタ７１〜７４は、挿抜可能（着脱可能）なものである。このように中継器１７と標準器部１８とをコネクタ７１〜７４の挿抜で分離できるようにしておくと、保管時に嵩張らないため好ましい。なお、コネクタ７１、７２を用いずに中継器１７と配線ケーブル１９とを分離不能に直に接続してもよく、コネクタ７３、７４を用いずに配線ケーブル１９と標準器部１８とを分離不能に直に接続してもよく、コネクタ７１〜７４を用いずに中継器１７と標準器部１８とを配線ケーブル１９で分離不能に直に接続してもよい。

基板検査装置１ｃの校正時には、オペレータが、標準器部１８に接続された中継器１７を、着脱機構１３に取り付ける。取り付け後の校正時の装置の動作は、基板検査装置１ｂと同様である。

基板検査装置１ｃとして、テストヘッド１４を着脱可能な従来の基板検査装置を用い、テストヘッド１４の着脱機構に取り付け可能な形状に、中継器１７を形成してもよい。この場合、従来の基板検査装置に設けられた制御部の動作用プログラムを、校正時に接続切換部１１を制御して、中継器１７を介して標準器部１８の標準器が計測部に接続されるように変更する。

図１６に、中継器１７の外観例として斜視図を示す。Ｋ方向から見た中継器１７の平面図は、図１３と同様である。

中継器１７は、一例として、アルミニウム合金製のフレーム６１に、複数のコネクタ７１を備えている。各コネクタ７１には、配線ケーブル１９のコネクタ７２が挿抜可能である。一例として、１つのコネクタ７１で、図１３に示すピン端子の縦６４ピン×８列＝５１２ピンに接続が可能になっている。６４ピンごとに接続切換部１１を有する１枚のボードＢＥを可動ユニット３ｂに増設していく場合（図１７の可動ユニット３ｂ参照）、１つのコネクタ７１で８枚のボードＢＥ（図１７参照）に接続することができる。校正は、いずれか１つのコネクタ７１に、標準器部１８に繋がるコネクタ７２を差し込んで行えばよい。制御部６ｂは、標準器部１８（標準器）に繋がるボードＢＥを切換制御して、校正を行う。なお、１つのコネクタ７１が、１枚のボードＢＥに接続される６４ピンのものであってもよい。また、１枚のボードＢＥに接続されるコネクタ７１として、例えば３２ピンのコネクタを２つ（複数）用いてもよい。

なお、図１７に示すように、６４ピン（６４本のプローブＰ）に対応可能な接続切換部１１を有するボードＢＥ（ＢＥ１〜ＢＥｎ）を、ボードＢＥ単位で可動ユニット３ｂに増設可能な場合、中継器１７ｂに、いずれのボードＢＥを標準器部１８に接続するかを切り換えるためのボード切換部８１を設けてもよい。

可動ユニット３ｂは、ボードＢＤ１に付勢端子Ｂ１〜Ｂ６４が接続され、ボードＢＤ２に付勢端子Ｂ６５〜Ｂ１２８が接続され、ボードＢＤｎに付勢端子Ｂ[６４×（ｎ−１）＋１]〜Ｂ[６４×ｎ]が接続されて構成されている。中継器１７ｂは、付勢端子Ｂ１〜Ｂ６４に接続されるピン端子Ｃ１〜Ｃ６４、付勢端子Ｂ６５〜Ｂ１２８に接続されるピン端子Ｃ６５〜Ｃ１２８、付勢端子Ｂ[６４×（ｎ−１）＋１]〜Ｂ[６４×ｎ]に接続されるピン端子Ｃ[６４×（ｎ−１）＋１]〜Ｃ[６４×ｎ]を備えている。中継器１７ｂは、標準器部１８に接続されるコネクタ７１を１つ備えている。コネクタ７１は、１枚のボードＢＥのピン数に対応する６４個の端子Ｅ１〜Ｅ６４を有している。

ボード切換部８１は、制御部６ｂの指示信号Ｃｎｔ３に従って、コネクタ７１に接続するボードＢＥを切り換える。例えば、コネクタ７１にボードＢＥ１を接続する場合、ピン端子Ｃ１〜Ｃ６４を、コネクタ７１の端子Ｅ１〜Ｅ６４に接続する。指示信号Ｃｎｔ３は、制御部６ｂから可動ユニット３ｂを経由して、中継器１７ｂに入力するようにしてもよいし、制御部６ｂから中継器１７ｂに直接入力するようにしてもよい。

校正を行うときは、制御部６ｂは、可動ユニット３ｂに実装されているボードＢＥのうちの任意のボードＢＥを選択して、選択したボードＢＥの接続切換部１１、及びボード切換部８１を制御して、計測部５に標準器部１８に接続し、校正を実行する。このように、ボード切換部８１を中継器１７ｂに設けると、中継器１７ｂに設けるコネクタ７１の数を少なくすることができる。

１・１ｂ・１ｃは基板検査装置、２は基板固定機構、３・３ｂは可動ユニット、４は移動機構、５は計測部、６・６ｂは制御部、７は表示部、８は操作部、１１は接続切換部、１２は校正用切換部、１３は着脱機構、１４はテストヘッド、１５は標準器部、１６は標準器部、１７・１７ｂは中継器、１８は標準器部、１９は配線ケーブル、２０_１・２０_２は計測用回路、２１_１・２１_２は信号源、２２_１・２２_２は電流計、２３_１・２３_２は電圧計、２４_１・２４_２はガード用アンプ、３１は切換制御回路、３２はスイッチ回路、４１は校正制御回路、４２はスイッチ回路、４５は付勢端子支持基材、４６は固定部材、５１はピン端子支持基材、５２はプローブ支持基材、６１はフレーム、６２は係合部、６３はカバー、６４は取っ手、７１〜７４はコネクタ、８１はボード切換部、１００は基板、Ａ１〜Ａ６４は端子、Ｂ１〜Ｂ［６４×ｎ］は付勢端子、ＢＤ１〜ＢＤｎはボード、ＢＥ１〜ＢＥｎはボード、Ｃ１〜Ｃ［６４×ｎ］はピン端子、Ｃｎｔ１・Ｃｎｔ２・Ｃｎｔ３は指示信号、Ｅ１〜Ｅ６４はコネクタ７１の端子、Ｇｃ１・Ｇｃ２・Ｇｐ１・Ｇｐ２・Ｈｃ１・Ｈｃ２・Ｈｐ１・Ｈｐ２・Ｌｃ１・Ｌｃ２・Ｌｐ１・Ｌｐ２は測定用の端子、Ｋは方向、Ｐ・Ｐ１〜Ｐ６４はプローブ、Ｒ１・Ｒ２は抵抗、Ｓ１_１〜Ｓ１_６・Ｓ２_１〜Ｓ２_６・Ｓ３_１〜Ｓ３_３・Ｓ_Ｐ１−１〜Ｓ_{Ｐ６４−３}・Ｓ４_１〜Ｓ４_８はスイッチ、Ｔ・Ｔ１〜Ｔ３２は検査ポイント、Ｕ１〜Ｕ６はグループである。

Claims (8)

1. 複数のプローブを備えるテストヘッドと、
   前記テストヘッドを移動させ、前記複数のプローブを検査対象の基板に接触させる移動機構と、
   電気的特性の測定を行う計測部と、
   前記複数のプローブの中から任意の前記プローブを前記計測部に接続する接続切換部と、
   前記移動機構の移動制御、前記接続切換部の切換制御、及び前記計測部の計測制御を行う制御部とを備え、
   前記移動機構によって移動する可動ユニットに、前記テストヘッド、及び前記接続切換部が備えられている基板検査装置であって、
   前記計測部の校正に用いられる標準器を、前記接続切換部を介して前記計測部に接続するための標準器接続手段が、前記可動ユニットに備えられていることを特徴とする基板検査装置。
2. 前記標準器接続手段として、前記標準器と、前記接続切換部に前記プローブを接続するか前記標準器を接続するかを切り換える校正用切換部とが、前記可動ユニットに備えられていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記標準器接続手段として、前記接続切換部に前記標準器を着脱可能に接続する着脱機構が前記可動ユニットに備えられていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
4. 前記着脱機構が、前記テストヘッドを前記可動ユニットに着脱可能に取り付けるものを兼ねており、前記テストヘッドに換えて、前記標準器が前記可動ユニットに着脱可能に取り付けられることを特徴とする請求項３に記載の基板検査装置。
5. 前記着脱機構が、前記テストヘッドを前記可動ユニットに着脱可能に取り付けるものを兼ねており、前記テストヘッドに換えて、前記標準器に電気的に接続される中継器が前記可動ユニットに着脱可能に取り付けられることを特徴とする請求項３に記載の基板検査装置。
6. 複数のプローブを備えるテストヘッドと、
   前記テストヘッドを移動させ、前記複数のプローブを検査対象の基板に接触させる移動機構と、
   電気的特性の測定を行う計測部と、
   前記複数のプローブの中から任意の前記プローブを前記計測部に接続する接続切換部と、
   前記移動機構の移動制御、前記接続切換部の切換制御、及び前記計測部の計測制御を行う制御部と、
   前記テストヘッドを着脱可能に取り付けるための着脱機構、及び前記接続切換部が設けられていて前記移動機構によって移動する可動ユニットとを、
   備えている基板検査装置に対して、
   前記計測部の校正を行うときに用いられる標準器であって、
   前記着脱機構に着脱可能に形成されていることを特徴とする標準器。
7. 前記標準器が配線ケーブルを介して接続される中継器を備え、前記中継器が前記着脱機構に着脱可能に形成されていることを特徴とする請求項６に記載の標準器。
8. 前記標準器、及び／又は前記中継器が、前記配線ケーブルに着脱可能に接続されるコネクタを備えていることを特徴とする請求項７に記載の標準器。

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