JPH04151566A

JPH04151566A - 直流試験装置の校正方法

Info

Publication number: JPH04151566A
Application number: JP27578690A
Authority: JP
Inventors: Tadasuke Sato; 忠亮佐藤
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1990-10-15
Filing date: 1990-10-15
Publication date: 1992-05-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」この発明はＩＣ試験装置、ボード試験装置に用いられ、
複数の直流試験ユニットからなる直流試験装置の校正方
法、特に校正基準としてデジタル電圧抵抗測定器を用い
て校正する校正方法に関する。

「従来の技術Ｊ直流試験装置は被試験物に直流電圧を印加して、その時
流れる直流電流を測定するモードと、直撫電流を被試験
物に供給して、その時発生する直流電圧を測定するモー
ドとがある。

このため直流試験装置に対し、ａ、印加電圧の校正、ｂ
、測定電流の校正、Ｃ０印加電流の校正ｄ、測定電圧の
校正の４種類の校正を必要とする直流試験装置が複数の
直流試験ユニットから構成されている場合、その各直流
試験ユニットについて上記４種類の校正を行う必要があ
る。

まず第５図を参照して１つの直流試験ユニットについて
上記４種類の校正を行う方法を説明する直流試験ユニッ
ト１のセンス線端子Ｈ３、フォース線端子ＨＦ、接地線
端子ＡＣ１高品質接地線端子ＨＧがそれぞれ選択スイッ
チ２の接点２ａ、２ｂ２ｃ、２ｄを通して校正ライン１
１の線１１ａ。

１１ｂ、ｌｌｃ、ｌｉｄにそれぞれ接続されると共にス
イッチ１２を通してテストヘッド１３に接続されている
。図に示していないが、他に複数の直流試験ユニットが
同様に校正ライン１１及びテストヘッド１３にスイッチ
を通してそれぞれ接続され、被試験物を試験する時はス
イッチ１２がオンとされてテストヘッド１３を通じて図
に示してない被試験物と接続され、直流試験ユニット１
を校正する場合は選択スイッチ２がオンとされる。

校正ライン１１にはデジタル電圧抵抗測定Ｈ（デジタル
マルチメータ）１４が接続されると共に、スイッチ１５
を通じてｔ流校正用基準抵抗器１６が接続され、線１１
ａ、ｌｌｂ間にスイッチ１７が接続されている。デジタ
ル電圧抵抗測定器１４はその精度が国家標準に校正され
ている。

校正する時は選択スイッチ２をオンとしてお（、直流試
験ユニット１の印加電圧の校正は、スイッチ１５をオフ
、スイッチ１７をオンとし、この状態で、直流試験ユニ
ット１から電圧を発生させ、この電圧をデジタル電圧抵
抗測定器（以下単に測定器と記す）１４で測定し、設定
電圧が発生するように、つまり、誤差がゼロになるよう
に直流試験ユニット１を調整して行う。測定電流の校正
は、まず選択スイッチ２をオフとした状態でスイッチ１
５をオンとして、測定器１４Ｌこより電流校正用基準抵
抗器１６の抵抗値Ｒ３を測定し、その後、選択スイッチ
２をオンとし、直流試験ユニット】から電圧を基準抵抗
器１６に印加し、その時の基準抵抗器１６の電圧値■、
を測定器１４で測定し、この時、基準抵抗器１６に流れ
たｔ流ｉ、はＶ。

／　Ｒｓとなり、この電ｆＬｉ　ｓを直流試験ユニット
１で測定し、この測定値がｉ、となるように直流試験ユ
ニット１を校正する。印加を流の校正は、直流試験ユニ
ッ）Ｉから設定したｔ流を基準抵抗器１６へ供給し、そ
の時の基準抵抗器１６の両端；圧■、を測定器１４で測
定し、Ｖｓ／Ｒｓを求め、この測定１ｔｆＬ値が、直流
試験ユニット１の設定したｔ流値と一致するように直流
試験ユニット１を調整して行う、測定電圧の校正は直流
試験ユニットｌから基準抵抗器１６にｔ流を供給し、基
準抵抗器Ｉ６の両端電圧を測定器１４及び直流試験ユニ
ット１の両者で測定し、その両側定値が一致するように
直流試験ユニット１を校正する。

直流試験ユニット１が複数からなる直流試験装置の従来
の校正方法を第６図、第７図を参照して説明する。第６
図において校正ライン】１は１本で示しているが、第５
回に示したように４本の線からなり、この校正ライン１
１に、ｎ個の直流試験ユニッ）１＋　〜１７が実際には
第５メに示したようにしてそれぞれ選択スイッチ２１〜
２．、を通じて接続される。第５図と同様にｔ流校正用
基準抵抗器１６がスイッチ１５を介して校正ライン１１
に接続され、またデジタル電圧抵抗測定器１４が校正ラ
イン１１に接続される。更に校正に必要な制御、演算な
どを行うプロセッサ（ＣＰＵ）１７が直−ｆＬ試験ユニ
ント１．〜１ｏ、選択スイッチ２１〜２７、ディジタル
電圧抵抗測定器１４、スイッチ１５に接続されている。

従来の校正方法は第７図に示すようにまずスイッチ１５
のみをオンして、測定器】４で電流校正用基準抵抗器１
６の抵抗値Ｒ５を測定しくＳ、）、次に選択スイッチ２
．〜２ｏを順次オンとして、前述したようにして印加電
圧の校正を各直流試験ユニットＩＩ〜１．ｌについて順
次行い（Ｓ２）、次にスイッチ１５をオンにした状態で
選沢スイソチ２１〜２．ｌを順次オンとして前述したよ
うにして測定電流の校正を各直流試験ユニットｌ＋〜１
７について順次行う（Ｓ、）、その後、同様にしてスイ
ッチ１５をオンにしたままで選択スイッチ２゜〜２Ｒを
順次オンとして、前述したようにして印加電圧の校正を
各直流試験ユニット１．〜１おについて順次行う（Ｓ４
）、更にその後選択スイッチ２Ｉ〜２１１を順次オンと
して前述したようにして測定電圧の校正を各直流試験ユ
ニット１．〜１．。

について順次行う（Ｓ、）。

「発明が解決しようとする課題」この校正方法において、１つの直流試験ユニットについ
て、測定器１４による電圧測定は印加電圧の校正時と、
測定電流の校正時と、印加電流の校正時と、測定電圧の
校正時との各校正で行い、この４回の電圧測定に要する
時間の合計値をｔ。

とじ、測定器１４による基準抵抗器１６の抵抗値Ｒ３の
測定に要する時間をｔａｒ、１つの直流試験ユニット１
について校正のためのデータセット及び測定時間をＬ□
とし、１つの直流試験ユニット１についての選択スイッ
チ２の切替え時間をｔｏｗとし、１つの直流試験ユニッ
トｌについての校正に必要な演算時間をｔｃｗとすると
、従来の校正方法により、ｎ個の直流試験ユニットをも
つ直流試験装置を校正するに必要な時間ｔ０は、ｔｏ”
”ｔａｒ＋ｎ　（ｔ４ｗ＋　ｔａｃ＋Ｌ＊ｗ＋　ｔｃｕ
）・・・（１）となる、この校正時間ｔ０は直流試験ユ
ニット１の数ｎに比例して長くなり、特に測定器１４に
よる測定時間ｔ。及びＬａｗは他の時間に比べて長く、
校正時間に大きく影響を与えている。

「課題を解決するための手段」請求項１の発明によれば直流試験ユニットの１つをデジ
タル電圧抵抗測定器を用いて校正し、その後、その校正
した直流試験ユニットを使用して他の直流試験ユニット
を特徴する請求項２の発明によれば請求項１において、更に直流試
験ユニットを複数ごとの組に分割し、その各組と校正ラ
インとの間にそれぞれ各１つの共通スイッチを挿入し、
各組の対応する選択スイッチを同時に制御する。

請求項３の発明によれば請求項２において、各組ごとに
プロセッサを設け、各組の１つの直流試験ユニットを校
正した後、各組においてその校正した直流試験ユニット
をそれぞれ使用してその経内の他の直流試験ユニットを
それぞれ校正することを各組同時に行う。

「実施例」第１図に請求項１の発明の実施例を示す、この実施例で
は第６図に示した接続状態で校正を行う。

従って第６図をも参照しながらこの校正方法を説明する
。まずスイッチ１５のみをオンとして基準抵抗器１６の
抵抗値Ｒ３を測定器１４で測定する（Ｓ、）０次に任意
の１つの直流試験ユニット、例えば１．について、選択
スイッチ２１のみをオンとして測定器１４を用いて印加
電圧の校正を行い（５り、更にスイッチ１５、選択スイ
ッチ２をオンとして測定器１４を用いて直流試験ユニッ
ト１１の測定電流の校正を行い（ｓ、）、次にスイッチ
１５，２．をオンとして測定器１４を用いて直流試験ユ
ニット１．の印加電流の校正を行い、その後、選択スイ
ッチ２１のみをオンとして測定器１４を用いて直流試験
ユニット１．の測定電圧の校正を行う（Ｓｓ）。

このようにして１つの直流試験ユニット１１を、測定器
１４を用いて校正し終ると、次に選択スイッチ２．を常
時オンとしておき、他の選択スイッチ２．〜２Ｉｌの１
つＬ（ｉ＝２　３　　・・・ｎ）を順次選択してオンと
し、その選択により校正ライン１１に接続された直流試
験ユニット１゜について、印加電圧の校正（Ｓ、）、測
定電流の校正（Ｓｔ）、印加電流の校正（ＳＳ）、測定
電圧の校正（Ｓ、）を、校正された直流試験ユニッ）１
＋　を用いて行い、すべての直流試験ユニット１ｔ〜１
１１を校正する。

１つの直流試験ユニット１．の校正は次のようにして行
う。まず直流試験ユニット１．から電圧を発生させ、そ
の電圧を直流試験ユニット１１で測定して、直流試験ユ
ニット１８の印加電圧の校正を行い、直流試験ユニ・７
ト１１から電流を発生させ、その電流を直流試験ユニッ
ト１．で測定し、その直流試験ユニット１．の測定電流
の校正を行い、直流試験ユニッ）１４から電流を発生さ
せ、その電流を直流試験ユニットＩＩで測定して、直流
試験ユニット１１の印加電流の校正を行い、直流試験ユ
ニット１．から電圧を発生させ、その電圧を直流試験ユ
ニット１３で測定して直流試験ユニット１．の測定電圧
の校正を行う。

この場合の全体の校正に要する時間ｔ、は（］）式と同
様に表わすと次の式となる。

Ｌ　＋＝Ｌａｒ＋Ｌａｖ＋　Ｌｄｃ＋　Ｌ　ｉｗ＋　Ｌ
　ｃ−＋（ｎ　　１）　　（２Ｌｄｃ＋ｔｌｉｔ＋　ｔ
ｃｕ）＝ｔむ＋ｔ　ａｔ　＋　（２ｎｄ）　ｔ□＋ｎｔ
□＋ｎ　ｔ　ｃｕ（２）従来の方法による校正時間ｔｏ
との差は、ｔ　６　　　Ｌ　　１−（ｎ’−１）　　Ｌ
　ａｙ　　　（ｎ−１）　　ｔ　ａｃとなる。通常はｔ
ｄｖ）ｔｄｃであるから、ｔｏ　　ｔ、Ｌ：、（ｎ−１
）ｔ＋＋ｖとなり、第１図に示した校正方法によれば校
正時間は従来方法と比較して測定器１４による１つの直
流試験ユニットについて必要とする測定時間ｔ＋＋ｒの
（ｎ−１）倍だけ短縮される。

第２図に請求項２の発明による校正方法を行うための接
続構成の例を示す。つまりｎ個の直流試験ユニット１１
〜ｌ、を１個ずつの組、この例では！＝４個ずつの組に
分割し、これら各組と校正ライン１１との間にそれぞれ
共通スイッチ３Ｉ。

・・・３　、（ｍ　＝　ｎ　／　ｌ　）を挿入する。つ
まりこの例では直流試験ユニット１．〜１４の組はそれ
ぞれ選択スイッチ２．〜２４を介し、更に１つの共通ス
イッチ３．を介して校正ライン１１に接続され、直流試
験ユニット１．〜１８の組はそれぞれ選択スイッチ２．
〜２゜を介し、更に１つの共通スイッチ３．を介して校
正ライン１１に接続され、以下同様に直流試験ユニット
が組ごとに校正ライン１１に接続される。共通スイッチ
３．〜３゜はプロセッサ１７により各別に制御されるが
、選択スイッチ２１〜２．ｌは各組の対応するものが同
時に制御される。つまり選択スイッチ２３，２ｓ。

２、・・・が同時に制御され、選択スイッチ２２゜２、
．２．０・・・が同時に制御され、選択スイッチ２ｓ　
、２？、２５．・・・が同時に制御され、選択スイッチ
２．．２ｓ、２．□・・・が同時に制御される。この例
では選択スイッチ１．〜１．．の制御のため、ＲＡＭ１
Ｂにパターンを記憶し、プロセッサ１７によりＲＡＭ１
８を読出して選択スイッチ２、〜２．を制御する。

このような接続で、第３図に示すように各組の第１番目
の直流試験ユニ７ト１１．Ｉｓ、１？。

・・・１７−３を測定器１４を用いて全項目についてそ
れぞれ順次校正する。この場合選択スイッチ２、．２．
．２．、　　・・・２７１をオンとしたまま、共通スイ
ッチ３１，３□、・・・３．、を順次オンとして直流試
験ユニ’７）１＋、Ｉｓ、１−・・・１７、□３を順次
校正する。次に各組においてその第１番目の直流試験ユ
ニットを基準として、その組の残りの直流試験ユニット
を順次校正する。この場合、選択スイッチ２５．２ｓ、
　　・・・２ｏ−１を常にオンとしておき、まず、選択
スイッチ２２゜２６．・・・２い−２をオンとして、直
流試験ユニットｌ、を基準に直流試験ユニット１□を校
正し、次に直流試験ユニット１ｓを基準に直流試験ユニ
ット１．を校正し、・・・、直流試験ユニット１、、−
３を基準に直流試験ユニット１．、−２を校正し、その
後、選択スイッチ２□、２６．・・・２．、−ｚにかえ
て選択スイッチ２ｉ、２−、　　・・・Ｌ−１を同時に
オンとして、直流試験ユニット１１を基準に直流試験ユ
ニット１．を校正し、次に直流試験ユニット１．を基準
に直流試験ユニット１１を校正し、・・・直流試験ユニ
ン）Ｉｎ−３を基準に直流試験ユニット１．、−１を校
正し、以下同様にして行う。

この場合の全体の校正時間Ｌ２は次式となる。

Ｌｘ　　＝Ｌａｒ＋　　ＣＬａｖ＋Ｌｉｃ＋　Ｌｓｗ＋
Ｌｃｕ）　十各組の１番目の校正ｎ（ｔ　ｉｌｃ＋　ｔ　ｃｕ）＋３ｔい各組の残りの校正・（３）これと従来の方法による時間との差はｔｏ−ｔｔ合、測
定器１４による電圧測定時間及びスイッチ切替時間が従
来の場合と比較して約１／４となる。

第４図に請求項３の発明の実施例における接続図を示す
。この場合は分割された直流試験ユニットの各組ごとに
プロセッサ４２．・・・４わが設けられる。・この校正
手順は第３図とほぼ同様であり、まず各組の第１番目の
直流試験ユニット１．。

１５　・・・Ｉ、、−ｚをそれぞれ測定器１４を基準と
して校正し、その後、各組においてそれぞれ第１番目の
直流試験ユニット１．、Ｉｓ　　・・・１゜−３を基準
としてその組の残りの直流試験ユニットをそれぞれ校正
するが、その場合、プロセッサ４．。

４□　・・・４．をそれぞれ用いて、各組の対応する番
号のものを同時につまり並列的に校正する。

この場合の全校正時間ｔ、は次式で表わせる。

ｔ３　＝ｔ４ｒ＋　　（ｔｄｖ＋Ｌｄｃ＋ｔｓ−＋ｔｃ
ｕ）”（１，ｃ＋１□＋１　ｅ、、）・　・（４）この時間と従来法による時間ｔ０との差は、＋　　（ｎ　　　ａ）　　ｔｃａとなる。従ってｎが大きい場合は測定器１４の電圧測定
時間、直流試験ユニットのセットアツプ時間、測定時間
、更に演算時間がそれぞれ従来方法の約１／４に短縮さ
れる。

上述では各直流試験ユニットごとに、印加電圧校正、測
定電流校正、印加電流校正、測定電圧校正の順に行った
が、その順は任意でよい。また請求項２及び３の各実施
例では各組の基準（前記例では第１番目）の直流試験ユ
ニットの全ての項目の校正を終了後に、残りの直流試験
ユニットの校正を行ったが、各項目ごとに行ってもよい
。特に測定電圧校正は、基準となる直流試験ユニットの
印加電圧校正が終了すれば他の直流試験ユニットは各組
ごとではなく、残りのすべての直流試験ユニットを同時
に接続して校正することもできる。

各経内の１つの直流試験ユニットの校正はその１つのみ
を測定器１４を用いて行い、残りはその校正されたもの
を用いて行ってもよい。

「発明の効果」以上述べたようにこの発明によれば直流試験ユニットの
１つ又は各組の１つをデジタル電圧抵抗測定器を用いて
校正し、その校正した直流試験ユニットを用いて残りの
直流試験ユニットの校正を行うため、その残りの直２ｉ
！Ｌ試験ユニットの数が多い程、全体としての校正に要
する時間が従来よりも短くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は請求項１の発明の実施例を示す流れ図、第２図
は請求項２の発明の実施例の接続構成を示すブロック回
、第３図はその校正方法を示す流れ図、第４図は請求項
３の発明の実施例の接続構成を示すブロック図、第５図
は直流試験ユニットとデジタル電圧抵抗測定器との接続
を示す回、第６図は複数の直流試験ユニットからなる直
流試験装置の校正時の接続を示すブロック図、第７図は
従来の校正方法を示す流れ図である。特許出願人株式会社アトパンテスト

Claims

【特許請求の範囲】

（１）校正基準となるデジタル電圧抵抗測定器が校正ラ
インに接続され、電流校正用基準抵抗器、複数の直流試験ユニットがそれ
ぞれ選択スイッチを介して上記校正ラインに接続され、上記デジタル電圧抵抗測定器、上記直流試験ユニット、
上記選択スイッチをプロセッサにより制御することによ
り校正手段を構成することができる直流試験装置の校正
方法において、上記直流試験ユニットの何れか１つを、上記デジタル電
圧抵抗測定器を用いて校正し、その後、その校正された直流試験ユニットを使用して他
の直流試験ユニットを校正する、ことを特徴とする直流
試験装置の校正方法。
（２）上記直流試験ユニットを複数ごとの組に分割し、
その各組と上記校正ラインとの間にそれぞれ共通スイッ
チを挿入し、上記各組の対応する選択スイッチを同時に制御すること
を特徴とする請求項１記載の直流試験装置の校正方法。
（３）上記各組ごとにプロセッサを設け、上記各組の１つの直流試験ユニットを校正し、その後、
各組においてその校正した直流試験ユニットをそれぞれ
使用して、その組内の他の直流試験ユニットをそれぞれ
校正することを各組同時に行うことを特徴とする請求項
２記載の直流試験装置の校正方法。