JP2002207066A

JP2002207066A - 自己診断回路及びシステムｌｓｉテスタ

Info

Publication number: JP2002207066A
Application number: JP2001001957A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Kawabata; 雅之川端
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2001-01-09
Filing date: 2001-01-09
Publication date: 2002-07-26
Anticipated expiration: 2021-01-09
Also published as: JP4866506B2

Abstract

(57)【要約】【課題】自己診断及びキャリブレーションの所用時間
を短縮することができる技術の提供。【解決手段】二つの測定チャンネルを有する多チャン
ネル高精度電圧測定器１００と、テストヘッド２ａ及び
２ｂそれぞれのアナログユニット・ピンエレクトロニク
ス２２ａと多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用
アナログ経路４とを備え、多チャンネル電圧測定器が、
二つのテストヘッドのアナログユニット・ピンエレクト
ロニクスそれぞれの出力電圧を、診断用アナログ経路を
介して、並列に測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、システムＬＳＩテ
スタを構成する自己診断回路及びそれを備えたシステム
ＬＳＩテスタに関し、特に、短時間で自己診断やキャリ
ブレーションを行うことができる、アナログユニットの
自己診断に用いて好適な自己診断回路及びシステムＬＳ
Ｉテスタに関する。

【０００２】

【従来の技術】システムＬＳＩテスタにおいては、定期
的に自己診断プログラムを実行して動作を確認してい
る。さらに、ハードウエアの増設や機能拡張、故障修
理、ＯＳのリビジョンアップの際にも、最終チェックと
して自己診断プログラムを実行して動作を確認してい
る。

【０００３】また、設置環境の温度変化や経時変化に対
して、システムＬＳＩテスタの測定精度を維持するた
め、強制的又は自動的にキャリブレーション（イニシャ
ライズとも称する。）が実行され、アナログユニットの
出力電圧の誤差が補正されている。

【０００４】自己診断又はキャリブレーションの実行に
あたっては、テストヘッドに、通常のパフォーマンス・
ボードの代わりに、診断用パフォーマンス・ボードを接
続する。そして、診断用パフォーマンス・ボードに対す
るアナログユニットの出力電圧を測定する。

【０００５】ここで、図９を参照して、システムＬＳＩ
テスタにおける従来の診断回路の一例について説明す
る。図９に示すように、このシステムＬＳＩテスタは、
メインフレーム１と第一及び第二テストヘッド２ａ及び
２ｂとにより構成されている。そして、メインフレーム
１には、二系統の第一及び第二アナログユニット（ＡＵ
１、ＡＵ２）１２ａ、１２ｂが設けられている。また、
第一及び第二テストヘッド２ａ及び２ｂには、それぞ
れ、二系統の第一及び第二アナログユニット・ピンエレ
クトロニクス（ＡＵＰ１、ＡＵＰ２）２２ａ及び２２ｂ
が設けられている。

【０００６】次に、図１０を参照して、二つのアナログ
ユニット・ピンエレクトロニクスのうち、ＡＵＰ１（２
２ａ）の構成について代表して説明する。図１０に示す
ように、ＡＵＰ１（２２ａ）には、二系統のアナログ試
験信号を扱えるように、二系統のチャンネルＣＨ１及び
ＣＨ２経路が設けられている。

【０００７】ＣＨ１入力２２４ａ又はＣＨ２入力２２４
ｂに入力されたアナログ試験信号は、ローパスフィルタ
（ＬＰＦ）２２１で高周波の雑音成分を除去される。続
いて、減衰器（ＡＴＴ）２２２で、信号振幅を調整され
る。さらに、デジタル／アナログ変換器（Ｄ／Ａ）２２
３によりＤＣオフセット電圧をデジタル／アナログ変換
された、アナログ試験信号と同相のオフセット信号が加
算される。このようにして、ゲイン及びオフセットが調
整されたアナログ試験信号が生成される。

【０００８】そして、ＬＳＩ試験の際には、図１０のＣ
Ｈ１又はＣＨ２系とのスイッチＳＷ１が閉じられて導通
状態となり、かつ、ＳＷ２が開いて非導通状態となる。
その結果、第一アナログユニット１２ａから出力された
アナログ試験信号は、ＡＵＰ１（２２ａ）を介して、パ
フォーマンス・ボードへ出力される。また、第二アナロ
グユニット１２ｂから出力されたアナログ試験信号は、
ＡＵＰ２（２２ｂ）を介して、パフォーマンス・ボード
へ出力される。

【０００９】これに対して、自己診断又はキャリブレー
ションの際には、図１０のＣＨ１又はＣＨ２系とのスイ
ッチＳＷ１が開いて非導通状態となり、かつ、ＳＷ２が
閉じて導通状態となる。その結果、ＡＵＰ１（２２ａ）
又はＡＵＰ２（２２ｂ）の出力は、ユニット経路分配器
２１及びテストヘッド分配器１１を介して、デジタルボ
ルトメータ１０へ入力される。

【００１０】また、このシステムＬＳＩテスタは、自己
診断回路として、メインフレーム１内のデジタルボルト
メータ１０と、診断用アナログ経路４を備えている。診
断用アナログ経路４は、各テストヘッド２ａ及び２ｂの
各ＡＵＰ１及びＡＵＰ２とデジタルボルトメータ１０と
を接続する。そして、デジタルボルトメータ１０には、
診断用アナログ経路４上のユニット経路分配器２１及び
テストヘッド分配器１１を介して、第一テストヘッド２
ａ又は第二テストヘッド２ｂのＡＵＰ１（２２ａ）又は
ＡＵＰ２（２２ｂ）からの出力電圧が入力される。した
がって、診断精度を確保するため、全テストヘッドの各
ユニットの出力電圧確度は一つのデジタルボルトメータ
１０にトレースされている。

【００１１】自己診断又はキャリブレーションにあたっ
ては、テストヘッド分配器１１において、まず、第一及
び第二テストヘッド２ａ及び２ｂのうちのどちらか一方
が選択される。さらに、選択された方のテストヘッドの
ユニット経路分配器２１において、ＡＵＰ１（２２ａ）
及びＡＵＰ２（２２ｂ）のうちのどちらか一方が選択さ
れる。そして、全テストヘッドの各ユニットは、一つず
つ順次に、デジタルボルトメータ１０に接続される。

【００１２】次に、図１１を参照して、従来の自己診断
方法の一例について説明する。従来は、各テストヘッド
の各チャンネルについて、順次に自己診断やキャリブレ
ーションを行っていた。すなわち、図１１に示すよう
に、まず、第一テストヘッド２ａのチャンネル１につい
て診断項目１〜３が順次に処理され、続いて、第一テス
トヘッド２ａのチャンネル２について、診断項目１〜３
が順次に処理される。次に、第二テストヘッドの２ｂの
チャンネル１について、診断項目１〜３が順次に処理さ
れ、続いて、第二テストヘッド２ｂのチャンネル２につ
いて、診断項目１〜３が順次に処理される。

【００１３】また、診断項目として、例えば、診断項目
１では、アナログ試験信号の「電圧出力条件設定」、
「電圧測定経路設定」、「電圧出力」、「電圧測定」、
「データの読み出し」及び「判定」の処理が一つずつ順
次に行われる。なお、図１１においては、各チャンネル
について三つの診断項目を示しているが、実際には、各
チャンネルごとに何十項目もの診断項目が処理される。
また、図１１では、ビデオ帯の任意波形発生器に由来す
るアナログ試験信号を診断した例を示しているが、通常
は、ビデオ帯の診断に続いて、オーディオ帯のアナログ
試験信号についても、各チャンネルについて、同様にシ
リアルに診断処理を行う。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、自己診
断やキャリブレーション等のメンテナンスには、通常数
時間の時間を要する。また、キャリブレーションにも、
通常数十分間の時間を要する。さらに、テストヘッド数
やチャンネル数が倍増すれば、メンテナンスに要する時
間も倍増してしまう。

【００１５】特に、アナログ電圧の測定には時間がかか
る。例えば５０Ｈｚの商業電源を利用する場合、一つの
測定ポイントにつき１／５０秒＝２０ｍｓｅｃの時間、
電圧を積分する必要がある。このため、アナログ電圧の
測定時間をこれ以上短縮することは困難である。

【００１６】本発明は、上記の事情にかんがみてなされ
たものであり、自己診断及びキャリブレーションの所用
時間を短縮することができる自己診断回路及びそれを備
えたシステムＬＳＩテスタ技術の提供を目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】この目的の達成を図るた
め、本発明の請求項１に係る自己診断回路（以下、「第
一の自己診断回路」と称する。）によれば、複数のテス
トヘッドを有し、アナログ試験信号を出力するアナログ
ユニットをテストヘッド別に設けたシステムＬＳＩテス
タを構成する自己診断回路であって、複数の測定チャン
ネルを有する多チャンネル電圧測定器と、アナログユニ
ットの各々と多チャンネル電圧測定器とを接続する診断
用アナログ経路とを備え、多チャンネル電圧測定器が、
互いに異なるテストヘッド用の複数のアナログユニット
からの出力電圧を、診断用アナログ経路を介して、並列
に測定する構成としてある。

【００１８】このように、本発明の自己診断回路によれ
ば、複数のテストヘッドのアナログユニットの出力電圧
を、多チャンネル電圧測定器により並列で測定すること
がきる。これにより、自己診断やキャリブレーションに
要する時間を短縮することができる。

【００１９】また、請求項２記載の発明によれば、アナ
ログユニットがそれぞれ複数のチャンネルを有し、診断
用アナログ経路が、チャンネルの各々と多チャンネル電
圧測定器とをそれぞれ接続し、多チャンネル電圧測定器
が、複数のチャンネルからの出力電圧を、診断用アナロ
グ経路を介して、並列に測定する構成としてある。この
ように、アナログユニットの複数のチャンネルの出力電
圧も、さらに、多チャンネル電圧測定器により並列で測
定すれば、自己診断やキャリブレーションに要する時間
を一層短縮することができる。

【００２０】また、請求項３記載の発明によれば、多チ
ャンネル電圧測定器が、複数のチャンネルのうち少なく
とも二以上のチャンネルから互いに同一のアナログ試験
信号として同時に出力された出力電圧を並列に測定する
構成としてある。このように、複数のチャンネルで互い
に同一のアナログ試験信号を同時に出力する同測を行え
ば、一つのテストプログラムによって、複数のアナログ
ユニットの自己診断やキャリブレーションを短時間に行
うことができる。

【００２１】また、本発明の請求項４に係るシステムＬ
ＳＩテスタ（以下、「第一のシステムＬＳＩテスタ」と
も称する。）によれば、複数のテストヘッドを有し、ア
ナログ試験信号を出力するアナログユニットをテストヘ
ッド別に設け、かつ、自己診断回路を備えたシステムＬ
ＳＩテスタであって、自己診断回路は、複数の測定チャ
ンネルを有する多チャンネル電圧測定器と、アナログユ
ニットの各々と多チャンネル電圧測定器とを接続する診
断用アナログ経路とを備え、かつ、互いに異なるテスト
ヘッド用の複数のアナログユニットからの出力電圧を、
診断用アナログ経路を介して、並列に測定する構成とし
てある。

【００２２】このように、本発明のシステムＬＳＩテス
タによれば、複数のテストヘッドのアナログユニットの
出力電圧を、多チャンネル電圧測定器により並列で測定
することがきる。これにより、自己診断やキャリブレー
ションに要する時間を短縮することができる。

【００２３】また、本発明の請求項５に係る自己診断回
路（以下、「第二の自己診断回路」と称する。）によれ
ば、単一のテストヘッドを有し、複数のチャンネル別に
アナログ試験信号をそれぞれ出力するアナログユニット
を設けたシステムＬＳＩテスタを構成する自己診断回路
であって、複数の測定チャンネルを有する多チャンネル
電圧測定器と、アナログユニットのチャンネルの各々と
多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経
路とを備え、多チャンネル電圧測定器が、複数のチャン
ネルからの出力電圧を、診断用アナログ経路を介して、
並列に測定する構成としてある。

【００２４】また、本発明の請求項６に係るシステムＬ
ＳＩテスタ（以下、「第二のシステムＬＳＩテスタ」と
も称する。）によれば、単一のテストヘッドを有し、複
数のチャンネル別にアナログ試験信号をそれぞれ出力す
るアナログユニットを設け、かつ、自己診断回路を備え
たシステムＬＳＩテスタであって、自己診断回路は、複
数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器
と、アナログユニットのチャンネルの各々と多チャンネ
ル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路とを備
え、かつ、複数のチャンネルからの出力電圧を、診断用
アナログ経路を介して、並列に測定する構成としてあ
る。

【００２５】このように、本発明の第二の自己診断回路
及び第二のシステムＬＳＩテスタによれば、アナログユ
ニットの複数のチャンネルの出力電圧を、多チャンネル
電圧測定器により並列で測定することができる。これに
より、自己診断やキャリブレーションに要する時間を短
縮することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。［第一実施形態］まず、図１及び図２を参照して、本発
明の第一の自己診断回路及び第一のシステムＬＳＩテス
タの一例について、併せて第一実施形態として説明す
る。

【００２７】図１に示すように、第一実施形態のシステ
ムＬＳＩテスタは、メインフレーム１と第一及び第二テ
ストヘッド２ａ及び２ｂとにより構成されている。そし
て、メインフレーム１には、二系統の第一及び第二アナ
ログユニット（ＡＵ１、ＡＵ２）１２ａ、１２ｂが設け
られている。また、第一及び第二テストヘッド２ａ及び
２ｂには、それぞれ、二系統の第一及び第二アナログユ
ニット・ピンエレクトロニクス（ＡＵＰ１、ＡＵＰ２）
２２ａ及び２２ｂが設けられている。

【００２８】さらに、このシステムＬＳＩテスタは、自
己診断回路として、メインフレーム１内の多チャンネル
高精度電圧測定器１００と、診断用アナログ経路４とを
備えている。多チャンネル高精度電圧測定器１００は、
二チャンネルで同時に電圧測定を行うことができる。そ
して、多チャンネル高精度電圧測定器１００には、診断
用アナログ経路４を介して、第一テストヘッド２ａ又は
第二テストヘッド２ｂのＡＵＰ１（２２ａ）又はＡＵＰ
２（２２ｂ）からの出力電圧が入力される。

【００２９】また、診断用アナログ経路４は、各テスト
ヘッド２ａ及び２ｂの各ＡＵＰ１及びＡＵＰ２と多チャ
ンネル高精度電圧測定器１００とをそれぞれ接続してい
る。さらに、診断用アナログ経路４上には、各テストヘ
ッド２ａ及び２ｂ内に、それぞれユニット経路分配器２
１が設けられている。

【００３０】次に、図２を参照して、第一実施形態にお
ける自己診断方法例について説明する。自己診断又はキ
ャリブレーションにあたっては、第一及び第二テストヘ
ッド２ａ及び２ｂ両方のユニット経路分配器２１におい
て、ＡＵＰ１（２２ａ）及びＡＵＰ２（２２ｂ）のうち
のどちらか一方がそれぞれ選択される。そして、二つの
テストヘッドでそれぞれ選択されたユニットは、同時か
つ個別に、多チャンネル高精度電圧測定器１００に接続
される。

【００３１】そして、第一実施形態では、多チャンネル
高精度電圧測定器１００が、第一テストヘッド２ａ内の
ＡＵＰ１又はＡＵＰ２の出力電圧と、第二テストヘッド
２ｂ内のＡＵＰ１又はＡＵＰ２の出力電圧とを、診断用
アナログ経路４を介して、並列に測定する。

【００３２】すなわち、図２に示すように、第一テスト
ヘッド２ａのＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル１と、第
二テストヘッド２ｂのＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル
１とで、二系統並列に、診断項目１〜３が順次に処理さ
れる。さらに、それぞれ続いて、第一テストヘッド２ａ
のＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル２と、第二テストヘ
ッド２ｂのＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル２とで、二
系統並列に、それぞれのＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネ
ル２について、診断項目１〜３が順次に処理される。

【００３３】言い換えれば、第一テストヘッド２ａのＡ
ＵＰ１（２２ａ）について、チャンネル１の診断項目１
〜３が順次に診断され、続いて、チャンネル２の診断項
目１〜３が順次に診断されているときに、同時に、第二
テストヘッド２ｂのＡＵＰ１（２２ａ）についても、チ
ャンネル１の診断項目１〜３が順次に診断され、続い
て、チャンネル２の診断項目１〜３が順次に診断されて
いる。

【００３４】このように、第一実施形態では、二つのテ
ストヘッド２ａ及び２ｂのアナログユニット・ピンエレ
クトロニクスの自己診断やキャリブレーションを並列し
て行うことができる。その結果、二つのテストヘッドを
一つずつ順次に自己診断等していた場合に比べ、自己診
断等に要する時間を約半分に短縮することができる。

【００３５】なお、図２においては、各チャンネルにつ
いて三つの診断項目を示しているが、実際には、各チャ
ンネルごとに何十項目もの診断項目が処理されている。
また、図２では、ビデオ帯の任意波形発生器に由来する
アナログ試験信号を診断した例を示しているが、通常
は、ビデオ帯の診断に続いて、オーディオ帯のアナログ
試験信号についても、各チャンネル並列に同時に診断処
理を行う。また、ＡＵＰ１についての自己診断が終了
後、続いて、ＡＵＰ２についての自己診断を行うとよ
い。

【００３６】また、診断項目には、一定の所用時間を必
要とするアナログ電圧の電圧測定を含むことが望まし
い。また、判定は、二者択一の結果として出力されるこ
とが望ましい。さらに、診断項目は、メモリ解析等の判
定結果を受けて更なる処理が不要であるものが望まし
い。

【００３７】［第二実施形態］次に、図３及び図４を参
照して、本発明の第一の自己診断回路及び第一のシステ
ムＬＳＩテスタの他の一例について、併せて第二実施形
態として説明する。図３に示すように、第二実施形態の
システムＬＳＩテスタは、自己診断回路以外の構成は、
上述の第一実施形態のものと同一である。

【００３８】第二実施形態の自己診断回路を構成する多
チャンネル高精度電圧測定器１００は、四チャンネルで
同時に電圧測定を行うことができる。また、第二実施形
態の自己診断回路を構成する診断用アナログ経路４は、
各テストヘッド２ａ及び２ｂ各々のＡＵＰ１及びＡＵＰ
２それぞれの各チャンネルと、多チャンネル高精度電圧
測定器１００とをそれぞれ接続している。すなわち、第
一テストヘッド２ａの各ＡＵＰのチャンネル１及びチャ
ンネル２と、第二テストヘッド２ｂの各ＡＵＰのチャン
ネル１及びチャンネル２とが、それぞれ、診断用アナロ
グ経路４を介して、多チャンネル高精度電圧測定器１０
０に接続される。

【００３９】さらに、診断用アナログ経路４上には、各
テストヘッド２ａ及び２ｂ内に、それぞれユニット・チ
ャンネル経路分配器２１０が設けられている。自己診断
又はキャリブレーションの際に、ユニット・チャンネル
経路分配器２１０は、第一及び第二テストヘッド２ａ及
び２ｂ同時に、各テストヘッドのＡＵＰ１（２２ａ）又
はＡＵＰ２（２２ｂ）のどちらか一方のＡＵＰの二つの
チャンネルＣＨ１及びＣＨ２と、多チャンネル高精度電
圧測定器１００とを同時に接続する。

【００４０】次に、図４を参照して、第一実施形態にお
ける自己診断方法例について説明する。自己診断又はキ
ャリブレーションにあたっては、第一及び第二テストヘ
ッド２ａ及び２ｂ両方のユニット経路分配器２１におい
て、ＡＵＰ１（２２ａ）及びＡＵＰ２（２２ｂ）のうち
のどちらか一方がそれぞれ選択される。そして、二つの
テストヘッドでそれぞれ選択されたユニットの二つのチ
ャンネルＣＨ１及びＣＨ２は、同時かつ個別に、多チャ
ンネル高精度電圧測定器１００に接続される。

【００４１】そして、第一実施形態では、多チャンネル
高精度電圧測定器１００が、第一テストヘッド２ａ内の
ＡＵＰ１又はＡＵＰ２の出力電圧と、第二テストヘッド
２ｂ内のＡＵＰ１又はＡＵＰ２の出力電圧とを、診断用
アナログ経路４を介して、並列に測定する。

【００４２】すなわち、図４に示すように、第一テスト
ヘッド２ａのＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル１と、第
一テストヘッド２ａのＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル
２と、第二テストヘッド２ｂのＡＵＰ１（２２ａ）のチ
ャンネル１と、第二テストヘッド２ｂのＡＵＰ１（２２
ａ）のチャンネル２とで、四系統並列に、それぞれ診断
項目１〜３が順次に処理される。

【００４３】言い換えれば、第一テストヘッド２ａのＡ
ＵＰ１（２２ａ）のチャンネル１について、診断項目１
〜３について順次に診断されているときに、同時に、第
一テストヘッド２ａのＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル
２についても、診断項目１〜３について順次に診断され
ている。さらに、このとき同時に、第二テストヘッド２
ｂのＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル１についても、診
断項目１〜３について順次に診断されている。さらに、
このとき同時に、第二テストヘッド２ｂのＡＵＰ１（２
２ｂ）のチャンネル２についても、診断項目１〜３につ
いて順次に診断されている。

【００４４】このように、第二次実施形態では、二つの
テストヘッド２ａ及び２ｂのアナログユニット・ピンエ
レクトロニクスそれぞれのチャンネルの自己診断やキャ
リブレーションを並列して行うことができる。その結
果、二つのテストヘッドで順次に二つのチャンネルを一
つずつ順次に自己診断等していた場合に比べ、自己診断
等に要する時間を約四分の一に短縮することができる。

【００４５】ところで、本発明は、多チャンネル電圧測
定器が、複数のチャンネルのうち少なくとも二以上のチ
ャンネルから互いに同一のアナログ試験信号として同時
に出力された出力電圧を並列に測定する、いわゆる同測
にも適用することができる。

【００４６】ここで、図５を参照して、同測展開を実現
するための同測制御回路の構成について説明する。この
同測制御回路は、図３では図示していないが、例えば、
メインフレーム１に設けるとよい、また、ＡＵ１（１２
ａ）及びＡＵ２（１２ｂ）の内部に設けてもよい。図５
に示すように、同測制御回路は、四段の選択器５ａ〜５
ｄと、四段の比較器６ａ〜６ｂと、四段の論理積回路７
ａ〜７ｄと、四段のレジスタ８ａ〜８ｄとにより構成さ
れている。

【００４７】まず、各選択器５ａ〜５ｄは、入力された
各チャンネルアドレスのうち、同測モード信号の指定す
るチャンネルアドレスを出力する。次に、比較器６ａ〜
６ｄは、書込みアドレス信号のチャンネルアドレスと、
各選択器５ａ〜５ｄからそれぞれ入力されたチャンネル
アドレスとを比較し、一致するチャンネルアドレスを出
力する。

【００４８】次に、論理積回路７ａ〜７ｄは、書込みク
ロック信号に同期してチャンネルアドレスを出力する。
次に、レジスタ８ａ〜８ｄは、書込みデータ信号のう
ち、チャンネルアドレスの示すチャンネルのデータ信号
を、それぞれＣＨ１〜ＣＨ４制御信号として出力する。
ここで、下記の表１に、各同測モードと、各ＣＨ制御信
号との対応関係を示す。

【００４９】

【表１】

【００５０】上記の表１に示すように、同測しない場合
には、四つのＣＨ制御信号は、それぞれ異なるＣＨ１〜
４アドレスが個別に対応する。また、二個ずつ同測する
場合には、例えば、ＣＨ１及び３制御信号にＣＨ１アド
レスが対応し、ＣＨ２及び４制御信号にＣＨ２アドレス
が対応する。また、四個同測する場合には、例えば、四
つのＣＨ制御信号に、全てＣＨ１アドレスが対応する。

【００５１】このように、複数のチャンネルで互いに同
一のアナログ試験信号を同時に出力する同測を行えば、
一つのテストプログラムによって、複数のチャンネルの
自己診断やキャリブレーションを短時間に行うことがで
きる。

【００５２】［第三実施形態］次に、図６を参照して、
本発明の第一の自己診断回路及び第一のシステムＬＳＩ
テスタの実施形態について、併せて第三実施形態として
説明する。第三実施形態のシステムＬＳＩテスタ及び自
己診断回路は、一台の多チャンネル高精度電圧測定器１
００の代わりに、テストヘッド別の二台の多チャンネル
高精度電圧測定器１００ａ及び１００ｂを設けてある点
を除いては、上述の第二実施形態の構成と同一である。

【００５３】二台のうち一台目の多チャンネル高精度電
圧測定器（ＭＶＭ１）１００ａは、第一テストヘッド２
ａのＡＵＰの第一チャンネル（ＣＨ１）と第二チャンネ
ル（ＣＨ１）との二系統の出力電圧を同時に測定する。
また、二台のうち二台目の多チャンネル高精度電圧測定
器（ＭＶＭ１）１００ｂは、第二テストヘッド２ｂのＡ
ＵＰの第一チャンネル（ＣＨ１）と第二チャンネル（Ｃ
Ｈ１）との二系統の出力電圧を二系統同時に測定する。

【００５４】このように、二台のＭＶＭ１及びＭＶＭ２
でそれぞれチャンネル二系統ずつ、合計四系統のチャン
ネルの出力電圧を同時に測定すれば、二系統だけ同時に
測定できる電圧測定器であっても、上記の第二実施形態
と同様に、自己診断及びキャリブレーションに要する時
間を短縮することができる。なお、多チャンネル電圧測
定器として、従来のデジタルボルトメータを複数台設け
てもよい。

【００５５】［第四実施形態］次に、図７及び図８を参
照して、本発明の第二の自己診断回路及び第二のシステ
ムＬＳＩテスタの実施形態について、併せて第四実施形
態として説明する。図７に示すように、第四実施形態の
システムＬＳＩテスタは、メインフレーム１と単一のテ
ストヘッド２とにより構成されている。そして、メイン
フレーム１には、二系統の第一及び第二アナログユニッ
ト（ＡＵ１、ＡＵ２）１２ａ及び１２ｂが設けられてい
る。また、テストヘッド２には、二系統の第一及び第二
アナログユニット・ピンエレクトロニクス（ＡＵＰ１、
ＡＵＰ２）２２ａ及び２２ｂが設けられている。

【００５６】さらに、第四実施形態のシステムＬＳＩテ
スタは、自己診断回路として、メインフレーム１内の多
チャンネル高精度電圧測定器１００と、診断用アナログ
経路４とを備えている。多チャンネル高精度電圧測定器
１００は、二チャンネルで同時に電圧測定を行うことが
できる。

【００５７】また、診断用アナログ経路４は、テストヘ
ッド２内のＡＵＰ１及びＡＵＰ２それぞれ二系統のチャ
ンネルＣＨ１及びＣＨ２と、多チャンネル高精度電圧測
定器１００とを接続している。さらに、診断用アナログ
経路４上には、テストヘッド２内に、ユニット・チャン
ネル経路分配器２１０が設けられている。自己診断又は
キャリブレーションの際に、ユニット・チャンネル経路
分配器２１０は、ＡＵＰ１（２２ａ）又はＡＵＰ２（２
２ｂ）のどちらか一方のＡＵＰのチャンネル１及び２
と、多チャンネル高精度電圧測定器１００とを同時に接
続する。

【００５８】次に、図８を参照して、第四実施形態にお
ける自己診断方法例について説明する。自己診断又はキ
ャリブレーションにあたっては、ユニット経路分配器２
１において、ＡＵＰ１（２２ａ）及びＡＵＰ２（２２
ｂ）のうちのどちらか一方が選択される。そして、選択
されたユニットの二つのチャンネルＣＨ１及びＣＨ２
は、同時かつ個別に、多チャンネル高精度電圧測定器１
００に接続される。

【００５９】そして、第四実施形態では、多チャンネル
高精度電圧測定器１００が、二つのチャンネルＣＨ１及
びＣＨ２からの出力電圧を、診断用アナログ経路４を介
して、並列に測定する。すなわち、図８に示すように、
ＡＵＰ１（２２ａ）のチャンネル１とチャンネル２と
で、二系統並列に、それぞれ診断項目１〜３が順次に処
理される。言い換えれば、ＡＵＰ１（２２ａ）のチャン
ネル１について、診断項目１〜３について順次に診断さ
れているときに、同時に、ＡＵＰ１（２２ａ）のチャン
ネル２についても、診断項目１〜３について順次に診断
されている。

【００６０】このように、第四次実施形態では、アナロ
グユニット・ピンエレクトロニクスの二チャンネルの自
己診断やキャリブレーションを並列して行うことができ
る。その結果、二つのチャンネルを一つずつ順次に自己
診断等していた場合に比べ、自己診断等に要する時間を
約半分に短縮することができる。なお、単一テストヘッ
ドの場合においても、上記の第二実施形態のように、同
測のアナログユニットの自己診断やキャリブレーション
を行ってもよい。

【００６１】上述した実施の形態においては、本発明を
特定の条件で構成した例について説明したが、本発明
は、種々の変更を行うことができる。例えば、上述した
実施の形態においては、メインフレームとテストヘッド
とが分離された構成のシステムＬＳＩテスタの例につい
て説明したが、本発明では、メインフレームとテストヘ
ッドとは一体化されていてもよい。

【００６２】また、例えば、上述した第一〜第三実施形
態においては、テストヘッドを二つ設けた例について説
明したが、請求項１〜４に係る本発明においては、二つ
に限定されず、例えば、三つ以上のテストヘッドを有す
るシステムＬＳＩテスタやその自己診断回路に適用する
ことができる。

【００６３】また、例えば、上述した実施形態において
は、アナログユニットが二系統のチャンネルＣＨ１及び
ＣＨ２を有する例について説明したが、本発明では、チ
ャンネル数はこれに限定されない。例えば、各アナログ
ユニットが三系統以上のチャンネルを有していてもよ
い。

【００６４】また、例えば、上述の実施形態では、各テ
ストヘッドごとに二系統のアナログユニットを設けた例
について説明したが、本発明では、各テストヘッドのア
ナログユニットの系統数はこれに限定されない。

【００６５】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
第一の自己診断回路及び第一のシステムＬＳＩテスタに
よれば、複数のテストヘッドのアナログユニットの出力
電圧を、多チャンネル電圧測定器により並列で測定する
ことがきる。これにより、自己診断やキャリブレーショ
ンに要する時間を短縮することができる。

【００６６】また、本発明の第二の自己診断回路及び第
二のシステムＬＳＩテスタによれば、アナログユニット
の複数のチャンネルの出力電圧を、多チャンネル電圧測
定器により並列で測定することができる。これにより、
自己診断やキャリブレーションに要する時間を短縮する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一実施形態のシステムＬＳＩテスタ及びその
自己診断回路の構成を説明するためのブロック図であ
る。

【図２】第一実施形態の自己診断回路の動作を説明する
ためのフローチャートである。

【図３】第二実施形態のシステムＬＳＩテスタ及びその
自己診断回路の構成を説明するためのブロック図であ
る。

【図４】第二実施形態の自己診断回路の動作を説明する
ためのフローチャートである。

【図５】同測制御回路の構成を説明するためのブロック
図である。

【図６】第三実施形態のシステムＬＳＩテスタ及びその
自己診断回路の構成を説明するためのブロック図であ
る。

【図７】第四実施形態のシステムＬＳＩテスタ及びその
自己診断回路の構成を説明するためのブロック図であ
る。

【図８】第四実施形態の自己診断回路の動作を説明する
ためのフローチャートである。

【図９】従来のシステムＬＳＩテスタ及びその自己診断
回路の構成を説明するためのブロック図である。

【図１０】従来の自己診断回路の動作を説明するための
フローチャートである。

【図１１】アナログユニット・ピンエレクトロニクスの
回路構成を説明するためのブロック図である。

【符号の説明】

１メインフレーム２、２ａ、２ｂテストヘッド３診断用パフォーマンスボード４診断用アナログ経路５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ選択器６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ比較器７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ論理積回路（ＡＮＤ回路）８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄレジスタ１０デジタルボルトメータ１１テストヘッド分配器１２ａ、１２ｂアナログユニット２１ユニット経路分配器２２ａ、２２ｂアナログユニット・ピンエレクトロニ
クス１００、１００ａ、１００ｂ多チャンネル高精度電圧
測定器２１０ユニット・チャンネル分配器２２１ローパスフィルタ（ＬＰＦ）２２２ゲイン調整部（ＡＴＴ）２２３デジタル／アナログ変換器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のテストヘッドを有し、アナログ試
験信号を出力するアナログユニットを前記テストヘッド
別に設けたシステムＬＳＩテスタを構成する自己診断回
路であって、複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器
と、前記アナログユニットの各々と前記多チャンネル電圧測
定器とを接続する診断用アナログ経路とを備え、前記多チャンネル電圧測定器が、互いに異なるテストヘ
ッド用の複数のアナログユニットからの出力電圧を、前
記診断用アナログ経路を介して、並列に測定することを
特徴とする自己診断回路。
【請求項２】前記アナログユニットがそれぞれ複数の
チャンネルを有し、前記診断用アナログ経路が、前記チャンネルの各々と前
記多チャンネル電圧測定器とをそれぞれ接続し、前記多チャンネル電圧測定器が、複数の前記チャンネル
からの出力電圧を、前記診断用アナログ経路を介して、
並列に測定することを特徴とする請求項１記載の自己診
断回路。
【請求項３】前記多チャンネル電圧測定器が、複数の
前記チャンネルのうち少なくとも二以上のチャンネルか
ら互いに同一のアナログ試験信号として同時に出力され
た出力電圧を並列に測定することを特徴とする請求項２
記載の自己診断回路。
【請求項４】複数のテストヘッドを有し、アナログ試
験信号を出力するアナログユニットを前記テストヘッド
別に設け、かつ、自己診断回路を備えたシステムＬＳＩ
テスタであって、前記自己診断回路は、複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器
と、前記アナログユニットの各々と前記多チャンネル電圧測
定器とを接続する診断用アナログ経路とを備え、かつ、互いに異なるテストヘッド用の複数のアナログユニット
からの出力電圧を、前記診断用アナログ経路を介して、
並列に測定することを特徴とするシステムＬＳＩテス
タ。
【請求項５】単一のテストヘッドを有し、複数のチャ
ンネル別にアナログ試験信号をそれぞれ出力するアナロ
グユニットを設けたシステムＬＳＩテスタを構成する自
己診断回路であって、複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器
と、前記アナログユニットの前記チャンネルの各々と前記多
チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路
とを備え、前記多チャンネル電圧測定器が、複数の前記チャンネル
からの出力電圧を、前記診断用アナログ経路を介して、
並列に測定することを特徴とする自己診断回路。
【請求項６】単一のテストヘッドを有し、複数のチャ
ンネル別にアナログ試験信号をそれぞれ出力するアナロ
グユニットを設け、かつ、自己診断回路を備えたシステ
ムＬＳＩテスタであって、前記自己診断回路は、複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器
と、前記アナログユニットの前記チャンネルの各々と前記多
チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路
とを備え、かつ、複数の前記チャンネルからの出力電圧を、前記診断用ア
ナログ経路を介して、並列に測定することを特徴とする
システムＬＳＩテスタ。