JPH0783963A - 直流試験装置の校正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＣ試験装置やボード試験装置は、多数の直
流試験ユニットを備えているが、この直流試験ユニット
を校正する時に、デジタル電圧抵抗測定器をその校正基
準として使用する場合、一般にデジタル電圧抵抗測定器
の測定時間が長く、全体の校正時間に大きく影響する。
本発明はこの校正時間を短縮し、且つ高精度に国家標準
に校正することを目的とする。 【構成】 基準抵抗器１つとデジタル電圧抵抗測定器１
台を備え、複数の直流試験ユニットをいくつかの組に分
割する。分割された各組毎に１つの基準電圧源と１つの
副基準抵抗器を設ける。これらの基準抵抗器と試験ユニ
ットと電圧源と副基準抵抗器とは、複数のスイッチ介し
校正ラインを通して測定器に接続される。この各々をプ
ロセッサで制御しながら、各試験ユニットの校正を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＩＣ試験装置、ボード試
験装置等に用いられ、複数の直流試験ユニットからなる
直流試験装置の校正、特に校正基準としてデジタル電圧
抵抗測定器を用いて校正する校正方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ試験装置やボード試験装置には、デ
バイスやボードの特性を試験するために複数の直流試験
ユニットを備えている。この複数の直流試験ユニット１
（以下直流試験ユニット１をユニット１と略す）を校正
するに当たっては、その精度が国家標準に校正されてあ
るデジタル電圧抵抗測定器１０２（以下デジタル電圧抵
抗測定器１０２を測定器１０２と略す）を基準にして校
正する方法が知られている。

【０００３】この直流試験ユニットは被試験物に直流電
圧を印加して、そのとき流れる直流電流を測定するモー
ドと、直流電流を被試験物に供給して、そのとき発生す
る直流電圧を測定するモードとがある。この為ユニット
に対して、ａ．印加電圧の校正、ｂ．測定電流の校正、
ｃ．印加電流の校正、ｄ．測定電圧の校正の４種類の校
正を必要とする。そして、直流試験装置が複数のユニッ
トから構成されている場合、その各ユニットについて上
記４種類の校正を行う必要がある。

【０００４】先ず、４図と８図とを参照して１つのユニ
ットについて上記４種類の校正を行う方法についてユニ
ット１₁ を用いて説明する。印加電圧の校正方法は、選
択スイッチ２₁ と共通スイッチ３₁ とをオンとして、こ
の状態でユニット１₁ から電圧を発生させ、この電圧を
測定器１０２で測定し、設定値と測定値との誤差がゼロ
になるようにユニット１₁ を調整して行う（Ｓ₂ ）。

【０００５】測定電流の校正は、選択スイッチ２₁ と共
通スイッチ３₁ とをオフとし、共通スイッチ１０３とを
オンとして、測定器１０２を用いて基準抵抗器１０４の
抵抗値Ｒ_S を測定する（Ｓ₁ ）。その後、選択スイッチ
２₁ と共通スイッチ３₁ とをオンとして、ユニット１₁
から電圧を基準抵抗器１０４に印加し、その時の基準抵
抗器１０４の電圧値Ｖ_S を測定器１０２で測定する。こ
の時基準抵抗器１０４に流れた電流ｉ_s はＶ_S ／Ｒ_S と
なり、この電流ｉ_s をユニット１₁ で測定し、ｉ_s と測
定値との誤差がゼロとなるようにユニット１₁ を調整し
て行う（Ｓ₃ ）。

【０００６】印加電流の校正は、ユニット１₁ から電流
を発生し基準抵抗器１０４へ供給し、その時の基準抵抗
器１０４の両端の電圧Ｖ_S を測定器１０２で測定する。
Ｖ_S／Ｒ_S を計算しこの計算値と設定電流との誤差がゼ
ロとなるように、ユニット１₁ を調整して行う（Ｓ
₄ ）。測定電圧の校正は、ユニット１₁ から電圧を発生
し、これを測定器１０２とユニット１₁ との両方で測定
し、その両測定値が一致するようにユニット１₁ を調整
して行う（Ｓ₅ ）。

【０００７】従来の技術としては、特開平０４−１５１
５６６号明細書に示される技術が提案されているが、こ
の従来の校正方法を図８を参照して説明する。ここでは
ｎ個からなるユニット１₁ 〜１_n をｐ個ずつの組、この
例ではｐ＝４個ずつのｍ組（ｍ＝ｎ／ｐ）に分割し、こ
れら各組の校正ラインと校正ライン１０１との間にそれ
ぞれ共通スイッチ３₁ ，３₂ ，・・・３_m で接続する。
第１組のユニット１₁ 〜１₄ の各々は選択スイッチ２₁
〜２₄ を介し、更に１つの共通スイッチ３₁ を介して校
正ライン１０１に接続される。第２組のユニット１₅ 〜
１₈ の各々は選択スイッチ２₅ 〜２₈ を介し、更に１つ
の共通スイッチ３₂ を介して校正ライン１０１に接続さ
れる。以下同様にして、第ｍ組のユニット１_n-3 〜１_n
は選択スイッチ２_n-3 〜２_n を介して、更に１つの共通
スイッチ３_m を介して校正ライン１０１に接続される。

【０００８】共通スイッチ３₁ 〜３_m は、プロセッサ１
０６により各々個別に制御される。又、選択スイッチ２
₁ 〜２_n は、プロセッサ１０６よりＲＡＭ１０５にあら
かじめパターンを記憶させておき、ＲＡＭ１０５をプロ
セッサ１０６から制御することにより、各組の対応する
ものが同時に制御される。つまり、選択スイッチ２₁，
２₅ ，２₉ ・・・が同時に制御され、選択スイッチ２
₂ ，２₆ ，２₁₀・・・が同時に制御され、選択スイッチ
２₃ ，２₇ ，２₁₁・・・が同時に制御され、選択スイッ
チ２₄ ，２₈ ，２₁₂・・・が同時に制御される。

【０００９】このような接続で各組の第１番目のユニッ
ト１₁ ，１₅ ，１₉ ，・・・１_n-3を測定器１０２を用
いて、各々順次４種類の校正をする。図５はこの時の流
れを説明する図である。この場合、選択スイッチ２₁ ，
２₅ ，．．．２_n-3 をオンとしたまま、共通スイッチ３
₁ ，３₂ ，・・・３_m を順次オンとしてユニット１₁，
１₅ ，１₉ ，・・・１_n-3 を順次校正する。次に各組に
おいてその第１番目のユニットを基準としてその組の残
りのユニットを順次校正する。

【００１０】この場合、選択スイッチ２₁ ，２₅ ，２₉
・・・２_n-3 はオンにしたままで、まず選択スイッチ２
₂ ，２₆ ，２₁₀・・・２_n-2 をオンとしてユニット１₁
を基準にユニット１₂ を校正し、次にユニット１₅ を基
準にユニット１₆ を校正し、同様にしてユニット１_n-3
を基準にユニット１_n-2 を校正した後、選択スイッチ２
₂ ，２₆ ，２₁₀・・・２_n-2 はオフにする。次に選択ス
イッチ２₃ ，２₇ ，・・・２_n-1 を同時にオンとして、
ユニット１₁ を基準としてユニット１₃ を校正し、ユニ
ット１₅ を基準にユニット１₇ を校正し、ユニット１
_n-3 を基準としてユニット１_n-1 を校正し、以下同様に
して行う。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】この校正において、測
定器１０２による基準抵抗器１０４の抵抗値Ｒs の測定
に要する時間をｔ_drとし、測定器１０２による電圧測定
は、印加電圧の校正時と測定電流の校正時と印加電流の
校正時と測定電圧の校正時との各校正で行い、この各々
の電圧測定に要する時間の合計をｔ_dvとする。又、１つ
のユニットの４種類の校正の為のデータ設定並びに測定
時間をｔ_dcとし、１つのユニットにおいての選択スイッ
チ２及び共通スイッチ３との切り替え時間合計をｔ_swと
し、１つのユニットにおいての校正に必要な演算時間合
計をｔ_cuとする。

【００１２】この時、ｎ個からなるユニットを持ちｍ組
に分割されているユニットを、校正するに必要な時間ｔ
₁は ｔ₁ ＝ｔ_dr＋ｎ(ｔ_dv＋ｔ_dc＋ｔ_sw＋ｔ_cu)/4+3ｎ(ｔ_dc
＋ｔ_cu)/4＋3ｔ_sw＝ｔ_dr＋ｎ ｔ_dv/4＋ｎ ｔ_dc＋(ｎ/4
＋3)ｔ_sw＋ｎ ｔ_cu ・・・（１） となる。この校
正時間はユニットの数ｎの１／４に比例して長くなり、
特に測定器１０２による測定時間ｔ_drとｔ_dvは他の時間
に比べて長いため、校正時間に大きく影響を与えてい
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明によれ
ば、ユニットを複数毎の組に分割しその各組毎に基準電
圧源を１つ、副基準抵抗器を１つずつ設け、スイッチを
介し各組毎の校正ラインに接続し、更に共通スイッチ３
を介して校正ライン１０１に接続する。校正方法は先ず
基準抵抗器１０４を測定器１０２で測定する。次に各組
の基準電圧源を測定器１０２で測定し値付けをする。

【００１４】次に各組の任意のユニット（ユニットＡと
する）を使用して電圧を発生させ基準抵抗器に印加し
て、基準抵抗器に流れる電流を測定し、次にユニットＡ
で同じ電圧を発生し副基準抵抗器に印加して、副基準抵
抗器に流れる電流を測定する。副基準抵抗器の抵抗値
は、この電流比と基準抵抗値から計算し値付けをする。
以上により値付けした各組の基準電圧源と副基準抵抗器
とを基準として、各組のユニットを校正する。

【００１５】請求項２の発明によれば、請求項１におい
て各組毎にプロセッサを設ける。各組の基準電圧源と副
基準抵抗器の値付けは上記の場合と同じであるが、値付
けが終わった後は、各組の基準電圧源と副基準抵抗器と
を基準として、各組のユニットを各組のプロセッサで制
御しながら校正を行うことを、各組同時に行う。

【００１６】

【実施例】図１に請求項１の発明の実施例を示す。図６
も参照しながらこの校正方法を説明する。先ず基準抵抗
器１０４の値付けについて説明する。スイッチ１０３の
みをオンとして基準抵抗器１０４の抵抗値Ｒ_s を測定器
１０２で測定する（Ｓ₁ ）。次に基準電圧源の値付けに
ついて説明する。選択スイッチ１０３をオフとして選択
スイッチ６₁ ，６₂ ，・・・６_m をオンとし、共通スイ
ッチ３₁ のみをオンとして、第１組の基準電圧源４₁ を
測定器１０２で測定し基準電圧値Ｖ_s1を決定する。

【００１７】次に共通スイッチ３₁ をオフ、３₂ をオン
として第２組の基準電圧源４₂ を測定器１０２で測定し
基準電圧値Ｖ_s2を決定する。共通スイッチ３₂ をオフ、
３₃をオンとして、第３組の基準電圧源４₃ を測定器１
０２で測定し基準電圧値Ｖ_s3を決定する。共通スイッチ
３₃ をオフとする。以下同様にして共通スイッチ４_mを
オンとして第ｍ組の基準電圧源４_m を測定器１０２で測
定し基準電圧値Ｖ_smを決定する（Ｓ₆ ）。

【００１８】次に副基準抵抗器の値付けについて説明す
る。共通スイッチ１０３，３₁ と選択スイッチ２₁ とを
オンとし、その他のスイッチは総てオフとする。第１組
の任意のユニット（例えば１₁ とする）から任意の電圧
（Ｖ₁ ）を発生させ基準抵抗器１０４に印加し、基準抵
抗器１０４に流れる電流（ｉ_s1）を測定する。共通スイ
ッチ３₁ をオフに、選択スイッチ７₁ をオンとする。

【００１９】先に電圧（Ｖ₁ ）を発生させたのと同じユ
ニット（ここて゛はユニット１₁ ）で同じ電圧（Ｖ₁ ）
を発生させ副基準抵抗器５₁ に印加し、流れる電流ｉ₅₁
を測定する。これより副基準抵抗器５₁ の抵抗値Ｒ_s1は Ｖ₁ ＝ｉ_S1・Ｒ_S ・・・（２） Ｖ₁ ＝ｉ₅₁・Ｒ_S1 ・・・（３） Ｒ_S1＝（ｉ_S1／ｉ₅₁）・Ｒ_S ・・・（４） として値付けされる。

【００２０】次に共通スイッチ３₂ と選択スイッチ２₅
とをオンとし、選択スイッチ２₁ と７₁ とをオフとす
る。第２組の任意のユニット（例えば２₁ とする）から
任意の電圧（Ｖ₂ ）を発生させ基準抵抗器１０４に印加
し、基準抵抗器１０４に流れる電流（ｉ_S2）を測定す
る。共通スイッチ３₂ をオフとし、選択スイッチ７₂ を
オンとする。先に電圧（Ｖ₂ ）を発生させたのと同じユ
ニット（ここて゛はユニット２₁ ）で同じ電圧（Ｖ₂ ）
を発生させ副基準抵抗器５₂ に印加し、副基準抵抗器５
₂ に流れる電流ｉ₅₂を測定する。これより副基準抵抗器
５₂ の抵抗値Ｒ_S2はＲ_S2＝（ｉ_S2／ｉ₅₂）・Ｒ_S として
値付けされる。以下同様にして第ｍ組も、副基準抵抗器
５_m の抵抗値Ｒ_smをＲ_sm＝（ｉ_sm／ｉ_5m）・Ｒ_s として
値付けする（Ｓ₇ ）。以上で各組の基準電圧源と副基準
抵抗器の値付けが終わる。

【００２１】次に各ユニット１つについて４種類の校正
に進むのであるが、ここでは値付けの終わった各組の基
準電圧源と副基準抵抗器とを各組の基準とする。先ず、
測定電圧の校正について説明する。共通スイッチ１０
３，３₁ ，３₂ ，・・・３_m は総てオフとする。選択ス
イッチ６₁ ，６₂ ，・・・６_m と、２₁ ，２₂ ，２₃ ，
２₄ ，２₅ ，２₆ ，２₇ ，２₈ ，２₉ ，・・・２_n-3 ，
２_n-2 ，２_n-1 ，２_n とをオンとする。第１組のユニッ
ト１₁ により基準電圧源４₁ の電圧を測定し、その測定
値と先に測定したＶ_s1との誤差がゼロになるように、ユ
ニット１₁ を調整して行う。同様にしてユニット１₂ ，
１₃ ，１₄ も調整する。第２組のユニットは基準電圧源
４₂ の電圧を測定し、その測定値と先に測定したＶ_S2と
の誤差がゼロになるように１₅ ，１₆ ，１₇ ，１₈ を調
整する。第３組目以降のユニットも同様にして校正する
（Ｓ₈ ）。

【００２２】次に印加電圧の校正について説明する。印
加電圧の校正は、測定電圧の校正が終了したチャンネル
を基準として行う。選択スイッチ６１，６２，・・・６
ｍと、共通スイッチ２₃ ，２₄ ，２₇ ，２₈ ，・・・２
_n-1 ，２_n はすべてオフとし、共通スイッチ２₁ ，２
₂ ，２₅ ，２₆ ，２₉ ，２₁₀，・・・２_n-3 ，２_n-2 は
オンとする。第１組のユニット１₁ より電圧を発生させ
てユニット１₂ で電圧を測定し、その測定値と設定電圧
値との誤差がゼロになるようにユニット１₁ を調整して
行う。同様にして第２組のユニット１₅ を、第３組のユ
ニット１₉ を、・・・第ｍ組のユニット１_n-3 を校正す
る（Ｓ₉ ）。

【００２３】次に印加電流の校正について説明する。選
択スイッチ７１，７２，・・・７ｍをオンにする。第１
組のユニット１₁ から印加電流を発生し副基準抵抗器５
₁ に供給し、同ユニット１₁ で副基準抵抗器５₁ の両端
に発生する電圧を測定し、その測定値をＶ_a1とする。こ
の時副基準抵抗器５₁ に流れている電流ｉ_a1はｉ_a1＝Ｖ
_a1／Ｒ_S1となるので、このｉ_a1と設定値との誤差がゼロ
となるようにユニット１₁ を調整して行う。同様にし
て、第２組のユニット１₅ を、第３組のユニット１₉
を、・・・第ｍ組のユニット１_n-3 を校正する（Ｓ
₁₀ ）。

【００２４】次に測定電流の校正について説明する。共
通スイッチ２₂ ，２₆ ，２₁₀，・・・，２_n-2 はオフと
する。第１組のユニット１₁ から電圧（Ｖ_b1）を発生し
副基準抵抗器５₁ に印加し、副基準抵抗器５₁ に流れる
電流を同ユニット１₁ で測定しその測定値をｉ_b1とす
る。基準値はｉ_b1＝Ｖ_b1／Ｒ_s1であり、それとｉ_b1との
誤差がゼロとなるようにユニット１₁ を調整して行う。
同様にして、第２組のユニット１₅ を、第３組のユニッ
ト１₉ を、・・・第ｍ組のユニット１_n-3 を校正する
（Ｓ₁₁ ）。

【００２５】以上でユニット１₁ ，１₅ ，１₉ ，・・・
１_n-3 の校正が終了する。つぎに選択スイッチ２₁ ，２
₂ ，２₅ ，２₆ ，２₉ ２₁₀，，・・・２_n-3 ２_n-2 ，及
び共通スイッチ７₁ ，７₂ ，・・・７_m とをオンにし
て、先に校正したユニット１₁ ，１₅ ，１₉ ， ・・・
１_n-3 を基準として、各組のユニット１₂ ，１₆ ，１_{1 0}
，・・・１_n-2 の校正を行う。但し、測定電圧の校正
は終了しているので、印加電圧と印加電流及び測定電流
との校正である。以下同様にして、各組の最後のユニッ
ト迄の校正を順次繰り返し行う（Ｓ₁₂）。又、すべての
ユニット１の校正を基準電圧源４と副基準抵抗器５を基
準として、ユニット１₁ ，１₅ ，１₉ ，１_n-3 と同様の
方法で校正してもよい。

【００２６】このようにして全ユニットの校正を行った
場合のその校正時間ｔ₂ を求める。各組の基準電圧源の
測定時間は、共通スイッチ１回の切り替えと測定器１０
２で１回電圧測定しているので、１組当たりｔ_sw／４＋
ｔ_dv／４である。又、副基準抵抗器の値付け時間は、１
組当たり選択スイッチの切り替えを２回とユニットによ
る測定を２回と演算を２回行っているので２・ｔ_dc／４
＋２・ｔ_sw／４＋２・ｔ_cu／４である。各ユニットの校
正では試験ユニットによる測定４回と演算を４回である
ので１ユニット当たりｔ_dc＋ｔ_cuである。又、共通スイ
ッチ及び選択スイッチの切り替えは、各組の対応するス
イッチを同時に切り替える。ここでは各組のユニット数
であるｐ回、即ちこの例では全ユニットを通して４回の
切り替え時間である。

【００２７】従ってｔ₂ は ｔ₂ ＝ｔ_dr＋ｍ(ｔ_dv/4＋ｔ_sw/4)＋ｍ(2ｔ_dc/4＋2ｔ_sw/4＋2ｔ_cu/4) ＋ｎ(ｔ_dc＋ｔ_cu)＋ｐ・ｔ_sw ＝ｔ_dr＋ｎ(ｔ_dv/4＋ｔ_sw/4)4＋ｎ(2ｔ_dc/4＋2ｔ_sw/4＋2ｔ_cu/4)/4 ＋ｎ(ｔ_dc＋ｔ_cu)＋4ｔ_sw ＝ｔ_dr＋ｎ ｔ_dv/16＋9ｎ ｔ_dc/8＋(3ｎ/16＋4)ｔ_sw＋9ｎ ｔ_cu/8・・（ ５）となる。これを従来の方法による校正時間ｔ₁と比
較すると通常ｔ_dr，ｔ_dvｔ_dc，ｔ_sw，ｔ_cuとみなせるの
で、その差は ｔ₁−ｔ_2≒3ｎ ｔ_dv /16 ・・・
（６）となり、図１に示した校正方法によればユニット
ｎ個の場合測定器１０２でかかる時間ｔ_dvの３ｎ／１６
倍だけ短縮される。

【００２８】図２は請求項２の発明の実施例を示す。こ
の場合は各組毎にプロセッサ８１，８２，８３，・・・
８ｍが設けられており、各組のユニットをこれらで制御
する。各組の基準電圧源４及び副基準抵抗器５各々の値
付けは実施例１の場合と同様であるが、副基準抵抗器５
の値付けにおいては共通スイッチ３₁ ，３₂ ，・・・３
_m の制御はプロセッサ１０６で行い、且つ、各ユニット
の制御はプロセッサ１０６の制御のもとに各組のプロセ
ッサ８１，８２，８３，・・・８ｍが順次行う。また、
各組のユニット各々の校正方法も実施例１の場合と同じ
であるがこの場合もユニットの制御は各組のプロセッサ
８１，８２，８３，・・・８ｍに制御され、且つ、各組
の対応する番号のものを同時につまり並列的に校正す
る。

【００２９】図２における校正時間ｔ₃ は次式となる。 ｔ₃ ＝ｔ_dr＋ｎ(ｔ_dv/4＋ｔ_sw/4)/4＋ｎ(2ｔ_dc/4＋2ｔ_sw/4＋2ｔ_cu/4)/4 ＋4(ｔ_dc＋ｔ_sw＋ｔ_cu) ＝ｔ_dr＋ｎ ｔ_dv/16＋(ｎ/8＋4)ｔ_dc＋(3ｎ/16＋4)ｔ_sw＋(ｎ/8＋4) ｔ_cu ・・・（ ７） この時間と従来の方法による時間ｔ₁ との差は、 t₁ −ｔ₃ ＝3ｎ ｔ_dv/16＋(7ｎ/8−4)ｔ_dc＋(ｎ/16−１)ｔ_sw＋(7ｎ/8−4 )ｔ_cu ・・・ （８） となり、図２に示した校正方法によれば測定器
１０２でかかる時間ｔ_dvの３ｎ／１６倍だけ短縮され
る。

【００３０】また、実施例１による時間ｔ₂との差は
ｔ₂ −ｔ₃ ＝(ｎ−4)ｔ_dc/8＋(ｎ−4)ｔ_cu ・・・（９） となり、更にユニットによる測定時間ｔ_dcの（ｎ−４）
倍、および演算時間ｔ_cuの（ｎ−４）倍だけ短縮でき
る。

【００３１】上述の選択スイッチ２，６，７の制御は、
図３に示すように各組毎に１つのＲＡＭ９１，９２，・
・・９ｍを設けプロセッサ１０６、もしくはプロセッサ
８１，８２，・・・８ｍのどちらからでも制御てきるよ
うに構成してもよい。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、複
数の直流試験ユニットの各組毎に基準電圧源と副基準抵
抗器を設け、基準電圧源は測定器１０２を使用して測定
し、副基準抵抗器については直流試験ユニットを使用し
て測定し値付けを行った後に、各直流試験ユニットの校
正を行う。そのため測定器１０２を使用する頻度は図７
に示すように更に少なくなり、即ち、校正時間を短縮で
き、且つ、従来方法と同じく国家標準には高精度に校正
された試験装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の構成を示すブロック図であ
る。

【図２】本発明の実施例２の構成を示すブロック図であ
る。

【図３】実施例２において各組にＲＡＭを設けた場合の
構成を示すブロック図である。

【図４】校正の方法を示す流れ図である。

【図５】従来の校正方法を示す流れ図である。

【図６】本発明の実施例１の校正方法を示す流れ図であ
る。

【図７】測定器１０２の使用頻度を比較した図である。

【図８】従来方法の構成を示す図である。

【符号の説明】

１ （１₁，１₂，１₃，・・・１_n） 直流試験ユニット
（ＤＣＵ） ２ （２₁，２₂，２₃，・・・２_n） 選択スイッチ ３ （３₁，３₂，３₃，・・・３_m） 共通スイッチ ４ （４₁，４₂，４₃，・・・４_m） 基準電圧源 ５ （５₁，５₂，５₃，・・・５_m） 副基準抵抗器 ６ （６₁，６₂，６₃，・・・６_m） 選択スイッチ ７ （７₁，７₂，７₃，・・・７_m） 選択スイッチ ８ （８₁，８₂，８₃，・・・８_m） プロセッサ ９ （９₁，９₂，９₃，・・・９_m） ＲＡＭ １０１ 校正ライン １０２ デジタル電圧抵抗測定器 １０３ 共通スイッチ １０４ 基準抵抗器 １０５ ＲＡＭ １０６ プロセッサ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 校正基準となるデジタル電圧抵抗測定器
   （１０２）が校正ライン（１０１）に接続され、電流校
   正用基準抵抗器（１０４）及び複数の直流試験ユニット
   （１）がいくつかの組に分けられてその各組が選択スイ
   ッチ（２）と共通スイッチ（３）とを介して上記校正ラ
   イン（１０１）に接続され、各組の中には１つの基準電
   圧源（４）と１つの副基準抵抗器（５）をもち選択スイ
   ッチ（２）と共通スイッチ（３）とを介して上記校正ラ
   イン（１０１）に接続され、上記デジタル電圧抵抗測定
   器（１０２）、上記直流試験ユニット（１）、上記選択
   スイッチ（２）と共通スイッチ（３）とをプロセッサ
   （１０６）により制御することにより校正手段を構成す
   ることができる直流試験装置の校正において、上記基準
   抵抗器（１０４）と基準電圧源（４）とをデジタル電圧
   抵抗測定器（１０２）を用いて値付けし、直流試験ユニ
   ット（１）の任意の１つを用いて基準抵抗器（１０４）
   の値より副基準抵抗器（５）を値付けし、その後、値付
   けされた基準電圧源（４）と副基準抵抗器（５）を基準
   として直流試験ユニット（１）の校正する、ことを特徴
   とする直流試験装置の校正方法。
2. 【請求項２】 上記各組毎にプロセッサ（８）を設け、
   基準電圧源（４）と副基準抵抗器（５）との値付けが終
   わった後、基準電圧源（４）と副基準抵抗器（５）とを
   基準にして各組の直流試験ユニット（１）をそれぞれ校
   正することを各組同時に行う、ことを特徴とする請求項
   １記載の直流試験装置の校正方法。