JP4866506B2 - 自己診断回路及びシステムlsiテスタ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、システムLSIテスタを構成する自己診断回路及びそれを備えたシステムLSIテスタに関し、特に、短時間で自己診断やキャリブレーションを行うことができる、アナログユニットの自己診断に用いて好適な自己診断回路及びシステムLSIテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】
システムLSIテスタにおいては、定期的に自己診断プログラムを実行して動作を確認している。さらに、ハードウエアの増設や機能拡張、故障修理、OSのリビジョンアップの際にも、最終チェックとして自己診断プログラムを実行して動作を確認している。
【0003】
また、設置環境の温度変化や経時変化に対して、システムLSIテスタの測定精度を維持するため、強制的又は自動的にキャリブレーション(イニシャライズとも称する。)が実行され、アナログユニットの出力電圧の誤差が補正されている。
【0004】
自己診断又はキャリブレーションの実行にあたっては、テストヘッドに、通常のパフォーマンス・ボードの代わりに、診断用パフォーマンス・ボードを接続する。そして、診断用パフォーマンス・ボードに対するアナログユニットの出力電圧を測定する。
【0005】
ここで、図9を参照して、システムLSIテスタにおける従来の診断回路の一例について説明する。
図9に示すように、このシステムLSIテスタは、メインフレーム1と第一及び第二テストヘッド2a及び2bとにより構成されている。そして、メインフレーム1には、二系統の第一及び第二アナログユニット(AU1、AU2)12a、12bが設けられている。また、第一及び第二テストヘッド2a及び2bには、それぞれ、二系統の第一及び第二アナログユニット・ピンエレクトロニクス(AUP1、AUP2)22a及び22bが設けられている。
【0006】
次に、図10を参照して、二つのアナログユニット・ピンエレクトロニクスのうち、AUP1(22a)の構成について代表して説明する。
図10に示すように、AUP1(22a)には、二系統のアナログ試験信号を扱えるように、二系統のチャンネルCH1及びCH2経路が設けられている。
【0007】
CH1入力224a又はCH2入力224bに入力されたアナログ試験信号は、ローパスフィルタ(LPF)221で高周波の雑音成分を除去される。続いて、減衰器(ATT)222で、信号振幅を調整される。さらに、デジタル/アナログ変換器(D/A)223によりDCオフセット電圧をデジタル/アナログ変換された、アナログ試験信号と同相のオフセット信号が加算される。このようにして、ゲイン及びオフセットが調整されたアナログ試験信号が生成される。
【0008】
そして、LSI試験の際には、図10のCH1又はCH2系とのスイッチSW1が閉じられて導通状態となり、かつ、SW2が開いて非導通状態となる。その結果、第一アナログユニット12aから出力されたアナログ試験信号は、AUP1(22a)を介して、パフォーマンス・ボードへ出力される。また、第二アナログユニット12bから出力されたアナログ試験信号は、AUP2(22b)を介して、パフォーマンス・ボードへ出力される。
【0009】
これに対して、自己診断又はキャリブレーションの際には、図10のCH1又はCH2系とのスイッチSW1が開いて非導通状態となり、かつ、SW2が閉じて導通状態となる。その結果、AUP1(22a)又はAUP2(22b)の出力は、ユニット経路分配器21及びテストヘッド分配器11を介して、デジタルボルトメータ10へ入力される。
【0010】
また、このシステムLSIテスタは、自己診断回路として、メインフレーム1内のデジタルボルトメータ10と、診断用アナログ経路4を備えている。
診断用アナログ経路4は、各テストヘッド2a及び2bの各AUP1及びAUP2とデジタルボルトメータ10とを接続する。そして、デジタルボルトメータ10には、診断用アナログ経路4上のユニット経路分配器21及びテストヘッド分配器11を介して、第一テストヘッド2a又は第二テストヘッド2bのAUP1(22a)又はAUP2(22b)からの出力電圧が入力される。したがって、診断精度を確保するため、全テストヘッドの各ユニットの出力電圧確度は一つのデジタルボルトメータ10にトレースされている。
【0011】
自己診断又はキャリブレーションにあたっては、テストヘッド分配器11において、まず、第一及び第二テストヘッド2a及び2bのうちのどちらか一方が選択される。さらに、選択された方のテストヘッドのユニット経路分配器21において、AUP1(22a)及びAUP2(22b)のうちのどちらか一方が選択される。そして、全テストヘッドの各ユニットは、一つずつ順次に、デジタルボルトメータ10に接続される。
【0012】
次に、図11を参照して、従来の自己診断方法の一例について説明する。
従来は、各テストヘッドの各チャンネルについて、順次に自己診断やキャリブレーションを行っていた。
すなわち、図11に示すように、まず、第一テストヘッド2aのチャンネル1について診断項目1〜3が順次に処理され、続いて、第一テストヘッド2aのチャンネル2について、診断項目1〜3が順次に処理される。次に、第二テストヘッドの2bのチャンネル1について、診断項目1〜3が順次に処理され、続いて、第二テストヘッド2bのチャンネル2について、診断項目1〜3が順次に処理される。
【0013】
また、診断項目として、例えば、診断項目1では、アナログ試験信号の「電圧出力条件設定」、「電圧測定経路設定」、「電圧出力」、「電圧測定」、「データの読み出し」及び「判定」の処理が一つずつ順次に行われる。
なお、図11においては、各チャンネルについて三つの診断項目を示しているが、実際には、各チャンネルごとに何十項目もの診断項目が処理される。また、図11では、ビデオ帯の任意波形発生器に由来するアナログ試験信号を診断した例を示しているが、通常は、ビデオ帯の診断に続いて、オーディオ帯のアナログ試験信号についても、各チャンネルについて、同様にシリアルに診断処理を行う。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、自己診断やキャリブレーション等のメンテナンスには、通常数時間の時間を要する。また、キャリブレーションにも、通常数十分間の時間を要する。さらに、テストヘッド数やチャンネル数が倍増すれば、メンテナンスに要する時間も倍増してしまう。
【0015】
特に、アナログ電圧の測定には時間がかかる。例えば50Hzの商業電源を利用する場合、一つの測定ポイントにつき1/50秒=20msecの時間、電圧を積分する必要がある。このため、アナログ電圧の測定時間をこれ以上短縮することは困難である。
【0016】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、自己診断及びキャリブレーションの所用時間を短縮することができる自己診断回路及びそれを備えたシステムLSIテスタ技術の提供を目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
この目的の達成を図るため、本発明に係る自己診断回路(以下、「第一の自己診断回路」と称する。)によれば、複数のテストヘッドを有し、アナログ試験信号を出力するアナログユニットをテストヘッド別に設けたシステムLSIテスタを構成する自己診断回路であって、
複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器と、アナログユニットの各々と多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路とを備え、多チャンネル電圧測定器が、互いに異なるテストヘッド用の複数のアナログユニットからの出力電圧を、診断用アナログ経路を介して、並列に測定する構成としてある。
【0018】
このように、本発明の自己診断回路によれば、複数のテストヘッドのアナログユニットの出力電圧を、多チャンネル電圧測定器により並列で測定することがきる。これにより、自己診断やキャリブレーションに要する時間を短縮することができる。
【0019】
また、本発明によれば、アナログユニットがそれぞれ複数のチャンネルを有し、診断用アナログ経路が、チャンネルの各々と多チャンネル電圧測定器とをそれぞれ接続し、多チャンネル電圧測定器が、複数のチャンネルからの出力電圧を、診断用アナログ経路を介して、並列に測定する構成としてある。
このように、アナログユニットの複数のチャンネルの出力電圧も、さらに、多チャンネル電圧測定器により並列で測定すれば、自己診断やキャリブレーションに要する時間を一層短縮することができる。
【0020】
また、本発明によれば、多チャンネル電圧測定器が、複数のチャンネルのうち少なくとも二以上のチャンネルから互いに同一のアナログ試験信号として同時に出力された出力電圧を並列に測定する構成としてある。
このように、複数のチャンネルで互いに同一のアナログ試験信号を同時に出力する同測を行えば、一つのテストプログラムによって、複数のアナログユニットの自己診断やキャリブレーションを短時間に行うことができる。
【0021】
また、本発明に係るシステムLSIテスタ(以下、「第一のシステムLSIテスタ」とも称する。)によれば、複数のテストヘッドを有し、アナログ試験信号を出力するアナログユニットをテストヘッド別に設け、かつ、自己診断回路を備えたシステムLSIテスタであって、
自己診断回路は、複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器と、アナログユニットの各々と多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路とを備え、かつ、互いに異なるテストヘッド用の複数のアナログユニットからの出力電圧を、診断用アナログ経路を介して、並列に測定する構成としてある。
【0022】
このように、本発明のシステムLSIテスタによれば、複数のテストヘッドのアナログユニットの出力電圧を、多チャンネル電圧測定器により並列で測定することがきる。これにより、自己診断やキャリブレーションに要する時間を短縮することができる。
【0023】
また、本発明に係る自己診断回路(以下、「第二の自己診断回路」と称する。)によれば、単一のテストヘッドを有し、複数のチャンネル別にアナログ試験信号をそれぞれ出力するアナログユニットを設けたシステムLSIテスタを構成する自己診断回路であって、
複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器と、アナログユニットのチャンネルの各々と多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路とを備え、多チャンネル電圧測定器が、複数のチャンネルからの出力電圧を、診断用アナログ経路を介して、並列に測定する構成としてある。
【0024】
また、本発明に係るシステムLSIテスタ(以下、「第二のシステムLSIテスタ」とも称する。)によれば、単一のテストヘッドを有し、複数のチャンネル別にアナログ試験信号をそれぞれ出力するアナログユニットを設け、かつ、自己診断回路を備えたシステムLSIテスタであって、
自己診断回路は、複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器と、アナログユニットのチャンネルの各々と多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路とを備え、かつ、複数のチャンネルからの出力電圧を、診断用アナログ経路を介して、並列に測定する構成としてある。
【0025】
このように、本発明の第二の自己診断回路及び第二のシステムLSIテスタによれば、アナログユニットの複数のチャンネルの出力電圧を、多チャンネル電圧測定器により並列で測定することができる。これにより、自己診断やキャリブレーションに要する時間を短縮することができる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
[第一実施形態]
まず、図1及び図2を参照して、本発明の第一の自己診断回路及び第一のシステムLSIテスタの一例について、併せて第一実施形態として説明する。
【0027】
図1に示すように、第一実施形態のシステムLSIテスタは、メインフレーム1と第一及び第二テストヘッド2a及び2bとにより構成されている。そして、メインフレーム1には、二系統の第一及び第二アナログユニット(AU1、AU2)12a、12bが設けられている。また、第一及び第二テストヘッド2a及び2bには、それぞれ、二系統の第一及び第二アナログユニット・ピンエレクトロニクス(AUP1、AUP2)22a及び22bが設けられている。
【0028】
さらに、このシステムLSIテスタは、自己診断回路として、メインフレーム1内の多チャンネル高精度電圧測定器100と、診断用アナログ経路4とを備えている。多チャンネル高精度電圧測定器100は、二チャンネルで同時に電圧測定を行うことができる。そして、多チャンネル高精度電圧測定器100には、診断用アナログ経路4を介して、第一テストヘッド2a又は第二テストヘッド2bのAUP1(22a)又はAUP2(22b)からの出力電圧が入力される。
【0029】
また、診断用アナログ経路4は、各テストヘッド2a及び2bの各AUP1及びAUP2と多チャンネル高精度電圧測定器100とをそれぞれ接続している。さらに、診断用アナログ経路4上には、各テストヘッド2a及び2b内に、それぞれユニット経路分配器21が設けられている。
【0030】
次に、図2を参照して、第一実施形態における自己診断方法例について説明する。
自己診断又はキャリブレーションにあたっては、第一及び第二テストヘッド2a及び2b両方のユニット経路分配器21において、AUP1(22a)及びAUP2(22b)のうちのどちらか一方がそれぞれ選択される。そして、二つのテストヘッドでそれぞれ選択されたユニットは、同時かつ個別に、多チャンネル高精度電圧測定器100に接続される。
【0031】
そして、第一実施形態では、多チャンネル高精度電圧測定器100が、第一テストヘッド2a内のAUP1又はAUP2の出力電圧と、第二テストヘッド2b内のAUP1又はAUP2の出力電圧とを、診断用アナログ経路4を介して、並列に測定する。
【0032】
すなわち、図2に示すように、第一テストヘッド2aのAUP1(22a)のチャンネル1と、第二テストヘッド2bのAUP1(22a)のチャンネル1とで、二系統並列に、診断項目1〜3が順次に処理される。さらに、それぞれ続いて、第一テストヘッド2aのAUP1(22a)のチャンネル2と、第二テストヘッド2bのAUP1(22a)のチャンネル2とで、二系統並列に、それぞれのAUP1(22a)のチャンネル2について、診断項目1〜3が順次に処理される。
【0033】
言い換えれば、第一テストヘッド2aのAUP1(22a)について、チャンネル1の診断項目1〜3が順次に診断され、続いて、チャンネル2の診断項目1〜3が順次に診断されているときに、同時に、第二テストヘッド2bのAUP1(22a)についても、チャンネル1の診断項目1〜3が順次に診断され、続いて、チャンネル2の診断項目1〜3が順次に診断されている。
【0034】
このように、第一実施形態では、二つのテストヘッド2a及び2bのアナログユニット・ピンエレクトロニクスの自己診断やキャリブレーションを並列して行うことができる。その結果、二つのテストヘッドを一つずつ順次に自己診断等していた場合に比べ、自己診断等に要する時間を約半分に短縮することができる。
【0035】
なお、図2においては、各チャンネルについて三つの診断項目を示しているが、実際には、各チャンネルごとに何十項目もの診断項目が処理されている。
また、図2では、ビデオ帯の任意波形発生器に由来するアナログ試験信号を診断した例を示しているが、通常は、ビデオ帯の診断に続いて、オーディオ帯のアナログ試験信号についても、各チャンネル並列に同時に診断処理を行う。また、AUP1についての自己診断が終了後、続いて、AUP2についての自己診断を行うとよい。
【0036】
また、診断項目には、一定の所用時間を必要とするアナログ電圧の電圧測定を含むことが望ましい。また、判定は、二者択一の結果として出力されることが望ましい。さらに、診断項目は、メモリ解析等の判定結果を受けて更なる処理が不要であるものが望ましい。
【0037】
[第二実施形態]
次に、図3及び図4を参照して、本発明の第一の自己診断回路及び第一のシステムLSIテスタの他の一例について、併せて第二実施形態として説明する。
図3に示すように、第二実施形態のシステムLSIテスタは、自己診断回路以外の構成は、上述の第一実施形態のものと同一である。
【0038】
第二実施形態の自己診断回路を構成する多チャンネル高精度電圧測定器100は、四チャンネルで同時に電圧測定を行うことができる。
また、第二実施形態の自己診断回路を構成する診断用アナログ経路4は、各テストヘッド2a及び2b各々のAUP1及びAUP2それぞれの各チャンネルと、多チャンネル高精度電圧測定器100とをそれぞれ接続している。すなわち、第一テストヘッド2aの各AUPのチャンネル1及びチャンネル2と、第二テストヘッド2bの各AUPのチャンネル1及びチャンネル2とが、それぞれ、診断用アナログ経路4を介して、多チャンネル高精度電圧測定器100に接続される。
【0039】
さらに、診断用アナログ経路4上には、各テストヘッド2a及び2b内に、それぞれユニット・チャンネル経路分配器210が設けられている。自己診断又はキャリブレーションの際に、ユニット・チャンネル経路分配器210は、第一及び第二テストヘッド2a及び2b同時に、各テストヘッドのAUP1(22a)又はAUP2(22b)のどちらか一方のAUPの二つのチャンネルCH1及びCH2と、多チャンネル高精度電圧測定器100とを同時に接続する。
【0040】
次に、図4を参照して、第一実施形態における自己診断方法例について説明する。
自己診断又はキャリブレーションにあたっては、第一及び第二テストヘッド2a及び2b両方のユニット経路分配器21において、AUP1(22a)及びAUP2(22b)のうちのどちらか一方がそれぞれ選択される。そして、二つのテストヘッドでそれぞれ選択されたユニットの二つのチャンネルCH1及びCH2は、同時かつ個別に、多チャンネル高精度電圧測定器100に接続される。
【0041】
そして、第一実施形態では、多チャンネル高精度電圧測定器100が、第一テストヘッド2a内のAUP1又はAUP2の出力電圧と、第二テストヘッド2b内のAUP1又はAUP2の出力電圧とを、診断用アナログ経路4を介して、並列に測定する。
【0042】
すなわち、図4に示すように、第一テストヘッド2aのAUP1(22a)のチャンネル1と、第一テストヘッド2aのAUP1(22a)のチャンネル2と、第二テストヘッド2bのAUP1(22a)のチャンネル1と、第二テストヘッド2bのAUP1(22a)のチャンネル2とで、四系統並列に、それぞれ診断項目1〜3が順次に処理される。
【0043】
言い換えれば、第一テストヘッド2aのAUP1(22a)のチャンネル1について、診断項目1〜3について順次に診断されているときに、同時に、第一テストヘッド2aのAUP1(22a)のチャンネル2についても、診断項目1〜3について順次に診断されている。さらに、このとき同時に、第二テストヘッド2bのAUP1(22a)のチャンネル1についても、診断項目1〜3について順次に診断されている。さらに、このとき同時に、第二テストヘッド2bのAUP1(22b)のチャンネル2についても、診断項目1〜3について順次に診断されている。
【0044】
このように、第二次実施形態では、二つのテストヘッド2a及び2bのアナログユニット・ピンエレクトロニクスそれぞれのチャンネルの自己診断やキャリブレーションを並列して行うことができる。その結果、二つのテストヘッドで順次に二つのチャンネルを一つずつ順次に自己診断等していた場合に比べ、自己診断等に要する時間を約四分の一に短縮することができる。
【0045】
ところで、本発明は、多チャンネル電圧測定器が、複数のチャンネルのうち少なくとも二以上のチャンネルから互いに同一のアナログ試験信号として同時に出力された出力電圧を並列に測定する、いわゆる同測にも適用することができる。
【0046】
ここで、図5を参照して、同測展開を実現するための同測制御回路の構成について説明する。
この同測制御回路は、図3では図示していないが、例えば、メインフレーム1に設けるとよい、また、AU1(12a)及びAU2(12b)の内部に設けてもよい。
図5に示すように、同測制御回路は、四段の選択器5a〜5dと、四段の比較器6a〜6bと、四段の論理積回路7a〜7dと、四段のレジスタ8a〜8dとにより構成されている。
【0047】
まず、各選択器5a〜5dは、入力された各チャンネルアドレスのうち、同測モード信号の指定するチャンネルアドレスを出力する。次に、比較器6a〜6dは、書込みアドレス信号のチャンネルアドレスと、各選択器5a〜5dからそれぞれ入力されたチャンネルアドレスとを比較し、一致するチャンネルアドレスを出力する。
【0048】
次に、論理積回路7a〜7dは、書込みクロック信号に同期してチャンネルアドレスを出力する。次に、レジスタ8a〜8dは、書込みデータ信号のうち、チャンネルアドレスの示すチャンネルのデータ信号を、それぞれCH1〜CH4制御信号として出力する。
ここで、下記の表1に、各同測モードと、各CH制御信号との対応関係を示す。
【0049】
【表1】
【0050】
上記の表1に示すように、同測しない場合には、四つのCH制御信号は、それぞれ異なるCH1〜4アドレスが個別に対応する。また、二個ずつ同測する場合には、例えば、CH1及び3制御信号にCH1アドレスが対応し、CH2及び4制御信号にCH2アドレスが対応する。また、四個同測する場合には、例えば、四つのCH制御信号に、全てCH1アドレスが対応する。
【0051】
このように、複数のチャンネルで互いに同一のアナログ試験信号を同時に出力する同測を行えば、一つのテストプログラムによって、複数のチャンネルの自己診断やキャリブレーションを短時間に行うことができる。
【0052】
[第三実施形態]
次に、図6を参照して、本発明の第一の自己診断回路及び第一のシステムLSIテスタの実施形態について、併せて第三実施形態として説明する。
第三実施形態のシステムLSIテスタ及び自己診断回路は、一台の多チャンネル高精度電圧測定器100の代わりに、テストヘッド別の二台の多チャンネル高精度電圧測定器100a及び100bを設けてある点を除いては、上述の第二実施形態の構成と同一である。
【0053】
二台のうち一台目の多チャンネル高精度電圧測定器(MVM1)100aは、第一テストヘッド2aのAUPの第一チャンネル(CH1)と第二チャンネル(CH1)との二系統の出力電圧を同時に測定する。
また、二台のうち二台目の多チャンネル高精度電圧測定器(MVM1)100bは、第二テストヘッド2bのAUPの第一チャンネル(CH1)と第二チャンネル(CH1)との二系統の出力電圧を二系統同時に測定する。
【0054】
このように、二台のMVM1及びMVM2でそれぞれチャンネル二系統ずつ、合計四系統のチャンネルの出力電圧を同時に測定すれば、二系統だけ同時に測定できる電圧測定器であっても、上記の第二実施形態と同様に、自己診断及びキャリブレーションに要する時間を短縮することができる。
なお、多チャンネル電圧測定器として、従来のデジタルボルトメータを複数台設けてもよい。
【0055】
[第四実施形態]
次に、図7及び図8を参照して、本発明の第二の自己診断回路及び第二のシステムLSIテスタの実施形態について、併せて第四実施形態として説明する。
図7に示すように、第四実施形態のシステムLSIテスタは、メインフレーム1と単一のテストヘッド2とにより構成されている。そして、メインフレーム1には、二系統の第一及び第二アナログユニット(AU1、AU2)12a及び12bが設けられている。また、テストヘッド2には、二系統の第一及び第二アナログユニット・ピンエレクトロニクス(AUP1、AUP2)22a及び22bが設けられている。
【0056】
さらに、第四実施形態のシステムLSIテスタは、自己診断回路として、メインフレーム1内の多チャンネル高精度電圧測定器100と、診断用アナログ経路4とを備えている。
多チャンネル高精度電圧測定器100は、二チャンネルで同時に電圧測定を行うことができる。
【0057】
また、診断用アナログ経路4は、テストヘッド2内のAUP1及びAUP2それぞれ二系統のチャンネルCH1及びCH2と、多チャンネル高精度電圧測定器100とを接続している。
さらに、診断用アナログ経路4上には、テストヘッド2内に、ユニット・チャンネル経路分配器210が設けられている。自己診断又はキャリブレーションの際に、ユニット・チャンネル経路分配器210は、AUP1(22a)又はAUP2(22b)のどちらか一方のAUPのチャンネル1及び2と、多チャンネル高精度電圧測定器100とを同時に接続する。
【0058】
次に、図8を参照して、第四実施形態における自己診断方法例について説明する。
自己診断又はキャリブレーションにあたっては、ユニット経路分配器21において、AUP1(22a)及びAUP2(22b)のうちのどちらか一方が選択される。そして、選択されたユニットの二つのチャンネルCH1及びCH2は、同時かつ個別に、多チャンネル高精度電圧測定器100に接続される。
【0059】
そして、第四実施形態では、多チャンネル高精度電圧測定器100が、二つのチャンネルCH1及びCH2からの出力電圧を、診断用アナログ経路4を介して、並列に測定する。
すなわち、図8に示すように、AUP1(22a)のチャンネル1とチャンネル2とで、二系統並列に、それぞれ診断項目1〜3が順次に処理される。言い換えれば、AUP1(22a)のチャンネル1について、診断項目1〜3について順次に診断されているときに、同時に、AUP1(22a)のチャンネル2についても、診断項目1〜3について順次に診断されている。
【0060】
このように、第四次実施形態では、アナログユニット・ピンエレクトロニクスの二チャンネルの自己診断やキャリブレーションを並列して行うことができる。その結果、二つのチャンネルを一つずつ順次に自己診断等していた場合に比べ、自己診断等に要する時間を約半分に短縮することができる。
なお、単一テストヘッドの場合においても、上記の第二実施形態のように、同測のアナログユニットの自己診断やキャリブレーションを行ってもよい。
【0061】
上述した実施の形態においては、本発明を特定の条件で構成した例について説明したが、本発明は、種々の変更を行うことができる。例えば、上述した実施の形態においては、メインフレームとテストヘッドとが分離された構成のシステムLSIテスタの例について説明したが、本発明では、メインフレームとテストヘッドとは一体化されていてもよい。
【0062】
また、例えば、上述した第一〜第三実施形態においては、テストヘッドを二つ設けた例について説明したが、請求項1〜4に係る本発明においては、二つに限定されず、例えば、三つ以上のテストヘッドを有するシステムLSIテスタやその自己診断回路に適用することができる。
【0063】
また、例えば、上述した実施形態においては、アナログユニットが二系統のチャンネルCH1及びCH2を有する例について説明したが、本発明では、チャンネル数はこれに限定されない。例えば、各アナログユニットが三系統以上のチャンネルを有していてもよい。
【0064】
また、例えば、上述の実施形態では、各テストヘッドごとに二系統のアナログユニットを設けた例について説明したが、本発明では、各テストヘッドのアナログユニットの系統数はこれに限定されない。
【0065】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の第一の自己診断回路及び第一のシステムLSIテスタによれば、複数のテストヘッドのアナログユニットの出力電圧を、多チャンネル電圧測定器により並列で測定することがきる。これにより、自己診断やキャリブレーションに要する時間を短縮することができる。
【0066】
また、本発明の第二の自己診断回路及び第二のシステムLSIテスタによれば、アナログユニットの複数のチャンネルの出力電圧を、多チャンネル電圧測定器により並列で測定することができる。これにより、自己診断やキャリブレーションに要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一実施形態のシステムLSIテスタ及びその自己診断回路の構成を説明するためのブロック図である。
【図2】第一実施形態の自己診断回路の動作を説明するためのフローチャートである。
【図3】第二実施形態のシステムLSIテスタ及びその自己診断回路の構成を説明するためのブロック図である。
【図4】第二実施形態の自己診断回路の動作を説明するためのフローチャートである。
【図5】同測制御回路の構成を説明するためのブロック図である。
【図6】第三実施形態のシステムLSIテスタ及びその自己診断回路の構成を説明するためのブロック図である。
【図7】第四実施形態のシステムLSIテスタ及びその自己診断回路の構成を説明するためのブロック図である。
【図8】第四実施形態の自己診断回路の動作を説明するためのフローチャートである。
【図9】従来のシステムLSIテスタ及びその自己診断回路の構成を説明するためのブロック図である。
【図10】従来の自己診断回路の動作を説明するためのフローチャートである。
【図11】アナログユニット・ピンエレクトロニクスの回路構成を説明するためのブロック図である。
【符号の説明】
1 メインフレーム
2、2a、2b テストヘッド
3 診断用パフォーマンスボード
4 診断用アナログ経路
5a、5b、5c、5d 選択器
6a、6b、6c、6d 比較器
7a、7b、7c、7d 論理積回路(AND回路)
8a、8b、8c、8d レジスタ
10 デジタルボルトメータ
11 テストヘッド分配器
12a、12b アナログユニット
21 ユニット経路分配器
22a、22b アナログユニット・ピンエレクトロニクス
100、100a、100b 多チャンネル高精度電圧測定器
210 ユニット・チャンネル分配器
221 ローパスフィルタ(LPF)
222 ゲイン調整部(ATT)
223 デジタル/アナログ変換器
Claims (2)
- 単一のテストヘッドを有し、複数のチャンネル別にアナログ試験信号をそれぞれ出力する複数のアナログユニットを設けたシステムLSIテスタを構成する自己診断回路であって、
複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器と、
前記アナログユニットの前記チャンネルの各々と前記多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路と、
前記複数のアナログユニットのいずれかを選択し、選択されたアナログユニットが備える複数のチャンネルを、前記診断用アナログ経路を介して前記多チャンネル電圧測定器に同時かつ個別に接続する経路分配器と、
前記多チャンネル電圧測定器に接続された前記複数のチャンネルのうち少なくとも二以上のチャンネルに対して同一の試験信号を同時に出力させる同測制御回路とを備え、
前記多チャンネル電圧測定器が、前記診断用アナログ経路を介して、複数のチャンネルからの試験信号を並列に測定するとともに、当該複数のチャンネルから同時に出力される同一の試験信号を並列に測定する同測を行う
ことを特徴とする自己診断回路。 - 単一のテストヘッドを有し、複数のチャンネル別にアナログ試験信号をそれぞれ出力する複数のアナログユニットを設け、かつ、自己診断回路を備えたシステムLSIテスタであって、
前記自己診断回路は、
複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器と、
前記アナログユニットの前記チャンネルの各々と前記多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路と、
前記複数のアナログユニットのいずれかを選択し、選択されたアナログユニットが備える複数のチャンネルを、前記診断用アナログ経路を介して前記多チャンネル電圧測定器に同時かつ個別に接続する経路分配器と、
前記多チャンネル電圧測定器に接続された前記複数のチャンネルのうち少なくとも二以上のチャンネルに対して同一の試験信号を同時に出力させる同測制御回路とを備え、かつ、
前記多チャンネル電圧測定器が、前記診断用アナログ経路を介して、複数のチャンネルからの試験信号を並列に測定するとともに、当該複数のチャンネルから同時に出力される同一の試験信号を並列に測定する同測を行う
ことを特徴とするシステムLSIテスタ。
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