JP2000009792A - テストバーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正方法 - Google Patents
テストバーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正方法Info
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- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
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- G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の課題は、恒温槽内に実装した診断ボ
ードによって測定された電流値を基準として、テストバ
ーンイン装置側の電流測定回路から得られた結果を適宜
補正するための補正値を算出し、テストバーンイン装置
の電流測定値を自動的に調整するテストバーンインシス
テム、及びテストバーンインシステム校正方法を提供す
ることである。 【解決手段】 電流測定回路６は、抵抗Ｒの両端電圧値
に基づくデジタルデータをＣＰＵ８に対して出力し、電
流測定回路４は、電流値切り換え回路３の両端の電圧値
に基づくデジタルデータをＣＰＵ８に対して出力する。
そして、ＣＰＵ８は、電流測定回路６を補正するための
ゲイン補正値及びオフセット補正値を算出して調整回路
７に転送し、調整回路７は、当該補正値をメモリに格納
した後、Ｄ／Ａ変換して電流測定回路６内のＡ／Ｄコン
バータＡＤＣに対して出力してＡ／ＤコンバータＡＤＣ
から出力されるデジタルデータの値を補正する。
ードによって測定された電流値を基準として、テストバ
ーンイン装置側の電流測定回路から得られた結果を適宜
補正するための補正値を算出し、テストバーンイン装置
の電流測定値を自動的に調整するテストバーンインシス
テム、及びテストバーンインシステム校正方法を提供す
ることである。 【解決手段】 電流測定回路６は、抵抗Ｒの両端電圧値
に基づくデジタルデータをＣＰＵ８に対して出力し、電
流測定回路４は、電流値切り換え回路３の両端の電圧値
に基づくデジタルデータをＣＰＵ８に対して出力する。
そして、ＣＰＵ８は、電流測定回路６を補正するための
ゲイン補正値及びオフセット補正値を算出して調整回路
７に転送し、調整回路７は、当該補正値をメモリに格納
した後、Ｄ／Ａ変換して電流測定回路６内のＡ／Ｄコン
バータＡＤＣに対して出力してＡ／ＤコンバータＡＤＣ
から出力されるデジタルデータの値を補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、テストバーンイン
システムに係り、詳細には、電流測定回路を内蔵した校
正された診断ボードを使用してテストバーンイン装置が
有する電流測定機能を自動的に校正するテストバーンイ
ンシステム、及びテストバーンインシステム校正方法に
関する。
システムに係り、詳細には、電流測定回路を内蔵した校
正された診断ボードを使用してテストバーンイン装置が
有する電流測定機能を自動的に校正するテストバーンイ
ンシステム、及びテストバーンインシステム校正方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、様々な電子機器に用いられる回路
のＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）化が急速に進
められてきた。ＩＣ、ＬＳＩ（Large Scale Integrated
circuit）等は、抵抗や、コンデンサ、トランジスタ等
の各素子の働きを、印刷、蒸着等の方法により形成した
回路によって実現するが、大量生産されるそれぞれの製
品間には多少の特性のばらつきが生じる。このようなＩ
ＣやＬＳＩ等の半導体の特性が、様々な温度条件下にお
いて規格を満たしているか否かを試験する装置としてテ
ストバーンインシステムがある。
のＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）化が急速に進
められてきた。ＩＣ、ＬＳＩ（Large Scale Integrated
circuit）等は、抵抗や、コンデンサ、トランジスタ等
の各素子の働きを、印刷、蒸着等の方法により形成した
回路によって実現するが、大量生産されるそれぞれの製
品間には多少の特性のばらつきが生じる。このようなＩ
ＣやＬＳＩ等の半導体の特性が、様々な温度条件下にお
いて規格を満たしているか否かを試験する装置としてテ
ストバーンインシステムがある。
【０００３】テストバーンインシステムは、被測定デバ
イスとしての半導体に印可する試験信号を生成し、ま
た、被測定デバイスから出力された信号を解析して良否
判定を行うテストバーンイン装置と、被測定デバイスを
実装したテストバーンインボードを装着するための複数
のスロットを有し、様々な温度条件に従う環境を作り出
す恒温槽とによって構成される。
イスとしての半導体に印可する試験信号を生成し、ま
た、被測定デバイスから出力された信号を解析して良否
判定を行うテストバーンイン装置と、被測定デバイスを
実装したテストバーンインボードを装着するための複数
のスロットを有し、様々な温度条件に従う環境を作り出
す恒温槽とによって構成される。
【０００４】そして、テストバーンイン装置には、多く
の場合、被測定デバイスに印可する電源電流を測定する
電源電流測定回路が内蔵されている。従来、この電源電
流測定回路の動作が正常であるか確認をする場合には、
テストバーンインシステムの恒温槽内に設けられた検査
用バーンインボードに電子負荷（定電流印加装置；抵抗
等）を接続して、テストバーンイン装置から電流を発生
させ、テストバーンイン装置内の電流測定回路で電流値
を測定し、テストバーンイン装置側のＣＰＵ（Central
Processing Unit)に読み取らせていた。
の場合、被測定デバイスに印可する電源電流を測定する
電源電流測定回路が内蔵されている。従来、この電源電
流測定回路の動作が正常であるか確認をする場合には、
テストバーンインシステムの恒温槽内に設けられた検査
用バーンインボードに電子負荷（定電流印加装置；抵抗
等）を接続して、テストバーンイン装置から電流を発生
させ、テストバーンイン装置内の電流測定回路で電流値
を測定し、テストバーンイン装置側のＣＰＵ（Central
Processing Unit)に読み取らせていた。
【０００５】図２は、上述したような従来のテストバー
ンインシステムにおいて、テストバーンイン装置の電流
測定回路を校正する場合の接続状態を示す図である。な
お、同図では、テストバーンインシステムを構成する回
路の内、電源電流測定に関与する回路のみを示し、被測
定デバイスの試験に関与する回路部分を省略している。
ンインシステムにおいて、テストバーンイン装置の電流
測定回路を校正する場合の接続状態を示す図である。な
お、同図では、テストバーンインシステムを構成する回
路の内、電源電流測定に関与する回路のみを示し、被測
定デバイスの試験に関与する回路部分を省略している。
【０００６】この図２において、テストバーンインシス
テム２００は、ＰＳ電源１５、電流測定回路１６、及び
ＣＰＵ１８によって構成されるテストバーンイン装置１
１と、様々な温度条件下での試験を行うための恒温槽１
２に装着された診断ボード１９と、この診断ボード１９
に接続された電子負荷１０とによって構成される。
テム２００は、ＰＳ電源１５、電流測定回路１６、及び
ＣＰＵ１８によって構成されるテストバーンイン装置１
１と、様々な温度条件下での試験を行うための恒温槽１
２に装着された診断ボード１９と、この診断ボード１９
に接続された電子負荷１０とによって構成される。
【０００７】図２に示すように、ＰＳ電源１５の出力端
子は電流測定回路１６の入力端子に接続され、電流測定
回路６の出力端子は診断ボード１９を介して電子負荷１
０の一方の端子に接続されている。また、電子負荷１０
の他方の端子は、診断ボード１９を介してテストバーン
イン装置１１内のグランドＧＮＤに接続されることによ
り接地されている。
子は電流測定回路１６の入力端子に接続され、電流測定
回路６の出力端子は診断ボード１９を介して電子負荷１
０の一方の端子に接続されている。また、電子負荷１０
の他方の端子は、診断ボード１９を介してテストバーン
イン装置１１内のグランドＧＮＤに接続されることによ
り接地されている。
【０００８】このような接続状態において、ＰＳ電源１
５から出力される電源電圧は、電流測定回路１６、及び
恒温槽１２内に装着された診断ボード１９を介して、一
方の端子を接地された電子負荷１０に印可される。ま
た、電流測定回路１６内の抵抗Ｒの両端には、ＰＳ電源
１５から出力される電源電圧の電圧降下による両端電圧
が発生し、この抵抗Ｒの両端電圧の値は、電流測定回路
１６内の増幅回路ＡＭＰによって増幅され、更に、Ａ／
ＤコンバータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換されてデジタル
データとなり、バスを介してＣＰＵ１８に入力される。
５から出力される電源電圧は、電流測定回路１６、及び
恒温槽１２内に装着された診断ボード１９を介して、一
方の端子を接地された電子負荷１０に印可される。ま
た、電流測定回路１６内の抵抗Ｒの両端には、ＰＳ電源
１５から出力される電源電圧の電圧降下による両端電圧
が発生し、この抵抗Ｒの両端電圧の値は、電流測定回路
１６内の増幅回路ＡＭＰによって増幅され、更に、Ａ／
ＤコンバータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換されてデジタル
データとなり、バスを介してＣＰＵ１８に入力される。
【０００９】ＣＰＵ１８では、入力されたデジタルデー
タに基づいて、電流測定回路１６において測定された電
流値を算出し、テストバーンイン装置１１が備える表示
部等（不図示）に出力する。そして、測定者は、ＣＰＵ
１８によって算出され表示される電流値が、電子負荷１
０の値及びＰＳ電源１５の電源電圧に依存して定まる規
格値内の値であるかを確認する。前記表示される電流値
が、規格値内の値でない場合には、電流測定回路１６内
のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを適
宜手動で調節して、表示部に表示される電流値が規格値
内に収まるように調整を行う。
タに基づいて、電流測定回路１６において測定された電
流値を算出し、テストバーンイン装置１１が備える表示
部等（不図示）に出力する。そして、測定者は、ＣＰＵ
１８によって算出され表示される電流値が、電子負荷１
０の値及びＰＳ電源１５の電源電圧に依存して定まる規
格値内の値であるかを確認する。前記表示される電流値
が、規格値内の値でない場合には、電流測定回路１６内
のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを適
宜手動で調節して、表示部に表示される電流値が規格値
内に収まるように調整を行う。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のテストバーンインシステムでは、規格内
の電流値が得られない場合は、電流測定回路１６内のＡ
／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを繰り返
し手動で調節しなくてはならず、膨大な作業時間がかか
っていた。
たような従来のテストバーンインシステムでは、規格内
の電流値が得られない場合は、電流測定回路１６内のＡ
／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを繰り返
し手動で調節しなくてはならず、膨大な作業時間がかか
っていた。
【００１１】そこで、本発明の課題は、恒温槽内に実装
した診断ボードによって測定された電流値を基準とし
て、テストバーンイン装置側の電流測定回路から得られ
た結果を適宜補正するための補正値を算出し、テストバ
ーンイン装置の電流測定値を自動的に調整するテストバ
ーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正
方法を提供することである。
した診断ボードによって測定された電流値を基準とし
て、テストバーンイン装置側の電流測定回路から得られ
た結果を適宜補正するための補正値を算出し、テストバ
ーンイン装置の電流測定値を自動的に調整するテストバ
ーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正
方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
所定の温度条件に従う環境を生成する恒温槽と、この恒
温槽内に装着されたテストバーンインボードに実装され
る被測定デバイスに対して試験信号を印可して被測定デ
バイスの良否を判定するテストバーンイン装置とによっ
て構成されるテストバーンインシステムにおいて、前記
恒温槽は、前記テストバーンイン装置から供給される電
源の電流値を測定する第１の電流測定手段を備える診断
ボードを装着し、前記テストバーンイン装置は、当該テ
ストバーンイン装置に所定電圧の電源を供給する電源装
置と、この電源装置から当該テストバーンイン装置に供
給される電源の電流値を測定する第２の電流測定手段
と、前記第１の電流測定手段によって測定される電流値
を基準値として、前記第２の電流測定手段によって測定
される電流値を補正するための補正信号を生成する補正
信号生成手段と、この補正信号生成手段によって生成さ
れる補正信号に基づいて、前記第２の電源電流測定手段
によって測定される電流値を調整する調整手段と、によ
って構成されることを特徴としている。
所定の温度条件に従う環境を生成する恒温槽と、この恒
温槽内に装着されたテストバーンインボードに実装され
る被測定デバイスに対して試験信号を印可して被測定デ
バイスの良否を判定するテストバーンイン装置とによっ
て構成されるテストバーンインシステムにおいて、前記
恒温槽は、前記テストバーンイン装置から供給される電
源の電流値を測定する第１の電流測定手段を備える診断
ボードを装着し、前記テストバーンイン装置は、当該テ
ストバーンイン装置に所定電圧の電源を供給する電源装
置と、この電源装置から当該テストバーンイン装置に供
給される電源の電流値を測定する第２の電流測定手段
と、前記第１の電流測定手段によって測定される電流値
を基準値として、前記第２の電流測定手段によって測定
される電流値を補正するための補正信号を生成する補正
信号生成手段と、この補正信号生成手段によって生成さ
れる補正信号に基づいて、前記第２の電源電流測定手段
によって測定される電流値を調整する調整手段と、によ
って構成されることを特徴としている。
【００１３】請求項１記載の発明のテストバーンインシ
ステムによれば、前記恒温槽に装着された診断ボード
は、第１の電流測定手段によって、前記テストバーンイ
ン装置から供給される電源の電流値を測定し、前記テス
トバーンイン装置は、電源装置によって、当該テストバ
ーンイン装置に所定電圧の電源を供給し、第２の電流測
定手段によって、前記電源装置から当該テストバーンイ
ン装置に供給される電源の電流値を測定し、補正信号生
成手段によって、前記第１の電流測定手段によって測定
される電流値を基準値として、前記第２の電流測定手段
によって測定される電流値を補正するための補正信号を
生成し、調整手段によって、前記補正信号生成手段によ
って生成される補正信号に基づいて、前記第２の電源電
流測定手段によって測定される電流値を調整する。
ステムによれば、前記恒温槽に装着された診断ボード
は、第１の電流測定手段によって、前記テストバーンイ
ン装置から供給される電源の電流値を測定し、前記テス
トバーンイン装置は、電源装置によって、当該テストバ
ーンイン装置に所定電圧の電源を供給し、第２の電流測
定手段によって、前記電源装置から当該テストバーンイ
ン装置に供給される電源の電流値を測定し、補正信号生
成手段によって、前記第１の電流測定手段によって測定
される電流値を基準値として、前記第２の電流測定手段
によって測定される電流値を補正するための補正信号を
生成し、調整手段によって、前記補正信号生成手段によ
って生成される補正信号に基づいて、前記第２の電源電
流測定手段によって測定される電流値を調整する。
【００１４】請求項５記載の発明のテストバーンインシ
ステム校正方法によれば、所定の温度条件に従う環境を
生成する恒温槽と、この恒温槽内に装着されたテストバ
ーンインボードに実装される被測定デバイスに対して試
験信号を印可して被測定デバイスの良否を判定するテス
トバーンイン装置とによって構成されるテストバーンイ
ンシステムの電源電流測定機能を校正するテストバーン
インシステム校正方法において、前記恒温槽に装着され
た診断ボード側で、前記テストバーンイン装置から供給
される電源の電流値を測定し、前記テストバーンイン装
置側で、所定電圧の電源を供給する電源装置から当該テ
ストバーンイン装置に供給される電源の電流値を測定
し、前記診断ボード側で測定される電流値を基準値とし
て、前記テストバーンイン装置側で測定される電流値を
補正するための補正信号を生成し、当該生成される補正
信号に基づいて、前記テストバーンイン装置側で測定さ
れる電流値を調整する。
ステム校正方法によれば、所定の温度条件に従う環境を
生成する恒温槽と、この恒温槽内に装着されたテストバ
ーンインボードに実装される被測定デバイスに対して試
験信号を印可して被測定デバイスの良否を判定するテス
トバーンイン装置とによって構成されるテストバーンイ
ンシステムの電源電流測定機能を校正するテストバーン
インシステム校正方法において、前記恒温槽に装着され
た診断ボード側で、前記テストバーンイン装置から供給
される電源の電流値を測定し、前記テストバーンイン装
置側で、所定電圧の電源を供給する電源装置から当該テ
ストバーンイン装置に供給される電源の電流値を測定
し、前記診断ボード側で測定される電流値を基準値とし
て、前記テストバーンイン装置側で測定される電流値を
補正するための補正信号を生成し、当該生成される補正
信号に基づいて、前記テストバーンイン装置側で測定さ
れる電流値を調整する。
【００１５】したがって、診断ボードを恒温槽に装着し
て、診断ボード側で測定された電流値を基準値とし、テ
ストバーンイン装置側で測定された電流値を補正するこ
とができるため、テストバーンインシステムの電流を自
動的に測定することができるとともに、テストバーンイ
ン装置側の電流測定機能の自動調整を行うことができ
る。このことにより、テストバーンインシステムを校正
する作業を短時間で行うことができるとともに、定期的
に校正された診断ボードによってテストバーンインシス
テムを校正することにより、手動で行う校正作業と比較
して正確な校正を行うことができる。
て、診断ボード側で測定された電流値を基準値とし、テ
ストバーンイン装置側で測定された電流値を補正するこ
とができるため、テストバーンインシステムの電流を自
動的に測定することができるとともに、テストバーンイ
ン装置側の電流測定機能の自動調整を行うことができ
る。このことにより、テストバーンインシステムを校正
する作業を短時間で行うことができるとともに、定期的
に校正された診断ボードによってテストバーンインシス
テムを校正することにより、手動で行う校正作業と比較
して正確な校正を行うことができる。
【００１６】また、請求項２記載の発明のように、請求
項１記載のテストバーンインシステムにおいて、前記第
１の電流測定手段は、一端を前記第２の電流測定手段と
接続され、また他端を接地されており、抵抗値を切り換
えることによって測定する電流レンジを切り換え可能と
する電流値切り換え回路と、この電流値切り換え回路の
両端電圧の値を所定増幅率で増幅する増幅回路と、この
増幅回路から入力されるアナログ信号をデジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換回路と、によって構成されることが
有効である。
項１記載のテストバーンインシステムにおいて、前記第
１の電流測定手段は、一端を前記第２の電流測定手段と
接続され、また他端を接地されており、抵抗値を切り換
えることによって測定する電流レンジを切り換え可能と
する電流値切り換え回路と、この電流値切り換え回路の
両端電圧の値を所定増幅率で増幅する増幅回路と、この
増幅回路から入力されるアナログ信号をデジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換回路と、によって構成されることが
有効である。
【００１７】この請求項２記載の発明のテストバーンイ
ンシステムによれば、請求項１記載の発明の効果に加え
て、測定する電流レンジを適宜切り換えることができる
とともに、Ａ／Ｄ変換回路のゲインやオフセット等を調
整することにより、前記第１の電流測定手段自身を容易
に校正することができるため、定期的に前記第１の電流
測定手段を校正した上でテストバーンインシステムの校
正を行うこととすれば、より正確な校正を行うことがで
きる。
ンシステムによれば、請求項１記載の発明の効果に加え
て、測定する電流レンジを適宜切り換えることができる
とともに、Ａ／Ｄ変換回路のゲインやオフセット等を調
整することにより、前記第１の電流測定手段自身を容易
に校正することができるため、定期的に前記第１の電流
測定手段を校正した上でテストバーンインシステムの校
正を行うこととすれば、より正確な校正を行うことがで
きる。
【００１８】また、アナログ信号をデジタル信号にＡ／
Ｄ変換することにより、測定された電流値を補正する信
号を生成する補正信号生成手段としては、予めＲＯＭ
（ReadOnly Memory）等に格納されたプログラムを実行
するＣＰＵ等を使用することができるため、テストバー
ンインシステムの汎用性を高めることができる。
Ｄ変換することにより、測定された電流値を補正する信
号を生成する補正信号生成手段としては、予めＲＯＭ
（ReadOnly Memory）等に格納されたプログラムを実行
するＣＰＵ等を使用することができるため、テストバー
ンインシステムの汎用性を高めることができる。
【００１９】また、請求項３記載の発明のように、請求
項１記載のテストバーンインシステムにおいて、前記第
２の電流測定手段は、一端を前記電源装置と、また他端
を前記第１の電流測定手段と接続されており、前記電源
装置から供給される電源電圧に応じて両端間に電圧降下
による電圧を生じる抵抗器と、この抵抗器の両端電圧の
値を所定増幅率で増幅する増幅回路と、この増幅回路か
ら入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ
／Ｄ変換回路と、によって構成されることが有効であ
る。
項１記載のテストバーンインシステムにおいて、前記第
２の電流測定手段は、一端を前記電源装置と、また他端
を前記第１の電流測定手段と接続されており、前記電源
装置から供給される電源電圧に応じて両端間に電圧降下
による電圧を生じる抵抗器と、この抵抗器の両端電圧の
値を所定増幅率で増幅する増幅回路と、この増幅回路か
ら入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ
／Ｄ変換回路と、によって構成されることが有効であ
る。
【００２０】この請求項３記載の発明のテストバーンイ
ンシステムによれば、請求項１記載の発明の効果に加え
て、アナログ信号をデジタル信号にＡ／Ｄ変換すること
により、測定された電流値を補正する信号を生成する補
正信号生成手段としては、予めＲＯＭ等に格納されたプ
ログラムを実行するＣＰＵ等を使用することができるた
め、テストバーンインシステムの汎用性を高めることが
できる。
ンシステムによれば、請求項１記載の発明の効果に加え
て、アナログ信号をデジタル信号にＡ／Ｄ変換すること
により、測定された電流値を補正する信号を生成する補
正信号生成手段としては、予めＲＯＭ等に格納されたプ
ログラムを実行するＣＰＵ等を使用することができるた
め、テストバーンインシステムの汎用性を高めることが
できる。
【００２１】また、請求項４記載の発明のように、請求
項３記載のテストバーンインシステムにおいて、前記補
正信号生成手段は、前記第２の電流測定手段によって測
定される電流値を補正するための補正信号として、前記
第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路のゲイン
を補正するゲイン補正信号及びオフセットを補正するオ
フセット補正信号を生成し、前記調整手段は、前記ゲイ
ン補正信号及び前記オフセット補正信号に基づいて、前
記第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路のゲイ
ン及びオフセットを調整することが有効である。
項３記載のテストバーンインシステムにおいて、前記補
正信号生成手段は、前記第２の電流測定手段によって測
定される電流値を補正するための補正信号として、前記
第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路のゲイン
を補正するゲイン補正信号及びオフセットを補正するオ
フセット補正信号を生成し、前記調整手段は、前記ゲイ
ン補正信号及び前記オフセット補正信号に基づいて、前
記第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路のゲイ
ン及びオフセットを調整することが有効である。
【００２２】この請求項４記載の発明のテストバーンイ
ンシステムによれば、請求項３記載の発明の効果に加え
て、前記第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路
のゲイン及びオフセットを調整することにより、前記第
２の電流測定手段の校正を容易に行うことができる。
ンシステムによれば、請求項３記載の発明の効果に加え
て、前記第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路
のゲイン及びオフセットを調整することにより、前記第
２の電流測定手段の校正を容易に行うことができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、図１を参照して本発明に係
るテストバーンインシステムの実施の形態を詳細に説明
する。
るテストバーンインシステムの実施の形態を詳細に説明
する。
【００２４】まず構成を説明する。図１は、本発明の一
実施の形態におけるテストバーンインシステム１００の
回路構成を示すブロック図である。なお、図１では、テ
ストバーンインシステム１００を構成する回路の内、電
源電流測定に関与する回路のみを示し、被測定デバイス
の試験に関与する回路部分を省略している。
実施の形態におけるテストバーンインシステム１００の
回路構成を示すブロック図である。なお、図１では、テ
ストバーンインシステム１００を構成する回路の内、電
源電流測定に関与する回路のみを示し、被測定デバイス
の試験に関与する回路部分を省略している。
【００２５】この図１において、テストバーンインシス
テム１００は、ＰＳ電源５、電流測定回路６、調整回路
７、及びＣＰＵ８によって構成されるテストバーンイン
装置１と、電流測定回路４を実装し、様々な温度条件下
での試験を行うための恒温槽２にセッティングされた診
断ボード９と、によって構成される。
テム１００は、ＰＳ電源５、電流測定回路６、調整回路
７、及びＣＰＵ８によって構成されるテストバーンイン
装置１と、電流測定回路４を実装し、様々な温度条件下
での試験を行うための恒温槽２にセッティングされた診
断ボード９と、によって構成される。
【００２６】テストバーンイン装置１は、図示しない被
測定デバイスの試験に関与する回路によって、被測定デ
バイスとしての半導体に印可する試験信号を生成し、ま
た、被測定デバイスから出力された信号を解析して良否
判定を行う。また、このテストバーンイン装置１は、被
測定デバイスに印可する電源電流を測定する電源電流測
定回路を内蔵しており、この電源電流測定回路は、図１
に示すように、ＰＳ電源５、電流測定回路６、調整回路
７、及びＣＰＵ８によって構成されている。
測定デバイスの試験に関与する回路によって、被測定デ
バイスとしての半導体に印可する試験信号を生成し、ま
た、被測定デバイスから出力された信号を解析して良否
判定を行う。また、このテストバーンイン装置１は、被
測定デバイスに印可する電源電流を測定する電源電流測
定回路を内蔵しており、この電源電流測定回路は、図１
に示すように、ＰＳ電源５、電流測定回路６、調整回路
７、及びＣＰＵ８によって構成されている。
【００２７】ＰＳ電源５は、複数設定された所定の電圧
値の中から選択された所定の定電源電圧を発生し、電流
測定回路６、及び診断ボード９内の電流測定回路４に対
して電源を供給する。
値の中から選択された所定の定電源電圧を発生し、電流
測定回路６、及び診断ボード９内の電流測定回路４に対
して電源を供給する。
【００２８】電流測定回路６は、図１に示すように、Ｐ
Ｓ電源５から供給された電源による電圧降下によって電
流値を測定するための抵抗Ｒと、この抵抗Ｒの両端の電
圧値を増幅する増幅回路ＡＭＰと、この増幅回路ＡＭＰ
の出力値をＡ／Ｄ（Analog to Digital ）変換するＡ／
ＤコンバータＡＤＣとによって構成されている。そし
て、電流測定回路６は、抵抗Ｒの両端の電圧値を、増幅
回路ＡＭＰによって所定の増幅率で増幅し、Ａ／Ｄコン
バータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換した後、バスを介して
ＣＰＵ８に対して出力する。また、電流測定回路６のＡ
／ＤコンバータＡＤＣは、ゲイン及びオフセットの値を
調整回路７によって適宜調整される。
Ｓ電源５から供給された電源による電圧降下によって電
流値を測定するための抵抗Ｒと、この抵抗Ｒの両端の電
圧値を増幅する増幅回路ＡＭＰと、この増幅回路ＡＭＰ
の出力値をＡ／Ｄ（Analog to Digital ）変換するＡ／
ＤコンバータＡＤＣとによって構成されている。そし
て、電流測定回路６は、抵抗Ｒの両端の電圧値を、増幅
回路ＡＭＰによって所定の増幅率で増幅し、Ａ／Ｄコン
バータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換した後、バスを介して
ＣＰＵ８に対して出力する。また、電流測定回路６のＡ
／ＤコンバータＡＤＣは、ゲイン及びオフセットの値を
調整回路７によって適宜調整される。
【００２９】調整回路７は、ＣＰＵ８から入力されるゲ
イン補正値を格納するメモリと、このメモリから入力さ
れるデジタルデータをＤ／Ａ（Digital to Analog ）変
換するＤ／ＡコンバータＤＡＣとによって構成されるゲ
イン調整回路７ａと、ＣＰＵ８から入力されるオフセッ
ト補正値を格納するメモリと、このメモリから入力され
るデジタルデータをＤ／Ａ変換するＤ／ＡコンバータＤ
ＡＣとによって構成されるオフセット調整回路７ｂとに
よって構成される。そして、調整回路７は、恒温槽２の
複数のスロットに装着された診断ボード９毎にＣＰＵ８
によって演算されたゲイン補正値及びオフセット補正値
を、ゲイン調整回路７ａ内のメモリあるいはオフセット
調整回路７ｂ内のメモリに順次格納する。また、調整回
路７は、ゲイン調整回路７ａ及びオフセット調整回路７
ｂ内のメモリに格納された診断ボード９毎に対応する補
正値に基づいて、被測定デバイスの試験時には、電流測
定回路６のＡ／ＤコンバータＡＤＣを調整する。
イン補正値を格納するメモリと、このメモリから入力さ
れるデジタルデータをＤ／Ａ（Digital to Analog ）変
換するＤ／ＡコンバータＤＡＣとによって構成されるゲ
イン調整回路７ａと、ＣＰＵ８から入力されるオフセッ
ト補正値を格納するメモリと、このメモリから入力され
るデジタルデータをＤ／Ａ変換するＤ／ＡコンバータＤ
ＡＣとによって構成されるオフセット調整回路７ｂとに
よって構成される。そして、調整回路７は、恒温槽２の
複数のスロットに装着された診断ボード９毎にＣＰＵ８
によって演算されたゲイン補正値及びオフセット補正値
を、ゲイン調整回路７ａ内のメモリあるいはオフセット
調整回路７ｂ内のメモリに順次格納する。また、調整回
路７は、ゲイン調整回路７ａ及びオフセット調整回路７
ｂ内のメモリに格納された診断ボード９毎に対応する補
正値に基づいて、被測定デバイスの試験時には、電流測
定回路６のＡ／ＤコンバータＡＤＣを調整する。
【００３０】ＣＰＵ８は、図示しないＲＯＭ等に格納さ
れたプログラムに基づく処理を行う。すなわち、診断ボ
ード９上の電流測定回路４内のＡ／ＤコンバータＡＤＣ
から入力されるデジタルデータに基づいて、電流測定回
路４によって測定される電流値を算出し、この電流値を
基準値とする。そして、同様に、電流測定回路６内のＡ
／ＤコンバータＡＤＣから入力されるデジタルデータに
基づいて、電流測定回路６によって測定される電流値を
算出し、当該算出された電流値を測定値とする。
れたプログラムに基づく処理を行う。すなわち、診断ボ
ード９上の電流測定回路４内のＡ／ＤコンバータＡＤＣ
から入力されるデジタルデータに基づいて、電流測定回
路４によって測定される電流値を算出し、この電流値を
基準値とする。そして、同様に、電流測定回路６内のＡ
／ＤコンバータＡＤＣから入力されるデジタルデータに
基づいて、電流測定回路６によって測定される電流値を
算出し、当該算出された電流値を測定値とする。
【００３１】更に、前記測定値と前記基準値とを比較
し、前記測定値が前記基準値と合致しない場合には、前
記測定値が前記基準値と合致するように電流測定回路６
内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを
調整するためのゲイン補正値及びオフセット補正値を算
出して、バスを介してそれぞれゲイン調整回路７ａある
いはオフセット調整回路７ｂに出力する。また、ＣＰＵ
８は、ＲＯＭ等に格納されたプログラムに基づいて診断
ボード９上の電流測定回路４内の電流値切り換え回路３
のリレーを適宜切り換える信号を出力して、電流値切り
換え回路３を制御する。
し、前記測定値が前記基準値と合致しない場合には、前
記測定値が前記基準値と合致するように電流測定回路６
内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを
調整するためのゲイン補正値及びオフセット補正値を算
出して、バスを介してそれぞれゲイン調整回路７ａある
いはオフセット調整回路７ｂに出力する。また、ＣＰＵ
８は、ＲＯＭ等に格納されたプログラムに基づいて診断
ボード９上の電流測定回路４内の電流値切り換え回路３
のリレーを適宜切り換える信号を出力して、電流値切り
換え回路３を制御する。
【００３２】恒温槽２は、複数のテストバーンインボー
ドを装着するスロットを備えており、所定温度の状態に
おいてテストバーンインボードに実装された被測定デバ
イスの試験を行うために、様々な温度条件に従う環境を
作り出す。
ドを装着するスロットを備えており、所定温度の状態に
おいてテストバーンインボードに実装された被測定デバ
イスの試験を行うために、様々な温度条件に従う環境を
作り出す。
【００３３】診断ボード９は、テストバーンイン装置１
の電源電流測定回路の動作が正常であるか診断を行うた
めのボードであり、テストバーンイン装置１側の電流測
定回路６とは独立の電流測定回路４を備えている。
の電源電流測定回路の動作が正常であるか診断を行うた
めのボードであり、テストバーンイン装置１側の電流測
定回路６とは独立の電流測定回路４を備えている。
【００３４】電流測定回路４は、図１に示すように、電
流値切り換え回路３と、電流値切り換え回路３の両端の
電圧値を増幅する増幅回路ＡＭＰと、この増幅回路ＡＭ
Ｐの出力値をＡ／Ｄ変換するＡ／ＤコンバータＡＤＣと
によって構成されている。この電流測定回路４内の電流
値切り換え回路３は、図１に示すように、直列に接続さ
れた抵抗Ｒi （i ＝１〜４）とリレーＲＬとが、並列に
接続されることによって構成されており、リレーＲＬ側
のノードがテストバーンイン装置１内の電流測定回路６
の出力端子と接続され、抵抗Ｒi 側のノードがグランド
ＧＮＤに接続されて接地されている。この電流値切り換
え回路３は、テストバーンイン装置１内のＣＰＵ８によ
り制御されるリレーＲＬの切換によって、並列接続され
る抵抗Ｒi の組み合わせを切り換えて測定する電流のレ
ンジを選択する。
流値切り換え回路３と、電流値切り換え回路３の両端の
電圧値を増幅する増幅回路ＡＭＰと、この増幅回路ＡＭ
Ｐの出力値をＡ／Ｄ変換するＡ／ＤコンバータＡＤＣと
によって構成されている。この電流測定回路４内の電流
値切り換え回路３は、図１に示すように、直列に接続さ
れた抵抗Ｒi （i ＝１〜４）とリレーＲＬとが、並列に
接続されることによって構成されており、リレーＲＬ側
のノードがテストバーンイン装置１内の電流測定回路６
の出力端子と接続され、抵抗Ｒi 側のノードがグランド
ＧＮＤに接続されて接地されている。この電流値切り換
え回路３は、テストバーンイン装置１内のＣＰＵ８によ
り制御されるリレーＲＬの切換によって、並列接続され
る抵抗Ｒi の組み合わせを切り換えて測定する電流のレ
ンジを選択する。
【００３５】そして、電流測定回路４は、電流値切り換
え回路３の両端の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所
定の増幅率で増幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによって
Ａ／Ｄ変換した後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力
する。また、電流測定回路４のＡ／ＤコンバータＡＤＣ
は、ゲイン及びオフセットの値を外部から調整すること
が可能であり、回路の信頼性を向上させるために定期的
に構成することができる。
え回路３の両端の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所
定の増幅率で増幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによって
Ａ／Ｄ変換した後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力
する。また、電流測定回路４のＡ／ＤコンバータＡＤＣ
は、ゲイン及びオフセットの値を外部から調整すること
が可能であり、回路の信頼性を向上させるために定期的
に構成することができる。
【００３６】次に動作を説明する。まず、テストバーン
イン装置１内のＰＳ電源５は、所定の定電源電圧を発生
し、電流測定回路６、及び診断ボード９内の電流測定回
路４に対して電源を供給する。また、ＣＰＵ８は、電流
値切り換え回路３の抵抗Ｒi の組み合わせを切り換える
ためのリレーＲＬ制御信号を出力し、電流値切り換え回
路３を測定する電流のレンジに切り換える。
イン装置１内のＰＳ電源５は、所定の定電源電圧を発生
し、電流測定回路６、及び診断ボード９内の電流測定回
路４に対して電源を供給する。また、ＣＰＵ８は、電流
値切り換え回路３の抵抗Ｒi の組み合わせを切り換える
ためのリレーＲＬ制御信号を出力し、電流値切り換え回
路３を測定する電流のレンジに切り換える。
【００３７】そして、電流測定回路６は、抵抗Ｒの両端
の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所定の増幅率で増
幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換した
後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力する。同様に、
電流測定回路４は、ＣＰＵ８のリレーＲＬ制御信号によ
って電流測定レンジを切り換えられた電流値切り換え回
路３の両端の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所定の
増幅率で増幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによってＡ／
Ｄ変換した後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力す
る。
の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所定の増幅率で増
幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換した
後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力する。同様に、
電流測定回路４は、ＣＰＵ８のリレーＲＬ制御信号によ
って電流測定レンジを切り換えられた電流値切り換え回
路３の両端の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所定の
増幅率で増幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによってＡ／
Ｄ変換した後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力す
る。
【００３８】ＣＰＵ８は、図示しないＲＯＭ等に格納さ
れたプログラムに基づく処理を行い、電流測定回路４内
のＡ／ＤコンバータＡＤＣから入力されるデジタルデー
タに基づいて、電流測定回路４によって測定される電流
値を算出し、この電流値を基準値とする。同様に、ＣＰ
Ｕ８は、電流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣか
ら入力されるデジタルデータに基づいて、電流測定回路
６によって測定される電流値を算出し、当該算出された
電流値を測定値とする。
れたプログラムに基づく処理を行い、電流測定回路４内
のＡ／ＤコンバータＡＤＣから入力されるデジタルデー
タに基づいて、電流測定回路４によって測定される電流
値を算出し、この電流値を基準値とする。同様に、ＣＰ
Ｕ８は、電流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣか
ら入力されるデジタルデータに基づいて、電流測定回路
６によって測定される電流値を算出し、当該算出された
電流値を測定値とする。
【００３９】そして、ＣＰＵ８は、前記測定値と前記基
準値とを比較し、前記測定値が前記基準値と合致しない
場合には、前記測定値が前記基準値と合致するように電
流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及び
オフセットを調整するためのゲイン補正値及びオフセッ
ト補正値を算出して、バスを介してそれぞれゲイン調整
回路７ａあるいはオフセット調整回路７ｂに出力する。
準値とを比較し、前記測定値が前記基準値と合致しない
場合には、前記測定値が前記基準値と合致するように電
流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及び
オフセットを調整するためのゲイン補正値及びオフセッ
ト補正値を算出して、バスを介してそれぞれゲイン調整
回路７ａあるいはオフセット調整回路７ｂに出力する。
【００４０】調整回路７は、ＣＰＵ８から入力されるゲ
イン補正値をゲイン調整回路７ａ内のメモリに格納し、
更にＤ／ＡコンバータＤＡＣによってＤ／Ａ変換して電
流測定回路６のゲイン調整入力とするとともに、ＣＰＵ
８から入力されるオフセット補正値をオフセット調整回
路７ｂ内のメモリに格納し、更にＤ／ＡコンバータＤＡ
ＣによってＤ／Ａ変換して電流測定回路６のオフセット
調整入力とする。このことにより、電流測定回路６内の
Ａ／ＤコンバータＡＤＣからバスを介してＣＰＵ８に対
して出力されるデジタルデータの値が変更される。
イン補正値をゲイン調整回路７ａ内のメモリに格納し、
更にＤ／ＡコンバータＤＡＣによってＤ／Ａ変換して電
流測定回路６のゲイン調整入力とするとともに、ＣＰＵ
８から入力されるオフセット補正値をオフセット調整回
路７ｂ内のメモリに格納し、更にＤ／ＡコンバータＤＡ
ＣによってＤ／Ａ変換して電流測定回路６のオフセット
調整入力とする。このことにより、電流測定回路６内の
Ａ／ＤコンバータＡＤＣからバスを介してＣＰＵ８に対
して出力されるデジタルデータの値が変更される。
【００４１】更に、ＣＰＵ８は、当該デジタルデータに
基づいて再度電流値を算出して、当該算出された電流値
を測定値として前記基準値と比較する。そして、前記測
定値と前記基準値が合致していない場合には、ＣＰＵ８
は、再び前記測定値が前記基準値と合致するように電流
測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオ
フセットを調整するためのゲイン補正値及びオフセット
補正値を算出して、バスを介してそれぞれゲイン調整回
路７ａあるいはオフセット調整回路７ｂに出力する。
基づいて再度電流値を算出して、当該算出された電流値
を測定値として前記基準値と比較する。そして、前記測
定値と前記基準値が合致していない場合には、ＣＰＵ８
は、再び前記測定値が前記基準値と合致するように電流
測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオ
フセットを調整するためのゲイン補正値及びオフセット
補正値を算出して、バスを介してそれぞれゲイン調整回
路７ａあるいはオフセット調整回路７ｂに出力する。
【００４２】このような処理によって前記測定値と前記
基準値が合致した場合には、その時点での前記ゲイン補
正値及びオフセット補正値を最終値として、診断ボード
９に対する電源電流測定処理を終了し、同様の処理を繰
り返すことによって、複数の診断ボード９に対して順次
電源電流測定処理を行う。
基準値が合致した場合には、その時点での前記ゲイン補
正値及びオフセット補正値を最終値として、診断ボード
９に対する電源電流測定処理を終了し、同様の処理を繰
り返すことによって、複数の診断ボード９に対して順次
電源電流測定処理を行う。
【００４３】以上説明したように、本実施の形態におけ
るテストバーンインシステム１００によれば、ＰＳ電源
５から電源が供給されると、電流測定回路６は、測定す
る電流値に比例する抵抗Ｒの両端電圧値に基づくデジタ
ルデータを、バスを介してＣＰＵ８に対して出力し、同
様に、電流測定回路４は、測定する電流値に比例する電
流値切り換え回路３の両端の電圧値に基づくデジタルデ
ータを、ＣＰＵ８に対して出力する。そして、ＣＰＵ８
は、電流測定回路６を補正するためのゲイン補正値及び
オフセット補正値を算出して調整回路７に転送し、調整
回路７は、当該補正値をメモリに格納した後、Ｄ／Ａ変
換して電流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣに対
して出力してＡ／ＤコンバータＡＤＣから出力されるデ
ジタルデータの値を補正する。
るテストバーンインシステム１００によれば、ＰＳ電源
５から電源が供給されると、電流測定回路６は、測定す
る電流値に比例する抵抗Ｒの両端電圧値に基づくデジタ
ルデータを、バスを介してＣＰＵ８に対して出力し、同
様に、電流測定回路４は、測定する電流値に比例する電
流値切り換え回路３の両端の電圧値に基づくデジタルデ
ータを、ＣＰＵ８に対して出力する。そして、ＣＰＵ８
は、電流測定回路６を補正するためのゲイン補正値及び
オフセット補正値を算出して調整回路７に転送し、調整
回路７は、当該補正値をメモリに格納した後、Ｄ／Ａ変
換して電流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣに対
して出力してＡ／ＤコンバータＡＤＣから出力されるデ
ジタルデータの値を補正する。
【００４４】したがって、電流測定回路４を内蔵した校
正された診断ボード９を恒温槽２に装着して電流測定回
路４によって測定された電流値を基準値とし、テストバ
ーンイン装置１側の電流測定回路６の電流測定値をＣＰ
Ｕ８、及び調整回路７によって補正することができるた
め、テストバーンインシステム１００の電流を自動的に
測定することができるとともに、テストバーンイン装置
１に内蔵された電流測定回路６の自動調整を行うことが
できる。このことにより、テストバーンインシステム１
００を校正する作業を短時間で行うことができるととも
に、定期的に校正された電流測定回路４を内蔵する診断
ボード９によってテストバーンインシステム１００を校
正することにより、手動で行う校正作業と比較して正確
な校正を行うことができる。
正された診断ボード９を恒温槽２に装着して電流測定回
路４によって測定された電流値を基準値とし、テストバ
ーンイン装置１側の電流測定回路６の電流測定値をＣＰ
Ｕ８、及び調整回路７によって補正することができるた
め、テストバーンインシステム１００の電流を自動的に
測定することができるとともに、テストバーンイン装置
１に内蔵された電流測定回路６の自動調整を行うことが
できる。このことにより、テストバーンインシステム１
００を校正する作業を短時間で行うことができるととも
に、定期的に校正された電流測定回路４を内蔵する診断
ボード９によってテストバーンインシステム１００を校
正することにより、手動で行う校正作業と比較して正確
な校正を行うことができる。
【００４５】
【発明の効果】請求項１または請求項５記載の発明によ
れば、診断ボードを恒温槽に装着して、診断ボード側で
測定された電流値を基準値とし、テストバーンイン装置
側で測定された電流値を補正することができるため、テ
ストバーンインシステムの電流を自動的に測定すること
ができるとともに、テストバーンイン装置側の電流測定
機能の自動調整を行うことができる。このことにより、
テストバーンインシステムを校正する作業を短時間で行
うことができるとともに、定期的に校正された診断ボー
ドによってテストバーンインシステムを校正することに
より、手動で行う校正作業と比較して正確な校正を行う
ことができる。
れば、診断ボードを恒温槽に装着して、診断ボード側で
測定された電流値を基準値とし、テストバーンイン装置
側で測定された電流値を補正することができるため、テ
ストバーンインシステムの電流を自動的に測定すること
ができるとともに、テストバーンイン装置側の電流測定
機能の自動調整を行うことができる。このことにより、
テストバーンインシステムを校正する作業を短時間で行
うことができるとともに、定期的に校正された診断ボー
ドによってテストバーンインシステムを校正することに
より、手動で行う校正作業と比較して正確な校正を行う
ことができる。
【００４６】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の効果に加えて、測定する電流レンジを適宜切
り換えることができるとともに、Ａ／Ｄ変換回路のゲイ
ンやオフセット等を調整することにより、前記第１の電
流測定手段自身を容易に校正することができるため、定
期的に前記第１の電流測定手段を校正した上でテストバ
ーンインシステムの校正を行うこととすれば、より正確
な校正を行うことができる。また、アナログ信号をデジ
タル信号にＡ／Ｄ変換することにより、測定された電流
値を補正する信号を生成する補正信号生成手段として
は、予めＲＯＭ等に格納されたプログラムを実行するＣ
ＰＵ等を使用することができるため、テストバーンイン
システムの汎用性を高めることができる。
載の発明の効果に加えて、測定する電流レンジを適宜切
り換えることができるとともに、Ａ／Ｄ変換回路のゲイ
ンやオフセット等を調整することにより、前記第１の電
流測定手段自身を容易に校正することができるため、定
期的に前記第１の電流測定手段を校正した上でテストバ
ーンインシステムの校正を行うこととすれば、より正確
な校正を行うことができる。また、アナログ信号をデジ
タル信号にＡ／Ｄ変換することにより、測定された電流
値を補正する信号を生成する補正信号生成手段として
は、予めＲＯＭ等に格納されたプログラムを実行するＣ
ＰＵ等を使用することができるため、テストバーンイン
システムの汎用性を高めることができる。
【００４７】請求項３記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の効果に加えて、アナログ信号をデジタル信号
にＡ／Ｄ変換することにより、測定された電流値を補正
する信号を生成する補正信号生成手段としては、予めＲ
ＯＭ等に格納されたプログラムを実行するＣＰＵ等を使
用することができるため、テストバーンインシステムの
汎用性を高めることができる。
載の発明の効果に加えて、アナログ信号をデジタル信号
にＡ／Ｄ変換することにより、測定された電流値を補正
する信号を生成する補正信号生成手段としては、予めＲ
ＯＭ等に格納されたプログラムを実行するＣＰＵ等を使
用することができるため、テストバーンインシステムの
汎用性を高めることができる。
【００４８】請求項４記載の発明によれば、請求項３記
載の発明の効果に加えて、前記第２の電流測定手段を構
成するＡ／Ｄ変換回路のゲイン及びオフセットを調整す
ることにより、前記第２の電流測定手段の校正を容易に
行うことができる。
載の発明の効果に加えて、前記第２の電流測定手段を構
成するＡ／Ｄ変換回路のゲイン及びオフセットを調整す
ることにより、前記第２の電流測定手段の校正を容易に
行うことができる。
【図１】本発明の一実施の形態におけるテストバーンイ
ンシステム１００の電源電流測定に関与する回路構成を
示すブロック図である。
ンシステム１００の電源電流測定に関与する回路構成を
示すブロック図である。
【図２】従来のテストバーンインシステムにおいて、テ
ストバーンイン装置の電流測定回路を校正する場合の接
続状態を示す図である。
ストバーンイン装置の電流測定回路を校正する場合の接
続状態を示す図である。
１００ テストバーンインシステム １ テストバーンイン装置 ２ 恒温槽 ３ 電流値切り換え回路 ４ 電流測定回路 ５ ＰＳ電源 ６ 電流測定回路 ７ 調整回路 ７ａ ゲイン調整回路 ７ｂ オフセット調整回路 ８ ＣＰＵ ９ 診断ボード ２００ テストバーンインシステム １０ 電子負荷 １１ テストバーンイン装置 １２ 恒温槽 １５ ＰＳ電源 １６ 電流測定回路 １８ ＣＰＵ １９ 診断ボード
Claims (5)
- 【請求項１】所定の温度条件に従う環境を生成する恒温
槽と、この恒温槽内に装着されたテストバーンインボー
ドに実装される被測定デバイスに対して試験信号を印可
して被測定デバイスの良否を判定するテストバーンイン
装置とによって構成されるテストバーンインシステムに
おいて、 前記恒温槽は、 前記テストバーンイン装置から供給される電源の電流値
を測定する第１の電流測定手段を備える診断ボードを装
着し、 前記テストバーンイン装置は、 当該テストバーンイン装置に所定電圧の電源を供給する
電源装置と、 この電源装置から当該テストバーンイン装置に供給され
る電源の電流値を測定する第２の電流測定手段と、 前記第１の電流測定手段によって測定される電流値を基
準値として、前記第２の電流測定手段によって測定され
る電流値を補正するための補正信号を生成する補正信号
生成手段と、 この補正信号生成手段によって生成される補正信号に基
づいて、前記第２の電源電流測定手段によって測定され
る電流値を調整する調整手段と、 によって構成されることを特徴とするテストバーンイン
システム。 - 【請求項２】前記第１の電流測定手段は、 一端を前記第２の電流測定手段と接続され、また他端を
接地されており、抵抗値を切り換えることによって測定
する電流レンジを切り換え可能とする電流値切り換え回
路と、 この電流値切り換え回路の両端電圧の値を所定増幅率で
増幅する増幅回路と、 この増幅回路から入力されるアナログ信号をデジタル信
号に変換するＡ／Ｄ変換回路と、 によって構成されることを特徴とする請求項１記載のテ
ストバーンインシステム。 - 【請求項３】前記第２の電流測定手段は、 一端を前記電源装置と、また他端を前記第１の電流測定
手段と接続されており、前記電源装置から供給される電
源電圧に応じて両端間に電圧降下による電圧を生じる抵
抗器と、 この抵抗器の両端電圧の値を所定増幅率で増幅する増幅
回路と、 この増幅回路から入力されるアナログ信号をデジタル信
号に変換するＡ／Ｄ変換回路と、 によって構成されることを特徴とする請求項１記載のテ
ストバーンインシステム。 - 【請求項４】前記補正信号生成手段は、前記第２の電流
測定手段によって測定される電流値を補正するための補
正信号として、前記第２の電流測定手段を構成するＡ／
Ｄ変換回路のゲインを補正するゲイン補正信号及びオフ
セットを補正するオフセット補正信号を生成し、 前記調整手段は、前記ゲイン補正信号及び前記オフセッ
ト補正信号に基づいて、前記第２の電流測定手段を構成
するＡ／Ｄ変換回路のゲイン及びオフセットを調整する
ことを特徴とする請求項３記載のテストバーンインシス
テム。 - 【請求項５】所定の温度条件に従う環境を生成する恒温
槽と、この恒温槽内に装着されたテストバーンインボー
ドに実装される被測定デバイスに対して試験信号を印可
して被測定デバイスの良否を判定するテストバーンイン
装置とによって構成されるテストバーンインシステムの
電源電流測定機能を校正するテストバーンインシステム
校正方法において、 前記恒温槽に装着された診断ボード側で、前記テストバ
ーンイン装置から供給される電源の電流値を測定し、 前記テストバーンイン装置側で、所定電圧の電源を供給
する電源装置から当該テストバーンイン装置に供給され
る電源の電流値を測定し、前記診断ボード側で測定され
る電流値を基準値として、前記テストバーンイン装置側
で測定される電流値を補正するための補正信号を生成
し、当該生成される補正信号に基づいて、前記テストバ
ーンイン装置側で測定される電流値を調整することを特
徴とするテストバーンインシステム校正方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10176251A JP2000009792A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | テストバーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10176251A JP2000009792A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | テストバーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000009792A true JP2000009792A (ja) | 2000-01-14 |
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ID=16010306
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|---|---|---|---|
| JP10176251A Pending JP2000009792A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | テストバーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正方法 |
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|---|---|
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- 1998-06-23 JP JP10176251A patent/JP2000009792A/ja active Pending
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