JP2866965B2

JP2866965B2 - 回路基板検査装置における最良測定条件データの生成方法

Info

Publication number: JP2866965B2
Application number: JP1093058A
Authority: JP
Inventors: 秀明南
Original assignee: Hioki Denki KK
Current assignee: Hioki Denki KK
Priority date: 1989-04-14
Filing date: 1989-04-14
Publication date: 1999-03-08
Anticipated expiration: 2014-03-08
Also published as: JPH02272368A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は回路基板検査装置における最良測定条件デ
ータの生成方法に係り、更に詳しく言えば、回路基板に
実装された電子部品類の特性を回路基板検査装置により
測定して同基板の良否を判定する際の最良測定条件デー
タの求め方に関するものである。

〔従来例〕

電子部品等が実装された回路基板の検査にインサーキ
ットテストと称される回路基板検査装置が利用されてい
る。

その一例が第25図に示されているが、例えば測定用信
号源１には直流及び交流の電流、電圧源を備え、測定項
目に応じて信号設定器10によりそれらを切り換え送出す
るようになっている。この信号源１から発せられた測定
用信号は、例えば切換器２と信号源側のピン３を経て被
検査基板４に装着された図示しない測定対象部品に加え
られる。これにより同部品にはその特性に対応した信号
が発生するから、それを測定部側のピン５と切換器６を
介して測定部11に取り込み測定する。

この測定値は例えば比較器12において基準データ設定
器13から与えられる基準データと比較され、上記部品の
良否が判定されるようになっている。この基準データは
例えば比較基準値とそれに対する上、下限の許容差から
なり、通常は部品規格、カタログなどを参照して定めら
れている。

上記測定用のピン3,5は、装置にセットされた基板４
の回路パターンと所定箇所で接触するようにされてお
り、切換器２と６は測定用ピン３と５をそれぞれ信号源
１と測定部11へ切り換え接続し、上記基板４の図示しな
い部品に対する測定回路を形成するようになっている。
また、測定の際不要信号等が測定部11へ入り込まないよ
うにするため、例えば回路パターンの所定箇所を接地あ
るいは信号源電位にするガードピンと称されるピン７
と、これらのピンを必要により接地もしくは信号源電位
へ切り換え接続する切換器８が設けられており、この切
換器８と上記切換器2,6のオン、オフ動作は例えば切換
制御器９にて制御されるようになっている。

ところで、実装基板においてはいくつかの部品が回路
パターンを介して直列的又は並列的、もしくは直、並列
的に接続されていることが多い。そこで実際の測定に当
たっては、当該部品と他の部品間の接続状態によって使
用する測定用ピンやガードピンを設定したり測定用信号
の種類を選定するなど、測定のための諸条件をあらかじ
め定めておくようにしている。

この測定条件の設定は、一般に次のようになされてい
る。すなわち、まず上記比較基準値に対して所定の許容
差内の値を有する良品部品を例えば単品測定により確認
し、それらの部品を用いて良品基板を構成する。次に、
この良品基板をサンプルとなし、同基板上の各部品を回
路基板検査装置によりそれぞれ当初設定した測定条件に
て測定する。

この場合、測定値が上記基準データ測定器13から与え
られる良品範囲データ、すなわち（基準値−下限許容
差）〜（基準値＋上限許容差）の範囲内に入っていれば
当初設定した測定条件は適正であると判断し、それを生
産ロット基板の検査に対する正規の測定条件として採用
する。測定値が良品範囲データ内に入らなかった場合に
は例えば使用するピン類や信号源を変更して再測定を行
い、測定値が良品範囲データ内に入るような測定条件を
見いだすようにしている。

このようにして適正な測定条件が採用されるとそれら
のデータは例えばデータ保持器14に保持され、それに基
づいて生産ロット基板の各部品に対する測定が行われ
る。そして、その測定値を当該部品に設定された良品範
囲データと比較することにより同基板の良否が判定され
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来の測定条件設定方法は比較的簡単でわかりや
すいという利点がある。しかしながら、適正であるとし
て採用された測定条件の下で基板検査を行えば常に正し
い良否判定が得られるかというと必ずしもそうではな
く、場合によっては判定を誤るおそれがある。

その一例を挙げると、第26図（Ａ）に示すように例え
ばサンプルに供された良品基板の構成部品をあらかじめ
単品状態で測定したときその特性値がＰで、基準値Ｍに
対して−αなる誤差があったものとし、これを良品基板
に実装した状態で測定条件Ａにより測定したら図示のよ
うにP_Aなる値が得られたとする。この場合、測定値P_Aは
許容範囲Ｌ〜Ｕ内に入っているので測定条件Ａは適正で
あると判断され、生産ロット基板の検査に適用される。

したがって、例えば生産ロット基板上における上記と
同一仕様部品の特性値X₁を上記と同一条件Ａで測定する
とその値はX_1Aとなり、本来良品であるものが不良と誤
判定されることになる。また、部品本来の特性値が例え
ばX₂であって許容差の上限値Ｕを超えた不良品であって
も、もし測定値として図示のようにX_2Aが得られると良
品として判定されることになる。すなわち、許容差の上
限値又は下限値近傍の特性値を測定した場合には、必ず
しも正しい良否判定が得られないことがある。

第26図（Ｂ）は、例えば上記と異なる仕様の他の部品
を測定条件Ｂにて測定した例である。良品基板における
検査対象部品の特性値Ｑは基準値Ｍに対して例えば＋β
なる誤差を有しており、その測定値Q_Bが図示のように許
容範囲Ｌ〜Ｕ内に入っているものとすると、この場合も
測定条件Ｂは適正であると判断される。したがって、こ
の測定条件Ｂにて生産ロット基板を測定した場合には、
同一仕様の部品の特性値X₁′,X₂′等に対してその測定
値は例えばX_1B′,X_2B′となり、上記第26図（Ａ）の例
と同様に良否判定を誤るおそれがある。

言い換えると、検査対象部品を単品状態で測定した場
合には、例えば測定器の固有誤差が無視できるものとす
ると部品本来の特性値P,Qとほぼ等しい測定値Ｐ′,Q′
が得られる。しかし、実装基板上では回路パターンを介
して接続された他の部品からの影響等によって上記の例
のように部品特性値と測定値とが必ずしも一致しなくな
り、生産ロット基板の良否判定が不正確となることがあ
る。

この発明は上記の点を考慮してなされたもので、その
目的は、良品基板上の部品に対して多通りの測定条件を
設定してそれぞれ測定を行い、その測定データの中から
所定の良品要件を満足する最良のデータを抽出し、この
最良データが得られたとき適用した測定条件データを最
良測定条件データとして保持するようにした最良測定条
件データの求め方を提供することにある。

〔用語の説明〕

以下、この発明の実施例に使用されている用語につい
て説明する。

「基準値」設計上から定まる値であって、回路基板に所定の機能
を果たさせるため使用部品に対して設定した良否判定の
基準となる値を言う。

例えば使用部品が抵抗であって、その基準値（Ｍ）が
20kΩの場合の例を第１図（Ａ）に示す。

「リミット値」設計上から定まる値であって、使用部品に対して許容
し得る基準値からのずれを言う。＋，−の％、あるいは
その絶対値で表す。

上記第１図（Ａ）に示すように例えばリミット値を±
10％とした場合、絶対値表現では下限値（Ｌ）が18.0k
Ω、上限値（Ｕ）は22.0kΩとなる。

「実装値」使用部品の特性値の公称値を言う。

例えば第１図（Ｂ）に示すように、実際に回路基板に
組み込まれた部品が抵抗であって、その公称抵抗値が20
kΩ、許容差が±10％の場合、この公称抵抗値20kΩをこ
の実施例では特に実装値と言うことにする。

第１図（Ａ），（Ｂ）の例では、基準値と実装値、及
びリミット値と許容差がたまたま一致した値が示されて
いるが、実装値（公称抵抗値），許容差は部品の製造段
階で部品自体に与えられた値であり、基準値，リミット
値は回路基板の機能遂行の面からその構成部品に対して
定めた値である。なお、実際の基板検査においては基準
値、リミット値等を調整することもあり得る。

「測定値」回路基盤に実装された部品を回路基板検査装置にて測
定した値を言う。

基準値、リミット値の調整について測定条件データ収集用の良品基板が基準値と実質的に
等しい特性値を有する部品で構成され、かつ、各被測定
部品が他の部品からの直、並列成分による影響を受けな
ければ好都合であるが、部品の固有誤差や実際の良品基
板上での直、並列成分の影響を無くすることはむずかし
い。そのため、測定値が部品本来の特性値と一致しなく
なることがある。このような場合には、当初設定した基
準値、リミット値に対して必要により調整を加える。

そこで、再び第１図を参照しながら構成部品が抵抗の
場合における基準値、リミット値調整の一例を説明す
る。同図（Ｃ）のように実装値（公称値）が19.6kΩで
あった場合には、例えばこの実装値を基準値（Ｍ）に
し、リミット値を−６％（Ｌ）と＋14％（Ｕ）にする。
また、実用上支障が無い場合には同図（Ｄ）に示すよう
に、リミット値を−10％（17.6kΩ）（Ｌ）、及び＋10
％（21.6kΩ）（Ｕ）とすることもできる。

更に、他の例として同図（Ｅ）のように、上記実装値
（19.6kΩ）を基板上でを測定したとき、例えば18.8kΩ
が得られ、この値があらかじめ定められた要件を満たし
ているため有効と認定された場合には、この測定値を基
準値とすることもできる。この場合、実用上問題が無け
ればリミット値を例えば−６％（17.6kΩ）と＋14％（2
1.6kΩ）とする。あるいは同図（Ｆ）に示すように、リ
ミット値を例えば±10％、絶対値では16.9kΩ（Ｌ）、
及び20.7kΩ（Ｕ）とすることもできる。

測定用信号源についてこの実施例においては測定用信号源として例えば前記
従来装置と同様に直流定電流源、直流定電流源、及び交
流定電圧源を備え、基板に実装された被検査部品の測定
項目により適宜使い分けるようになっている。

第２図には、被検査部品４のインピーダンスＺが抵抗
成分からなる場合の測定例が示されている。すなわち、
同図（Ａ）の例においては例えば直流定電流源1aから部
品４へ所定の一定電流Ｉを流し、その両端に発生する電
圧Ｖを電圧計21aにより測定する。同部品４のインピー
ダンスＺは、Ｚ＝Ｖ÷Ｉを計算して求める。

第２図（Ｂ）は直流定電圧源1bを用いた測定例であっ
て、例えば所定の一定電圧Ｖを発し、上記部品４に流れ
る電流Ｉを電流計21bにより測定する。同部品４のイン
ピーダンスＺは、Ｚ＝Ｖ÷Ｉを計算して求める。

第２図（Ｃ）は交流定電圧1cを用いた測定例であっ
て、例えば所定の一定電圧Ｅ（実効値）を発し、部品４
に流れる電流Ｉ（実効値）を電流計21cにより測定す
る。同部品４のインピーダンスＺは、Ｚ＝Ｅ÷Ｉを計算
して求める。

第３図には、例えば被検査部品４が抵抗Ｒとコンデン
サＣからなり、それらが並列的に接続されている場合の
測定例が示されている。この場合には、同図（Ａ）のよ
うに例えばまず直流定電圧源1bから一定電圧Ｖを発し、
コンデンサＣの充電が完了するまで所定の待ち時間を置
いたのち、流れる電流Ｉを電流計21bにより測定する。
抵抗Ｒの値は、Ｒ＝Ｖ÷Ｉを計算して求める。

次に、同図（Ｂ）に示すように例えば交流定電圧源1c
を用いて一定電圧Ｅ（実効値）を加え、流れる電流Ｉの
うち、電圧と同相成分の電流I₀（実効値）、及び電圧と
90゜位相のずれた成分の電流I₉₀（実効値）を電流計21c
により測定する。抵抗Ｒの値は、Ｒ＝Ｅ÷I₀を計算して
求め、コンデンサＣの値は、Ｃ＝I₉₀÷Ｅ÷ωを計算し
て求める。ただし、ω＝２πｆで、ｆは測定周波数とす
る。

「CCモード」上記第２図（Ａ）に示すように、信号源に直流定電流
源を用いた測定を例えばCCモードによる測定、又は単に
CCモードと言う。

「CVモード」上記第２図（Ｂ）及び第３図（Ａ）に示すように、信
号源に直流定電圧源を用いた測定を例えばCVモードによ
る測定、又は単にCVモードと言う。

「ACモード」上記第２図（Ｃ）及び第３図（Ｂ）に示すように、信
号源に交流定電圧源を用いた測定を例えばACモードによ
る測定、又は単にACモードと言う。

「論理モード」被検査部品に対して理論上最良とみなされる信号源を
用いて測定を行うことを論理モードによる測定、又は単
に論理モードと言う。

例えば上記第２図（Ａ）において、被検査部品のイン
ーピーダンスＺが比較的低い値の抵抗である場合には、
同図に示すように直流定電流源を用いた測定が最良であ
り、したがって、CCモードを論理モードとする。この場
合、第２図（Ｂ）の直流定電圧源（CVモード）では流れ
る電流が過大になることがあり、最良とは言い難い。

しかし、インピーダンスＺが比較的高い値の抵抗にな
ると、第２図（Ａ）のCCモードの場合、直流定電流源の
電源電圧によっては所定の一定電流を流しきれなくなる
ことがある。このような場合には第２図（Ｂ）のCVモー
ドが最良であり、これを論理モードする。

インピーダンスＺが例えば容量性（Ｃ）又は誘導性
（Ｌ）の場合には、上記第２図（Ａ）及び（Ｂ）のよう
な直流信号源では測定が困難であるから、同図（Ｃ）の
交流定電圧源による測定が最良であり、したがって、AC
モードを論理モードとする。

また、第３図（Ａ），（Ｂ）に示すように抵抗Ｒとコ
ンデンサＣの並列部品の測定においては、例えばCVモー
ドとACモードの２つが論理モードとなる。

「待ち時間」上記第３図に示すように、例えば被検査部品が抵抗と
コンデンサの並列接続でなる場合には、信号源からの充
電又は帯電電荷の放電等による過渡状態の影響を避ける
ため、部品に応じて一定の時間が経過したのち測定を行
うようにする。この時間を例えば待ち時間と言う。

「ランダムモード」上記第２図において、インピーダンスＺが適当な大き
さの抵抗であって、例えばCCモード、CVモード、もしく
はACモードのいずれによっても測定が可能な場合には、
これらをランダムモード測定、又は単にランダムモード
と言う。

このランダムモードの測定においては必要により複数
のモードを指定することができ、例えば直流信号源モー
ドと交流信号源モードを指定した場合には、それぞれの
測定モードにて測定するようになっている。

ガードピンについて第４図（Ａ）にはガードピンを併用した測定例が示さ
れている。すなわち、抵抗R₁を被測定部品とし、この抵
抗R₁に例えば抵抗R₂とR₃が並列的に接続されているよう
な場合には、抵抗R₂とR₃の接続箇所を破線で示すように
ガードピン７を介して接地する。ここで例えば直流定電
圧源1bから所定の電圧Ｖを加え、そのとき抵抗R₁に流え
る電流をI₁、抵抗R₂に流える電流をI₂とするとこの電流
I₂は上記ガードピン７から接地側を通って直流定電圧源
1bへ戻る。

この場合、電流計21bの＋と−の入力端はいわゆるイ
マジナリショートで接地電位になっており、抵抗R₃の両
端間には電位差が無いのでこの抵抗R₃には電流が流れな
い。したがって、抵抗R₁に流れた電流I₁はそのまま電流
計21bに流入して測定される。よって抵抗R₁の値はR₁＝
Ｖ÷I₁の珪酸にて求めることができる。

第４図（Ｂ）には、ガードピンを利用した他の測定例
が示されている。すなわち、被測定抵抗R₁に例えばR₂と
R₃が並列的に接続されており、この抵抗R₁に直流定電流
源1aから一定電流Ｉを流してその両端部の電圧降下を電
圧計21aにより測定し、抵抗R₁の値を求めるような場合
である。

この場合、電流Ｉは通常、抵抗R₁とR₂,R₃へそれぞれ
電流I₁,I₂となって分流するから、抵抗R₁の両端間電圧
を測定する際にはこの分流電流I₂をゼロにする必要があ
る。そこで同図の破線で示すように、例えばバッファ増
幅器を介してガードピン７により抵抗R₂とR₃の接続箇所
へ上記直流定電流源1aの信号源電圧Ｖを与える。

このようにすると、抵抗R₂の両端は共に電圧Ｖとな
り、電位差が無くなるので電流I₂は流れなくなる。この
場合、バッファ増幅器と電圧計21aの入力インピーダン
スが実質的に無限大とみなせるものとすると、直流定電
流源1aから流される電流Ｉはすべて抵抗R₁を通ることに
より、Ｉ＝I₁となる。よって抵抗R₁の値はR₁＝Ｖ÷Ｉを
計算して求めることができる。

第４図（Ｃ）に示す回路においては、被検査部品４に
例えばそれぞれインピーダンスがZ₁,Z₂,……なるいくつ
かの部品が接続されている。このような場合には、ガー
ドピン７を必要数だけ併用して測定を行う。

「ガードモード」上記第４図（Ａ）〜第４図（Ｃ）に示すように、例え
ばガードピンを併用して測定を行うことをガードモード
測定、又は単にガードモードと言う。

「論理ガードモード」例えば理論上必要とみなされるガードピンを併用して
測定することを論理ガードモード測定、又は単に論理ガ
ードモードと言う。

「ランダムガードモード」例えば使用可能とみなされる複数のガードピンがある
場合、それらを併用して測定を行うことをランダムガー
ドモード測定、又は単にランダムガードモードと言う。

「Ｈピンガード」、「Ｌピンガード」上記第４図（Ｃ）に示すように、例えば被検査部品４
へそれぞれ測定用ピン3,5を介して信号源１と測定部21
を接続した場合、信号源側回路のインピーダンスZ₁,Z₂
等に対するガードピン７をＨピン、測定部側回路のイン
ピーダンスZ₃,Z₄等に対するガードピン７をＬピンと称
することにする。

このＨピンを併用して測定を行うことを例えばＨピン
ガード測定、又は単にＨピンガードと言い、Ｌピンを併
用した測定をＬピンガード測定、又は単にＬピンガード
と言う。これらのＨピンガード、Ｌピンガード測定のう
ち、第４図（Ａ），（Ｂ）に示すように、並列抵抗など
電流の回り込みが予想される素子へのガードピンについ
ては優先的に測定を行う。

データ類について「ランダムモードデータ」例えば前記ランダムモードによる測定を行ってデータ
を収集し、その中から抽出した最良の測定条件データを
ランダムモードデータと言う。

ここで、測定条件データとは例えば次の各項のデータ
を指すものとする。

イ．測定値ロ．測定値の基準値に対する最大絶対誤差ハ．測定値相互間のばらつき等による最大相対誤差ニ．測定ルーチンホ．使用した信号源の種類（CCモード、CVモード、ACモ
ード等）ヘ．直流信号源モードの場合にはその正、負極性ト．使用したガードピンの種類（Ｈピン、Ｌピン等）と
その個数及びピン番号チ．測定時における待ち時間また、最良の測定条件データとは、例えば測定値の最
大絶対誤差及び最大相対誤差が下記に示す判定要件リ〜
ルのうち、１つ以上を満足したときの当該測定値
（イ）、最大絶対誤差（ロ）、最大相対誤差（ハ）の各
データと、そのとき適用された測定条件に関するデー
タ、すなわち上記測定ルーチン（ニ）ないし待ち時間
（チ）の中の該当するデータを指すものとする。なお、
この場合上記イ〜ハのデータを最良データと言うことに
する。

最良データ（有効データ）の判定要件例えば前の測定データ、もしくはあらかじめ装置に入
力した比較用のデータ（以下、「前」と言う。）に対し
て、その後測定して得たデータ（以下、「後」と言
う。）が次に示すリ〜ルのうち１つ以上を満足したと
き、後の測定データを有効データと見做し、その後更に
測定データが得られたならばそれと上記有効データとの
比較を行い、最終的に得るられた有効データを最良デー
タと判定する。

リ．最大絶対誤差（前）＞最大絶対誤差（後）で、かつ最大相対誤差（前）＞最大相対誤差（後）ヌ．最大絶対誤差（前）＞最大絶対誤差（後）で、かつ基準値×0.01最大相対誤差（後）ル．最大相対誤差（前）＞最大相対誤差（後）で、かつ基準値×0.1最大絶対誤差（後）上記リは、例えば後の測定条件により測定して得たデ
ータの最大絶対誤差と最大相対誤差が、前の測定条件に
より測定して得たデータのそれよりも小さくなった場合
である。ヌは、後の測定条件により測定して得たデータ
の最大絶対誤差が、前の測定条件にて得たデータのそれ
よりも小さく、かつ、最大相対誤差が所定値以下、例え
ば基準値の１％以下となった場合であり、ルは後の測定
条件により測定して得たデータの最大相対誤差が前の測
定条件にて得たデータのそれよりも小さく、かつ、最大
絶対誤差が所定値以下、例えば基準値の10％以下となっ
た場合を表している。

「論理モードデータ」例えば現在フロッピー等の外部メモリに保有している
測定値のデータとその誤差データを装置内のメモリにコ
ピーして参照データとなし、まず前記論理モードによる
測定を行って得たデータと比較する。この測定データが
上記の要件を満足する最良データであれば、参照データ
をこのデータに更新する。

次に、前記ランダムモードによる測定を行って得たデ
ータと上記更新した参照データとを比較し、この測定デ
ータが最良データであれば同様に上記参照データをこの
データに更新する。以下、ランダムモードの各測定ステ
ップにおいて同様の比較を行い、最終ステップが終了し
たとき参照データとしてメモリに保持されている最良デ
ータとそのときの測定条件データを論理モードデータと
言う。

「論理ガードデータ」例えば現在外部メモリに保有している測定値のデータ
とその誤差データを取り込んで参照データとなし、まず
前記Ｈピンガードによる測定を行って得たデータと比較
する。この測定データが上記要件を満足する最良データ
であれば、このデータを参照データとする。

次に、前記Ｌピンガードによる測定を行って得たデー
タと上記ステップにおける参照データとを比較し、この
測定データが最良であれば参照データを更新する。

更に、ＨピンとＬピンの組合せによる測定を行って得
たデータと前ステップにおける参照データとを比較し、
この測定データが最良であれば同様に参照データを更新
する。以下、組合せ測定の各ステップにおいて、同様の
比較を行い、最終ステップ終了のとき参照データとして
保持されている最良データとそのときの測定条件データ
を論理ガードデータと言う。

「論理データ」例えば上記論理モードデータを生成したのち、このデ
ータを参照データとして上記論理ガードデータを生成
し、両データを比較して得た最良の測定データとそのと
きの測定条件データを論理データと言う。

「論理モードガードデータ」例えば現在有している測定値のデータとその誤差デー
タを参照デートとなし、前記論理モードの状態において
上記論理ガードデータの生成を行い、上記参照データも
しくはその更新データと比較して得た最良のデータとそ
のときの測定条件データを論理モードガードデータと言
う。

「ランダムモード論理ガードデータ」例えば現在有している測定値のデータとその誤差デー
タを参照デートとなし、前記ランダムモードの状態にお
いて上記論理ガードデータの生成を行い、上記参照デー
タもしくはその更新データと比較して得た最良のデータ
とそのときの測定条件データをランダムモード論理ガー
ドデータと言う。

「論理組合せデータ」例えば上記論理モードガードデータの生成により最良
データを求めた後、このデータを参照データとして上記
ランダムモード論理ガードデータを生成して最良データ
を求める。次に、例えば前記待ち時間を測定ステップご
とに一定の割合で増加させながら順次与えて上記のデー
タ生成を所定回実行し、その過程で得られた最良の測定
データとそのときの測定条件データを論理組合せデータ
と言う。

「ランダムデータ」例えば現在有している測定値のデータとその誤差デー
タを参照データとなし、前記ランダムモードの状態にお
いて前記ランダムガードモードの測定によりデータを生
成し、最良データを求める。次に、上記論理組合せデー
タ生成の場合と同様に例えば一定の割合で増加する待ち
時間を測定ステップごとに順次与えてデータ生成を所定
回実行し、その過程で得られた最良の測定データとその
ときの測定条件データをランダムデータと言う。

「リミット値，基準値データ」例えば上記論理データ，論理組合せデータ、及びラン
ダムデータ生成の過程で得られた各部品の最良データと
その測定条件データによりそれぞれ当該部品の測定を１
ステップ行い、測定データが有効であれば当初設定され
たリミット値データと基準値データを良と確認する。

また、測定データが有効でなかった場合には例えば前
記論理モードデータ、論理ガードデータ、及び上記論理
モードガードデータ、ランダムモード論理ガードデー
タ、ランダムデータの生成を実行し、その生成したデー
タに基づいてリミット値もしくは基準値などを調整す
る。この確認又は調整したデータをリミット値，基準値
データと言う。

「連続測定データ」例えば上記論理データ、論理組合せデータ、ランダム
データ、及びリミット値，基準値データの生成過程で得
られたそれぞれの部品の最良測定データと測定条件デー
タに基づいて全部品を連続的に測定し、測定データが有
効であればその測定条件データは最良と確認する。

また、測定データが有効でなかった場合には、例えば
測定回数に応じて一定の割合で増加する充電用待ち時間
を当該部品の測定ステップに与え、もしくは同様に一定
の割合で増加する放電用の待ち時間をその前の部品の測
定ステップに与えて所定回連続測定し、このようにして
待ち時間の付加、あるいは既に設定された待ち時間の確
認もしくはその調整を行った測定条件データと測定デー
タを連続測定データと言う。

〔課題を解決するための手段〕

この発明の実施例が示されている第５図を参照する
と、前記第25図の従来装置におけるユニットとほぼ同様
の信号源１ないし信号設定器10と、測定部21、比較手段
22、データ保持手段25等を備えている。

更に、この実施例においては前記した最良の測定条件
データを得るため、例えば次に示す（イ）ないし（ニ）
の手段を備えている。

（イ）．論理データ生成ルーチン29a、論理組合せデー
タ生成ルーチン29b、ランダムデータ生成ルーチン29c、
リミット値，基準値データ生成ルーチン29d、連続測定
データ生成ルーチン29e等、最良測定条件データ収集の
ための測定ルーチンを有するデータ生成ルーシン保持手
段29。

（ロ）．上記データ生成ルーチン保持手段29内の論理デ
ータ生成ルーチン29aないし連続測定データ生成ルーチ
ン29eを順次切り換えて測定を実行させるためのルーチ
ン設定手段28。

（ハ）．上記各データ生成ルーチンを実行により得られ
た測定データが所定の要件を満足するか否かにより当該
測定データの有効性の有無を判断するとともに、有効デ
ータから最良のデータを抽出する最良データサーチ手段
26。

（ニ）．基準値データ27a、リミット値データ27b、ルー
チンデータ27c等を有し、上記最良データサーチ手段26
が抽出した最良の測定データとそのときの測定ルーチン
デーとを更新可能に保持する最良測定条件データ保持手
段27。

〔作用〕

上記ルーチン設定手段28及びデータ生成ルーチン保持
手段29により、良品基板を構成している各部品に対して
必要と考えられるほとんどすべての測定を実行すること
ができる。

また、上記最良データサーチ手段26により、例えば上
記各データ生成ルーチンにおける測定実行の過程で得ら
れた有効データの中からより良いデータを収集すること
ができる。

よって、その収集したより良い測定データとそのとき
の測定ルーチンデータを上記最良測定条件データ保持手
段27に逐次更新しながら保持させれば、測定終了時点で
保持しているデータが最良の測定条件データとなること
は明らかである。このデータを生産ロットの基板検査に
適用することにより、その良否判定を高精度で行うこと
ができる。

〔実施例〕

再び第５図を参照すると、まず良品基板４′を装置に
セットして各部品に対する測定を行い、それぞれ最良の
測定データと測定条件データを収集して最良測定条件デ
ータ保持手段27に保持させる。しかるのち、生産ロット
基板４を装置にセットし、良品基板から収集した上記最
良の測定条件に基づいて測定を行い、その良否を判定す
る。

良品基板４′の測定においては、例えばデータ生成ル
ーチン保持手段29が備えている論理データ生成ルーチン
29aないし連続測定データ生成ルーチン29eをこの順にす
べて実行するようになっており、第６図にその一例が示
されている。このデータ生成ルーチンの切換え設定は例
えばルーチン設定手段28にて自動的に行われるが、外部
から所望のルーチンを指定してそのルーチンを実行させ
ることもできる。

良品基板４′上の１つの部品に対して例えば上記論理
データ生成ルーチン29aに基づく測定が行われると、当
該部品からの応答信号は例えば測定部21に取り込まれて
測定され、演算手段24を介して得られたそのデータはデ
ータ保持手段25へ一時的に保持されるようになってい
る。なお、この場合、フロッピーなど外部メモリに現在
保有している上記部品の基準値とリミット値の各データ
は、例えば最良測定条件データ保持手段27内の基準値デ
ータ27a及びリミット値データ27bへそれぞれあらかじめ
コピーしておくようにする。

上記データ保持手段25に保持された測定データは、例
えば比較手段22において、上記コピーされたデータと比
較され、最良データサーチ手段26においては第12図に示
すように、前記３つの要件リ〜ルに基づいて測定データ
が有効であるかどうか判定されるようになっている。そ
して、もし有効であった場合にはこのデータをこの測定
ステップにおける最良デートとなし、基準値データ27a
内の上記コピーデータをこの測定データに更新するとと
もに、例えばこの測定ステップ（論理データ生成ルーチ
ン）のルーチン番号、及びその他の測定条件をルーチン
データ27cに入れて記憶させるようにする。

以下、同様にして論理組合せデータ生成ルーチン29b
（第13図参照）、ランダムデータ生成ルーチン29c（第1
6図参照）、リミット酸，基準値データ生成ルーチン29d
（第19図参照）、連続測定データ生成ルーチン29e（第2
1図参照）による測定が順次に行われる。この場合、例
えば先に実行されたデータ生成ルーチンにおいて収集し
た最良の測定データを参照データとして最良測定条件デ
ータ保持手段27に保持させるとともに、後から実行され
たデータ生成ルーチンにおける測定データを上記参照デ
ータと比較し、どちらか良い方の測定データとそのとき
の測定条件データを参照データとするようにしている。

このようにして参照データをより良いデータに逐次更
新すると、最終のデータ生成ルーチン、すなわち連続測
定データ生成ルーチン29eの実効が終了したときの参照
データが最良の測定条件データとなることは明らかであ
る。

ちなみに、第６図ないし第24図にはソフトウェアを利
用して最良の判定データと測定条件データを求める場合
の一例が流れ線図で示されている。なお、図中、待ち時
間等の数値は、実際に使用される部品に応じて適宜定め
るものとする。

〔効果〕

以上、詳細に説明したように、この発明においては例
えばデータ生成ルーチン保持手段29が有する論理データ
生成ルーチン29aないし連続測定データ生成ルーチン29e
による測定を良品基板に対して順次実行するようになっ
ている。

この実行過程においては、例えば設定用ピンのみによ
る測定、ガードピンを併用した測定、信号源の種類を変
えた測定、直流信号源の場合にはその＋，−の極性を変
えた測定、良否判定要のリミット値及び基準値の確認も
しくは調整のための測定、充電及び放電用の待ち時間に
よる影響を確認するための測定等、考えられるほとんど
すべての測定が自動的に、もしくはマニアルで行われ、
それらの全測定データから所定の要件を満足する最良の
測定データとそのデータが得られたときの測定条件デー
タがメモリに収集されるようになっている。

したがって、このメモリに収集された最良のデータを
生産ロットの基板検査に適用して測定を行えば、良品範
囲を外れた部品の検出はもちろん、並列部品による影響
や部品抜け、ショート、有極性部品又は整流特性を有す
る部品等の逆差しの検出、及び適正待ち時間の設定など
が簡単にでき、極めて高精度で、かつ、信頼性の高い良
否判定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第24図はこの発明の実施例に係り、第１図
は基準値、リミット値、実装値、及び測定値等の用語説
明図、第２図及び第３図は測定用信号源に関する用語説
明用の回路図、第４図はガードピンに関する用語説明用
の回路図、第５図はこの発明を適用した回路基板検査装
置の構成を示すブロック線図、第６図ないし第24図はソ
フトウェアを利用して最良測定条件データを生成する場
合の一例を示すフローチャート、第25図は従来装置のブ
ロック線図、第26図（Ａ）及び（Ｂ）はその良否判定方
法の説明図である。図中、４は被検査基板、４′は良品基板、21は測定部、
26は最良データサーチ手段、27は最良測定条件データ保
持手段、29はデータ生成ルーチン保持手段、29aは論理
データ生成ルーチン、29bは論理組合せデータ生成ルー
チン、29cはランダムデータ生成ルーチン、29dはリミッ
ト値，基準値データ生成ルーチン、29eは連続測定デー
タ生成ルーチンである。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】回路基板検査装置により被検査回路基板を
電気的に検査するにあたって、異なった多通りの測定条
件データに基づいてそれぞれ測定を実行するとともに、
各測定ごとにその測定データを収集する複数のデータ生
成手段と、同データ生成手段にて得られた各測定ごとの
測定データ同士を比較し、最良と見做される測定データ
を抽出する最良データサーチ手段とを備え、あらかじめ良品と確認された部品で構成された良品基板
上の測定対象部品を上記複数のデータ生成手段によりそ
の個々の異なる測定条件データに基づいて順次測定し、
上記最良データサーチ手段はその順次変更される測定条
件により得られた各測定データの前のものと後のものと
を比較し、その両測定データの最大絶対誤差、最大相対
誤差およびあらかじめ設定された基準値から下記の判定
条件〜の少なくとも一つを満足する場合には、前の
測定データに比べてその後の測定データをより良いデー
タとして逐次更新し保持するとともに、最小順序のデー
タ生成手段が実行終了した時点で保持されている測定デ
ータと、この測定データが生成されたときの測定条件デ
ータとを最良測定条件データと見做して生産ロット基板
の検査に適用することを特徴とする回路基板検査装置に
おける最良測定条件データの生成方法。（記）最大絶対誤差（前）＞最大絶対誤差（後）で、かつ、最大相対誤差（前）＞最大相対誤差（後）最大絶対誤差（前）＞最大絶対誤差（後）で、かつ、基準値×0.01≧最大相対誤差（後）最大相対誤差（前）＞最大相対誤差（後）で、かつ、基準値×0.01≧最大絶対誤差（後）
【請求項２】上記データ生成手段は、論理データ生成手
段と、論理組合せデータ生成手段と、ランダムデータ生
成手段と、リミット値，基準値データ生成手段と、連続
測定データ生成手段とからなることを特徴とする請求項
第１項記載の回路基板検査装置における最良測定条件デ
ータの生成方法。